專利名稱：液狀體配置方法、器件的制造方法、液狀體噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液狀體噴出裝置及其液狀體配置方法、利用了該方法的器 件的制造方法。
背景技術(shù)：
近年，提出了一種從微小噴嘴向基板噴出包含功能性材料的液狀體， 使基板上配置的液狀體固化而形成薄膜的方法。作為該薄膜的代表例，可 列舉濾色器或發(fā)光層、金屬布線等。在這種方法中，為了形成優(yōu)質(zhì)薄膜，要求穩(wěn)定地維持所噴出的液狀體 的量(以下稱為噴出量)。這是由于因噴出歷程所引起的硬件要素的劣化、 或液狀體的制造偏差等，噴出量會(huì)發(fā)生變動(dòng)。因此，提出了一種包括噴出 量的測(cè)量部件并基于其測(cè)量結(jié)果使噴出所涉及的驅(qū)動(dòng)條件適當(dāng)化的液狀 體噴出裝置(例如，專利文獻(xiàn)l)。但是，為了使噴出量穩(wěn)定化，噴出所涉及的液狀體的溫度也成為重要 的影響因素。這是由于液狀體的粘度因溫度而變動(dòng)，結(jié)果也會(huì)對(duì)噴出量產(chǎn) 生影響。并且，在測(cè)量噴出量時(shí)和進(jìn)行實(shí)際描繪時(shí)，因與裝置內(nèi)的熱源的 位置關(guān)系而會(huì)對(duì)液狀體的溫度稍微產(chǎn)生偏差，由此，因該影響而難以高精 度進(jìn)行驅(qū)動(dòng)條件的適當(dāng)化。專利文獻(xiàn)1:特幵2004—209429號(hào)公報(bào) 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明為解決上述課題而實(shí)現(xiàn)，目的在于提供一種能維持穩(wěn)定的噴出 量的液狀體噴出裝置及液狀體配置方法、利用了該噴出方法的器件的制造 方法。本發(fā)明的液狀體配置方法，利用通過向驅(qū)動(dòng)部件供給電信號(hào)而從噴嘴 噴出液狀體的噴頭，對(duì)噴出對(duì)象物進(jìn)行該液狀體的配置，該液狀體配置方法包括A步驟，供給與規(guī)定條件有關(guān)的所述電信號(hào)，測(cè)量噴出量；B步 驟，對(duì)測(cè)量所述噴出量時(shí)所述噴頭的周圍的第一溫度進(jìn)行測(cè)量；C步驟， 在配置所述液狀體時(shí)，測(cè)量所述噴頭的周圍的第二溫度；和D步驟，以基 于所述噴出量、所述第一溫度、所述第二溫度而確定的條件生成所述電信 號(hào)，供給生成的該電信號(hào)，進(jìn)行所述液狀體的配置。
在該發(fā)明的液狀體配置方法中，基于預(yù)先測(cè)量的噴出量，對(duì)液狀體的 配置所涉及的電信號(hào)的條件進(jìn)行適當(dāng)化。此時(shí)，由于參照測(cè)量噴出量時(shí)的 第一溫度和配置液狀體時(shí)的第二溫度，因此，可適宜地排除測(cè)量噴出量時(shí) 和配置液狀體時(shí)的噴頭周圍的溫度差的影響，從而可適宜地使電信號(hào)的條 件適當(dāng)化。
還有，在所述液狀體配置方法中，優(yōu)選所述電信號(hào)的條件是電壓成分。
再有，在所述液狀體配置方法中，優(yōu)選在所述噴頭的所述噴嘴的形成 面的周圍或所述液狀體的導(dǎo)入部的周圍、或者在所述噴頭的所述噴嘴的形 成面的周圍以及所述液狀體的導(dǎo)入部的周圍這兩處，進(jìn)行所述第一溫度以 及所述第二溫度的測(cè)量。
而且，在所述液狀體配置方法中，優(yōu)選將所述C步驟以及所述D步 驟對(duì)一個(gè)所述噴出對(duì)象物至少迸行一次以上。
并且，在所述液狀體配置方法中，在利用多個(gè)所述噴頭的技術(shù)方案l 4的任一方案所述的液狀體配置方法中，優(yōu)選對(duì)所述多個(gè)噴頭的一部分或 每一個(gè)進(jìn)行所述第一溫度以及所述第二溫度的測(cè)量。
