一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置制造方法
【專利摘要】一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置，適用于半導(dǎo)體硅單晶切片設(shè)備在切片過(guò)程中產(chǎn)生大量熱量的冷卻和潤(rùn)滑。本實(shí)用新型主要由切削液罐（1）、添加劑貯罐（10）、計(jì)量泵（11）、供應(yīng)泵（12）、熱交換系統(tǒng)（13）、控制系統(tǒng)（14）構(gòu)成。本實(shí)用新型在切削液罐（1）內(nèi)裝有上液位傳感器（8）和下液位傳感器（9），當(dāng)切削液罐（1）的液位到達(dá)下液位傳感器（9）時(shí)，計(jì)量泵（11）和電磁閥（6）自動(dòng)啟動(dòng)，將添加劑和純水按比例加入切削液罐（1）內(nèi)，同樣當(dāng)切削液罐（1）的液位到達(dá)上液位傳感器（8）時(shí)，計(jì)量泵（11）和電磁閥（6）自動(dòng)關(guān)閉，實(shí)現(xiàn)切削液的自動(dòng)配置和供應(yīng)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安全可靠，可穩(wěn)定持續(xù)向多臺(tái)內(nèi)圓切片機(jī)提供具有冷卻、潤(rùn)滑和助磨功能的切削液，有效提高了內(nèi)圓刀片的使用壽命和切割硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利說(shuō)明】 一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體單晶硅片加工生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，主要涉及一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體硅單晶錠經(jīng)過(guò)整形加工后，需要根據(jù)客戶要求或者后續(xù)工序加工要求，用特定切割設(shè)備按照一定的方向，切割成滿足一定參數(shù)要求的硅片。半導(dǎo)體硅單晶切片設(shè)備主要有內(nèi)圓切片機(jī)和線切割機(jī)兩種。內(nèi)圓切片機(jī)使用鍍有金剛砂顆粒為切割刀刃的內(nèi)圓刀片進(jìn)行切割，這種切割方式每次切割一片，每片厚度、晶向可調(diào)，切割靈活，可以實(shí)現(xiàn)切割中智能檢測(cè)，在硅片切割領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。缺點(diǎn)是內(nèi)圓切片機(jī)利用高速旋轉(zhuǎn)的內(nèi)圓刀片進(jìn)行高速切割，切割過(guò)程中產(chǎn)生大量的的熱量，需使用冷卻水進(jìn)行冷卻，目前國(guó)內(nèi)一般使用軟化水或純水進(jìn)行冷卻，冷卻和潤(rùn)滑效果差，造成內(nèi)圓刀片壽命低，切割硅片表面質(zhì)量差，彎曲和翹曲水平低，不能滿足高品質(zhì)單晶硅片產(chǎn)品的質(zhì)量要求。
[0003]實(shí)用新型內(nèi)容:
[0004]鑒于現(xiàn)有內(nèi)圓切片機(jī)的冷卻水系統(tǒng)存在的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)并公開(kāi)了一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置，用以解決現(xiàn)有內(nèi)圓切割工藝中出現(xiàn)的因冷卻系統(tǒng)冷卻效果不足引起的刀片壽命下降，切割質(zhì)量不穩(wěn)定等技術(shù)難點(diǎn)問(wèn)題，同時(shí)也解決了人工配置操作而易造成濃度失控、設(shè)備待機(jī)等問(wèn)題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采取的具體技術(shù)方案是:一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置，主要由切削液罐、添加劑貯罐、計(jì)量泵、熱交換器、供應(yīng)