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一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機(jī)的制作方法

文檔序號(hào):12754148閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機(jī),包括機(jī)體(1)、第一電機(jī)(2)、蝸桿(3)、蝸輪(4)、傳動(dòng)軸(5)、固定塊(6)、第二電機(jī)(7)、主動(dòng)帶輪(8)、冷卻液箱(9)、管道(10)、傳動(dòng)帶(11)、從動(dòng)帶輪(12)、倒角刀(13);其特征在于:機(jī)體(1)與第一電機(jī)(2)固定連接,第一電機(jī)(2)與蝸桿(3)同軸連接,蝸桿(3)與蝸輪(4)嚙合連接,蝸輪(4)通過(guò)傳動(dòng)軸(5)與固定塊(6)固定連接,第二電機(jī)(7)與主動(dòng)帶輪(8)同軸連接,主動(dòng)帶輪(8)通過(guò)傳動(dòng)帶(11)與從動(dòng)帶輪(12)連接,從動(dòng)帶輪(12)與倒角刀(13)固定連接,冷卻液箱(9)與管道(10)連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止硅片受熱變形的硅片倒角機(jī),其特征在于:倒角刀(13)內(nèi)部設(shè)有導(dǎo)流管(14)。

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