本發(fā)明的液狀體配置方法，利用通過向驅(qū)動(dòng)部件供給電信號(hào)而從噴嘴 噴出液狀體的噴頭，對(duì)噴出對(duì)象物進(jìn)行該液狀體的配置，該液狀體配置方 法包括G步驟，供給與規(guī)定條件有關(guān)的所述電信號(hào)，在進(jìn)行所述液狀體 的配置的第一區(qū)域測(cè)量第一預(yù)備噴出量，在與所述第一區(qū)域分離的第二區(qū) 域測(cè)量第二預(yù)備噴出量；H步驟，在配置所述液狀體時(shí)，在第二區(qū)域，供 給與規(guī)定條件有關(guān)的所述電信號(hào)來測(cè)量噴出量，和I步驟，以基于所述第 一預(yù)備噴出量、所述第二預(yù)備噴出量、由所述H步驟測(cè)量的噴出量而確定 的條件生成所述電信號(hào)，供給生成的該電信號(hào)，進(jìn)行所述液狀體的配置。
本發(fā)明的器件的制造方法包括利用所述液狀體配置方法向基板配置 所述液狀體并使所配置的該液狀體固化而形成膜的步驟，而且，將該膜作為構(gòu)成要素。本發(fā)明的液狀體噴出裝置，包括噴頭，其通過向驅(qū)動(dòng)部件供給電信 號(hào)而從噴嘴噴出液狀體；噴出量測(cè)量部件，其供給與規(guī)定條件有關(guān)的所述 電信號(hào)，噴出所述液狀體，進(jìn)行其噴出量的測(cè)量；第一溫度測(cè)量部件，其 在測(cè)量所述噴出量時(shí)，對(duì)所述噴頭的周圍的第一溫度進(jìn)行測(cè)量；配置控制 部件，其通過從所述噴嘴噴出所述液狀體，向噴出對(duì)象物配置所述液狀體; 第二溫度測(cè)量部件，其在配置所述液狀體時(shí)，對(duì)所述噴頭的周圍的第二溫 度進(jìn)行測(cè)量；和電信號(hào)控制部件，其基于所述噴出量、所述第一溫度、所 述第二溫度，對(duì)配置所述液狀體時(shí)供給的所述電信號(hào)的條件進(jìn)行控制。


圖1是表示液狀體噴出裝置的主要部分構(gòu)成的立體圖； 圖2是表示噴頭單元中的噴頭的配置構(gòu)成的俯視圖； 圖3是表示液狀體噴出裝置的電氣構(gòu)成的框圖； 圖4是表示驅(qū)動(dòng)信號(hào)的一例的圖； 圖5是表示液狀體裝置的處理流程的流程圖； 圖6是表示第二實(shí)施方式中的液狀體配置的處理流程的流程圖； 圖7是表示液晶顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。 圖中IO —噴頭單元；30 —噴頭；31 —噴嘴；39 —熱敏電阻；42 —壓 電元件；200 —液狀體噴出裝置；207 —維護(hù)單元；208 —重量測(cè)量裝置； 209—臺(tái)架；210 —描繪區(qū)域；211—重量測(cè)量區(qū)域；219 —掃描機(jī)構(gòu)部；220 一控制部；221 —驅(qū)動(dòng)電路基板；222 —驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成電路；500 —液晶顯示裝置。
具體實(shí)施方式
下面，基于附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。 此外，以下描述的實(shí)施方式是本發(fā)明的優(yōu)選的具體例，因此在技術(shù)上 添加了優(yōu)選的各種限定，但只要在以下的說明中未特別記載限定本發(fā)明的 意思，則本發(fā)明的范圍并不限定于這些方式。還有，在以下的說明中參照 的中，為了便于圖示，有時(shí)使部件或部分的縱橫的比例尺與實(shí)際不同。5(液狀體噴出裝置的機(jī)械構(gòu)成)
下面，參照?qǐng)D1、圖2，對(duì)本發(fā)明的液狀體配置方法中使用的液狀體 噴出裝置的機(jī)械構(gòu)成進(jìn)行說明。
圖1是表示液狀體噴出裝置的主要部分構(gòu)成的立體圖。圖2是表示噴 頭單元中的噴頭的配置構(gòu)成的俯視圖。
圖1所示的液狀體噴出裝置200包括直線式設(shè)置的一對(duì)導(dǎo)軌201 、 通過在導(dǎo)軌201的內(nèi)部設(shè)置的氣動(dòng)滑板(air slider)和線性電動(dòng)機(jī)(未圖 示)而沿主掃描方向移動(dòng)的主掃描移動(dòng)臺(tái)203。還包括在導(dǎo)軌201的上 方按照與導(dǎo)軌201垂直的方式直線式設(shè)置的一對(duì)導(dǎo)軌202、通過在導(dǎo)軌202 的內(nèi)部設(shè)置的氣動(dòng)滑板和線性電動(dòng)機(jī)(未圖示)而沿副掃描方向移動(dòng)的副 掃描移動(dòng)臺(tái)204。
