本發(fā)明涉及硅材料加工技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種單金硅硅體的切割工藝。
背景技術(shù):
硅材料,是重要的半導(dǎo)體材料,化學(xué)元素符號(hào)Si,電子工業(yè)上使用的硅應(yīng)具有高純度和優(yōu)良的電學(xué)和機(jī)械等性能,硅是產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣的半導(dǎo)體材料,它的產(chǎn)量和用量標(biāo)志著一個(gè)國家的電子工業(yè)水平,單晶硅在太陽能電池中的應(yīng)用,高純的單晶硅是重要的半導(dǎo)體材料。在光伏技術(shù)和微小型半導(dǎo)體逆變器技術(shù)飛速發(fā)展的今天,利用硅單晶所生產(chǎn)的太陽能電池可以直接把太陽能轉(zhuǎn)化為光能,實(shí)現(xiàn)了邁向綠色能源革命的開始。
硅片是硅材料存在的一種物理形式,在正常的應(yīng)用中,硅片,是制作集成電路的重要材料,通過對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運(yùn)算能力,科學(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動(dòng)著半導(dǎo)體的發(fā)展,自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)等技術(shù)發(fā)展,使硅片這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價(jià)已降到十分低廉的程度,然而硅片在加工時(shí),不同的工藝節(jié)點(diǎn)都會(huì)使得硅片加工出現(xiàn)瑕疵。
硅片一般都是通過相應(yīng)的硅碇進(jìn)行切片而成,由于在切割時(shí),在各工藝步驟中,均會(huì)存在一定的技術(shù)問題,因此,必須進(jìn)行整體的技術(shù)規(guī)劃,保證每一步驟的精細(xì)合理,但是目前而言,并沒有類似此種一體的工藝。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
:
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種操作簡(jiǎn)單,切割精密,效果明顯的單金硅硅體的切割工藝。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
一種單金硅硅體的切割工藝,其特征在于,包括以下步驟:
1)取棒:直接進(jìn)入取棒室內(nèi)進(jìn)行選取硅棒,硅棒必須保證無缺損,無明顯劃痕,并且搬棒時(shí),需保證碰撞,且棒與棒之間相互不進(jìn)行摩擦;
2)上料臺(tái):將上述處理好的料棒進(jìn)行擦拭,擦拭時(shí),采用干布配合乙醇進(jìn)行擦拭料棒,并且將料臺(tái)也進(jìn)行相應(yīng)的擦拭,然后將料棒輕輕的固定在料臺(tái)上對(duì)齊后,將螺絲放入螺絲孔后擰緊即可;
3)下料棒:采用下料車將上述固定在料臺(tái)上的料棒整體下料,在進(jìn)行下料時(shí),必須保證輕拿輕放,避免碰撞;
4)清理清洗:采用清水將料棒進(jìn)行一次初步?jīng)_洗后,清除其中,遺留的殘片,碎膠,然再使用酒精沖洗一次,然后再使用清水沖洗1-2h后,即可:
5)排線:檢查主滾上是否有空槽,做好空槽修補(bǔ),然后再將排線膠將跳線排除;
6)更換砂漿:將機(jī)器內(nèi)砂漿缸內(nèi)砂漿清理干凈,然后將砂漿注入其中,注入量為180-220kg;
7)切割前處理:將工件夾、濾具、夾具、滑輪和料臺(tái)進(jìn)行檢查,然后在開機(jī)熱機(jī)5-10min后,檢查是否工作平穩(wěn);
8)切割:開啟機(jī)器進(jìn)行實(shí)際切割,切割時(shí),保證機(jī)器衛(wèi)生,不定時(shí)采用擦拭布對(duì)其表面進(jìn)行擦拭,在擦拭時(shí),避免誤碰機(jī)器按鍵,切割后期,采用手電筒照料棒側(cè)面,檢測(cè)是否通透;切割完成后,進(jìn)行抬料;
9)切割后處理:將上述切割后的料棒抬下,然后進(jìn)行分離,去膠后,清洗包裝即可。
