專利名稱：晶棒切片后的裝卸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶棒切片后的裝卸裝置，尤其涉及一種藍(lán)寶石晶棒切片后的下棒脫膠時(shí)的裝卸裝置。
背景技術(shù)：
藍(lán)寶石又稱Al2O3單晶，俗稱剛玉，是一種簡(jiǎn)單配位型氧化物晶體。藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，強(qiáng)度高、硬度大、耐沖刷，可在接近200(TC高溫的惡劣條件下工作，因而被廣泛的應(yīng)用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強(qiáng)度激光的窗口材料，其獨(dú)特的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學(xué)性能、良好的熱學(xué)性能使藍(lán)寶石晶片成為實(shí)際應(yīng)用的半導(dǎo)體發(fā)光二極管(LED)、大規(guī)模集成電路最為理想的襯底材料。近年來(lái)，隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)藍(lán)寶石晶體材料的尺寸、質(zhì)量不斷提出新的要求。由于藍(lán)寶石硬度高、脆性大，對(duì)其機(jī)械加工十分困難，因此制備表面無(wú)損傷超光滑藍(lán)寶石晶片成為各企業(yè)追求的目標(biāo)。因此在藍(lán)寶石晶片的各個(gè)加工工序中都應(yīng)盡可能避免不必要的劃傷。 目前藍(lán)寶石晶棒的切割一般采用金剛線的多線切割方式，如圖I所示，切片前晶棒12被粘貼在工件板11上，工件板11上開(kāi)有縱向貫通的圓孔10。切片機(jī)上設(shè)有鎖定工件板的滑道及與工件板的圓孔相應(yīng)大小的金屬導(dǎo)軌。切片結(jié)束后，工作人員一般需要利用升降車取下工件板連同粘接其上的藍(lán)寶石晶片，升降車上同樣設(shè)有與工件板的圓孔相應(yīng)大小的可升降的金屬導(dǎo)軌，裝卸時(shí)，需要人工將工件板由切片機(jī)上的金屬導(dǎo)軌推至升降車上的金屬導(dǎo)軌，然后搬運(yùn)到所需位置，取下工件板和粘結(jié)其上的藍(lán)寶石晶片，整體翻轉(zhuǎn)放在溫水中進(jìn)行脫膠過(guò)程。在人工搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)的過(guò)程中容易造成晶片的劃傷，且當(dāng)切割晶片尺寸較大時(shí)，切割后晶片和工件板整體重量偏重，易造成人工失誤，帶來(lái)不必要的損失。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種晶棒切片后的裝卸裝置，該裝卸裝置在晶棒切片后，可將工件板和粘結(jié)其上的藍(lán)寶石晶片直接置于溫水中進(jìn)行脫膠處理，避免了工件板和藍(lán)寶石晶片的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)過(guò)程，減少了晶片的劃傷，同時(shí)，方便操作，減少了人工操作難度。本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案為一種晶棒切片后的裝卸裝置，包括具有容納空間的盛放器，其上開(kāi)設(shè)有便于工件板和晶片進(jìn)入其容納空間內(nèi)的開(kāi)
n ；用于穿裝工件板的導(dǎo)軌，固定于所述盛放器內(nèi)，其一端設(shè)于所述盛放器的開(kāi)口處；以及，用于承接脫膠后的晶片的接片裝置，其設(shè)于所述盛放器內(nèi)，并位于所述導(dǎo)軌的下方。進(jìn)一步的，所述裝卸裝置還包括用于固定穿裝在所述導(dǎo)軌上的工件板的工件板固定裝置，其固連于所述盛放器上。進(jìn)一步的，所述工件板固定裝置包括固連在所述盛放器上的第一緊固螺栓和第二緊固螺栓，所述第一緊固螺栓、第二緊固螺栓分別設(shè)置于所述導(dǎo)軌的兩側(cè)，第一緊固螺栓與第二緊固螺栓緊固配合，可將所述穿裝在所述導(dǎo)軌上的工件板夾緊固定在所述第一緊固螺栓和第二緊固螺栓之間。進(jìn)一步的，所述導(dǎo)軌通過(guò)焊接方式固定在所述盛放器內(nèi)。