泵、控制系統(tǒng)構(gòu)成；其中切削液罐用透明的有機(jī)玻璃材料焊接成一個(gè)長(zhǎng)方體密閉容器，切削液罐上安裝有添加劑供應(yīng)管、純水進(jìn)水管、切削液供應(yīng)管；添加劑供應(yīng)管裝在切削液罐頂部的一側(cè)；純水進(jìn)水管裝在切削液頂部靠近中心的位置，純水進(jìn)水管上裝有壓力表、手動(dòng)閥和電磁閥，切削液供應(yīng)管安裝在切削液罐下部的一側(cè)，切削液罐內(nèi)一側(cè)上部和下部位置分別安裝有上液位傳感器和下液位傳感器；電阻率傳感器裝在切削液罐內(nèi)側(cè)靠上的位置；添加劑貯罐安裝在切削液罐的外側(cè)，添加劑貯罐上部的管路上裝有計(jì)量泵，計(jì)量泵通過(guò)管道與切削液罐上的添加劑供應(yīng)管聯(lián)接；供應(yīng)泵的進(jìn)口端通過(guò)管道與切削液罐上的切削液供應(yīng)管聯(lián)接，供應(yīng)泵的出口管道上設(shè)有一個(gè)熱交換器；控制系統(tǒng)通過(guò)控制線路與電磁閥、電阻率傳感器、上液位傳感器、下液位傳感器、供應(yīng)泵、計(jì)量泵聯(lián)接。
[0006]本實(shí)用新型所述的切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安全可靠，可以穩(wěn)定、持續(xù)向多臺(tái)內(nèi)圓切片機(jī)提供具有冷卻、潤(rùn)滑和助磨功能的切削液，可以有效提高內(nèi)圓刀片的使用壽命，提高切割硅片的彎曲和翹曲水平。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1是本實(shí)用新型的自動(dòng)配置供應(yīng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖中:1、切削液罐；2、添加劑供應(yīng)管；3、純水進(jìn)水管；4、壓力表；5、手動(dòng)閥；6、電磁閥；7、電阻率傳感器；8、上液位傳感器；9、下液位傳感器；10、添加劑貯罐；11、計(jì)量泵；12、供應(yīng)泵；13、熱交換器；14、控制系統(tǒng)；15、切削液供應(yīng)管。

【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的實(shí)施方式如下:
[0010]如圖1所示，本實(shí)用新型所述的一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置，主要是由切削液罐1、添加劑貯罐10、計(jì)量泵11、供應(yīng)泵12、熱交換器13、控制系統(tǒng)14構(gòu)成；其中，切削液罐1是用透明的有機(jī)玻璃材料焊接成一個(gè)長(zhǎng)方體密閉容器，切削液罐1上裝有添加劑供應(yīng)管
2、純水進(jìn)水管3、切削液供應(yīng)管15。添加劑供應(yīng)管2裝在切削液罐1頂部的一側(cè)；純水進(jìn)水管3裝在切削液罐1頂部靠近中心位置，純水進(jìn)水管3上安裝有壓力表4、手動(dòng)閥5、電磁閥6，通過(guò)調(diào)整壓力表4、手動(dòng)閥5的開(kāi)度和電磁閥6的自動(dòng)開(kāi)合，可以實(shí)現(xiàn)純水的自動(dòng)進(jìn)水功能。切削液供應(yīng)管15裝在切削液罐1下部的一側(cè)；在切削液罐1內(nèi)的上部和下部一側(cè)位置分別安裝有上液位傳感器8和下液位傳感器9，上下液位傳感器和控制系統(tǒng)14聯(lián)接，通過(guò)切削液罐1內(nèi)的液位信號(hào)控制電磁閥6和計(jì)量泵11的自動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉，使切削液罐1內(nèi)的液位始終保持在上限位和下限位之間，實(shí)現(xiàn)切削液的持續(xù)配置和供應(yīng)；電阻率傳感器7裝在切削液罐1內(nèi)側(cè)靠上的位置，當(dāng)切削液罐1內(nèi)因故未加入添加劑時(shí)，罐內(nèi)的切削液電阻率發(fā)生變化，供應(yīng)泵12會(huì)立即停止工作，系統(tǒng)會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，提醒操作者檢查切削液的配比。
