的材料例如是不銹鋼、鋁或鐵氟龍(teflon)。
[0038]固定件204用于穿設(shè)在相對(duì)準(zhǔn)的固定孔208與固定孔106中，以將結(jié)合裝置202與承載座104進(jìn)行結(jié)合。固定件204例如是螺絲。
[0039]把手206連接于結(jié)合裝置202，可通過(guò)結(jié)合裝置202將把手206與承載座104進(jìn)行結(jié)合。把手206與結(jié)合裝置的連接方式例如是焊接法或一體成型法。在此實(shí)施例中，把手206是以跨過(guò)承載座104的把手為例進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明的把手206的型態(tài)并不以此為限。在其他實(shí)施例中，當(dāng)結(jié)合件210的數(shù)量為三個(gè)以上時(shí)，于此技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識(shí)者可對(duì)應(yīng)結(jié)合件210的數(shù)量且依據(jù)產(chǎn)品設(shè)計(jì)需求調(diào)整把手206跨過(guò)承載座104的型態(tài)。在其他實(shí)施例中，把手206亦可為彼此分離的多個(gè)把手或環(huán)繞承載座104的把手。把手206的材料例如是不銹鋼、鋁或鐵氟龍。
[0040]基于上述實(shí)施例可知，上述實(shí)施例所提出的裝卸治具200是用于裝卸承載座104，在將裝卸治具200與承載座104結(jié)合之后，可輕易地且快速地裝卸半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)100的腔室102中的承載座104，因此可大幅地減少裝卸承載座104所需的時(shí)間。此外，通過(guò)上述實(shí)施例所提出的裝卸治具200，可防止承載座104在裝卸時(shí)產(chǎn)生損壞，因此不會(huì)有因裝卸造成承載座104損壞而產(chǎn)生的更換成本。
[0041]圖2所繪示為本發(fā)明的另一實(shí)施例的裝卸治具與半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的承載座在進(jìn)行裝卸時(shí)的爆炸圖。
[0042]請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D2及圖1，圖2的裝卸治具300與圖1的裝卸治具200的差異在于:圖2的裝卸治具300的把手306為彼此分離的多個(gè)把手。在此實(shí)施例中，結(jié)合件210的數(shù)量與把手306的數(shù)量是以?xún)蓚€(gè)為例進(jìn)行說(shuō)明，然而本發(fā)明結(jié)合件210的數(shù)量與把手306的數(shù)量并不以此為限。關(guān)于圖2中的裝卸治具300的各構(gòu)件的材料、連接方式、設(shè)計(jì)方式與功效等與圖1的裝卸治具200相似，且于圖1的實(shí)施例中已進(jìn)行詳盡地描述，故于此不再贅述。
[0043]基于上述實(shí)施例可知，上述實(shí)施例所提出的裝卸治具300可大幅地減少裝卸承載座104所需的時(shí)間。此外，通過(guò)上述實(shí)施例所提出的裝卸治具300不會(huì)有因裝卸造成承載座104損壞而產(chǎn)生的更換成本。
[0044]圖3所繪示為本發(fā)明的另一實(shí)施例的裝卸治具與半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的承載座在進(jìn)行裝卸時(shí)的爆炸圖。
[0045]請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D3及圖1，圖3的裝卸治具400與圖1的裝卸治具200的差異在于:在圖3的裝卸治具400中的結(jié)合裝置402、固定件404及把手406的型態(tài)或數(shù)量與圖1的裝卸治具200不同。結(jié)合裝置402為一體成型的結(jié)合件，結(jié)合裝置402的輪廓可為環(huán)狀，而與承載座104的固定孔106處的輪廓相匹配。結(jié)合裝置402例如是具有四個(gè)固定孔408，但本發(fā)明的結(jié)合裝置402的固定孔408的數(shù)量并不以此為限。固定件404的數(shù)量例如是四個(gè)，而與結(jié)合裝置402的數(shù)量相對(duì)應(yīng)。把手406為環(huán)繞承載座104的把手。關(guān)于圖3中的裝卸治具400的各構(gòu)件的材料、連接方式、設(shè)計(jì)方式與功效等與圖1的裝卸治具200相似，且于圖1的實(shí)施例中已進(jìn)行詳盡地描述，故于此不再贅述。
[0046]基于上述實(shí)施例可知，上述實(shí)施例所提出的裝卸治具400可大幅地減少裝卸承載座104所需的時(shí)間。此外，通過(guò)上述實(shí)施例所提出的裝卸治具400不會(huì)有因裝卸造成承載座104損壞而產(chǎn)生的更換成本。
