專利名稱：一種基于平面鏡陣列的反射型光學(xué)積分器設(shè)計(jì)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學(xué)器件設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種光學(xué)積分器。
背景技術(shù)：
積分照明就是把雜亂無章的光經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)整合成照射均勻的光，或者實(shí)現(xiàn)亮度 提高和均勻，可廣泛應(yīng)用于綠色能源、空間技術(shù)等領(lǐng)域。光學(xué)積分器是積分照明中最重要 的光學(xué)器件。根據(jù)光的傳播定律，光學(xué)積分器可以分為折射型(透射型)和反射型。折射 型的光學(xué)積分器如微透鏡陣列，一般折射型光學(xué)積分器用于同軸系統(tǒng)中，同軸系統(tǒng)的缺點(diǎn) 就是光路長，導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)的外形輪廓大。利用微透鏡陣列完成光束的均光是目前普遍采 用的均光的方式，但是由于利用了透鏡所以會(huì)引入透鏡的一些缺點(diǎn)，如像差大、光損失嚴(yán)重 等，這些缺點(diǎn)會(huì)影響接收面的光束的均勻性。而反射型積分器采用離軸方式，縮減了光路長 度、占用空間小。更重要的是，積分器用反射鏡代替了折射鏡，從而減少了像差對(duì)光路的影 響，同時(shí)也減少了折射材料對(duì)光輻射能量的吸收損失，增大了能量的利用率。由于反射型積分器外形結(jié)構(gòu)復(fù)雜，加工不易實(shí)現(xiàn)，目前很少使用。但隨著超精密技 術(shù)的發(fā)展和成熟，尤其是采用具有刀具伺服的單點(diǎn)金剛石切削技術(shù)的發(fā)展，為復(fù)雜形狀光 學(xué)器件的加工提供了有力的工具，為反射型積分器的應(yīng)用提供了保障。因此，鑒于反射型積 分器的眾多應(yīng)用優(yōu)點(diǎn)，有必要開展反射型積分器設(shè)計(jì)方面的研究。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提出一種簡單可行的反射型積分器設(shè)計(jì)方法。本發(fā)明采用多個(gè)平 面組成的平面陣列進(jìn)行反射型積分器設(shè)計(jì)，將平行于光軸的光線經(jīng)過積分器的反射會(huì)聚到 一個(gè)方形的平面上，并實(shí)現(xiàn)良好的均勻照明。本發(fā)明的技術(shù)方案如下一種基于平面鏡陣列的反射型光學(xué)積分器設(shè)計(jì)方法，該種反射型光學(xué)積分器包括 一個(gè)平面反射鏡陣列，以平面反射鏡陣列中心處的平面中心為坐標(biāo)原點(diǎn)，以平行光入射的 反方向?yàn)閆軸，建立直角坐標(biāo)系，沿著Z軸的平行光經(jīng)過積分器的反射后，到達(dá)接收面；積分 器的結(jié)構(gòu)參數(shù)包括各個(gè)平面單元沿著X軸和Y軸的邊長、接收面的邊長2d和積分器的焦距 f，每個(gè)平面單元的位置參數(shù)包括單元中心點(diǎn)的坐標(biāo)、分別繞X軸和Y軸的旋轉(zhuǎn)角度以及繞 X軸和Y軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)，其設(shè)計(jì)方法包括第一步.