本發(fā)明涉及晶片加工領(lǐng)域，尤其涉及一種多線切割設(shè)備排線自適應(yīng)裝置。

背景技術(shù)：

目前，多線切割技術(shù)是世界上比較先進的晶片切割技術(shù)，其原理是通過高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對晶片等硬脆材料進行摩擦，從而達到切割效果，多線切割技術(shù)工作效率高，一次進刀可切割多片，在切割過程中，儲線輪高速旋轉(zhuǎn)實現(xiàn)收放線，與儲線輪相連的導(dǎo)輪由排線機構(gòu)帶動在儲線輪前后擋邊之間往復(fù)移動，實現(xiàn)均勻排線。

最初，多線切割技術(shù)使用裸線加砂漿進行切割，儲線輪和與其相連的導(dǎo)輪繞線平面平行，導(dǎo)輪數(shù)量較多。隨著技術(shù)的發(fā)展，目前的多線切割設(shè)備為了具備更快的切割速度和更小的污染，多用鍍結(jié)金剛線進行切割，采用金剛線進行切割時，切割導(dǎo)輪數(shù)量較少，儲線輪和與其相連導(dǎo)輪的繞線平面采用近似垂直布置。

目前的多線切割主要存在的以下兩個不足之處：

1、在繞線過程中，由于儲線輪的直徑會發(fā)生周期變化，由儲線輪引出的切割線與導(dǎo)輪槽之間的角度難以維持在相切的最佳狀態(tài)，而當切割線與導(dǎo)輪槽不再相切時，切割線容易對導(dǎo)輪槽產(chǎn)生其他方向的分力，而使得導(dǎo)輪槽磨損；

2、在繞線過程中，切割線和儲線輪的繞線平面容易發(fā)生前后偏差，容易影響正常的切割過程。

故，為保證切割質(zhì)量，亟需一種結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好的多線切割設(shè)備排線裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于：針對上述不足之處，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好的多線切割設(shè)備排線自適應(yīng)裝置。

為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供了以下技術(shù)方案：

一種多線切割設(shè)備排線自適應(yīng)裝置，包括支座和導(dǎo)輪，所述導(dǎo)輪上設(shè)置有導(dǎo)輪槽，所述導(dǎo)輪槽連接有切割線，所述切割線儲存于儲線輪上，還包括卷徑適應(yīng)座，所述導(dǎo)輪設(shè)置于卷徑適應(yīng)座上，所述卷徑適應(yīng)座可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于支座上，所述卷徑適應(yīng)座能夠通過其相對于支座的旋轉(zhuǎn)運動、改變導(dǎo)輪和儲線輪的相對位置。

優(yōu)選的，還包括前后適應(yīng)機構(gòu)，所述前后適應(yīng)機構(gòu)包括探測模塊和控制模塊，所述探測模塊用以檢測切割線和儲線輪的繞線平面之間的位置偏差、并向控制模塊發(fā)送控制指令，所述控制模塊能夠在收到探測模塊的控制指令以后作出控制動作，使得所述切割線與儲線輪的繞線平面恢復(fù)至平行的位置。

優(yōu)選的，所述探測模塊包括兩個接觸滑輪和感應(yīng)傳感器，所述導(dǎo)輪的出線口設(shè)置于相鄰兩個接觸滑輪之間，所述感應(yīng)傳感器用以檢測接觸滑輪的轉(zhuǎn)動動作信號，當切割線與接觸滑輪接觸并驅(qū)使接觸滑輪轉(zhuǎn)動時，所述探測模塊向控制模塊發(fā)送所述控制指令。

優(yōu)選的，所述前后適應(yīng)機構(gòu)包括前后適應(yīng)架，所述前后適應(yīng)架固定在支座的左端，所述前后適應(yīng)架的前端設(shè)置有前后適應(yīng)座，所述前后適應(yīng)座上通過軸承連接有兩根前后適應(yīng)軸，所述軸承的外圈連接有前后適應(yīng)壓板，所述前后適應(yīng)壓板將所述軸承固定在前后適應(yīng)座上，所述前后適應(yīng)軸的頂端通過螺母連接有擋片，所述前后適應(yīng)軸的下端安裝有接觸滑輪，兩個感應(yīng)傳感器固定在前后適應(yīng)座的右端。

優(yōu)選的，當所述切割線對所述導(dǎo)輪施加徑向的分力時，所述導(dǎo)輪驅(qū)動所述卷徑適應(yīng)座產(chǎn)生其相對于支座的旋轉(zhuǎn)運動。采用這樣的結(jié)構(gòu)，借助上述切割線作用于導(dǎo)輪上的徑向分力驅(qū)動卷徑適應(yīng)座產(chǎn)生轉(zhuǎn)動，這樣使得切割線與導(dǎo)輪槽不再相切時，導(dǎo)輪自適應(yīng)地推動卷徑適應(yīng)座進行位移調(diào)節(jié)，直至切割線與導(dǎo)輪槽相切之后該驅(qū)動力自動消失，其具有較好的自適應(yīng)調(diào)節(jié)能力。