在主掃描移動(dòng)臺(tái)203上，設(shè)置有用于載置成為噴出對(duì)象物的基板P的 載物臺(tái)205。載物臺(tái)205采用可對(duì)基板P進(jìn)行吸附固定的構(gòu)成，而且，可 通過未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使基板P內(nèi)的基準(zhǔn)軸在主掃描方向、副掃描方向上 準(zhǔn)確對(duì)位。
副掃描移動(dòng)臺(tái)204包括懸掛安裝的臺(tái)架(stage) 209。而且，臺(tái)架209 包括配置有多個(gè)噴頭30 (參照?qǐng)D2)的噴頭單元IO、向噴頭30供給液 狀體用的液狀體供給機(jī)構(gòu)(未圖示)、用于生成向噴頭30供給的電信號(hào) (以下稱為驅(qū)動(dòng)信號(hào))的驅(qū)動(dòng)電路基板221 (參照?qǐng)D3)。
如圖2所示，噴頭30包括噴出組件32、具有與電纜的連接器33 的電路基板34、具有液狀體的導(dǎo)入部35的殼體組件36。噴出組件32的 一面成為配置有多個(gè)噴嘴31的噴嘴形成面37，在成為與噴嘴形成面37 垂直的面的側(cè)面部38上安裝有熱敏電阻39。熱敏電阻39構(gòu)成測(cè)量噴嘴形 成面37周圍的溫度的本發(fā)明的第一溫度測(cè)量部件、第二溫度測(cè)量部件。 此外，熱敏電阻39的安裝位置可適當(dāng)變更，例如，可安裝在導(dǎo)入部35的 附近。
在噴嘴形成面37上，噴嘴31構(gòu)成兩個(gè)噴嘴組41A、 41B，各噴嘴組 41A、 41B的噴嘴31分別構(gòu)成沿規(guī)定的方向以一定間距排列的行排列。噴 嘴組41A與噴嘴組41B的排列方向相互一致，而且在本實(shí)施方式中，噴 嘴組41A和噴嘴組41B構(gòu)成間距互補(bǔ)排列的鋸齒排列。形成于噴出組件32內(nèi)的與噴嘴31連通的液室(空腔)構(gòu)成為通過與其可動(dòng)壁連接的壓電元件42 (參照?qǐng)D3)而改變?nèi)萘俊２⑶?，通過向壓 電元件42供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)來控制空腔內(nèi)的液壓，可從噴嘴31噴出液狀體(液 滴)。即，壓電元件42構(gòu)成本發(fā)明中的驅(qū)動(dòng)部件。此外，作為驅(qū)動(dòng)部件， 除壓電元件之外，還可采用加熱元件等。再返回圖1，在使臺(tái)架209移動(dòng)到基板P的正上方位置的描繪區(qū)域210 的狀態(tài)下，通過進(jìn)行噴頭單元10與基板P的相對(duì)移動(dòng)(掃描)、以及每 個(gè)噴嘴31的噴出的ON/OFF控制，從而向基板P上配置(描繪)液狀體。 即，上述的導(dǎo)軌201、 202、主掃描移動(dòng)臺(tái)203、副掃描移動(dòng)臺(tái)204、載物 臺(tái)205、臺(tái)架209構(gòu)成本發(fā)明的配置控制部件。還有，描繪區(qū)域210對(duì)應(yīng) 于本發(fā)明中的第一區(qū)域。在從主掃描移動(dòng)臺(tái)203沿副掃描方向離開幾米左右的位置設(shè)置有維護(hù) 單元207，其用于對(duì)噴嘴31 (參照?qǐng)D2)進(jìn)行密封(capping)、強(qiáng)制吸引 (恢復(fù))動(dòng)作、擦拭(wiping)等各種維護(hù)動(dòng)作。還有，維護(hù)單元207包 括重量測(cè)量裝置208，其具備液狀體的接受容器和載置接受容器的電子天 平。在使臺(tái)架209移動(dòng)到維護(hù)單元207的正上方位置的重量測(cè)量區(qū)域211 的狀態(tài)下，進(jìn)行液狀體的噴出，從而可測(cè)量該噴出所涉及的液狀體的重量 (噴出量)。即，重量測(cè)量裝置208構(gòu)成本發(fā)明中的噴出量測(cè)量部件。而 且，重量測(cè)量區(qū)域211對(duì)應(yīng)于本發(fā)明中的第二區(qū)域。 (液狀體噴出裝置的電氣構(gòu)成)下面，參展圖3、圖4，對(duì)本發(fā)明的液狀體配置方法中使用的液狀體 噴出裝置的電氣構(gòu)成進(jìn)行說明。