一種mocvd進(jìn)料裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種MOCVD進(jìn)料裝置，包括：支座、與所述支座連接的左右運(yùn)動單元和上下運(yùn)動單元、與支座連接的機(jī)械手組件、以及運(yùn)動控制裝置，運(yùn)動控制裝置控制左右運(yùn)動單元和上下運(yùn)動單元的運(yùn)動狀態(tài)。本實(shí)用新型采用直線型的進(jìn)料方式，通過左右運(yùn)動單元和上下運(yùn)動單元直線型傳動，可以縮短機(jī)械懸臂的長度，有利于加強(qiáng)機(jī)械懸臂的剛性，減少機(jī)械手抓取負(fù)載時引起的機(jī)械懸臂變形，確保了機(jī)械手的運(yùn)動精度，且構(gòu)成零件簡單，易于制造和裝配，同時左右、上下運(yùn)動單元通過運(yùn)動控制裝置控制，確保了機(jī)械手的運(yùn)動精度。
【專利說明】—種MOCVD進(jìn)料裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備，尤其涉及一種MOCVD進(jìn)料裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在光電行業(yè)中，金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(簡稱M0CVD)設(shè)備是制備化合物半導(dǎo)體薄膜的關(guān)鍵設(shè)備，我國在該領(lǐng)域一直依賴于進(jìn)口，隨著國家能源的緊缺和半導(dǎo)體照明工程的發(fā)展，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備的研發(fā)工作的重要性更加凸顯，其中，進(jìn)料裝置是MOCVD設(shè)備的重要部件之一。
[0003]目前市場上MOCVD設(shè)備的進(jìn)料裝置采用旋轉(zhuǎn)伸縮式的機(jī)械手來滿足設(shè)備的進(jìn)料工序的需求，根據(jù)進(jìn)料工序的需要，機(jī)械手組件在工作過程中要將機(jī)械懸臂打開，由于其機(jī)械懸臂很大，機(jī)械手本身的剛性不足，從而使得機(jī)械手抓取負(fù)載時在運(yùn)行過程中出現(xiàn)了不同程度的下沉，造成機(jī)械手運(yùn)行過程不順暢，影響進(jìn)料裝置運(yùn)行的穩(wěn)定性，并且旋轉(zhuǎn)伸縮式進(jìn)料裝置組成零件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造精度要求較高，對裝配精度的要求也比較高，導(dǎo)致進(jìn)料裝置加工、裝配的困難度較大。
[0004]因此，如何提供一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、制作簡單、易于裝配的MOCVD進(jìn)料裝置是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)料裝置運(yùn)行不穩(wěn)定、制作復(fù)雜、難于裝配的問題，提出一種MOCVD進(jìn)料裝置。
[0006]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，涉及一種MOCVD進(jìn)料裝置，包括:支座、與所述支座連接的左右運(yùn)動單元和上下運(yùn)動單元、與支座連接的機(jī)械手組件、以及運(yùn)動控制裝置，其中，所述的左右運(yùn)動單元包括:固定在所述支座正面橫向設(shè)置的兩條左右導(dǎo)軌、與所述左右導(dǎo)軌配合的滑塊，該滑塊與機(jī)械手組件固定連接，所述支座上還設(shè)有帶動滑塊運(yùn)動的橫向同步帶和橫向同步電機(jī)；所述上下運(yùn)動單元包括:縱向固定在所述支座后方的兩個圓柱形上下導(dǎo)軌、套于所述上下導(dǎo)軌上并與所述支座固定連接的四個限位塊、縱向固定設(shè)置在支座后方的兩個絲桿、套于所述絲桿上并與所述支座固定連接的方形螺母，所述絲桿與縱向步進(jìn)電機(jī)連接；運(yùn)動控制裝置包括:控制所述橫向步進(jìn)電機(jī)和所述縱向步進(jìn)電機(jī)開停的控制豐吳塊。
[0007]在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，與滑塊固定連接的連接件、固定于所述連接件正面并與其正面垂直的機(jī)械懸臂、固定于所述機(jī)械懸臂底面的機(jī)械手。
