一種硅片多線切割設(shè)備的砂漿冷卻供給系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅片多線切割設(shè)備的砂漿冷卻供給系統(tǒng)，砂漿供給箱分別通過電機(jī)泵由管道連接冷卻塔A和冷卻塔B；冷卻塔A由管道分別連接上面和下面的左和右路砂漿供給系統(tǒng)；冷卻塔B由管道分別連接上面和下面的中路砂漿供給系統(tǒng)；在冷卻塔的冷卻水進(jìn)水管道上和砂漿供給系統(tǒng)的供給管道上都安裝有電磁閥和流量計(jì)，電磁閥和流量計(jì)的信號輸入端連接控制系統(tǒng)。采用本實(shí)用新型的硅片多線切割設(shè)備能夠保證切割硅片處的切割線和砂漿溫度更低，以滿足硅棒最佳質(zhì)量的切割，避免了因硅棒溫度過高而產(chǎn)生的粘片和切割線帶砂能力不足等現(xiàn)象的發(fā)生，提高了硅片良率約1%，節(jié)省了能源，延長了使用壽命。
【專利說明】一種硅片多線切割設(shè)備的砂漿冷卻供給系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅片切割【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種硅片多線切割設(shè)備的砂漿冷卻供給系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片是半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域的主要生產(chǎn)材料。多線切割設(shè)備是用于切割硅片的設(shè)備，其是通過密集金屬線的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)砂漿將硅塊材料一次同時(shí)切割成數(shù)百或數(shù)千片薄片。砂漿起到磨損硅料和冷卻主輥和切割線的作用，其性能受溫度影響較大。多線切割設(shè)備一般為兩個(gè)系統(tǒng)，包括切割系統(tǒng)和砂漿供給系統(tǒng)，其中切割系統(tǒng)包括放線軸、收線軸和四個(gè)主輥，其中砂漿供給系統(tǒng)包括一個(gè)砂漿供給箱、一個(gè)回流過濾箱、兩個(gè)冷卻塔和連接管道；砂漿供給箱的砂漿使用電機(jī)泵通過管道輸送給與其對應(yīng)的冷卻塔，經(jīng)冷卻塔冷卻的砂漿又通過管路分別供給上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)和下面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)，冷卻后的砂漿經(jīng)過切割室對硅棒進(jìn)行切割，切割后的砂漿流入回流過濾箱，經(jīng)過過濾后再進(jìn)入冷卻塔進(jìn)行初步冷卻，最終回到砂漿供給箱，形成閉路循環(huán)，上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)分別位于主輥A右上的切割線上端、上工作臺上、主輥B左上的切割線上端，下面的左、中、右三路供給系統(tǒng)分別位于主輥C右下的切割線上端、下工作臺上、主輥D左下的切割線上端，由于上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)由其中一個(gè)冷卻塔冷卻供給砂漿，下面的左、中、右三路供給系統(tǒng)由另一個(gè)冷卻塔冷卻供給砂漿，六路供給系統(tǒng)內(nèi)的砂漿均勻分配，冷卻能力相同。多線切割設(shè)備在主輥A和主輥B之間、在主輥C和主輥D之間的工作臺上分別放置兩個(gè)硅棒；按照切割線的旋轉(zhuǎn)方向，靠近主輥A和主輥D的硅棒首先被切割，切割線在切割過程中產(chǎn)生的熱量多，而兩個(gè)硅棒之間的間隔距離短，雖然切割線被中路砂漿供給系統(tǒng)供給的砂漿冷卻，但由于六路砂漿供給的溫度和砂漿量完全相同，切割線還來不及降到切割第一硅棒時(shí)的溫度就又去切割靠近主輥B和主輥C的第二個(gè)硅棒，導(dǎo)致第二個(gè)硅棒的溫度偏高，進(jìn)而導(dǎo)致其砂漿懸浮能力差，粘度降低，一方面導(dǎo)致碳化硅滯留在硅片間，從而產(chǎn)生粘片，難以清洗，碎片率高，延誤工時(shí)等問題；另一方由于溫度的升高切割線帶砂能力減小，會(huì)導(dǎo)致硅片TTV較大，線痕增多，從而影響成品率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的就是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，提供一種硅片多線切割設(shè)備的砂漿冷卻供給系統(tǒng)，采用該砂漿冷卻供給系統(tǒng)的硅片多線切割設(shè)備能夠保證切割靠近主輥B或主輥C的第二個(gè)硅棒時(shí)的切割線和其帶漿溫度與切割靠近主輥A或主輥D的第一個(gè)硅棒的切割線和其帶漿溫度一致。