積分器平面單元中心的確定(1)根據(jù)接收面和反射面的距離確定拋物面的焦距f，從而得到拋物面的方程 X2+Y2 = 4fZ,(2)根據(jù)接收面的大小確定位于坐標(biāo)原點(diǎn)處的積分器單元的邊長，兩者的數(shù)值是 相等的，(3)將(1)中的拋物面在XOY面上劃分成一系列網(wǎng)格，網(wǎng)格的邊界線平行于X軸和 Y軸，將網(wǎng)格上的每個(gè)點(diǎn)作為積分器單元中心在XOY面上的投影，原點(diǎn)處的積分器單元中心 為(0，0，0)，根據(jù)光線追跡和網(wǎng)格上的點(diǎn)的位置，確定各個(gè)積分器單元中心的位置，對(duì)于各個(gè)積分器單元中心，分別按照下面的第二步至第四步的方式沿Y方向和X方向迭代計(jì)算與 其相應(yīng)的各個(gè)平面單元的位置參數(shù)和方向參數(shù)；第二步.對(duì)于每個(gè)積分器單元中心，設(shè)其在XOY面上的坐標(biāo)分別為\和Ytl，其在 拋物面上的切線矢量為KD^lc2Lk1 = -x0/(2f),k2 = -Ytl/(2f)，并設(shè)平面單元的法矢量的 方向和拋物面切線方向垂直，按照下列的方法確定與其相應(yīng)的平面單元的法向量[a，b，c]， a = -kx !{kl +U22 +1)1/2，b = -k2 !{kl +U22 +1)1/2，c = 1/(^2 +U22 +1)1/2，從而確定平面單元的 方向；第三步.確定積分器陣列在Y方向上的位置參數(shù)和方向參數(shù)設(shè)&是前一個(gè)平面 單元與當(dāng)前平面單元在Y方向上的邊緣點(diǎn)，則Ai是已知的；AW是當(dāng)前平面單元與該邊緣點(diǎn) 相連接的一點(diǎn)，Ai =A，根據(jù)Ai (Xi, Yi, Zi)和積分器單元中心可確定Y方向上的平面單元的 中心在Z方向的坐標(biāo)值\ = a*(XcrXi)+1^(1-1)+ ，再根據(jù)平面單元的法向量，求得Y方 向上的平面單元中心坐標(biāo)值P1 (X1, Y1, Z1)，這樣就獲得了平面單元在Y方向上的位置參數(shù)和 方向參數(shù)。第四步.確定積分器陣列在X方向上的位置參數(shù)和方向參數(shù)設(shè)Bi是前一個(gè)平面 單元與當(dāng)前平面單元在X方向上的邊緣點(diǎn)，則A是已知的；BW是當(dāng)前平面單元與該邊緣點(diǎn) 相連接的一點(diǎn)，Bi = B，根據(jù)Bi(XyYpZi)和積分器單元中心可以確定X方向上的平面單元 中心在Z方向的坐標(biāo)值& = a*(Xi-Xtl)+M(Yi-Ytl)+ ，再根據(jù)平面單元的法向量，求得X方 向上的平面中心坐標(biāo)值己氏，￥2，22)，這樣就得到了平面單元在X方向上的位置參數(shù)和方向 參數(shù)；第五步.建立積分器模型(1)確定積分器的位置參數(shù)根據(jù)積分器單元在X方向和Y方向的位置和方 向，可以分別計(jì)算出平面陣列在X和Y方向上的轉(zhuǎn)角徹=^ /2-arccos (-a)和k = Ji/2-arCC0S(-b)，其中， 代表平面繞Y軸的轉(zhuǎn)角；h代表平面繞X軸的轉(zhuǎn)角；(2)確定積分器的結(jié)構(gòu)參數(shù)分別求得平面單元在X軸和Y軸的矩形邊長Cl1 = d/ cos (a)和d2 = d/cos (b)，其中Cl1代表平面單元在X軸方向上的長度；d2代表平面單元在Y 軸方向上的長度；(3)按照上述方法得到沿著X軸正方向上的積分器模型，將該積分器模型在X方向 上進(jìn)行關(guān)于Y軸的對(duì)稱擴(kuò)展，就得到了一個(gè)關(guān)于Y軸對(duì)稱的積分器模型；(4)除去關(guān)于Y軸對(duì)稱的積分器模型上位于積分器中心處附近的平面陣列，以實(shí) 現(xiàn)離軸反射的目的；第六步.根據(jù)所設(shè)計(jì)的積分器模型設(shè)計(jì)加工路徑，進(jìn)行超精密車削加工。常規(guī)的折射型的光學(xué)積分器需要會(huì)聚透鏡將第二個(gè)微透鏡陣列的光束進(jìn)行會(huì)聚， 才能實(shí)現(xiàn)勻光的目的。相比較折射型的光學(xué)積分器，本發(fā)明設(shè)計(jì)的反射式光學(xué)積分器就不 需要會(huì)聚透鏡，在接收面直接可以形成均勻照明分布，只需要一個(gè)反射鏡即可實(shí)現(xiàn)折射型 積分器的作用。本發(fā)明設(shè)計(jì)的反射型積分器比傳統(tǒng)的透射型積分器結(jié)構(gòu)簡單，而且穩(wěn)定性 好，在相同入射光的能量情況下，有更加優(yōu)秀的光照強(qiáng)度的分布均勻，尤其是接收面邊緣處 的光強(qiáng)度分布更加穩(wěn)定。而且因?yàn)闇p少了像差和透射損失，到達(dá)接收面能量也有了大幅度 的提高。


