技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種機(jī)械手臂及基板拾取裝置，屬于基板搬運(yùn)裝置技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的機(jī)械手臂安全性能較低的問題。本發(fā)明的機(jī)械手臂，其包括用于拾取基板的機(jī)械手臂本體和壓力感應(yīng)系統(tǒng)，該壓力感應(yīng)系統(tǒng)與機(jī)械手臂本體固定連接，用于感應(yīng)機(jī)械手臂本體是否將會(huì)與基板發(fā)生碰撞。本發(fā)明的基板拾取裝置包括該機(jī)械手臂。本發(fā)明特別適用于玻璃基板的拾取。

技術(shù)研發(fā)人員：牛玉東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：牛玉東
文檔號(hào)碼：201510561875
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.07
技術(shù)公布日：2017.03.15