技術(shù)總結(jié)
公開了一種自動化沉積工藝。本發(fā)明實施例一般提供在襯底上絲網(wǎng)印刷圖案的裝置與方法。在一實施例中，圖案化層連同多個對準標記被印刷至襯底的表面上。測量這些對準標記相對于襯底的特征結(jié)構(gòu)的位置，以判定圖案化層的實際位置。將實際位置與預(yù)期位置作比較以判定圖案化層在襯底上的安置的位置誤差。使用此信息來調(diào)整圖案化層在后續(xù)多個經(jīng)處理襯底上的安置。

技術(shù)研發(fā)人員：A·巴希尼;M·佳利亞佐
受保護的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
文檔號碼：201610686959
技術(shù)研發(fā)日：2009.05.25
技術(shù)公布日：2016.12.07