圖1本發(fā)明的積分器的整體結(jié)構(gòu)圖。圖2設(shè)計(jì)整體流程圖。圖3積分器中心處的平面單元。圖4積分器沿著X方向的單元。圖5積分器沿著Y方向的單元。圖6積分器的三維輪廓圖。圖7(a)沿著X軸正方向上的積分器模型；(b)關(guān)于Y軸對(duì)稱的積分器模型；(C)除 去積分器模型上位于積分器中心處附近的平面陣列。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明設(shè)計(jì)的積分器由平面反射鏡陣列組成，如圖1所示。以積分器中心處的平 面中心為坐標(biāo)原點(diǎn)，以平行光入射的反方向?yàn)閆軸，建立如圖1所示的直角坐標(biāo)系。積分器 的位置參數(shù)包括單元中心點(diǎn)的坐標(biāo)、各個(gè)平面單元沿著X軸和Y軸的邊長、接收面的邊長和 積分器的焦距。每個(gè)平面單元的方向參數(shù)包括平面單元分別繞X軸和Y軸的旋轉(zhuǎn)角度以及 繞X軸和Y軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)。圖1為積分器的整體結(jié)構(gòu)圖，沿著Z軸的平行光經(jīng)過積分器的反射后，到達(dá)接收 面。若要實(shí)現(xiàn)積分器的勻光，關(guān)鍵就是要精確計(jì)算每個(gè)單元的位置，即根據(jù)接收面的大小確 定平面陣列單元的尺寸，將平面陣列圍繞X軸和Y軸進(jìn)行特定角度的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)積分器的均 光的作用。參見圖2，本發(fā)明的積分器的設(shè)計(jì)主要步驟如下。1.位于坐標(biāo)原點(diǎn)處的積分器單元的確定。需要根據(jù)積分器的焦距和接收面的大小確定。2.完成Y軸方向上的積分器單元參數(shù)的計(jì)算，主要確定積分器單元中心坐標(biāo)、在Y 軸方向上的繞X軸的轉(zhuǎn)角、旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)以及積分器單元的邊長。3.依次完成X軸方向上的積分器單元參數(shù)的計(jì)算，主要確定積分器單元中心坐 標(biāo)、在X軸方向上的繞Y軸的轉(zhuǎn)角、旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)以及積分器單元的邊長。4.根據(jù)積分器單元的中心、分別與X軸和Y軸的旋轉(zhuǎn)角度以及旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)和 積分器的邊長在3D軟件中建立模型，完成加工模型的建立。5.確定了積分器的立體模型以后，根據(jù)超精密車削技術(shù)即可加工出積分器的實(shí) 物，并且可以控制表面粗糙度在幾十納米范圍內(nèi)。本發(fā)明實(shí)施過程中提及的積分器平面單元中心的確定具體實(shí)施步驟為(1)根據(jù)接收面和反射面的距離確定拋物面的焦距f，從而得到拋物面的方程 X2+Y2 = 4fZ,(2)根據(jù)接收面的大小確定位于坐標(biāo)原點(diǎn)處的積分器單元的邊長，兩者的數(shù)值是 相等的，(3)將(1)中的拋物面在XOY面上劃分成一系列網(wǎng)格，網(wǎng)格的邊界線平行于X軸和 Y軸，網(wǎng)格上的點(diǎn)是平面陣列中心在XOY面上的投影，也就是說平面陣列中心在X和Y方向 上的坐標(biāo)已經(jīng)確定了。