裝卸治具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種裝卸治具，且特別是有關(guān)于一種半導(dǎo)體機(jī)臺的裝卸治具。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體機(jī)臺的腔室中設(shè)置有用以承載晶圓的承載座，如靜電吸座(electrostatic chuck,E-chuck)或晶圓座(chuck)。當(dāng)承載座能力衰弱時(shí)需進(jìn)行更換,然而承載座不易拆卸且拆卸過程相當(dāng)耗時(shí)，操作人員必須徒手或用起子扳開才能拆下，且操作人員在執(zhí)行承載座的拆卸操作期間容易對承載座造成損壞。特別是當(dāng)承載座具有O型環(huán)(Ο-ring)時(shí)，由于O型環(huán)在半導(dǎo)體機(jī)臺操作時(shí)會受熱而產(chǎn)生黏性，因此會使得承載座的拆卸更加困難。
[0003]另一方面，由于承載座的價(jià)格昂貴，若承載座的拆卸操作的過程中損壞，將會產(chǎn)生昂貴的更換成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種裝卸治具，其可大幅地減少裝卸承載座所需的時(shí)間，且不會有因裝卸造成承載座損壞而產(chǎn)生的更換成本。
[0005]本發(fā)明提出一種裝卸治具，用于裝卸半導(dǎo)體機(jī)臺的腔室中的承載座，其中承載座具有多個(gè)第一固定孔，裝卸治具包括結(jié)合裝置、多個(gè)固定件及至少一把手。結(jié)合裝置具有對準(zhǔn)第一固定孔的多個(gè)第二固定孔。固定件用于穿設(shè)在相對準(zhǔn)的第二固定孔與第一固定孔中，以將結(jié)合裝置與承載座進(jìn)行結(jié)合。把手連接于結(jié)合裝置。
[0006]本發(fā)明提出另一種裝卸治具，用于裝卸半導(dǎo)體機(jī)臺的腔室中的承載座，其中承載座具有多個(gè)第一固定孔，裝卸治具包括至少一把手、結(jié)合裝置及多個(gè)固定件。結(jié)合裝置連接至把手，且具有對準(zhǔn)第一固定孔的多個(gè)第二固定孔。固定件用于穿設(shè)在相對準(zhǔn)的第二固定孔與第一固定孔中，以通過結(jié)合裝置將把手與承載座進(jìn)行結(jié)合。
[0007]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，第二固定孔的數(shù)量例如是小于等于第一固定孔的數(shù)量。
[0008]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，第二固定孔所構(gòu)成的線的中心或所構(gòu)成的圖形的幾何中心例如是對準(zhǔn)承載座的中心點(diǎn)。
[0009]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，結(jié)合裝置的輪廓與承載座的第一固定孔處的輪廓例如是相匹配。
[0010]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，結(jié)合裝置例如是一體成型的結(jié)合件或彼此分離的多個(gè)結(jié)合件。
[0011]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，固定件例如是螺絲。
[0012]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，把手例如是跨過承載座的把手、彼此分離的多個(gè)把手或環(huán)繞承載座的把手。
[0013]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，把手與結(jié)合裝置的連接方式例如是焊接法或一體成型法。
[0014]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，承載座例如是靜電吸座或晶圓座。
[0015]依照本發(fā)明的一實(shí)施例所述，在上述的裝卸治具中，承載座上可具有密封件，密封件設(shè)置于承載座的密封面上。
[0016]基于上述，本發(fā)明所提出的裝卸治具可輕易地且快速地裝卸位于半導(dǎo)體機(jī)臺的腔室中的承載座，因此可大幅地減少裝卸承載座所需的時(shí)間。此外，通過本發(fā)明所提出的裝卸治具，可防止承載座在裝卸時(shí)產(chǎn)生損壞，因此不會有因裝卸造成承載座損壞而產(chǎn)生的更換成本。
