技術(shù)編號：12754148
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及硅片倒角設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機(jī)。背景技術(shù)當(dāng)前，企業(yè)在對硅片進(jìn)行倒角時由于摩擦產(chǎn)生大量的熱，使硅片溫度升高，當(dāng)溫度超過臨界值時會導(dǎo)致硅片變形與組織變性，降低硅片的力學(xué)性能，存在不足。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機(jī)，為克服上述的不足，采用對硅片進(jìn)行冷卻的方式，避免硅片受熱變形，提高硅片的質(zhì)量。本實用新型的技術(shù)方案：一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機(jī)，包括機(jī)體、第一電機(jī)、蝸桿、蝸輪、傳動軸、固定塊、第二電機(jī)、主動帶輪、冷卻液箱、...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。