1.一種機械手臂，其包括用于拾取基板的機械手臂本體，其特征在于：所述機械手臂還包括壓力感應(yīng)系統(tǒng)，所述壓力感應(yīng)系統(tǒng)與所述機械手臂本體固定連接，用于感應(yīng)機械手臂本體是否將會與基板發(fā)生碰撞。
2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的機械手臂，其特征在于：所述壓力感應(yīng)系統(tǒng)為壓力傳感器，所述壓力傳感器為可伸縮結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述壓力傳感器與基板發(fā)生碰撞時，其能沿所述機械手臂運動方向的反方向運動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機械手臂，其特征在于：所述機械手臂還包括緩沖系統(tǒng)，所述緩沖系統(tǒng)與所述機械手臂本體固定連接，且所述緩沖系統(tǒng)靠近基板的一端與所述壓力傳感器靠近基板的一端齊平。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機械手臂，其特征在于：所述機械手臂還包括保護帽，所述保護帽與所述緩沖系統(tǒng)靠近基板的一端固定連接，且與所述壓力傳感器靠近基板的一端相接觸，用于增大當(dāng)壓力傳感器與基板發(fā)生碰撞時的接觸面積。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的機械手臂，其特征在于：所述緩沖系統(tǒng)為液壓緩沖器或氣缸。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的機械手臂，其特征在于：所述機械手臂本體為中空結(jié)構(gòu)，且在所述機械手臂本體靠近基板的一端設(shè)置有開口；所述壓力感應(yīng)系統(tǒng)與所述緩沖系統(tǒng)通過所述開口固定在所述機械手臂本體的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機械手臂，其特征在于：所述保護帽的材料為塑料。
8.一種基板拾取裝置，其特征在于：所述基板拾取裝置包括權(quán)利要求l至7中任意一項所述的機械手臂。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板拾取裝置，其特征在于：所述基板拾取裝置還包括控制單元，所述控制單元用于接收所述壓力感應(yīng)系統(tǒng)所感應(yīng)到的壓力信號。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板拾取裝置，其特征在于：所述控制單元為PLC。