進(jìn)一步的，所述裝卸裝置還包括用于穩(wěn)固所述導(dǎo)軌的導(dǎo)軌固定裝置，其分別與所述盛放器和導(dǎo)軌固連。進(jìn)一步的，所述導(dǎo)軌固定裝置包括固連在所述導(dǎo)軌兩側(cè)、并與所述盛放器固連的支撐架；以及，固連在所述導(dǎo)軌下方、并與所述盛放器固連的擋板。進(jìn)一步的，所述接片裝置與所述盛放器為滑動(dòng)連接。進(jìn)一步的，所述接片裝置上具有與所述晶棒切片后的晶片結(jié)構(gòu)匹配的凹槽結(jié)構(gòu)。 進(jìn)一步的，所述接片裝置上還設(shè)置有用于阻擋晶片在接片裝置內(nèi)移動(dòng)的活動(dòng)擋片，所述活動(dòng)擋板設(shè)置在所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)、并可在所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)移動(dòng)。進(jìn)一步的，在所述盛放器上還設(shè)置有提手。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型晶棒切片后的裝卸裝置可在晶棒切片后，通過(guò)工件板圓孔與盛放器內(nèi)的導(dǎo)軌配合，而直接將工件板及粘結(jié)在工件板上的晶片劃入到盛放器內(nèi)，之后將裝載有工件板和晶片的盛放器直接置于溫水中進(jìn)行脫膠，晶片脫膠后自動(dòng)落入接片裝置內(nèi)，這樣便避免了工件板從切片機(jī)上拆卸后的搬運(yùn)及翻轉(zhuǎn)過(guò)程，減少了人工操作，避免晶片劃傷，操作簡(jiǎn)單。

圖I表示工件板及晶棒的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖2本實(shí)用新型晶棒切片后的裝卸裝置的主視圖；圖3表不圖2的俯視圖；圖4表示圖2的左視圖；圖5表示適用于大小為2英寸的晶片的接片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6表示適用于大小為4英寸的晶片的接片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7表示適用于大小為6英寸的晶片的接片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。如圖2、圖3和圖4所不,本實(shí)施例中提供了一種晶棒切片后的裝卸裝置，其包括一具有容納空間的盛放器1，其開(kāi)設(shè)有便于工件板11和晶片12進(jìn)入其容納空間內(nèi)的開(kāi)口 ；一用于穿裝工件板的導(dǎo)軌2，其固定于盛放器I內(nèi)，且該導(dǎo)軌2的一端設(shè)置于盛放器I的開(kāi)口處；一用于承接脫膠后的晶片的接片裝置3，其設(shè)置于盛放器I內(nèi)，并位于導(dǎo)軌2的下方。[0032]本實(shí)用新型晶棒切片后的裝卸裝置，可在工件板11及與其粘結(jié)的晶片12在切片完成后，將工件板11直接在盛放器I的開(kāi)口處穿裝在導(dǎo)軌2 —端，并沿導(dǎo)軌2劃入盛放器I內(nèi)，之后將裝載有工件板11和晶片12的盛放器I直接置于溫水中進(jìn)行脫膠，晶片12脫膠后自動(dòng)落入設(shè)置于導(dǎo)軌2下方的接片裝置3內(nèi)，這樣便避免了工件板11從切片機(jī)上拆卸后的搬運(yùn)及翻轉(zhuǎn)過(guò)程，減少了人工操作，避免晶片12劃傷，操作簡(jiǎn)單。優(yōu)選的，盛放器I為金屬網(wǎng)狀筐，盛放器 I的開(kāi)口設(shè)置于該金屬網(wǎng)狀筐的頂部及一側(cè)面上，且該金屬網(wǎng)狀筐頂部的開(kāi)口與其側(cè)面開(kāi)口相互貫通；導(dǎo)軌2為與工件板11上的圓孔12結(jié)構(gòu)匹配的圓棒導(dǎo)軌。本實(shí)用新型的裝卸裝置還可以設(shè)置有用于固定穿裝在導(dǎo)軌2上的工件板11的工件板固定裝置。在本實(shí)施例中，工件板固定裝置包括固連在盛放器I上的第一緊固螺栓41和第二緊固螺栓42，且第一緊固螺栓41和第二緊固螺栓42分別設(shè)置于導(dǎo)軌2的兩側(cè)，其中，第一緊固螺栓41包括固定在盛放器I上的第一螺母412和穿裝在第一螺母上的第一螺絲411，第二緊固螺栓42包括固定在盛放器I上的第二螺母422和穿裝在第二螺母上的第二螺絲421，導(dǎo)軌2上穿裝有工件板11時(shí)，通過(guò)旋緊第一螺絲411與第二螺絲421，可將穿裝在導(dǎo)軌2上的工件板11夾緊固定在第一緊固螺栓41和第二緊固螺栓42之間。