柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置制造方法
【專利摘要】柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，涉及柔性鉸鏈與氣浮框架相配合用于光學(xué)組件裝夾定位。以使大口徑光學(xué)組件在水平面內(nèi)具有低應(yīng)力應(yīng)變的可靠夾持能力，及氣浮框架與二維大行程采用柔性聯(lián)接以保證光學(xué)元件表面與工作臺(tái)平面的平行度。柔性鉸鏈與晶體框固接，晶體框上固定有連接耳，晶體框內(nèi)固定有定位塊，光學(xué)組件整體放置在晶體框內(nèi)部，并通過定位塊定位；晶體框內(nèi)固定有鎖緊塊，定位螺釘一旋入鎖緊塊內(nèi)，光學(xué)組件預(yù)夾緊固定于定位螺釘一及定位塊之間；壓緊塊與晶體框固接，光學(xué)組件通過壓緊塊豎向壓緊固定；球鉸螺柱與連接耳固接，球鉸螺柱與氣浮墊接觸。本發(fā)明用于光學(xué)元件在微缺陷快速搜尋與修復(fù)過程中的裝夾定位。
【專利說明】柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種柔性鉸鏈與氣浮框架相配合用于光學(xué)組件的裝夾定位。
【背景技術(shù)】
[0002]在超精密加工及強(qiáng)激光打靶過程中，光學(xué)元件表面因飛切加工工藝或受到強(qiáng)激光的沖擊作用，易在光學(xué)元件表面產(chǎn)生微裂紋或燒蝕凹坑等各種形式的微缺陷點(diǎn)，光學(xué)元件表面的微缺陷需要在成形初期盡快去除，否則會(huì)在強(qiáng)激光打靶過程中迅速長(zhǎng)大，從而造成光學(xué)元件破壞以至不能使用，由于光學(xué)元件造價(jià)極其昂貴，因此會(huì)造成極大的浪費(fèi)。目前提出采用微修復(fù)方法來延緩光學(xué)元件的使用性能與使用壽命，并且得到了大量的可行性實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。大口徑光學(xué)兀件表面微缺陷在進(jìn)行精密微修復(fù)時(shí)，首先需要把光學(xué)兀件本身固定在一個(gè)隨行夾具內(nèi)，該隨行夾具以四邊夾持方式對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行固定，隨行夾具的上下兩端面具有多組滾珠軸承、膠釘孔和壓片等結(jié)構(gòu)，安裝有光學(xué)元件的隨行夾具被稱之為光學(xué)組件。
[0003]為了對(duì)光學(xué)元件表面不同部位的微缺陷均進(jìn)行有效修復(fù)，需要把光學(xué)組件水平安裝在一個(gè)可實(shí)現(xiàn)大范圍水平運(yùn)動(dòng)的氣浮框架內(nèi)，并且需要對(duì)該光學(xué)組件進(jìn)行裝夾定位，然后當(dāng)氣浮框架實(shí)現(xiàn)大范圍運(yùn)動(dòng)時(shí)，即可對(duì)光學(xué)元件表面不同部位的微缺陷進(jìn)行精密修復(fù)。
[0004]氣浮框架本身不能在水平面內(nèi)實(shí)現(xiàn)大范圍運(yùn)動(dòng)，它需要在二維大行程聯(lián)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下才能實(shí)現(xiàn)。當(dāng)氣浮框架在二維大行程聯(lián)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下實(shí)現(xiàn)大范圍全行程運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于全行程移動(dòng)過程中需要保證光學(xué)元件表面與工作平臺(tái)表面具有很高的平行度且兩平面距離基本恒定，因而氣浮框架不能直接與二維大行程聯(lián)動(dòng)裝置剛性聯(lián)接，否則，因二維大行程兩移動(dòng)軸本身的制造誤差、裝配誤差及其綜合疊加作用，該誤差會(huì)累積到氣浮框架上，由此造成光學(xué)元件的位置與姿態(tài)不能滿足修復(fù)加工時(shí)的要求。