[0047]此外，圖1及圖2的裝卸治具200、300亦可采用圖4的結(jié)合裝置402，而圖3的裝卸治具400亦可采用圖1及圖2的結(jié)合裝置202。
[0048]綜上所述,上述實(shí)施例所提出的裝卸治具至少具有以下特點(diǎn)。上述實(shí)施例所提出的裝卸治具可大幅地減少裝卸承載座所需的時(shí)間。此外，通過(guò)上述實(shí)施例所提出的裝卸治具不會(huì)有因裝卸造成承載座損壞而產(chǎn)生的更換成本。
[0049]雖然本發(fā)明已以實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，故本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視隨附的權(quán)利要求范圍所界定的為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種裝卸治具，用于裝卸一半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的一腔室中的一承載座，其中該承載座具有多個(gè)第一固定孔，該裝卸治具包括: 一結(jié)合裝置，具有對(duì)準(zhǔn)這些第一固定孔的多個(gè)第二固定孔； 多個(gè)固定件，用于穿設(shè)在相對(duì)準(zhǔn)的這些第二固定孔與這些第一固定孔中，以將該結(jié)合裝置與該承載座進(jìn)行結(jié)合；以及 至少一把手，連接于該結(jié)合裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卸治具，其中這些第二固定孔所構(gòu)成的線的中心或所構(gòu)成的圖形的幾何中心對(duì)準(zhǔn)該承載座的中心點(diǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卸治具，其中該至少一把手包括跨過(guò)該承載座的把手、彼此分離的多個(gè)把手或環(huán)繞該承載座的把手。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卸治具，其中該承載座包括靜電吸座(electrostaticchuck, E-chuck)或晶圓座(chuck)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卸治具，其中該承載座上具有一密封件，該密封件設(shè)置于該承載座的密封面上。
6.一種裝卸治具，用于裝卸一半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的一腔室中的一承載座，其中該承載座具有多個(gè)第一固定孔，該裝卸治具包括: 至少一把手； 一結(jié)合裝置，連接至該至少一把手，且具有對(duì)準(zhǔn)這些第一固定孔的多個(gè)第二固定孔； 多個(gè)固定件，用于穿設(shè)在相對(duì)準(zhǔn)的這些第二固定孔與這些第一固定孔中，以通過(guò)該結(jié)合裝置將該至少一把手與該承載座進(jìn)行結(jié)合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝卸治具，其中這些第二固定孔所構(gòu)成的線的中心或所構(gòu)成的圖形的幾何中心對(duì)準(zhǔn)該承載座的中心點(diǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝卸治具，其中該至少一把手包括跨過(guò)該承載座的把手、彼此分離的多個(gè)把手或環(huán)繞該承載座的把手。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝卸治具,其中該承載座包括靜電吸座(electrostaticchuck, E-chuck)或晶圓座(chuck)。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝卸治具，其中該承載座上具有一密封件，該密封件設(shè)置于該承載座的密封面上。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種裝卸治具，用于裝卸半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的腔室中的承載座，其中承載座具有多個(gè)第一固定孔，裝卸治具包括結(jié)合裝置、多個(gè)固定件及至少一把手。結(jié)合裝置具有對(duì)準(zhǔn)第一固定孔的多個(gè)第二固定孔。固定件用于穿設(shè)在相對(duì)準(zhǔn)的第二固定孔與第一固定孔中，以將結(jié)合裝置與承載座進(jìn)行結(jié)合。把手連接于結(jié)合裝置。
【IPC分類(lèi)】H01L21-673, B25B27-00
【公開(kāi)號(hào)】CN104626039
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310571688
【發(fā)明人】蔡宜家
【申請(qǐng)人】旺宏電子股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2013年11月13日