優(yōu)選的，所述卷徑適應(yīng)座呈杠桿結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)輪設(shè)置于卷徑適應(yīng)座的一端，所述卷徑適應(yīng)座的另一端設(shè)置有配重機構(gòu)。

優(yōu)選的，所述配重機構(gòu)包括配重座，所述配重座安裝在卷徑適應(yīng)座的右端，所述配重座的上方設(shè)置有配重滑板，所述配重滑板上設(shè)置有螺紋孔，所述配重滑板通過所述螺紋孔與固定桿連接，所述配重體通過螺母固定于所述固定桿上。

優(yōu)選的，所述配重滑板上設(shè)置有沿橫向延伸的長槽孔，所述配重滑板通過所述長槽孔與配重座連接。采用這樣的結(jié)構(gòu)，配重滑板可以按需左右滑動，調(diào)整和配重座的固定位置，使導(dǎo)輪部分和配重部分在限位范圍內(nèi)任意位置相互平衡。

優(yōu)選的，所述支座上設(shè)置有安裝孔，所述安裝孔內(nèi)設(shè)置有卷徑適應(yīng)軸，所述卷徑適應(yīng)座通過兩個軸承支撐安裝在卷徑適應(yīng)軸上。

優(yōu)選的，所述卷徑適應(yīng)座與支座之間設(shè)置有限位結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述限位結(jié)構(gòu)包括限位柱和限位缺口，所述限位缺口位于卷徑適應(yīng)座上，所述限位柱設(shè)置于卷徑限位座上，所述卷徑限位座通過固定于支座的上部，所述限位柱的上端延伸至限位缺口內(nèi)。

由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明的有益效果是：

首先，借助卷徑適應(yīng)座相對于支座的旋轉(zhuǎn)運動、調(diào)整導(dǎo)輪和儲線輪的相對位置和角度，以使得切割線與導(dǎo)輪上的導(dǎo)輪槽保持相切，避免切割線因其他方向的分力對導(dǎo)輪或?qū)л啿墼斐赡p的問題，提升了使用壽命，并使得整體結(jié)構(gòu)更加安全可靠。

更進一步，為了避免繞線過程中切割線和儲線輪的繞線平面發(fā)生的前后偏差，當切割線發(fā)生傾斜時，切割線與接觸滑輪接觸，接觸滑輪發(fā)生旋轉(zhuǎn)，帶動擋片相應(yīng)旋轉(zhuǎn)，感應(yīng)傳感器產(chǎn)生感應(yīng)信號傳導(dǎo)到設(shè)備控制器，控制器相應(yīng)的調(diào)整排線速度，使切割線與儲線輪的繞線平面平行。

附圖說明

圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)主圖；

圖2是本發(fā)明結(jié)構(gòu)仰視圖；

圖3是圖1通過前后適應(yīng)座中心的剖視圖；

圖4是卷徑限位座和限位柱部分的局部放大圖；

圖5是本發(fā)明與線輪位置關(guān)系示意圖；

圖中標記：1.支座；2. 卷徑適應(yīng)軸；3. 卷徑適應(yīng)座；4. 導(dǎo)輪座；5.導(dǎo)輪部分；6. 配重座；7. 配重滑板；8. 固定桿；9. 配重體；10. 前后適應(yīng)架；11. 前后適應(yīng)座；12. 前后適應(yīng)軸；13. 前后適應(yīng)壓板；14. 軸承螺帽；15. 擋片；16. 接觸滑輪；18. 卷徑限位座；19. 限位柱；20.切割線。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明作詳細的說明。

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

如圖1至圖5所示，本實施例多線切割設(shè)備排線自適應(yīng)裝置，包括支座1和導(dǎo)輪，該導(dǎo)輪設(shè)置于導(dǎo)輪座4上，導(dǎo)輪上設(shè)置有導(dǎo)輪槽，導(dǎo)輪槽連接有切割線20，切割線20儲存于儲線輪上，還包括卷徑適應(yīng)座3，導(dǎo)輪設(shè)置于卷徑適應(yīng)座3上，卷徑適應(yīng)座3可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于支座1上，卷徑適應(yīng)座3能夠通過其相對于支座1的旋轉(zhuǎn)運動、改變導(dǎo)輪和儲線輪的相對位置，其中，當切割線20對導(dǎo)輪施加徑向的分力時，導(dǎo)輪驅(qū)動卷徑適應(yīng)座3產(chǎn)生其相對于支座1的旋轉(zhuǎn)運動，本發(fā)明正是通過上述結(jié)構(gòu)，借助卷徑適應(yīng)座3相對于支座1的旋轉(zhuǎn)運動、調(diào)整導(dǎo)輪和儲線輪的相對位置和角度，以使得切割線20與導(dǎo)輪上的導(dǎo)輪槽保持相切，避免切割線20因其他方向的分力對導(dǎo)輪或?qū)л啿墼斐赡p的問題，提升了使用壽命，并使得整體結(jié)構(gòu)更加安全可靠，并且，借助上述切割線20作用于導(dǎo)輪上的徑向分力驅(qū)動卷徑適應(yīng)座3產(chǎn)生轉(zhuǎn)動，這樣使得切割線20與導(dǎo)輪槽不再相切時，導(dǎo)輪自適應(yīng)地推動卷徑適應(yīng)座3進行位移調(diào)節(jié)，直至切割線20與導(dǎo)輪槽相切之后該驅(qū)動力自動消失，其具有較好的自適應(yīng)調(diào)節(jié)能力。