[0005]針對(duì)上述問題，需要設(shè)計(jì)一種對(duì)光學(xué)組件具有低應(yīng)力應(yīng)變可靠夾持的氣浮框架，并且在氣浮框架與二維大行程聯(lián)動(dòng)裝置之間需要設(shè)計(jì)一種柔性聯(lián)接機(jī)構(gòu)，在使用該柔性聯(lián)接機(jī)構(gòu)后，可使氣浮框架在水平工作臺(tái)表面上有數(shù)微米量級(jí)的變形量，由此嚴(yán)格保證光學(xué)元件表面與工作平臺(tái)表面的平行度，而這正是本發(fā)明的意義所在。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是提供一種柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，以使大口徑光學(xué)組件在水平面內(nèi)具有低應(yīng)力應(yīng)變的可靠夾持能力，以及氣浮框架與二維大行程采用柔性聯(lián)接以保證光學(xué)元件表面與工作臺(tái)平面的平行度。
[0007]本發(fā)明所設(shè)計(jì)的氣浮框架運(yùn)行平穩(wěn)，設(shè)計(jì)出的柔性鉸鏈具有在垂直方向上剛度盡量低(Z向剛度為0.69N/mm)，而在水平方向上剛度盡量大(X向剛度為694.44N/mm, Y向剛度為76.9N/mm)等特點(diǎn)，以此滿足光學(xué)元件表面微缺陷精密修復(fù)的要求。
[0008]本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的，采取的技術(shù)方案如下:
[0009]柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置包括氣浮框架、三個(gè)氣浮墊、三個(gè)球鉸螺柱和兩組柔性鉸鏈，所述氣浮框架包括晶體框、兩個(gè)壓緊塊、兩個(gè)定位螺釘一、兩個(gè)定位螺釘二、兩個(gè)鎖緊塊、兩個(gè)定位塊及五個(gè)連接耳；
[0010]所述晶體框?yàn)樗皆O(shè)置的矩形框，兩組柔性鉸鏈與晶體框的同一任意外側(cè)面固接；晶體框的其余三個(gè)外側(cè)面上固定有五個(gè)連接耳，晶體框的其中兩個(gè)相對(duì)內(nèi)側(cè)面各固定有一個(gè)定位塊，兩個(gè)定位塊上分別設(shè)有一定位面，兩個(gè)定位面設(shè)置在同一豎直面內(nèi)，光學(xué)組件整體放置在晶體框內(nèi)部，并通過所述兩個(gè)定位塊的兩個(gè)定位面定位；晶體框內(nèi)與每個(gè)定位塊的相同側(cè)設(shè)置有一個(gè)鎖緊塊，兩個(gè)鎖緊塊與晶體框固接，兩個(gè)鎖緊塊相對(duì)設(shè)置，鎖緊塊內(nèi)與所述定位面相垂直方向設(shè)有螺孔一，定位螺釘一旋入鎖緊塊的螺孔一內(nèi)，光學(xué)組件預(yù)夾緊固定于兩個(gè)定位螺釘一及兩個(gè)定位塊之間；晶體框內(nèi)位于每個(gè)定位塊的同側(cè)設(shè)置有一個(gè)壓緊塊，壓緊塊與晶體框固接，每個(gè)壓緊塊上沿豎向設(shè)有螺孔二，定位螺釘二旋入螺紋孔二內(nèi)并抵靠在晶體框上，光學(xué)組件通過壓緊塊豎向壓緊固定；三個(gè)球鉸螺柱與五個(gè)連接耳中的任意三個(gè)連接耳固接，每個(gè)球鉸螺柱的球端與相對(duì)應(yīng)的氣浮墊上端面球窩接觸。