如圖2、圖3和圖4所示，優(yōu)選的，盛放器I為長(zhǎng)方形體結(jié)構(gòu)，導(dǎo)軌2位于盛放器I的頂部開(kāi)口兩側(cè)的兩側(cè)面之間、并平行于盛放器I的底部設(shè)置，第一緊固螺栓41、第二緊固螺栓42分別固連在盛放器I的頂部開(kāi)口兩側(cè)。圖3中第一緊固螺栓41數(shù)量為兩個(gè)，第二緊固螺栓42數(shù)量為兩個(gè)。在實(shí)際應(yīng)用中，盛放器I還可以為其他結(jié)構(gòu)形式，導(dǎo)軌2在盛放器I內(nèi)的位置也可以為其他方式，當(dāng)然，第一緊固螺栓41、第二緊固螺栓42的位置、數(shù)量也可根據(jù)盛放器I及導(dǎo)軌2的結(jié)構(gòu)和位置關(guān)系進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。導(dǎo)軌2可以通過(guò)焊接方式固定在盛放器I內(nèi)，還可以通過(guò)螺栓連接或其他固定方式與盛放器I固定。本實(shí)用新型晶棒切片后的裝卸裝置還可以設(shè)置有用于穩(wěn)固導(dǎo)軌2的導(dǎo)軌固定裝置。本實(shí)施例中，如圖3和4所示，當(dāng)導(dǎo)軌2平行于盛放器I頂部開(kāi)口的兩側(cè)側(cè)面設(shè)置時(shí)，導(dǎo)軌固定裝置包括固連在導(dǎo)軌2兩側(cè)、并與盛放器I固連的支撐架51 ；以及，固連在導(dǎo)軌2下方、并與盛放器I固連的擋板52。此外，接片裝置3最好設(shè)計(jì)為可沿導(dǎo)軌2延伸方向設(shè)置的結(jié)構(gòu)，以便于晶片12隨工件板11在導(dǎo)軌2上移動(dòng)到任意位置時(shí)均可承接晶片12。本實(shí)施例中，如圖2、圖3和圖4所示，接片裝置3為與導(dǎo)軌2延伸方向一致的條形結(jié)構(gòu)，其具有與晶棒切片后的晶片12結(jié)構(gòu)匹配的凹槽結(jié)構(gòu)30，且該凹槽結(jié)構(gòu)30的延伸方向與導(dǎo)軌2延伸方向一致。接片裝置3可根據(jù)晶片12的大小分別制定不同的尺寸，目前，晶片12大小通常為2英寸、4英寸或6英寸，如圖5、6、7所示，接片裝置3可根據(jù)晶片12大小設(shè)置為不同規(guī)格尺寸。凹槽結(jié)構(gòu)30與晶片12底部距離最好在I厘米左右。本實(shí)施例中，接片裝置3設(shè)計(jì)為與盛放器I的底部采用滑動(dòng)連接方式連接。此外，接片裝置3還最好可以從盛放器I中取出，以便于將脫膠后的晶片12從盛放器I內(nèi)取出。因此，本實(shí)施例中，在接片裝置3的底部與盛放器I的底部之間設(shè)置滑槽，該滑槽延伸至盛放器I的側(cè)面開(kāi)口處，可將接片裝置3滑移出盛放器I。同時(shí)，接片裝置3與盛放器I的這種連接方式，還可實(shí)現(xiàn)更換具有不同規(guī)格的接片裝置3的目的。本實(shí)施例中，接片裝置3上還可以設(shè)置有用于阻擋晶片12在接片裝置3內(nèi)移動(dòng)的活動(dòng)擋片6。活動(dòng)擋板6有兩塊，晶片12位于兩塊活動(dòng)擋板6之間，兩塊活動(dòng)擋板6均設(shè)置于凹槽結(jié)構(gòu)30內(nèi)、并可在凹槽結(jié)構(gòu)30內(nèi)移動(dòng)，以便于根據(jù)接片裝置3內(nèi)晶片12的長(zhǎng)短調(diào)整兩塊活動(dòng)擋板6之間的距離，從而固定晶片12，以起到阻擋晶片12在脫膠時(shí)移動(dòng)的作用。此外，在盛放器I上還可以設(shè)置有提手7，以便于將盛放器I移動(dòng)。提手7的位置， 最好是位于在可均衡整個(gè)裝卸裝置的位置。