技術(shù)編號(hào)：2344586
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種MOCVD進(jìn)料裝置，包括支座、與所述支座連接的左右運(yùn)動(dòng)單元和上下運(yùn)動(dòng)單元、與支座連接的機(jī)械手組件、以及運(yùn)動(dòng)控制裝置，運(yùn)動(dòng)控制裝置控制左右運(yùn)動(dòng)單元和上下運(yùn)動(dòng)單元的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。本實(shí)用新型采用直線型的進(jìn)料方式，通過左右運(yùn)動(dòng)單元和上下運(yùn)動(dòng)單元直線型傳動(dòng)，可以縮短機(jī)械懸臂的長度，有利于加強(qiáng)機(jī)械懸臂的剛性，減少機(jī)械手抓取負(fù)載時(shí)引起的機(jī)械懸臂變形，確保了機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)精度，且構(gòu)成零件簡單，易于制造和裝配，同時(shí)左右、上下運(yùn)動(dòng)單元通過運(yùn)動(dòng)控制裝置控制，確保了...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。