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是:一種硅片多線切割設(shè)備的砂漿冷卻供給系統(tǒng)，其包括砂漿供給箱、回流過濾箱、冷卻塔A、冷卻塔B、冷卻塔C、管道、上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)、下面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)和控制系統(tǒng)；砂漿供給箱分別通過電機(jī)泵由管道連接冷卻塔A和冷卻塔B的進(jìn)漿口 ；上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)分別位于主輥A右上的切割線上端、上工作臺上、主輥B左上的切割線上端，下面的左、中、右三路供給系統(tǒng)分別位于主輥C右下的切割線上端、下工作臺上、主輥D左下的切割線上端；上面和下面的中路砂漿供給系統(tǒng)分別隨上、下工作臺上下移動(dòng)；冷卻塔A的出漿口由管道分別連接上面的左和右路砂漿供給系統(tǒng)、下面的左和右路砂漿供給系統(tǒng)；冷卻塔B的出漿口由管道分別連接上面的中路砂漿供給系統(tǒng)和下面的中路砂漿供給系統(tǒng)；切割室的砂漿回流口通過管道連接回流過濾箱的進(jìn)漿口，回流過濾箱出漿口通過管道連接冷卻塔C的進(jìn)漿口，冷卻塔C的出漿口通過管道連接砂漿供給箱；在冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水進(jìn)水管道上和砂漿供給系統(tǒng)的供給管道上都安裝有電磁閥和帶溫度傳感器的流量計(jì)，帶溫度傳感器的流量計(jì)的信號輸出端連接控制系統(tǒng)的信號輸入端，控制系統(tǒng)的信號輸出端連接電磁閥的信號輸入端。砂漿供給系統(tǒng)的供給管道上的流量計(jì)上的溫度傳感器的溫度信號給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)輸出控制信號給冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水進(jìn)水管道上電磁閥，這些電磁閥控制進(jìn)入冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水量，使冷卻塔B的溫度低于冷卻塔A的溫度，以保證六路砂漿供給系統(tǒng)在供給的砂漿量相同的情況下，靠近主輥B或主輥C的第二個(gè)硅棒的溫度與靠近主棍A或主棍D的第一個(gè)娃棒的溫度一致。
[0005]由于本實(shí)用新型的冷卻塔A供給上面和下面的左和右四路砂漿供給系統(tǒng)，而冷卻塔B只供給上面和下面的兩路中路砂路漿供給系統(tǒng)，這樣，就能根據(jù)需要設(shè)計(jì)冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻能力，不必再保證二者的冷卻能力相同。所以，在冷卻塔A和冷卻塔B的出砂漿量相同的情況下，通過電磁閥調(diào)節(jié)冷卻水流量使冷卻塔B的溫度更低，從而保證了上面和下面中路兩路供給的砂漿溫度更低，大大增加了上面和下面中路砂漿供給系統(tǒng)的砂漿冷卻能力，使該位置的切割線的溫度能很快降溫，從而使其后面所切割的第二硅棒的溫度與第一硅棒的溫度基本相同，避免了因第二硅棒溫度過高而產(chǎn)生的粘片和切割線帶砂能力不足等現(xiàn)象的發(fā)生，提高了硅片良率約1%，單硅片生產(chǎn)降低成本0.05元。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1為多線切割設(shè)備的切割系統(tǒng)和上面和下面左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)關(guān)系圖；
[0007]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述。
[0009]如圖1和圖2所示，本實(shí)施例包括砂漿供給箱、回流過濾箱、冷卻塔A、冷卻塔B、冷卻塔C、管道、上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)12、10、11、下面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)15、14、13和控制系統(tǒng)。砂漿供給箱分別通過電機(jī)泵3、4和電磁閥5、6由管道連接冷卻塔A和冷卻塔B的進(jìn)漿口。上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)12、10、11分別位于主輥A 17右上的切割線上端、上工作臺22上、主輥B 18左上的切割線上端，下面的左、中、右三路供給系統(tǒng)15、14、13分別位于主輥C 20右下的切割線上端、下工作臺26上、主輥D 19左下的切割線上端。