[0011]本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的有益效果是:
[0012](I)氣浮框架實(shí)現(xiàn)了可靠裝夾，且結(jié)構(gòu)緊湊、功能完整，氣浮框架工作時(shí)的最大形變量?jī)?yōu)于?ο μ m,滿足光學(xué)元件修復(fù)要求。
[0013](2)氣浮框架采用三個(gè)氣浮墊支撐方式，氣浮墊安裝位置參數(shù)優(yōu)化后的支撐方式為類型I或類型3結(jié)構(gòu)均可，該兩種方式可使氣浮框架Z向形變達(dá)到最小，氣浮墊通氣壓力參數(shù)范圍為0.2-0.4MPa。
[0014](3)柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化后六個(gè)自由度方向的剛度得到合理配置，其扭轉(zhuǎn)剛度遠(yuǎn)小于單個(gè)氣浮墊本身50N/μ m的剛度指標(biāo)，使氣浮框架與直線單元的連接滿足設(shè)計(jì)要求。
[0015](4)該發(fā)明裝置中`氣浮框架與二維大行程聯(lián)動(dòng)部分采用柔性鉸鏈連接方式，可實(shí)現(xiàn)很好的低應(yīng)力應(yīng)變連接，該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可有效保證氣浮框架與花崗巖精密平臺(tái)實(shí)現(xiàn)可靠大范圍運(yùn)動(dòng)。
[0016](5)大口徑光學(xué)組件(尺寸430mmX430mm)在水平面內(nèi)具有低應(yīng)力應(yīng)變的可靠夾持能力，氣浮框架與二維大行程采用柔性聯(lián)接以保證光學(xué)元件表面與工作臺(tái)平面的平行度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是本發(fā)明的柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置主視圖；圖2是圖1的俯視圖；圖3是圖2的左視放大圖；圖4是柔性鉸鏈的俯視圖；圖5是圖4的A-A剖視圖；圖6是柔性鉸鏈立體圖；圖7是鉸鏈座的主視圖；圖8是圖7俯視圖；圖9是圖7的B-B剖視圖；圖10是鉸鏈座的立體圖；圖11是晶體框的主視圖；圖12是圖11的俯視圖；圖13是圖11的左視放大圖；圖14是晶體框的立體圖；圖15是鎖緊塊的主視圖；圖16是圖15的俯視圖；圖17是圖15的左視圖；圖18是鎖緊塊的立體圖；圖19是壓緊塊的主視圖；圖20是圖19的俯視圖；圖21是圖19的左視圖；圖22是壓緊塊的立體圖；圖23是三個(gè)氣浮墊在氣浮框架上可行的四種類型排布形式簡(jiǎn)圖，其中，圖23a是三個(gè)氣浮墊在氣浮框架上按類型I排布形式示意圖，圖23b是三個(gè)氣浮墊在氣浮框架上可行的類型I排布形式示意圖；圖24是圖1的M處局部放大圖；圖25是圖2的N處局部放大圖；圖26是圖3的P處局部放大圖。
[0018]上述圖中涉及到的部件名稱和標(biāo)號(hào)如下:
[0019]晶體框1、光學(xué)組件2、柔性鉸鏈3、鉸鏈座3-1、簧片3-2、六角薄螺母4、內(nèi)六角圓柱頭螺釘5、壓緊塊6、凸臺(tái)6-1、長(zhǎng)槽6-2、定位螺釘二 7、定位螺釘一 8、鎖緊塊9、氣浮墊11、球鉸螺柱13、定位塊15、定位面15-1、連接耳20、二維大行程聯(lián)動(dòng)裝置30。
【具體實(shí)施方式】
[0020]【具體實(shí)施方式】一:結(jié)合圖1-圖22及圖24-圖26說明，本實(shí)施方式的柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置包括氣浮框架、三個(gè)氣浮墊11、三個(gè)球鉸螺柱13和兩組柔性鉸鏈3，所述氣浮框架包括晶體框1、兩個(gè)壓緊塊6、兩個(gè)定位螺釘一8、兩個(gè)定位螺釘二7、兩個(gè)鎖緊塊9、兩個(gè)定位塊15及五個(gè)連接耳20 ；