圖3是表示液狀體噴出裝置的電氣構(gòu)成的框圖。圖4是表示驅(qū)動(dòng)信號(hào) 的一例的圖。在圖3中，液狀體噴出裝置200包括由CPU和存儲(chǔ)器構(gòu)成的控制 部220、用于使臺(tái)架209 (參照?qǐng)Dl)等移動(dòng)(掃描)的掃描機(jī)構(gòu)部219、 具有驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成電路222的驅(qū)動(dòng)電路基板221、噴頭30、重量測(cè)量裝置 208?？刂撇?20接受來自起用戶接口作用的PC (個(gè)人計(jì)算機(jī))230的各 種命令，進(jìn)行掃描機(jī)構(gòu)部219的驅(qū)動(dòng)控制、噴頭30的驅(qū)動(dòng)控制(以下稱 為噴出控制)、重量測(cè)量裝置208的測(cè)量所涉及的運(yùn)算處理等。還有，控制部220取得由熱敏電阻39測(cè)量的溫度信息，存儲(chǔ)到內(nèi)部的存儲(chǔ)器中。噴頭30的噴出控制通過向壓電元件42供給在驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成電路222 中生成的驅(qū)動(dòng)信號(hào)而進(jìn)行。如圖4所示，驅(qū)動(dòng)信號(hào)采用由包括充放電脈沖 的脈沖組PS周期性連接的構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，使得通過脈沖組PS中 的充電脈沖而空腔被減壓，通過放電脈沖而空腔被加壓，通過供給一個(gè)脈 沖組而噴出一個(gè)液狀體(液滴)。即，各脈沖組PS的產(chǎn)生定時(shí)與各噴出 控制的定時(shí)對(duì)應(yīng)。將脈沖組PS中的最低電位與最高電位之差的電壓稱為驅(qū)動(dòng)電壓，該 驅(qū)動(dòng)電壓成為后述的用于控制噴出量的參數(shù)。即，根據(jù)驅(qū)動(dòng)電壓而壓電元 件的位移量變化，存在噴出量相對(duì)于驅(qū)動(dòng)電壓大致表現(xiàn)線性相關(guān)關(guān)系的性 質(zhì)。此外，還可根據(jù)充放電脈沖的時(shí)間成分、充放電脈沖間的連接時(shí)間成 分來進(jìn)行噴出量的控制，基于驅(qū)動(dòng)電壓的控制在操作容易度方面優(yōu)越，因 此本實(shí)施方式中采用該方法。 (液狀體配置方法)下面，參照?qǐng)D1、圖3，根據(jù)圖5的流程圖，對(duì)液狀體配置方法(描 繪方法)進(jìn)行說明。圖5是表示液狀體配置的處理流程的流程圖。在該方法中，首先，對(duì)掃描驅(qū)動(dòng)部219進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，使噴頭單元10移 動(dòng)到重量測(cè)量區(qū)域211 (步驟S1)。接著，對(duì)安裝在噴頭單元10中的各 噴頭30進(jìn)行驅(qū)動(dòng)電壓的臨時(shí)設(shè)定(步驟S2)。該臨時(shí)設(shè)定以各噴嘴30 的噴嘴組41A、 41B (參照?qǐng)D2)為單位進(jìn)行，例如，基于噴頭30的出廠 前檢查時(shí)設(shè)定的ID信息進(jìn)行。在接下來的步驟S3中，在臨時(shí)設(shè)定的驅(qū)動(dòng)電壓下，對(duì)重量測(cè)量裝置 208噴出液狀體(液滴)，測(cè)量噴出量q (對(duì)應(yīng)于本發(fā)明中的A步驟)。 而且，由熱敏電阻39測(cè)量此時(shí)的第一溫度T1(對(duì)應(yīng)于本發(fā)明中的B步驟)。在噴出量q的測(cè)定中，按各噴嘴30的噴嘴組41A、 41B (參照?qǐng)D2) 對(duì)重量測(cè)量裝置208噴出多個(gè)(例如，平均每個(gè)噴嘴數(shù)萬點(diǎn))的液滴，測(cè) 量其總重量。然后，在控制部220中，通過用噴出驅(qū)動(dòng)的總數(shù)除該總重量 的數(shù)據(jù)，從而獲得平均每個(gè)液滴的噴出量q，存儲(chǔ)到控制部220內(nèi)的存儲(chǔ) 器中。8還有，按每個(gè)噴嘴30進(jìn)行第一溫度T1的測(cè)量。由于步驟S3中的液