上面和下面的中路砂漿供給系統(tǒng)10、14分別隨上、下工作臺22、26上下移動(dòng)。冷卻塔A的出漿口通過帶溫度傳感器的流量計(jì)7由管道分別連接上面的左和右路砂漿供給系統(tǒng)12、11、下面的左和右路砂漿供給系統(tǒng)15、13。冷卻塔B的出漿口通過帶溫度傳感器的流量計(jì)8由管道分別連接上面的中路砂漿供給系統(tǒng)10和下面的中路砂漿供給系統(tǒng)14.。切割室的砂漿回流口通過管道連接回流過濾箱的進(jìn)漿口，回流過濾箱出漿口通過電機(jī)泵16由管道連接冷卻塔C的進(jìn)漿口，冷卻塔C的出漿口通過管道連接砂漿供給箱。在冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水進(jìn)水管道上分別安裝有電磁閥1、電磁閥27和帶溫度傳感器的流量計(jì)2和流量計(jì)28。帶溫度傳感器的流量計(jì)2、28、7、8的信號輸出端連接控制系統(tǒng)的信號輸入端，控制系統(tǒng)的信號輸出端連接電磁閥1、27、5、6的信號輸入端。帶溫度傳感器的流量計(jì)7、8上的溫度傳感器的溫度信號給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)輸出控制信號給冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水進(jìn)水管道上電磁閥1、27，電磁閥1、27控制進(jìn)入冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水量，使冷卻塔B的溫度低于冷卻塔A的溫度，以保證六路砂漿供給系統(tǒng)12、10、11和15、14、13在供給的砂漿量相同的情況下，靠近主輥B 18或主輥C 20的第二個(gè)硅棒23、24的溫度與靠近主棍A 17或主棍D 19的第一個(gè)娃棒21、25的溫度一致。在六路砂衆(zhòng)供給系統(tǒng)12、IOUl和15、14、13的噴嘴前端的管路上可以安裝手動(dòng)閥門9。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片多線切割設(shè)備的砂漿冷卻供給系統(tǒng)，其包括砂漿供給箱、回流過濾箱、冷卻塔A、冷卻塔B、冷卻塔C、管道、上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)、下面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)和控制系統(tǒng)；砂漿供給箱分別通過電機(jī)泵由管道連接冷卻塔A和冷卻塔B的進(jìn)漿口 ；上面的左、中、右三路砂漿供給系統(tǒng)分別位于主輥A右上的切割線上端、上工作臺上、主輥B左上的切割線上端，下面的左、中、右三路供給系統(tǒng)分別位于主輥C右下的切割線上端、下工作臺上、主輥D左下的切割線上端；上面和下面的中路砂漿供給系統(tǒng)分別隨上、下工作臺上下移動(dòng)；切割室的砂漿回流口通過管道連接回流過濾箱的進(jìn)漿口，回流過濾箱出漿口通過管道連接冷卻塔C的進(jìn)漿口，冷卻塔C的出漿口通過管道連接砂漿供給箱；其特征在于:所述的冷卻塔A的出漿口由管道分別連接上面的左和右路砂漿供給系統(tǒng)、下面的左和右路砂漿供給系統(tǒng)；冷卻塔B的出漿口由管道分別連接上面的中路砂漿供給系統(tǒng)和下面的中路砂漿供給系統(tǒng)；在冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水進(jìn)水管道上和砂漿供給系統(tǒng)的供給管道上都安裝有電磁閥和帶溫度傳感器的流量計(jì)，帶溫度傳感器的流量計(jì)的信號輸出端連接控制系統(tǒng)的信號輸入端，控制系統(tǒng)的信號輸出端連接電磁閥的信號輸入端；砂漿供給系統(tǒng)的供給管道上的流量計(jì)上的溫度傳感器的溫度信號給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)輸出控制信號給冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水進(jìn)水管道上電磁閥，這些電磁閥控制進(jìn)入冷卻塔A和冷卻塔B的冷卻水量，使冷卻塔B的溫度低于冷卻塔A的溫度，以保證六路砂漿供給系統(tǒng)在供給的砂漿量相同的情況下，靠近主輥B或主輥C的第二個(gè)硅棒的溫度與靠近主輥A或主輥D的第一個(gè)硅棒的溫度一致。
【文檔編號】B28D5/04GK203697271SQ201320841537
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月19日
【發(fā)明者】姚樹歡 申請人:光為綠色新能源股份有限公司