技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及劈裂機技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種全自動晶圓劈裂機，包括晶圓料盒、校正裝置、夾料機械手和加工機架，所述加工機架包括Z向機架、Y向機架和旋轉(zhuǎn)工作臺，所述Z向機架包括Z向運動機構(gòu)、吸盤架和壓板，所述Z向運動機構(gòu)的側(cè)面設(shè)置有光柵尺和光電開關(guān)，所述Z向運動機構(gòu)連接有裂片刀，所述裂片刀上端設(shè)置有擊錘，所述Y向機架設(shè)置有通過伺服電機驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)工作臺，所述旋轉(zhuǎn)工作臺位于Z向機架的下方，所述Y向機架的底部設(shè)置有X向運動機構(gòu)和CCD感應(yīng)器，所述CCD感應(yīng)器滑動設(shè)置于X向運動機構(gòu)。本實用新型能夠?qū)崿F(xiàn)全自動化操作，對晶圓片進行精密加工，滿足不同種類晶圓片的加工需求。

技術(shù)研發(fā)人員：陶雄兵;李貴群
受保護的技術(shù)使用者：鞍山盛雄激光設(shè)備有限公司
文檔號碼：201720098547
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.26
技術(shù)公布日：2017.10.27