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一種可雙排切割的晶片多線切割裝置的制作方法

文檔序號(hào):11612629閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種可雙排切割的晶片多線切割裝置,其特征在于,其包括,左切割羅拉(1)、左中心軸(2)、右切割羅拉(3)、進(jìn)線導(dǎo)輪(4)、出線導(dǎo)輪(5)、切割線(6)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(7)、同步皮帶(8)、右中心軸(9)、工作臺(tái)(10)、左晶棒組(11)、右晶棒組(12)、左晶棒(13)、右晶棒(14);其中,所述左切割羅拉(1)、右切割羅拉(3)相互平行且設(shè)置在同一平面上,所述左切割羅拉(1)中心位置設(shè)置有左中心軸(2),所述右切割羅拉(3)中心位置設(shè)置有右中心軸(9),所述切割線(6)由進(jìn)線導(dǎo)輪(4)導(dǎo)入且由出線導(dǎo)輪(5)導(dǎo)出,所述切割線(6)依次與左切割羅拉(1)、右切割羅拉(3)連接且在左切割羅拉(1)、右切割羅拉(3)上表面形成切割線網(wǎng),所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(7)通過同步皮帶(8)依次與左切割羅拉(1)的左中心軸(2)、右切割羅拉(3)的右中心軸(9)連接,所述工作臺(tái)(10)下部設(shè)置有左晶棒組(11)、右晶棒組(12),所述左晶棒組(11)、右晶棒組(12)相互平行,所述左晶棒組(11)由若干根左晶棒(13)組成,所述右晶棒組(12)由若干根右晶棒(14)組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可雙排切割的晶片多線切割裝置,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(7)為伺服電機(jī),與伺服放大器配合使用。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可雙排切割的晶片多線切割裝置,其特征在于,所述左晶棒(13)、右晶棒(14)與工作臺(tái)(10)連接,在粘棒前,通過晶向測(cè)定儀或偏光鏡確定左晶棒(13)、右晶棒(14)的晶向,使晶向一致后粘棒切割。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種可雙排切割的晶片多線切割裝置,其特征在于,所述左晶棒(13)、右晶棒(14)長度不一致時(shí),前一個(gè)左晶棒(13)的棒尾與后一個(gè)左晶棒(13)的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔,前一個(gè)右晶棒(14)的棒尾與后一個(gè)右晶棒(14)的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種可雙排切割的晶片多線切割裝置,其特征在于,所述左晶棒(13)、右晶棒(14)的棒尾或者棒頭端面不完全平整時(shí),前一個(gè)左晶棒(13)的棒尾與后一個(gè)左晶棒(13)的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔,前一個(gè)右晶棒(14)的棒尾與后一個(gè)右晶棒(14)的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔。

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