狀體的噴出分多次進(jìn)行，因此，需要一定程度的期間(數(shù)秒左右)，但例 如取得該期間內(nèi)的測(cè)量值的平均值或期間內(nèi)的規(guī)定定時(shí)的測(cè)量值，作為第
一溫度T1。并且，將所取得的第一溫度T1存儲(chǔ)到控制部220內(nèi)的存儲(chǔ)器 中。
上述的步驟S1 S3起到對(duì)描繪動(dòng)作中的驅(qū)動(dòng)電壓進(jìn)行設(shè)定(后述的 步驟S6)用的預(yù)備工序的作用。因此，步驟S1 S3可以以在長(zhǎng)期間內(nèi)執(zhí) 行的描繪動(dòng)作(后述的步驟S4 S7)的中途插入的形式，定期地或根據(jù) 操作人員的指示適當(dāng)執(zhí)行。
描繪動(dòng)作由下面說明的步驟S4 S7構(gòu)成。即，使噴頭單元10移動(dòng)到 描繪區(qū)域210 (步驟S4)，進(jìn)而進(jìn)行第二溫度T2的測(cè)量(與本發(fā)明的C 步驟對(duì)應(yīng)的步驟S5)，將所測(cè)量的第二溫度T2存儲(chǔ)到控制部220內(nèi)的存 儲(chǔ)器中。控制部220將存儲(chǔ)器內(nèi)存儲(chǔ)的噴出量q、第一溫度T1、第二溫度 T2作為參數(shù)，利用式l，進(jìn)行驅(qū)動(dòng)電壓V的正式設(shè)定(步驟S6)，將正 式設(shè)定的驅(qū)動(dòng)電壓V生成的驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給到壓電元件42，進(jìn)行液狀體的 配置(描繪)(與本發(fā)明的D步驟對(duì)應(yīng)的步驟S6)。
V = V0+a (q國(guó)q。) +卩(T2-T1) ......(式l)
在式1中，V。是臨時(shí)設(shè)定的(步驟S2)驅(qū)動(dòng)電壓，q。是噴出量的標(biāo) 準(zhǔn)值。另外，a是表示每單位噴出量的噴出量修正所需的驅(qū)動(dòng)電壓的變化 量的修正系數(shù)，P是表示每單位溫度的噴出量修正所需的驅(qū)動(dòng)電壓的變化 量的修正系數(shù)，分別是預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)獲得的常數(shù)。
式1中的第二項(xiàng)a (q-q。)表示為了補(bǔ)償用重量測(cè)量裝置208測(cè)量的 噴出量q與標(biāo)準(zhǔn)值q。之差而需要對(duì)V。添加的電壓修正量。即，表示對(duì)因 噴出歷程所引起的硬件要素劣化、或液狀體的制造偏差等噴出量變動(dòng)的主 要因素進(jìn)行補(bǔ)償，使描繪動(dòng)作時(shí)的噴出量接近標(biāo)準(zhǔn)值q。用的電壓修正量。
但是，當(dāng)重量測(cè)定時(shí)的環(huán)境溫度即第一溫度Tl與描繪動(dòng)作時(shí)的環(huán)境 溫度即第二溫度T2存在溫度差時(shí)(根據(jù)與裝置構(gòu)成中的熱源的位置關(guān)系 而在實(shí)際中存在某種程度的溫度差)，會(huì)由該溫度差導(dǎo)致即使進(jìn)行基于第 二項(xiàng)的修正也無法實(shí)現(xiàn)精細(xì)的修正。例如，當(dāng)?shù)谝粶囟萒1比第二溫度T2 低時(shí)，僅通過基于第二項(xiàng)的修正將噴出標(biāo)準(zhǔn)值q。以上的液狀體。式1中的
9第三項(xiàng)P (T2-T1)是鑒于這樣的課題，為了消除重量測(cè)定時(shí)與描繪動(dòng)作 時(shí)的溫度差的影響而導(dǎo)入的修正項(xiàng)，由此，在該實(shí)施方式中，可通過高精 度修正后的電信號(hào)進(jìn)行描繪。
步驟S5中的驅(qū)動(dòng)電壓的設(shè)定以各噴嘴30的噴嘴組41A、 41B (參照 圖2)為單位進(jìn)行，此時(shí)，關(guān)于臨時(shí)設(shè)定時(shí)的驅(qū)動(dòng)電壓V。、噴出量q分別 參照與噴嘴組41A、 41B對(duì)應(yīng)的量。還有，關(guān)于第一溫度Tl、第二溫度 T2參照與各噴頭30對(duì)應(yīng)的量。再有，修正參數(shù)a、 P應(yīng)用與液狀體的種 類對(duì)應(yīng)的固有值。