本實施例中，卷徑適應(yīng)座3與支座1之間的可轉(zhuǎn)動的連接方式如下：支座1上設(shè)置有安裝孔，安裝孔內(nèi)設(shè)置有卷徑適應(yīng)軸2，卷徑適應(yīng)座3通過兩個軸承支撐安裝在卷徑適應(yīng)軸2上，卷徑適應(yīng)軸2的設(shè)置方向，根據(jù)支座1固定以后的具體位置和姿態(tài)進行按需設(shè)置，也可以通過支座1的固定位置和姿態(tài)的適應(yīng)性調(diào)整、來使得卷徑適應(yīng)軸2及其連接的卷徑適應(yīng)座3的旋轉(zhuǎn)方向滿足實際需求，在此就不再贅述，另外，卷徑適應(yīng)座3與支座1之間亦可采用其他常規(guī)的可轉(zhuǎn)動的連接方式。

需要說明的是，本實施例的卷徑適應(yīng)座3，可以按需設(shè)置成各種結(jié)構(gòu)，例如長條形、長方體塊狀、弓字型等結(jié)構(gòu)，只要在布置以后整體呈杠桿結(jié)構(gòu)即可，從結(jié)構(gòu)上看，導(dǎo)輪設(shè)置于卷徑適應(yīng)座3的一端，卷徑適應(yīng)座3的另一端設(shè)置有配重機構(gòu)。

作為優(yōu)選方案，本實施例中的卷徑適應(yīng)座3與支座1之間設(shè)置有限位結(jié)構(gòu)，具體的，限位結(jié)構(gòu)包括限位柱19和限位缺口，限位缺口位于卷徑適應(yīng)座3上，限位柱19設(shè)置于卷徑限位座18上，卷徑限位座18通過固定于支座1的上部，限位柱19的上端延伸至限位缺口內(nèi)，在實際制造過程中，可以根據(jù)實際的行程范圍需求設(shè)置限位缺口的大小以及兩個極限位置之間的間距范圍，卷徑適應(yīng)座3在旋轉(zhuǎn)過程中，兩個限位柱19充當左右硬限位，防止卷徑適應(yīng)座3過度旋轉(zhuǎn)。

作為優(yōu)選方案，本實施例在前述杠桿機構(gòu)的一端設(shè)置卷徑適應(yīng)座3，而另一端設(shè)置配重機構(gòu)，該配重機構(gòu)包括配重座6，配重座6安裝在卷徑適應(yīng)座3的右端，配重座6的上方設(shè)置有配重滑板7，配重滑板7上設(shè)置有螺紋孔，配重滑板7通過螺紋孔與固定桿8連接，配重體9通過螺母固定于固定桿8上，配重滑板7上設(shè)置有沿橫向延伸的長槽孔，配重滑板7通過長槽孔與配重座6連接。采用這樣的結(jié)構(gòu)，配重滑板7可以按需左右滑動，調(diào)整和配重座6的固定位置，使導(dǎo)輪部分5和配重部分在限位范圍內(nèi)任意位置相互平衡。

作為優(yōu)選方案，還包括用以檢測切割線20和儲線輪的繞線平面之間相對位置的前后適應(yīng)機構(gòu)，前后適應(yīng)機構(gòu)包括用以檢測切割線20和儲線輪的繞線平面之間的前后位置偏差的感應(yīng)傳感器，感應(yīng)傳感器與設(shè)備控制器連接，設(shè)備控制器能夠調(diào)整排線速度以使得切割線20與儲線輪的繞線平面恢復(fù)至平行的位置，當感應(yīng)傳感器檢測到切割線20和儲線輪的繞線平面之間的前后位置出現(xiàn)偏差的時候，通過感應(yīng)傳感器將信號反饋給設(shè)備控制器，并通過調(diào)整排線速度的方式使得切割線20與儲線輪的繞線平面恢復(fù)至平行的位置。

