本實用新型涉及硅片倒角設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機。

背景技術(shù)：

當前，企業(yè)在對硅片進行倒角時由于摩擦產(chǎn)生大量的熱，使硅片溫度升高，當溫度超過臨界值時會導致硅片變形與組織變性，降低硅片的力學性能，存在不足。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機，為克服上述的不足，采用對硅片進行冷卻的方式，避免硅片受熱變形，提高硅片的質(zhì)量。

本實用新型的技術(shù)方案：

一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機，包括機體、第一電機、蝸桿、蝸輪、傳動軸、固定塊、第二電機、主動帶輪、冷卻液箱、管道、傳動帶、從動帶輪、倒角刀；其中：機體與第一電機固定連接，第一電機與蝸桿同軸連接，蝸桿與蝸輪嚙合連接，蝸輪通過傳動軸與固定塊固定連接，第二電機與主動帶輪同軸連接，主動帶輪通過傳動帶與從動帶輪連接，從動帶輪與倒角刀固定連接，冷卻液箱與管道連通。

一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機，其中：倒角刀內(nèi)部設(shè)有導流管。

本實用新型的優(yōu)點在于：本裝置采用對硅片進行冷卻的方式，避免硅片受熱變形，提高硅片的質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意簡圖。

附圖標記：機體1、第一電機2、蝸桿3、蝸輪4、傳動軸5、固定塊6、第二電機7、主動帶輪8、冷卻液箱9、管道10、傳動帶11、從動帶輪12、倒角刀13、導流管14。

具體實施方式

實施例1、一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機，包括機體1、第一電機2、蝸桿3、蝸輪4、傳動軸5、固定塊6、第二電機7、主動帶輪8、冷卻液箱9、管道10、傳動帶11、從動帶輪12、倒角刀13；其中：機體1與第一電機2固定連接，第一電機2與蝸桿3同軸連接，蝸桿3與蝸輪4嚙合連接，蝸輪4通過傳動軸5與固定塊6固定連接，第二電機7與主動帶輪8同軸連接，主動帶輪8通過傳動帶11與從動帶輪12連接，從動帶輪12與倒角刀13固定連接，冷卻液箱9與管道10連通。

實施例2、一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機，其中：倒角刀13內(nèi)部設(shè)有導流管14，通過冷卻液對硅片進行冷卻，避免硅片受熱變形，提高硅片的質(zhì)量。其余同實施例1。

工作原理：

將待加工的硅片放置于固定塊6之上并固定，啟動第一電機2，第一電機2帶動蝸桿3旋轉(zhuǎn)，蝸桿3帶動蝸輪4旋轉(zhuǎn)，蝸輪4通過傳動軸5帶動固定塊6旋轉(zhuǎn)，第二電機7帶動主動帶輪8旋轉(zhuǎn)，主動帶輪8通過傳動帶11帶動從動帶輪12旋轉(zhuǎn)，從動帶輪12帶動倒角刀13旋轉(zhuǎn)，進而對硅片進行倒角加工，同時，冷卻液由冷卻液箱9中流出，經(jīng)過管道10與導流管14流向硅片表面，對硅片倒角部位進行冷卻，降低溫度，防止硅片由于溫度過高導致力學性能與內(nèi)部組織轉(zhuǎn)變，動作結(jié)束。