步驟S5 S7的連續(xù)的工序優(yōu)選在連續(xù)的描繪動(dòng)作中定期地例如在更 換基板P的定時(shí)、各主掃描的定時(shí)、或各噴出控制的定對(duì)進(jìn)行。由此，能 迅速對(duì)應(yīng)在描繪動(dòng)作中的環(huán)境溫度(第二溫度)的變化，可實(shí)現(xiàn)噴出量的 進(jìn)一步穩(wěn)定化。
(液狀體配置方法的第二實(shí)施方式) 下面，參照?qǐng)D6，對(duì)第二實(shí)施方式的液狀體配置方法進(jìn)行說明。 圖6是表示第二實(shí)施方式的液狀體配置的處理流程的流程圖。 在該方法中，首先在主掃描移動(dòng)臺(tái)203上臨時(shí)放置重量測(cè)量裝置(與 維護(hù)單元207上搭載的裝置同樣的構(gòu)成)(步驟Sll)。然后，使噴頭單 元10移動(dòng)到描繪區(qū)域210 (步驟S12),進(jìn)行驅(qū)動(dòng)電壓的臨時(shí)設(shè)定(步驟 S13)，對(duì)步驟Sll中臨時(shí)放置的重量測(cè)量裝置噴出液狀體，測(cè)量作為其 噴出量的第一預(yù)備噴出量qdl (步驟S14)。此外，步驟S13中的驅(qū)動(dòng)電 壓的臨時(shí)設(shè)定、步驟S14中的第一預(yù)備噴出量qdl的測(cè)量分別以與第一實(shí) 施方式中的步驟S2、步驟S3同樣的方法進(jìn)行。將所測(cè)量的第一預(yù)備噴出 量qdl存儲(chǔ)到控制部220內(nèi)的存儲(chǔ)器中。
接著，使噴頭單元10移動(dòng)到重量測(cè)量區(qū)域211 (步驟S15)，對(duì)重量 測(cè)量裝置208噴出液狀體，測(cè)量作為其噴出量的第二預(yù)備噴出量qd2 (步 驟S16)。此外，步驟S16中的第二預(yù)備噴出量qd2的測(cè)量利用與第一預(yù) 備噴出量qdl的測(cè)量時(shí)同樣的驅(qū)動(dòng)電壓、同批的液狀體進(jìn)行。將所測(cè)量的 第二預(yù)備噴出量qd2存儲(chǔ)到控制部220內(nèi)的存儲(chǔ)器中。然后，除去臨時(shí)放 置的重量測(cè)量裝置(步驟S17)。
上述的步驟S11 S17是用于檢查由描繪區(qū)域210與重量測(cè)量區(qū)域211之間的位置環(huán)境(主要是溫度)之差引起的噴出量變化的工序，起到對(duì)描 繪動(dòng)作所涉及的驅(qū)動(dòng)電壓進(jìn)行設(shè)定(后述的步驟S20)用的預(yù)備工序的作
用。即，步驟S11 S17是與本發(fā)明中的G步驟對(duì)應(yīng)的工序。該步驟S11 S17除了在液狀體噴出裝置200啟動(dòng)時(shí)進(jìn)行之外，還在改變裝置的設(shè)置環(huán) 境或構(gòu)成的情況等之下進(jìn)行。
接下來的步驟S18 S20的目的在于，實(shí)現(xiàn)對(duì)因噴出歷程所引起的硬 件要素劣化或液狀體的制造偏差等導(dǎo)致噴出量變動(dòng)的主要因素進(jìn)行補(bǔ)償 用的條件，以在長(zhǎng)期間內(nèi)執(zhí)行的描繪動(dòng)作(后述的步驟S21)的中途插入 的形式，定期地或根據(jù)操作人員的指示適當(dāng)執(zhí)行。
艮P，在步驟S18中進(jìn)行驅(qū)動(dòng)電壓的臨時(shí)設(shè)定(步驟S18)，在步驟S19 中對(duì)重量測(cè)量裝置208噴出液狀體，測(cè)量其噴出量q (作為本發(fā)明中的H 步驟的步驟S19)。將測(cè)量出的噴出量q存儲(chǔ)到控制部220內(nèi)的存儲(chǔ)器中。 然后，在步驟S20 (相當(dāng)于本發(fā)明中的I步驟)，控制部220將存儲(chǔ)器內(nèi) 存儲(chǔ)的噴出量q、第一預(yù)備噴出量qdl、第二預(yù)備噴出量qd2作為參數(shù)， 利用式2，進(jìn)行驅(qū)動(dòng)電壓V的正式設(shè)定。