本發(fā)明的有益效果為:本發(fā)明工藝流程簡(jiǎn)單,精密無誤,通過相對(duì)一體化的方式進(jìn)行切割處理,保證硅棒切割后的平滑性能,安全性能,減小了切割失誤造成的材料浪費(fèi),效果顯著,便于推廣及使用。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解,下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明。
實(shí)施例1
一種單金硅硅體的切割工藝,包括以下步驟:
1)取棒:直接進(jìn)入取棒室內(nèi)進(jìn)行選取硅棒,硅棒必須保證無缺損,無明顯劃痕,并且搬棒時(shí),需保證碰撞,且棒與棒之間相互不進(jìn)行摩擦;
2)上料臺(tái):將上述處理好的料棒進(jìn)行擦拭,擦拭時(shí),采用干布配合乙醇進(jìn)行擦拭料棒,并且將料臺(tái)也進(jìn)行相應(yīng)的擦拭,然后將料棒輕輕的固定在料臺(tái)上對(duì)齊后,將螺絲放入螺絲孔后擰緊即可;
3)下料棒:采用下料車將上述固定在料臺(tái)上的料棒整體下料,在進(jìn)行下料時(shí),必須保證輕拿輕放,避免碰撞;
4)清理清洗:采用清水將料棒進(jìn)行一次初步?jīng)_洗后,清除其中,遺留的殘片,碎膠,然再使用酒精沖洗一次,然后再使用清水沖洗2h后,即可:
5)排線:檢查主滾上是否有空槽,做好空槽修補(bǔ),然后再將排線膠將跳線排除;
6)更換砂漿:將機(jī)器內(nèi)砂漿缸內(nèi)砂漿清理干凈,然后將砂漿注入其中,注入量為220kg;
7)切割前處理:將工件夾、濾具、夾具、滑輪和料臺(tái)進(jìn)行檢查,然后在開機(jī)熱機(jī)10min后,檢查是否工作平穩(wěn);
8)切割:開啟機(jī)器進(jìn)行實(shí)際切割,切割時(shí),保證機(jī)器衛(wèi)生,不定時(shí)采用擦拭布對(duì)其表面進(jìn)行擦拭,在擦拭時(shí),避免誤碰機(jī)器按鍵,切割后期,采用手電筒照料棒側(cè)面,檢測(cè)是否通透;切割完成后,進(jìn)行抬料;
9)切割后處理:將上述切割后的料棒抬下,然后進(jìn)行分離,去膠后,清洗包裝即可。
實(shí)施例2
一種單金硅硅體的切割工藝,其特征在于,包括以下步驟:
1)取棒:直接進(jìn)入取棒室內(nèi)進(jìn)行選取硅棒,硅棒必須保證無缺損,無明顯劃痕,并且搬棒時(shí),需保證碰撞,且棒與棒之間相互不進(jìn)行摩擦;
2)上料臺(tái):將上述處理好的料棒進(jìn)行擦拭,擦拭時(shí),采用干布配合乙醇進(jìn)行擦拭料棒,并且將料臺(tái)也進(jìn)行相應(yīng)的擦拭,然后將料棒輕輕的固定在料臺(tái)上對(duì)齊后,將螺絲放入螺絲孔后擰緊即可;
3)下料棒:采用下料車將上述固定在料臺(tái)上的料棒整體下料,在進(jìn)行下料時(shí),必須保證輕拿輕放,避免碰撞;
4)清理清洗:采用清水將料棒進(jìn)行一次初步?jīng)_洗后,清除其中,遺留的殘片,碎膠,然再使用酒精沖洗一次,然后再使用清水沖洗1h后,即可:
5)排線:檢查主滾上是否有空槽,做好空槽修補(bǔ),然后再將排線膠將跳線排除;
6)更換砂漿:將機(jī)器內(nèi)砂漿缸內(nèi)砂漿清理干凈,然后將砂漿注入其中,注入量為180kg;
7)切割前處理:將工件夾、濾具、夾具、滑輪和料臺(tái)進(jìn)行檢查,然后在開機(jī)熱機(jī)5min后,檢查是否工作平穩(wěn);
8)切割:開啟機(jī)器進(jìn)行實(shí)際切割,切割時(shí),保證機(jī)器衛(wèi)生,不定時(shí)采用擦拭布對(duì)其表面進(jìn)行擦拭,在擦拭時(shí),避免誤碰機(jī)器按鍵,切割后期,采用手電筒照料棒側(cè)面,檢測(cè)是否通透;切割完成后,進(jìn)行抬料;
9)切割后處理:將上述切割后的料棒抬下,然后進(jìn)行分離,去膠后,清洗包裝即可。
以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理,在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下,本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。