技術總結
本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種應用于從貨架上取放光罩盒的機械手臂，通過設置雙向氣缸使得第一手臂和第二手臂之間的距離伸長和縮短，以利于取放光罩盒，并于雙向氣缸上設置位置傳感器，于第一手臂和第二手臂上設置活動銷、擋片和光線傳感器，以在機械手臂取放光罩盒時位置傳感器和光線傳感器發(fā)出指示信號，從而可以及時發(fā)現(xiàn)取放動作異常，停止機械手臂異常動作，避免光罩盒受損，進而提高機臺穩(wěn)定性和可靠性，減少宕機現(xiàn)象。

技術研發(fā)人員：吳良輝
受保護的技術使用者：武漢新芯集成電路制造有限公司
文檔號碼：201621218828
技術研發(fā)日：2016.11.11
技術公布日：2017.05.31