初始原點(diǎn)處的積分器單元中心為(0，0，0)，為了確定其他積分器單元 中心的位置，需要確定積分器平面單元中心在Z方向上的坐標(biāo)。一旦確定了積分器單元中心坐標(biāo)，也就確定了積分器單元的位置參數(shù)。本發(fā)明實(shí)施過程中提及的Y軸方向上的積分器的平面單元的位置參數(shù)和方向參 數(shù)的確定方法的具體實(shí)施步驟為(1)確定平面單元的方向，方法為根據(jù)拋物面在該點(diǎn)處的切線方向確定，該平面單 元法矢量的方向和拋物面切線方向垂直。根據(jù)已知的積分器平面單元的中心的\和Ytl，可 以得到該點(diǎn)平面處的法矢量K[k1; 1 ]，有ki = -X0/ (2f)(1)k2 = -Y0/ (2f)(2)歸一化處理，得到平面的法向量K’ [a, b，c]。a = -U1 !{kl +Λ22+1)"2(3)b = -k2 !{k2x +U22 +1)1'2(4)C = Mik1l +U22 +1)1/2(5)這樣就得到了平面單元的法向量，從而確定了該平面單元的方向。(2)建立與上一個(gè)平面單元的連續(xù)關(guān)系，保證積分器的連續(xù)性，設(shè)&是上一個(gè)面的 邊緣點(diǎn)，Ain是與其相連接的一點(diǎn)，所以滿足Ai = Ai+1(6)根據(jù)Ai (Xi, Yi, Zi)和0(X0, Y0, Z0)可以確定所求平面中心P在Z方向的坐標(biāo)值Z Z1 = a* (X0-Xi) +b* (Y0-Yi) +Zi(7)求解方程組(4)，(5)，(6)和(8)，即可得到其中心坐標(biāo)值P1 (X1, Y1, Z1),這樣就獲 得了該平面的位置參數(shù)P1和方向參數(shù)K’。本發(fā)明實(shí)施過程中提及的X軸方向上的積分器單元的位置參數(shù)和方向參數(shù)的確 定方法的具體實(shí)施步驟為(1)根據(jù)已知的積分器平面單元的中心的\和Ytl，可以得到該點(diǎn)平面處的法矢量
K[k1 k2],Ic1 = -X0/ (2f)(8)k2 = -Y0/ (2f)(9)歸一化處理，得到平面的法向量K’ [a, b，c]。a = -kx !{k1, +k22 +1)1'2(10)b = -k2 l{k2x +U22 +1)1/2(11)c = 1/(^2 +k22 + Xfn(12)這樣就確定了該平面單元的方向K’。(3)為了保證積分器單元的連續(xù)性，需要建立該平面單元與上一個(gè)平面單元的位 置坐標(biāo)的關(guān)系。設(shè)&是上一個(gè)面的邊緣點(diǎn)，Bi+1是與其相連接的一點(diǎn)，所以滿足Bi = Bi+1(13)由上一個(gè)平面WBiGpYi ,Zi)和O2 (X。，Ytl，Ztl)可以確定所求平面的面中心P2在Z 方向的坐標(biāo)值4 = 3^)^10)+1^^40)+20(14)根據(jù)公式(11)，(12)，(13)，(15)即可得到其中心坐標(biāo)值P2 (X2，Y2，Z2)。這樣就得到了所求平面單元的位置參數(shù)P2和方向參數(shù)K’。本發(fā)明實(shí)施過程中提及的積分器模型確定方法的具體實(shí)施步驟為(1)確定積分器的位置參數(shù)，根據(jù)積分器單元在X方向和Y方向的位置和方向，可 以分別計(jì)算出平面陣列在X和Y方向上的轉(zhuǎn)角a0 = τι /2-arccos (-a)(15)b0 = π/2-arccos (_b)(16)其中代表平面繞Y軸的轉(zhuǎn)角；h代表平面繞X軸的轉(zhuǎn)角。(2)確定積分器的結(jié)構(gòu)參數(shù)，平面單元在X軸和Y軸的矩形邊長(I1 = d/cos (a)(17)d2 = d/cos (b)(18)其中Cl1代表平面在X軸方向上的長度；d2代表平面在Y軸方向上的長度?？