[0021]所述晶體框I為水平設(shè)置的矩形框(是整個(gè)裝置的主體部分)，兩組柔性鉸鏈3與晶體框I的同一任意外側(cè)面固接(通過螺栓和螺母)；晶體框I的其余三個(gè)外側(cè)面上固定有五個(gè)連接耳20，晶體框I的其中兩個(gè)相對(duì)內(nèi)側(cè)面各固定有一個(gè)定位塊15，兩個(gè)定位塊15上分別設(shè)有一定位面15-1，兩個(gè)定位面15-1設(shè)置在同一豎直面內(nèi)，光學(xué)組件2整體放置在晶體框I內(nèi)部,并通過所述兩個(gè)定位塊15的兩個(gè)定位面15-1定位；晶體框I內(nèi)與每個(gè)定位塊15的相同側(cè)設(shè)置有一個(gè)鎖緊塊9，兩個(gè)鎖緊塊9與晶體框I固接(通過螺釘)，兩個(gè)鎖緊塊9相對(duì)設(shè)置，鎖緊塊9內(nèi)與所述定位面15-1相垂直方向設(shè)有螺孔一，定位螺釘一 8(為內(nèi)六角圓柱頭螺釘)旋入鎖緊塊9的螺孔一內(nèi)，光學(xué)組件2預(yù)夾緊固定于兩個(gè)定位螺釘一 8及兩個(gè)定位塊15之間；晶體框I內(nèi)位于每個(gè)定位塊15的同側(cè)設(shè)置有一個(gè)壓緊塊6，壓緊塊6與晶體框I固接(通過螺釘)，每個(gè)壓緊塊6上沿豎向設(shè)有螺孔二，定位螺釘二 7 (為高頭滾花螺釘)旋入螺紋孔二內(nèi)并抵靠在晶體框I上，光學(xué)組件2通過壓緊塊6豎向壓緊固定；三個(gè)球鉸螺柱13與五個(gè)連接耳20中的任意三個(gè)連接耳20固接(通過螺母)，每個(gè)球鉸螺柱13的球端與相對(duì)應(yīng)的氣浮墊11上端面球窩接觸。所述氣浮框架由硬鋁合金材料(牌號(hào)2024)制成。
[0022]氣浮墊及柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)與優(yōu)化:
[0023]氣浮框架中氣浮墊的排布方式與安裝位置分析
[0024]氣浮框架上需要安裝氣浮墊，由氣浮墊支撐使氣浮框架懸浮于水平工作平臺(tái)上，關(guān)于氣浮墊的數(shù)量及在氣浮框架上的排布位置是很關(guān)鍵的問題。在氣浮墊數(shù)量選取方面，首先考慮三點(diǎn)確定一個(gè)平面原則，每個(gè)氣浮墊與氣浮框架均采用球鉸(球鉸螺柱13)連接，不會(huì)帶入多余的自由度，而且使用三個(gè)氣浮墊的總承載能力滿足要求，故確定氣浮墊數(shù)量為三個(gè)。在氣浮墊位置排布方面，重點(diǎn)考慮不同排布形式導(dǎo)致氣浮框架Z方向的形變。氣浮墊通氣壓力參數(shù)范圍為0.2-0.4MPa。
[0025]首先將三個(gè)氣浮墊11在氣浮框架上可行的排布形式分為四種類型，如圖23所示。
[0026]設(shè)定晶體框I上與固定有兩組柔性鉸鏈3 —側(cè)相對(duì)應(yīng)一側(cè)框用L2表不，晶體框I上與固定有兩組柔性鉸鏈3 —側(cè)相垂直的右側(cè)框用LI表示，晶體框I上與固定有兩組柔性鉸鏈3 —側(cè)相垂直的左側(cè)框?yàn)長(zhǎng)3，用A，B, C表示三個(gè)氣浮墊11支撐點(diǎn)。
[0027]a)三個(gè)氣浮墊11支撐點(diǎn)A，B，C分別位于氣浮框架三個(gè)外側(cè)框的外側(cè)，即支撐點(diǎn)A位于LI外側(cè)，支撐點(diǎn)B位于L2外側(cè)，支撐點(diǎn)C位于L3外側(cè)；稱為類型I ;即【具體實(shí)施方式】二限定的結(jié)構(gòu)，如圖23a所示；
[0028]b)兩個(gè)氣浮墊11的支撐點(diǎn)A，B位于LI外側(cè)，剩余一個(gè)氣浮墊11的支撐點(diǎn)C位于L2外側(cè)；稱為類型2 ;如圖23b所示；