V = V0+a{q+ (qdl-qd2)陽q0} ......(式2)
在式2中，V。是臨時(shí)設(shè)定的(步驟S18)驅(qū)動(dòng)電壓，q。是噴出量的標(biāo) 準(zhǔn)值。另外，a是表示每單位噴出量的噴出量修正所需的驅(qū)動(dòng)電壓的變化 量的修正系數(shù)，是預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)獲得的常數(shù)。
式2中的(qdl-qd2)這一項(xiàng)表示描繪區(qū)域210與重量測(cè)量區(qū)域211 之間在位置上的環(huán)境差所引起的固有噴出量的測(cè)量誤差。該修正項(xiàng)為消除 區(qū)域間的環(huán)境差所引起的噴出量變動(dòng)的影響而引入，由此，在該實(shí)施方式 中，可通過高精度地適當(dāng)化后的電信號(hào)進(jìn)行描繪。 (液晶顯示裝置的制造方法)
下面，參照?qǐng)D7，對(duì)作為本發(fā)明的器件的液晶顯示裝置的制造方法進(jìn) 行說明。
圖7是表示液晶顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。 如圖7所示，液晶顯示裝置500包括TFT (Thin Film Transistor)透 過型液晶顯示面板520、對(duì)液晶顯示面板520進(jìn)行照明的照明裝置516。 液晶顯示面板520具備對(duì)置基板501，其具有作為著色層的濾色器505;元件基板508，其具有三個(gè)端子中的一個(gè)與像素電極510連接的TFT元件 511;和由兩基板501、 508夾持的液晶(省略圖示)。而且，在成為液晶 顯示面板520的外面?zhèn)鹊膬苫?01、 508的表面上，配置使透過的光偏 轉(zhuǎn)的上偏振板514和下偏振板515。
對(duì)置基板501由透明玻璃等材料構(gòu)成，在夾持液晶的表面?zhèn)扔筛舯诓?504劃分為矩陣狀的多個(gè)著色區(qū)域上，RGB三色的濾色器505R、 505G、 505B形成為豎條狀。隔壁部504構(gòu)成為包括由Cr等具有遮光性的金屬 或其氧化膜構(gòu)成的稱為黑矩陣的下層圍堰502、由形成在下層圍堰502上 (在圖中朝下)形成的有機(jī)化合物構(gòu)成的上層圍堰503。對(duì)置基板501還 包括覆蓋隔壁部504和由隔壁部504劃分的濾色器505R、 505G、 505B 的作為平坦化層的外罩層(OC層)506、按照覆蓋OC層506的方式形成 的由ITO (Indium Tin Oxide)等透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的對(duì)置電極507。濾色器 505R、 505G、 505B可采用后述的濾色器的制造方法制造。
元件基板508同樣由透明的玻璃等材料構(gòu)成，在夾持液晶的表面?zhèn)雀?著絕緣膜509而形成為矩陣狀的像素電極510、與像素電極510對(duì)應(yīng)形成 的多個(gè)TFT元件511。 TFT元件511的三端子中未與像素電極510連接的 另外兩端子，連接在以相互絕緣的狀態(tài)按照包圍像素電極510的方式配置 為柵格狀的掃描線512和數(shù)據(jù)線513上。
照明裝置516使用作為光源的白色的LED、 EL、冷陰極管等，只要 是具備能夠?qū)碜赃@些光源的光向液晶顯示面板520照射的導(dǎo)光板或擴(kuò)散 板、反射板等的構(gòu)成即可。
此外，在夾持液晶的對(duì)置基板501與元件基板508的表面上，分別形 成有使液晶分子沿規(guī)定方向排列的取向膜，但省略圖示。而且，上下偏振 板514、 515也可以是組合有為改善視角依存性的目的等而使用的相位差 薄膜等光學(xué)功能性薄膜。液晶顯示面板520并不限定于作為有源元件的 TFT元件，也可以具有TFD (Thin Film Diode)元件，進(jìn)而，只要是至少 在一方基板上具備濾色器的結(jié)構(gòu)，則也可以是按照構(gòu)成像素的電極相互交 叉的方式配置的無源型液晶顯示裝置。