梢缘?到圖7(a)所示的積分器輪廓圖。(3)按照上述方法得到沿著X軸正方向上的積分器模型，如圖7(a)，將該積分器在 X方向上關(guān)于Y軸對(duì)稱，就得到了一個(gè)關(guān)于Y軸對(duì)稱的積分器模型7 (b)。(4)除去積分器模型上位于積分器中心處附近的平面陣列，以實(shí)現(xiàn)離軸反射的目 的，如圖7(c)。將本發(fā)明的反射積分器用在太陽模擬器設(shè)計(jì)的方法如下根據(jù)入射光口徑的大小 確定反射積分器整體的大小，按照積分器原理求出積分器整體輪廓圖。在太陽模擬器中光 源為短弧氙燈，需要經(jīng)過聚光鏡會(huì)聚到離軸拋物面上，經(jīng)過離軸拋物面的準(zhǔn)直得到平行光， 再入射到反射積分器上，實(shí)現(xiàn)對(duì)光線的均勻化。為了對(duì)比兩種積分器的性能，本發(fā)明的對(duì)兩種積分器的仿真采用相同能量的入射 光入射，均為21X21mm的方形平行光，其中每根光線的功率為lW/cm2。從兩個(gè)積分器接收 面的對(duì)比來看，反射型的積分器要比透射型的積分器的輻照度均勻性分布更好，其接收面 的功率的最大值為1.49X 102W/cm2，而相同條件下的折射型的積分器的功率的最大值僅為 0. 215W/cm2。通過對(duì)比可以看到，本發(fā)明設(shè)計(jì)的反射型積分器比傳統(tǒng)的透射型積分器結(jié)構(gòu) 簡單，而且穩(wěn)定性好，在相同入射光的能量情況下，有更加優(yōu)秀的光照強(qiáng)度的分布均勻，尤 其是接收面邊緣處的光強(qiáng)度分布更加穩(wěn)定。而且因?yàn)闇p少了像差和透射損失，到達(dá)接收面 能量也有了大幅度的提高。
權(quán)利要求
1. 一種基于平面鏡陣列的反射型光學(xué)積分器設(shè)計(jì)方法，該種反射型光學(xué)積分器包括一 個(gè)平面反射鏡陣列，以平面反射鏡陣列中心處的平面中心為坐標(biāo)原點(diǎn)，以平行光入射的反 方向?yàn)閆軸，建立直角坐標(biāo)系，沿著Z軸的平行光經(jīng)過積分器的反射后，到達(dá)接收面；積分 器的結(jié)構(gòu)參數(shù)包括各個(gè)平面單元沿著X軸和Y軸的邊長、接收面的邊長2d和積分器的焦距 f，每個(gè)平面單元的位置參數(shù)包括單元中心點(diǎn)的坐標(biāo)、分別繞X軸和Y軸的旋轉(zhuǎn)角度以及繞 X軸和Y軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)，其設(shè)計(jì)方法包括第一步.積分器平面單元中心的確定(1)根據(jù)接收面和反射面的距離確定拋物面的焦距f·，從而得到拋物面的方程X2+Y2=4fZ,(2)根據(jù)接收面的大小確定位于坐標(biāo)原點(diǎn)處的積分器單元的邊長，兩者的數(shù)值是相等的，(3)將(1)中的拋物面在XOY面上劃分成一系列網(wǎng)格，網(wǎng)格的邊界線平行于X軸和Y 軸，將網(wǎng)格上的每個(gè)點(diǎn)作為積分器單元中心在XOY面上的投影，原點(diǎn)處的積分器單元中心 為(0，0，0)，根據(jù)光線追跡和網(wǎng)格上的點(diǎn)的位置，確定各個(gè)積分器單元中心的位置，對(duì)于各 個(gè)積分器單元中心，分別按照下面的第二步至第四步的方式沿Y方向和X方向迭代計(jì)算與 其相應(yīng)的各個(gè)平面單元的位置參數(shù)和方向參數(shù)；第二步.對(duì)于每個(gè)積分器單元中心，設(shè)其在XOY面上的坐標(biāo)分別為\和Ytl，其在拋物 面上的切線矢量為K[k1; k2], ki = -X0/(2f), k2 = -Y。/(2f)，并設(shè)平面單元的法矢量的方 向和拋物面切線方向垂直，按照下列的方法確定與其相應(yīng)的平面單元的法向量[a，b，c], a = -kx !