1.支座；2. 卷徑適應(yīng)軸；3. 卷徑適應(yīng)座；4. 導(dǎo)輪座；5.導(dǎo)輪；6. 配重座；7. 配重滑板；8. 固定桿；9. 配重體；10. 前后適應(yīng)架；11. 前后適應(yīng)座；12. 前后適應(yīng)軸；13. 前后適應(yīng)壓板；14. 軸承螺帽；15. 擋片；16. 接觸滑輪；18. 卷徑限位座；19. 限位柱；20.切割線

具體的，本實施例還包括前后適應(yīng)機構(gòu)，前后適應(yīng)機構(gòu)包括探測模塊和控制模塊，探測模塊用以檢測切割線20和儲線輪的繞線平面之間的位置偏差、并向控制模塊發(fā)送控制指令，控制模塊能夠在收到探測模塊的控制指令以后作出控制動作，使得切割線20與儲線輪的繞線平面恢復(fù)至平行的位置，探測模塊包括兩個接觸滑輪16和感應(yīng)傳感器，導(dǎo)輪的出線口設(shè)置于相鄰兩個接觸滑輪16之間，所述感應(yīng)傳感器用以檢測接觸滑輪16的轉(zhuǎn)動動作信號，當切割線20與接觸滑輪16接觸并驅(qū)使接觸滑輪轉(zhuǎn)動時，所述探測模塊向控制模塊發(fā)送所述控制指令，具體的，前后適應(yīng)機構(gòu)包括前后適應(yīng)架10，前后適應(yīng)架10固定在支座1的左端，前后適應(yīng)架10的前端設(shè)置有前后適應(yīng)座11，前后適應(yīng)座11上通過軸承連接有兩根前后適應(yīng)軸12，軸承的外圈連接有前后適應(yīng)壓板13，軸承螺帽14通過前后適應(yīng)軸上的螺紋壓緊軸承內(nèi)圈，前后適應(yīng)壓板13將軸承固定在前后適應(yīng)座11上，前后適應(yīng)軸12的頂端通過螺母連接有擋片15，前后適應(yīng)軸12的下端安裝有接觸滑輪16，兩個感應(yīng)傳感器固定在前后適應(yīng)座11的右端，導(dǎo)輪的導(dǎo)輪出線口設(shè)置在兩個接觸滑輪16中間，采用這樣的結(jié)構(gòu)，當切割線20發(fā)生傾斜時，切割線20與接觸滑輪16接觸，接觸滑輪16發(fā)生旋轉(zhuǎn)，帶動擋片15相應(yīng)旋轉(zhuǎn)，感應(yīng)傳感器產(chǎn)生感應(yīng)信號傳導(dǎo)到設(shè)備控制器，控制器相應(yīng)的調(diào)整排線速度，使切割線20與儲線輪的繞線平面平行。

上述多線切割機排線自適應(yīng)裝置的使用方法，包括以下步驟：

S1，切割線20在導(dǎo)輪和儲線輪之間傳動，同時與導(dǎo)輪槽和儲線輪圓柱面相切。當儲線輪的直徑發(fā)生變化時，切割線20與導(dǎo)輪槽不再相切，切割線20對導(dǎo)輪產(chǎn)生的作用力沿導(dǎo)輪槽切向產(chǎn)生分力，帶動卷徑適應(yīng)座3旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)輪部分5沿卷徑適應(yīng)軸2旋轉(zhuǎn)，直至切割線20與導(dǎo)輪槽相切。卷徑適應(yīng)座3在旋轉(zhuǎn)過程中，兩個限位柱19充當左右硬限位，防止卷徑適應(yīng)座3過度旋轉(zhuǎn)。這樣可保證絕大部分時間內(nèi)，切割線20與導(dǎo)輪槽相切，減少切割線20對導(dǎo)輪槽的磨損，延長導(dǎo)輪壽命。

S2，繞線過程中切割線20和儲線輪的繞線平面應(yīng)該平行，但由于各種原因，會發(fā)生前后偏差，當切割線20發(fā)生傾斜時，切割線20與接觸滑輪16接觸，接觸滑輪16發(fā)生旋轉(zhuǎn)，帶動擋片15相應(yīng)旋轉(zhuǎn)，感應(yīng)傳感器產(chǎn)生感應(yīng)信號傳導(dǎo)到設(shè)備控制器，控制器相應(yīng)的調(diào)整排線速度，使切割線20與儲線輪的繞線平面平行。

本發(fā)明提供的一種排線自適應(yīng)裝置應(yīng)用于晶片多線切割技術(shù)領(lǐng)域，其結(jié)構(gòu)合理，利用杠桿機構(gòu)調(diào)整與儲線輪相連的導(dǎo)輪的相對角度，利用傳感器檢測切割線20的前后偏差，運行可靠，可有效的提高設(shè)備的穩(wěn)定性。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。