本實用新型涉及切割裝置領(lǐng)域，具體為一種可雙排切割的晶片多線切割裝置。

背景技術(shù)：

多線切割是近年來發(fā)展成熟的新型晶片切割技術(shù)，它通過金剛線的快速往復(fù)運動，利用表面的金剛石顆粒進行磨削加工來切割晶片，具有切割效率高、材料損耗小、成本降低、晶片表面質(zhì)量高、可切割大尺寸材料、方便后續(xù)加工等特點。

中國專利庫中公開了一種多頭同步線切割機床(CN201620392808.3)，包括床身、線切割機頭架、縱向絲桿、伺服電機和PLC可編程控制器，床身的頂面設(shè)有縱向?qū)к?，其上至少安裝兩臺線切割機頭架；線切割機頭架的對面設(shè)有垂直于床身頂面的基準(zhǔn)平面，若干根直徑2mm、長度大于2.5m的不銹鋼鋼絲，通過夾具并排壓緊在基準(zhǔn)平面上；每臺線切割機頭架上增設(shè)一組獨立的縱向?qū)к?，并在獨立縱向?qū)к壷g設(shè)置補償絲桿和伺服補償電機；PLC可編程控制器按設(shè)定程序指揮所裝線切割機頭架上的鉬絲，對不銹鋼鋼絲進行多達2000余條等距離槽形的分段同步切割，同時根據(jù)各個線切割機頭架的實際切割誤差，指令各自縱向補償。本實用新型效率高、槽距精度好、累積誤差小。

中國專利庫中公開了一種壓電陶瓷晶片切割機（CN201320393513.4），包括機床架、工作臺、切刀機構(gòu)和控制系統(tǒng)，能上下運動的所述切刀機構(gòu)設(shè)置在工作臺的上方并與機床架上方連接；所述切刀機構(gòu)由伺服電機和夾刀部件組成，所述夾刀部件包括立板、上刀板、下刀板、兩塊夾刀板和刀具，所述上刀板和下刀板之間設(shè)置有四根螺栓桿，四個彈簧套裝于螺栓桿上并位于上刀板和下刀板之間，所述兩塊夾刀板之間夾固所述刀具，所述夾刀板與上刀板相連接，所述下刀板開設(shè)有與刀具對應(yīng)的過刀孔。本實用新型壓電陶瓷晶片切割機既提高加工精度又保護刀具不受傷害，過刀孔也能保護刀具不側(cè)彎，且又高效快速，滿足了定位精確和工作高效快速的要求。

現(xiàn)在的線切割機切割都是單排切割，存在切割效率低、用線量大等不足，需要進行改進。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種可雙排切割的晶片多線切割裝置，設(shè)置一張工作臺對應(yīng)一對切割羅拉，同時改進待切割晶棒在工作臺上的排列方式，將單排排列改為雙排排列，使一對切割羅拉同時切割兩排晶棒，將現(xiàn)有切割機的單排切割工藝改進為雙排切割工藝，提高切割效率。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案

一種可雙排切割的晶片多線切割裝置，其包括，左切割羅拉1、左中心軸2、右切割羅拉3、進線導(dǎo)輪4、出線導(dǎo)輪5、切割線6、驅(qū)動電機7、同步皮帶8、右中心軸9、工作臺10、左晶棒組11、右晶棒組12、左晶棒13、右晶棒14。

所述左切割羅拉1、右切割羅拉3相互平行且設(shè)置在同一平面上，所述左切割羅拉1中心位置設(shè)置有左中心軸2，所述右切割羅拉3中心位置設(shè)置有右中心軸9，所述切割線6由進線導(dǎo)輪4導(dǎo)入且由出線導(dǎo)輪5導(dǎo)出，所述切割線6依次與左切割羅拉1、右切割羅拉3連接且在左切割羅拉1、右切割羅拉3上表面形成切割線網(wǎng)，所述驅(qū)動電機7通過同步皮帶8依次與左切割羅拉1的左中心軸2、右切割羅拉3的右中心軸9連接，所述工作臺10下部設(shè)置有左晶棒組11、右晶棒組12，所述左晶棒組11、右晶棒組12相互平行，所述左晶棒組11由若干根左晶棒13組成，所述右晶棒組12由若干根右晶棒14組成。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動電機7為伺服電機，與伺服放大器配合使用。