[0008]所述運(yùn)動控制裝置包括:用于檢測機(jī)械手的位置，分別設(shè)于滑塊頂面的直線編碼器，和設(shè)于絲桿上端側(cè)面的直線編碼器。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型采用同步帶組件帶動機(jī)械手組件沿所述左右導(dǎo)軌來回直線運(yùn)動，采用絲桿組件帶動支座與機(jī)械手組件沿所述圓形上下導(dǎo)軌來回直線運(yùn)動，直線型的進(jìn)料方式，可以縮短機(jī)械懸臂的長度，有利于加強(qiáng)機(jī)械懸臂的剛性，減少機(jī)械手抓取負(fù)載時引起的機(jī)械懸臂變形，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，保證了運(yùn)行的可靠性，同步帶組件與絲桿組件的傳動狀態(tài)采用自動控制裝置，確保了機(jī)械手的運(yùn)動精度，且構(gòu)成零件簡單，易于制造和裝配，既降低了制造成本，又提高了生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明，其中:
[0011]圖1為本實(shí)用新型的主視圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型的右視圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型一實(shí)施例提出的一種MOCVD進(jìn)料裝置，包括:支座、與支座連接的左右運(yùn)動單元和上下運(yùn)動單元、與支座I連接的機(jī)械手組件、以及運(yùn)動控制裝置，通過左右運(yùn)動單元和上下運(yùn)動單元直線型傳動，確保了機(jī)械手的運(yùn)動精度，且構(gòu)成零件簡單，易于制造和裝配，機(jī)械手組件包括:與滑塊3固定連接的連接件8、固定于連接件正面并與其正面垂直的機(jī)械懸臂9、固定于所述機(jī)械懸臂底面的機(jī)械手10。
[0015]左右運(yùn)動單元包括:固定在支座I正面橫向設(shè)置的兩條左右導(dǎo)軌2、與左右導(dǎo)軌配合的滑塊3，該滑塊與機(jī)械手組件固定連接，支座I上還設(shè)有帶動機(jī)械手組件運(yùn)動的橫向同步帶4和橫向同步電機(jī),當(dāng)橫向步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行時，同步帶開始轉(zhuǎn)動，由于機(jī)械手組件與同步帶4固定連接，同步帶帶動機(jī)械手組件左右移動，同時，機(jī)械手組件與滑塊3固定連接，機(jī)械手組件移動時被滑塊限制在左右導(dǎo)軌2上做直線運(yùn)動，保證機(jī)械手組件左右運(yùn)動的可靠性，從而實(shí)現(xiàn)機(jī)械手10左右位置的調(diào)節(jié)。
[0016]上下運(yùn)動單元包括:縱向固定在支座I后方的兩個圓柱形上下導(dǎo)軌5，套于圓形上下導(dǎo)軌上并與支座固定連接的四個限位塊6，縱向固定設(shè)置在支座后方的兩個絲桿7，套于絲桿上并與支座I固定連接的方形螺母，絲桿與縱向步進(jìn)電機(jī)連接，當(dāng)縱向步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行時，絲桿開始轉(zhuǎn)動，由于支座I與方形螺母固定連接，方形螺母帶動支座I上下移動，同時，支座I與限位塊6固定連接，支座I移動時被限位塊限制在圓形上下導(dǎo)軌2上做直線運(yùn)動，由于機(jī)械手組件通過兩左右導(dǎo)軌連接在支座I上，機(jī)械手組件隨著支座I做直線運(yùn)動，從而實(shí)現(xiàn)機(jī)械手10上下位置的調(diào)節(jié)。由于絲桿組件和圓形上下導(dǎo)軌能承受較大的負(fù)載，機(jī)械手組件上下運(yùn)動時，傳動組件需帶動整個支座I和機(jī)械手組件，既保證了機(jī)械手組件上下運(yùn)動的平穩(wěn)性，又保證了運(yùn)動的可靠性。
[0017]更優(yōu)化的，橫向、縱向步進(jìn)電機(jī)的工作狀態(tài)由一自動運(yùn)動控制裝置控制，該運(yùn)動控制裝置包括:用于檢測機(jī)械手的位置，分別設(shè)于滑塊3頂面的直線編碼器11，和設(shè)于絲桿7上端側(cè)面的直線編碼器11，還設(shè)有與橫向、縱向步進(jìn)電機(jī)電連接的可編程控制器(簡稱PLO0設(shè)于滑塊3頂面的直線編碼器11用于檢測機(jī)械手橫向位置，設(shè)于絲桿7上端側(cè)面的直線編碼器11用于檢測機(jī)械手縱向位置，PLC根據(jù)工藝路線獲取機(jī)械手左右上下移動指令，PLC將移動指令轉(zhuǎn)換成相關(guān)電信號，分別傳送給橫向、縱向步進(jìn)電機(jī)，步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行后，機(jī)械手10開始做上下左右直線運(yùn)動，直線編碼器11分別對機(jī)械手的橫、縱向位置進(jìn)行檢測，并將位置信息反饋至PLC，PLC將信息與工藝路線指令進(jìn)行對比處理后轉(zhuǎn)換成電信號，再將其傳輸給相關(guān)步進(jìn)電機(jī)，實(shí)現(xiàn)機(jī)械手10運(yùn)動的自動化控制。