[0029]c)兩個(gè)氣浮墊11的支撐點(diǎn)A，B位于LI外側(cè)，剩余一個(gè)氣浮墊11的支撐點(diǎn)C位于L3外側(cè)；稱為類型3 ;即【具體實(shí)施方式】三限定的結(jié)構(gòu)，如圖23c所示；
[0030]d)兩個(gè)氣浮墊11的支撐點(diǎn)A，B位于L2外側(cè)，剩余一個(gè)氣浮墊11的支撐點(diǎn)C位于L3外側(cè)；稱為類型4，如圖23d所示。
[0031]以上四種情況涵蓋了所有可行的三氣體軸承支承排布形式。
[0032]然后對(duì)氣浮框架進(jìn)行有限元參數(shù)化建模，以獲得三個(gè)氣浮墊支撐點(diǎn)A、B、C的具體位置參數(shù)。其優(yōu)化參數(shù)見表1所示；表1中表示的每類型中，氣浮墊11的支撐點(diǎn)排布形式中最佳方案數(shù)據(jù)。
[0033]表1
[0034]
【權(quán)利要求】
1.一種柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，其特征在于:所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置包括氣浮框架、三個(gè)氣浮墊(11)、三個(gè)球鉸螺柱(13)和兩組柔性鉸鏈(3)，所述氣浮框架包括晶體框(I)、兩個(gè)壓緊塊(6)、兩個(gè)定位螺釘一(8)、兩個(gè)定位螺釘二(7)、兩個(gè)鎖緊塊(9)、兩個(gè)定位塊(15)及五個(gè)連接耳(20)； 所述晶體框(I)為水平設(shè)置的矩形框，兩組柔性鉸鏈(3)與晶體框(I)的同一任意外側(cè)面固接；晶體框(I)的其余三個(gè)外側(cè)面上固定有五個(gè)連接耳(20)，晶體框(I)的其中兩個(gè)相對(duì)內(nèi)側(cè)面各固定有一個(gè)定位塊(15),兩個(gè)定位塊(15)上分別設(shè)有一定位面(15-1),兩個(gè)定位面(15-1)設(shè)置在同一豎直面內(nèi)，光學(xué)組件(2)整體放置在晶體框(I)內(nèi)部，并通過所述兩個(gè)定位塊(15)的兩個(gè)定位面(15-1)定位；晶體框(I)內(nèi)與每個(gè)定位塊(15)的相同側(cè)設(shè)置有一個(gè)鎖緊塊(9 )，兩個(gè)鎖緊塊(9 )與晶體框(I)固接，兩個(gè)鎖緊塊(9 )相對(duì)設(shè)置，鎖緊塊(9 )內(nèi)與所述定位面(15-1)相垂直方向設(shè)有螺孔一，定位螺釘一(8)旋入鎖緊塊(9)的螺孔一內(nèi)，光學(xué)組件(2)預(yù)夾緊固定于兩個(gè)定位螺釘一(8)及兩個(gè)定位塊(15)之間；晶體框(I)內(nèi)位于每個(gè)定位塊(15)的同側(cè)設(shè)置有一個(gè)壓緊塊(6)，壓緊塊(6)與晶體框(I)固接，每個(gè)壓緊塊(6)上沿豎向設(shè)有螺孔二，定位螺釘二(7)旋入螺紋孔二內(nèi)并抵靠在晶體框(I)上，光學(xué)組件(2)通過壓緊塊(6)豎向壓緊固定；三個(gè)球鉸螺柱(13)與五個(gè)連接耳(20)中的任意三個(gè)連接耳(20)固接，每個(gè)球鉸螺柱(13)的球端與相對(duì)應(yīng)的氣浮墊(11)上端面球窩接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，其特征在于:所述五個(gè)連接耳(20)在晶體框(I)的所述其余三個(gè)外側(cè)面上的分布方式如下:晶體框(I)上與固定有兩組柔性鉸鏈(3) —側(cè)相對(duì)應(yīng)側(cè)的外側(cè)面固接有一個(gè)連接耳(20)，晶體框(I)上與固定有兩組柔性鉸鏈(3) —側(cè)相垂直的每個(gè)外側(cè)面固接有兩個(gè)連接耳(20)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所 