以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種晶棒切片后的裝卸裝置，其特征在于，包括 具有容納空間的盛放器，其開(kāi)設(shè)有便于工件板和晶片進(jìn)入其容納空間內(nèi)的開(kāi)口； 用于穿裝工件板的導(dǎo)軌，固定于所述盛放器內(nèi)，其一端設(shè)于所述盛放器的開(kāi)口處；以及， 用于承接脫膠后的晶片的接片裝置，其設(shè)于所述盛放器內(nèi)，并位于所述導(dǎo)軌的下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝卸裝置，其特征在于所述裝卸裝置還包括用于固定穿裝在所述導(dǎo)軌上的工件板的工件板固定裝置，其固連于所述盛放器上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝卸裝置，其特征在于所述工件板固定裝置包括固連在所述盛放器上的第一緊固螺栓和第二緊固螺栓，所述第一緊固螺栓、第二緊固螺栓分別設(shè)置于所述導(dǎo)軌的兩側(cè)，第一緊固螺栓與第二緊固螺栓緊固配合，可將所述穿裝在所述導(dǎo)軌上的工件板夾緊固定在所述第一緊固螺栓和第二緊固螺栓之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝卸裝置，其特征在于所述導(dǎo)軌通過(guò)焊接方式固定在所述盛放器內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝卸裝置，其特征在于所述裝卸裝置還包括用于穩(wěn)固所述導(dǎo)軌的導(dǎo)軌固定裝置，其分別與所述盛放器和導(dǎo)軌固連。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝卸裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌固定裝置包括固連在所述導(dǎo)軌兩側(cè)、并與所述盛放器固連的支撐架；以及，固連在所述導(dǎo)軌下方、并與所述盛放器固連的擋板。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝卸裝置，其特征在于所述接片裝置與所述盛放器為滑動(dòng)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝卸裝置，其特征在于所述接片裝置上具有與所述晶棒切片后的晶片結(jié)構(gòu)匹配的凹槽結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝卸裝置，其特征在于所述接片裝置上還設(shè)置有用于阻擋晶片在接片裝置內(nèi)移動(dòng)的活動(dòng)擋片，所述活動(dòng)擋板設(shè)置在所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)、并可在所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)移動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝卸裝置，其特征在于在所述盛放器上還設(shè)置有提手。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種晶棒切片后的裝卸裝置，包括具有容納空間的盛放器，其開(kāi)設(shè)有便于工件板和晶片進(jìn)入其容納空間內(nèi)的開(kāi)口；用于穿裝工件板的導(dǎo)軌，固定于所述盛放器內(nèi)，其一端設(shè)于所述盛放器的開(kāi)口處；以及，用于承接脫膠后的晶片的接片裝置，其設(shè)于所述盛放器內(nèi)，并位于所述導(dǎo)軌的下方。本實(shí)用新型晶棒切片后的裝卸裝置可在晶棒切片后，通過(guò)工件板與盛放器內(nèi)的導(dǎo)軌配合，而直接將工件板及粘結(jié)在工件板上的晶片劃入到盛放器內(nèi)，之后將裝載有工件板和晶片的盛放器直接置于溫水中進(jìn)行脫膠，晶片脫膠后自動(dòng)落入接片裝置內(nèi)，這樣便避免了工件板從切片機(jī)上拆卸后的搬運(yùn)及翻轉(zhuǎn)過(guò)程，減少了人工操作，避免晶片劃傷，操作簡(jiǎn)單。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202528329SQ20122001598
公開(kāi)日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者魏聰 申請(qǐng)人:徐州協(xié)鑫光電科技有限公司