這里，濾色器505R、 505G、 505B、外罩層506、對(duì)置電極507、像素 電極510、取向膜、構(gòu)成TFT元件511的硅層、掃描線512、數(shù)據(jù)線513可利用上述的液狀體配置方法形成。即，可在基板上配置包括所對(duì)應(yīng)的功 能性材料的液狀體對(duì)其進(jìn)行圖案化，并使配置的液狀體固化而形成。
例如，在形成濾色器505R、 505G、 505B時(shí)，在由上層圍堰503劃分 的像素的對(duì)應(yīng)區(qū)域內(nèi)，配置包括與R、 G、 B各色對(duì)應(yīng)的顏料的液狀體， 使液狀體干燥而形成。還有，在形成對(duì)置電極507、像素電極510等金屬 膜時(shí)，可配置金屬微粒的分散液并進(jìn)行燒結(jié)而形成。再有，在形成取向膜 時(shí)，可配置聚酰亞胺的溶液并進(jìn)行干燥而形成。
根據(jù)這樣的方法，可在使液狀體的噴出量高精度地適當(dāng)化后的狀態(tài)下 形成各種功能性膜，因此，可獲得在膜厚和輪廓均勻性方面優(yōu)質(zhì)的功能性 膜。
本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式。
例如，作為噴頭周圍的溫度的檢測(cè)位置的變形例，可列舉在噴嘴形成 面或噴頭內(nèi)的流路內(nèi)向噴頭供給液狀體的液狀體供給機(jī)構(gòu)等。
另外，作為噴頭周圍的溫度的檢測(cè)方法的變形例，可列舉具備溫度分 析裝置的紅外線照相機(jī)等。
而且，作為利用了上述液狀體配置方法的其他例，例如可列舉等離子 體顯示裝置中的熒光膜的形成等。
還有，對(duì)于實(shí)施方式的各構(gòu)成而言，可將這些構(gòu)成適當(dāng)組合、或省略、 或與未圖示的其他構(gòu)成進(jìn)行組合。
1權(quán)利要求
1、一種液狀體配置方法，利用通過向驅(qū)動(dòng)部件供給電信號(hào)而從噴嘴噴出液狀體的噴頭，對(duì)噴出對(duì)象物進(jìn)行該液狀體的配置，該液狀體配置方法包括G步驟，供給與規(guī)定條件有關(guān)的所述電信號(hào)，在進(jìn)行所述液狀體的配置的第一區(qū)域測(cè)量第一預(yù)備噴出量，在與所述第一區(qū)域分離的第二區(qū)域測(cè)量第二預(yù)備噴出量；H步驟，在配置所述液狀體時(shí)，在第二區(qū)域，供給與規(guī)定條件有關(guān)的所述電信號(hào)并測(cè)量噴出量，和I步驟，以基于所述第一預(yù)備噴出量、所述第二預(yù)備噴出量、由所述H步驟測(cè)量的噴出量而確定的條件生成所述電信號(hào)，供給生成的該電信號(hào)，進(jìn)行所述液狀體的配置。
2、 一種器件的制造方法，包括利用權(quán)利要求1所述的液狀體配置 方法向基板配置所述液狀體，使所配置的該液狀體固化而形成膜的步驟， 其中該膜作為構(gòu)成要素而包含于所述器件。
全文摘要
一種液狀體噴出裝置，包括噴頭，其通過向驅(qū)動(dòng)部件供給電信號(hào)而從噴嘴噴出液狀體；噴出量測(cè)量部件，其供給與規(guī)定條件有關(guān)的所述電信號(hào)，噴出所述液狀體，進(jìn)行其噴出量的測(cè)量；第一溫度測(cè)量部件，其在測(cè)量所述噴出量時(shí)，對(duì)所述噴頭周圍的第一溫度進(jìn)行測(cè)量；配置控制部件，其通過從所述噴嘴噴出所述液狀體，向噴出對(duì)象物配置所述液狀體；第二溫度測(cè)量部件，其在配置所述液狀體時(shí)，對(duì)所述噴頭周圍的第二溫度進(jìn)行測(cè)量；和電信號(hào)控制部件，其基于所述噴出量、所述第一溫度、所述第二溫度，對(duì)配置所述液狀體時(shí)供給的所述電信號(hào)的條件進(jìn)行控制。由此，提供一種能維持穩(wěn)定的噴出量的液狀體噴出裝置及液狀體配置方法、利用了該噴出方法的器件的制造方法。
文檔編號(hào)B05B12/12GK101664729SQ200910173289
公開日2010年3月10日 申請(qǐng)日期2007年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月22日
發(fā)明者伊藤達(dá)也, 小林博文, 蛭間敬 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社