{kl +U22 +1)1/2，b = -k2 !{kl +U22 +1)1/2，c = 1/(^2 +U22 +1)1/2，從而確定平面單元的 方向；第三步.確定積分器陣列在Y方向上的位置參數(shù)和方向參數(shù)設(shè)&是前一個(gè)平面單元 與當(dāng)前平面單元在Y方向上的邊緣點(diǎn)，則Ai是已知的；AW是當(dāng)前平面單元與該邊緣點(diǎn)相連 接的一點(diǎn)，Ai =A，根據(jù)Ai (Xi, Yi, Zi)和積分器單元中心可確定Y方向上的平面單元的中心 在Z方向的坐標(biāo)值\ = a*(X0-Xi)+b*(Y0-Yi)+Zi,再根據(jù)平面單元的法向量，求得Y方向上 的平面單元中心坐標(biāo)值？工(X1, Y1, Z1),這樣就獲得了平面單元在Y方向上的位置參數(shù)和方向 參數(shù)；第四步.確定積分器陣列在X方向上的位置參數(shù)和方向參數(shù)設(shè)Bi是前一個(gè)平面單元 與當(dāng)前平面單元在X方向上的邊緣點(diǎn)，則Bi是已知的；BW是當(dāng)前平面單元與該邊緣點(diǎn)相連 接的一點(diǎn)，Bi = B，根據(jù)Bi(XyYpZi)和積分器單元中心可以確定X方向上的平面單元中心 在Z方向的坐標(biāo)值4 = ^( - )+!^(Yi-Ytl^Zi,再根據(jù)平面單元的法向量，求得X方向上的 平面中心坐標(biāo)值P2 0(2，I，Z2)，這樣就得到了平面單元在X方向上的位置參數(shù)和方向參數(shù)；第五步.建立積分器模型(1)確定積分器的位置參數(shù)根據(jù)積分器單元在X方向和Y方向的位置和方向，可以分 別計(jì)算出平面陣列在X和Y方向上的轉(zhuǎn)角ει。= π/2-arccos (_a)和bQ= π/2-arccos (_b)， 其中，代表平面繞Y軸的轉(zhuǎn)角；k代表平面繞X軸的轉(zhuǎn)角；(2)確定積分器的結(jié)構(gòu)參數(shù)分別求得平面單元在X軸和Y軸的矩形邊長Cl1= d/ cos (a)和d2 = d/cos (b)，其中Cl1代表平面單元在X軸方向上的長度；d2代表平面單元在Y 軸方向上的長度；(3)按照上述方法得到沿著X軸正方向上的積分器模型，將該積分器模型在X方向上進(jìn) 行關(guān)于Y軸的對(duì)稱擴(kuò)展，就得到了一個(gè)關(guān)于Y軸對(duì)稱的積分器模型；(4)除去關(guān)于Y軸對(duì)稱的積分器模型上位于積分器中心處附近的平面陣列，以實(shí)現(xiàn)離 軸反射的目的；第六步.根據(jù)所設(shè)計(jì)的積分器模型設(shè)計(jì)加工路徑，進(jìn)行超精密車削加工。
全文摘要
本發(fā)明屬于光學(xué)器件設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種基于平面鏡陣列的反射型光學(xué)積分器設(shè)計(jì)方法，包括積分器平面單元中心的確定；確定各個(gè)積分器平面單元的方向；確定積分器陣列在Y方向上的位置參數(shù)和方向參數(shù)；確定積分器陣列在X方向上的位置參數(shù)和方向參數(shù)；建立積分器模型；根據(jù)所設(shè)計(jì)的積分器模型設(shè)計(jì)加工路徑，進(jìn)行超精密車削加工。采用本發(fā)明方法設(shè)計(jì)的反射型積分器比傳統(tǒng)的透射型積分器結(jié)構(gòu)簡單，而且穩(wěn)定性好，在相同入射光的能量情況下，有更加優(yōu)秀的光照強(qiáng)度的分布均勻。
文檔編號(hào)G02B27/00GK102122070SQ20111006789
公開日2011年7月13日 申請(qǐng)日期2011年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月21日
發(fā)明者張效棟, 房豐洲, 程穎 申請(qǐng)人:天津大學(xué)