述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，其特征在于:所述五個(gè)連接耳(20)在晶體框(I)的所述其余三個(gè)外側(cè)面上的分布方式如下:晶體框(I)上與固定有兩組柔性鉸鏈(3) —側(cè)相垂直的兩個(gè)外側(cè)面的其中一外側(cè)面固接有兩個(gè)連接耳(20)，晶體框(I)上與固定有兩組柔性鉸鏈(3) —側(cè)相垂直的兩個(gè)外側(cè)面的另一外側(cè)面固接有一個(gè)連接耳(20)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，其特征在于:所述三個(gè)球鉸螺柱(13)分布方式如下:晶體框(I)上與固定有兩組柔性鉸鏈(3) —側(cè)相對(duì)應(yīng)側(cè)的外側(cè)面固定的連接耳(20)與其中一球鉸螺柱(13)固接；晶體框(I)上與固定有兩組柔性鉸鏈(3) —側(cè)相垂直的每個(gè)外側(cè)面固接的兩個(gè)連接耳(20)中的一個(gè)與余下的兩個(gè)球鉸螺柱(13)中的一個(gè)固接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，其特征在于:所述三個(gè)球鉸螺柱(13)分布方式如下:晶體框(I)上與固定有兩組柔性鉸鏈(3) —側(cè)相垂直的兩個(gè)外側(cè)面的其中一外側(cè)面固接的兩個(gè)連接耳(20)各與一個(gè)球鉸螺柱(13)固接，晶體框(I)上與固定有兩組柔性鉸鏈(3) —側(cè)相垂直的兩個(gè)外側(cè)面的另一外側(cè)面固接的一個(gè)連接耳(20)與余下的一個(gè)球鉸螺柱(13)固接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，其特征在于:每組柔性鉸鏈(3 )包括兩個(gè)鉸鏈座(3-1)和兩個(gè)簧片(3-2 );所述兩個(gè)鉸鏈座(3-1)并列設(shè)置，兩個(gè)鉸鏈座(3-1)之間并列設(shè)置有兩個(gè)簧片(3-2);兩個(gè)鉸鏈座(3-1)與兩個(gè)簧片(3-2 )固接，每組柔性鉸鏈(3 )的其中一個(gè)鉸鏈座(3-1)與晶體框(I)的所述同一任意外側(cè)面固接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，其特征在于:所述氣浮框架由硬鋁合金材料制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性鉸鏈與氣浮框架配合用于光學(xué)組件裝夾定位的裝置，其特征在于:所述壓緊塊(6) 的下端面的一端設(shè)有凸臺(tái)(6-1)，所述光學(xué)組件(2)通過壓緊塊(6)下端面設(shè)有的凸臺(tái)(6-1)豎向壓緊固定，壓緊塊(6)設(shè)有長(zhǎng)槽(6-2)，長(zhǎng)槽(6-2)貫穿壓緊塊(6)的高度方向開設(shè)，內(nèi)六角圓柱頭螺釘(5)穿入壓緊塊(6)的長(zhǎng)槽(6-2)內(nèi)，壓緊塊(6)與晶體框(1)通過內(nèi)六角圓柱頭螺釘(5 )和六角薄螺母(4 )固接。
【文檔編號(hào)】B25B11/00GK103753449SQ201310744695
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2013年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月30日
【發(fā)明者】陳明君, 廖然, 肖勇, 張文明, 蔣琳曦, 左澤軒, 王健 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)