技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機(jī)。當(dāng)前,企業(yè)在對(duì)硅片進(jìn)行倒角時(shí)由于摩擦產(chǎn)生大量的熱,使硅片溫度升高,當(dāng)溫度超過(guò)臨界值時(shí)會(huì)導(dǎo)致硅片變形與組織變性,降低硅片的力學(xué)性能,存在不足。本實(shí)用新型涉及一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機(jī),其中:機(jī)體與第一電機(jī)固定連接,第一電機(jī)與蝸桿同軸連接,蝸桿與蝸輪嚙合連接,蝸輪通過(guò)傳動(dòng)軸與固定塊固定連接,第二電機(jī)與主動(dòng)帶輪同軸連接,主動(dòng)帶輪通過(guò)傳動(dòng)帶與從動(dòng)帶輪連接,從動(dòng)帶輪與倒角刀固定連接,冷卻液箱與管道連通。本裝置采用對(duì)硅片進(jìn)行冷卻的方式,避免硅片受熱變形,提高硅片的質(zhì)量。
技術(shù)研發(fā)人員:支秉旭
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江西大杰新能源技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼:201620669583
技術(shù)研發(fā)日:2016.06.30
技術(shù)公布日:2017.01.25