[0017]為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附圖式作詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0018]圖1所繪示為本發(fā)明的一實(shí)施例的裝卸治具與半導(dǎo)體機(jī)臺的承載座在進(jìn)行裝卸時(shí)的爆炸圖。
[0019]圖2所繪示為本發(fā)明的另一實(shí)施例的裝卸治具與半導(dǎo)體機(jī)臺的承載座在進(jìn)行裝卸時(shí)的爆炸圖。
[0020]圖3所繪示為本發(fā)明的另一實(shí)施例的裝卸治具與半導(dǎo)體機(jī)臺的承載座在進(jìn)行裝卸時(shí)的爆炸圖。
[0021]【符號說明】
[0022]100:半導(dǎo)體機(jī)臺
[0023]102:腔室
[0024]104:承載座
[0025]106、108、208、408:固定孔
[0026]110:密封件
[0027]112:密封面
[0028]200、300、400:裝卸治具
[0029]202,402:結(jié)合裝置
[0030]204、404:固定件
[0031]206、306、406:把手
[0032]210:結(jié)合件
【具體實(shí)施方式】
[0033]圖1所繪示為本發(fā)明的一實(shí)施例的裝卸治具與半導(dǎo)體機(jī)臺的承載座在進(jìn)行裝卸時(shí)的爆炸圖。
[0034]請參照圖1，裝卸治具200，用于裝卸半導(dǎo)體機(jī)臺100的腔室102中的承載座104。其中，承載座104具有多個(gè)固定孔106，固定孔106可用于將承載座104固定至半導(dǎo)體機(jī)臺100的該腔室102中，例如是利用螺絲(未繪示)等結(jié)合件將穿設(shè)于相對準(zhǔn)的固定孔106與腔室102中的固定孔108。承載座104例如是靜電吸座或晶圓座。承載座104上可具有密封件110，密封件110設(shè)置于承載座104的密封面112上。密封件110例如是O型環(huán)或金屬密封件(metal seal)。半導(dǎo)體機(jī)臺100例如是沉積機(jī)臺，如Novellus公司制的NovellusSpeed機(jī)型的沉積機(jī)臺，然而本發(fā)明適用的半導(dǎo)體機(jī)臺并不以此為限。
[0035]裝卸治具200包括結(jié)合裝置202、多個(gè)固定件204及至少一把手206。結(jié)合裝置202具有對準(zhǔn)固定孔106的多個(gè)固定孔208。固定孔208的數(shù)量例如是小于等于固定孔106的數(shù)量。在此實(shí)施例中，固定孔208的數(shù)量例如是2個(gè)，而固定孔106的數(shù)量例如是8個(gè)，但固定孔208的數(shù)量與固定孔106的數(shù)量并不以此為限，于此技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識者可依據(jù)產(chǎn)品設(shè)計(jì)需求對固定孔208的數(shù)量與固定孔106的數(shù)量進(jìn)行調(diào)整。
[0036]在此實(shí)施例中，固定孔208的數(shù)量為兩個(gè)，固定孔208所構(gòu)成的線的中心例如是對準(zhǔn)承載座104的中心點(diǎn)。在另一實(shí)施例中，當(dāng)固定孔208的數(shù)量為三個(gè)以上時(shí)，固定孔208所構(gòu)成的圖形的幾何中心例如是對準(zhǔn)承載座104的中心點(diǎn)。此外，依據(jù)將固定孔208所構(gòu)成的線的中心或所構(gòu)成的圖形的幾何中心對準(zhǔn)承載座104的中心點(diǎn)的設(shè)計(jì)方式，可使得在使用裝卸治具200裝卸承載座104時(shí)的施力平衡,而可穩(wěn)定地對承載座104進(jìn)行裝卸。
[0037]在此實(shí)施例中，結(jié)合裝置202是以包括彼此分離的多個(gè)結(jié)合件210為例進(jìn)行說明，但結(jié)合裝置202的型態(tài)并不以此為限。在其他實(shí)施例中，結(jié)合裝置202亦可為一體成型的結(jié)合件。在此實(shí)施例中，結(jié)合件210的數(shù)量是以兩個(gè)為例進(jìn)行說明，然而本發(fā)明結(jié)合件210的數(shù)量并不以此為限。結(jié)合裝置202的輪廓與承載座104的固定孔106處的輪廓例如是相匹配。結(jié)合裝置