[0018]下面詳細(xì)介紹一下具體工作過程，將工藝路線指令輸入PLC，PLC將移動指令轉(zhuǎn)換成相關(guān)電信號，分別傳送給橫向、縱向步進(jìn)電機(jī)，橫向步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行，同步帶4開始轉(zhuǎn)動，同步帶帶動機(jī)械手組件沿左右導(dǎo)軌2做左/右直線運(yùn)動，同時，縱向步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行，絲桿組件開始轉(zhuǎn)動，方形螺母帶動機(jī)械手組件沿圓形上下導(dǎo)軌5做上/下直線運(yùn)動，直線編碼器11對機(jī)械手的橫向、縱向位置進(jìn)行檢測并將信號傳送至PLC，PLC將信號進(jìn)行比對處理后將命令傳送給橫向、縱向步進(jìn)電機(jī)，步進(jìn)電機(jī)再推動相應(yīng)運(yùn)動單元調(diào)整機(jī)械手10位置，在整個工作過程中，直線編碼器11連續(xù)對機(jī)械手10位置進(jìn)行檢測，并將其反應(yīng)給PLC，PLC將信號比對處理后傳送給相應(yīng)步進(jìn)電機(jī)，當(dāng)直線編碼器11檢測到的橫向/縱向機(jī)械手位置與PLC中的對應(yīng)指令相同時，PLC將停止信號傳輸給相應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)，該步進(jìn)電機(jī)停止工作，當(dāng)直線編碼器11檢測到的橫向、縱向機(jī)械手位置與PLC中的指令都相同時，兩步進(jìn)電機(jī)均停止工作，機(jī)械手10到達(dá)指定位置，工作過程結(jié)束。
[0019]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種MOCVD進(jìn)料裝置，其特征在于包括:支座、與所述支座連接的左右運(yùn)動單元和上下運(yùn)動單元、與支座連接的機(jī)械手組件、以及運(yùn)動控制裝置，其中， 所述的左右運(yùn)動單元包括:固定在所述支座正面橫向設(shè)置的兩條左右導(dǎo)軌(2)、與所述左右導(dǎo)軌配合的滑塊(3)，該滑塊與機(jī)械手組件固定連接，所述支座(I)上還設(shè)有帶動滑塊運(yùn)動的橫向同步帶(4)和橫向同步電機(jī)； 所述上下運(yùn)動單元包括:縱向固定在所述支座后方的兩個圓柱形上下導(dǎo)軌(5)、套于所述上下導(dǎo)軌上并與所述支座固定連接的四個限位塊(6)、縱向固定設(shè)置在支座后方的兩個絲桿(7)、套于所述絲桿上并與所述支座固定連接的方形螺母，所述絲桿與縱向步進(jìn)電機(jī)連接； 運(yùn)動控制裝置包括:控制所述橫向步進(jìn)電機(jī)和所述縱向步進(jìn)電機(jī)開停的控制模塊。
2.如權(quán)利要求1所述的一種MOCVD進(jìn)料裝置，其特征在于，所述機(jī)械手組件包括:與滑塊(3)固定連接的連接件(8)、固定于所述連接件正面并與其正面垂直的機(jī)械懸臂(9)、固定于所述機(jī)械懸臂底面的機(jī)械手(10)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種MOCVD進(jìn)料裝置，其特征在于，所述運(yùn)動控制裝置包括:用于檢測機(jī)械手的位置，分別設(shè)于滑塊(3)頂面的直線編碼器(11)，和設(shè)于絲桿(7)上端側(cè)面的直線編碼器(11)。
【文檔編號】B25J9/16GK203411608SQ201320489084
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年8月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月12日
【發(fā)明者】李致文 申請人:深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司