優(yōu)選地，所述左晶棒13、右晶棒14與工作臺10連接，在粘棒前，通過晶向測定儀或偏光鏡確定左晶棒13、右晶棒14的晶向，使晶向一致后粘棒切割。

優(yōu)選地，所述左晶棒13、右晶棒14長度不一致時，前一個左晶棒13的棒尾與后一個左晶棒13的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔，前一個右晶棒14的棒尾與后一個右晶棒14的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔。

優(yōu)選地，所述左晶棒13、右晶棒14的棒尾或者棒頭端面不完全平整時，前一個左晶棒13的棒尾與后一個左晶棒13的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔，前一個右晶棒14的棒尾與后一個右晶棒14的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔。

本實用新型的有益效果：本裝置設(shè)計合理，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便；改變帶切割晶片的排列方式，從單排排列改為雙排排列，實現(xiàn)了對晶棒的雙排切割；改進后，單刀出片數(shù)提高一倍，切割效率提高30%以上，單圈切割線的切割出片數(shù)提高20%以上，有效地降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的部分結(jié)構(gòu)示意圖。

圖1、圖2中，1-左切割羅拉、2-左中心軸、3-右切割羅拉、4-進線導(dǎo)輪、5-出線導(dǎo)輪、6-切割線、7-驅(qū)動電機、8-同步皮帶、9-右中心軸、10-工作臺、11-左晶棒組、12-右晶棒組、13-左晶棒、14-右晶棒。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型做進一步詳細說明

如圖1所示，所述左切割羅拉1、右切割羅拉3相互平行且設(shè)置在同一平面上，所述左切割羅拉1中心位置設(shè)置有左中心軸2，所述右切割羅拉3中心位置設(shè)置有右中心軸9，所述切割線6由進線導(dǎo)輪4導(dǎo)入且由出線導(dǎo)輪5導(dǎo)出，所述切割線6依次與左切割羅拉1、右切割羅拉3連接且在左切割羅拉1、右切割羅拉3上表面形成切割線網(wǎng)，所述驅(qū)動電機7通過同步皮帶8依次與左切割羅拉1的左中心軸2、右切割羅拉3的右中心軸9連接，所述工作臺10下部設(shè)置有左晶棒組11、右晶棒組12，所述左晶棒組11、右晶棒組12相互平行，所述左晶棒組11由若干根左晶棒13組成，所述右晶棒組12由若干根右晶棒14組成。

如圖2所示，所述左晶棒組11由若干根左晶棒13組成，所述右晶棒組12由若干根右晶棒14組成。

切割線6在左切割羅拉1、左中心軸2、右切割羅拉3的上表面形成了兩張切割線網(wǎng)，實現(xiàn)了雙排切割；改進后，單刀出片數(shù)提高一倍，切割效率提高30%以上，單圈切割線的切割出片數(shù)提高20%以上，有效地降低了生產(chǎn)成本。

在粘棒前，通過晶向測定儀或偏光鏡確定左晶棒13、右晶棒14的晶向，使晶向一致后粘棒切割。

當(dāng)左晶棒13、右晶棒14長度不一致或者棒尾或者棒頭端面不完全平整時，前一個左晶棒13的棒尾與后一個左晶棒13的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔，前一個右晶棒14的棒尾與后一個右晶棒14的棒頭之間設(shè)置有1-2mm的間隔，以防止切割時卡線或者較大的顆粒碎片帶到并排晶棒造成斷線。

最后說明的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案而非限制，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實用新型的技術(shù)方案所做的其他修改或者等同替換，只要不脫離本實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。