[0011]添加劑貯罐10安裝在切削液罐1的外側(cè)，添加劑貯罐10上部的管路上裝有計(jì)量泵11，計(jì)量泵11通過(guò)管道與切削液罐1上的添加劑供應(yīng)管2聯(lián)接，計(jì)量泵11按添加劑與純水按1:80?120的配比將添加劑精確通過(guò)添加劑供應(yīng)管2打入切削液罐1內(nèi)。自動(dòng)配置供應(yīng)裝置上配有兩臺(tái)供應(yīng)泵12，一臺(tái)運(yùn)行，一臺(tái)備用，可確保系統(tǒng)持續(xù)工作。供應(yīng)泵12的進(jìn)口端通過(guò)管道與切削液罐1上的切削液供應(yīng)管15聯(lián)接，供應(yīng)泵12的出口管道上裝有一個(gè)熱交換器13，熱交換器13可將切削液出口的溫度控制在16?20°C，以增強(qiáng)刀片在切割中的冷卻效果。控制系統(tǒng)14通過(guò)控制線路分別與電磁閥6、電阻率傳感器7、上限位傳感器8、下限位傳感器9、供應(yīng)泵12、計(jì)量泵11聯(lián)接。
[0012]本實(shí)用新型所述的切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置在使用時(shí)，先將添加劑加入添加劑貯罐10，調(diào)整純水進(jìn)水管3的壓力表4和手動(dòng)閥5，調(diào)整計(jì)量泵11的參數(shù)，使添加劑與純水按1 =80^120的配比。通過(guò)控制系統(tǒng)14啟動(dòng)一臺(tái)供應(yīng)泵12，系統(tǒng)開(kāi)始為切片機(jī)自動(dòng)供應(yīng)切削液，切削液經(jīng)過(guò)熱交換系統(tǒng)13后，可將溫度有效控制在16?20度。
[0013]當(dāng)切削液罐1的液位到達(dá)下液位傳感器9時(shí)，計(jì)量泵11和電磁閥6自動(dòng)啟動(dòng)，將添加劑和純水按比例加入切削液罐1，當(dāng)切削液罐1的液位到達(dá)上液位傳感器8時(shí)，計(jì)量泵11和電磁閥6自動(dòng)關(guān)閉，反復(fù)循環(huán)，實(shí)現(xiàn)切削液的自動(dòng)配置和供應(yīng)。
[0014]當(dāng)計(jì)量泵11出現(xiàn)故障，添加劑停止注入時(shí)，電阻率傳感器7將信號(hào)反饋給控制系統(tǒng)14，系統(tǒng)自動(dòng)停止工作，并發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
【權(quán)利要求】
1.一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置，其特征是:所述的切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置主要由切削液罐(I)、添加劑貯罐(10)、計(jì)量泵(11)、供應(yīng)泵(12)、熱交換系統(tǒng)(13)、控制系統(tǒng)(14)構(gòu)成；其中切削液罐(I)頂部一側(cè)裝有添加劑供應(yīng)管(2)，切削液罐(I)頂部靠近中心位置裝有純水進(jìn)水管(3);在純水進(jìn)水管(3)上安裝有壓力表(4)、手動(dòng)閥(5)、電磁閥(6)；切削液供應(yīng)管(15)安裝在切削液罐(I)下部的一側(cè)上，在切削液罐(I)內(nèi)一側(cè)的上部和下部分別裝有上液位傳感器(8)和下液位傳感器(9)，電阻率傳感器(7)設(shè)置在切削液罐(I)內(nèi)側(cè)靠上的位置；添加劑貯罐(10)安裝固定在切削液罐(I)的外側(cè)，添加劑貯罐(10)上部管路裝有計(jì)量泵(11)，計(jì)量泵(11)與添加劑供應(yīng)管(2 )通過(guò)管道聯(lián)接；供應(yīng)泵(12 )進(jìn)口端與切削液罐(I)上的切削液供應(yīng)管(15)聯(lián)接，供應(yīng)泵(12)的出口管道上裝有一個(gè)熱交換器(13);控制系統(tǒng)(14)通過(guò)控制線路分別與電磁閥(6)、電阻率傳感器(7)、上限位傳感器(8)、下限位傳感器(9)、供應(yīng)泵(12)、計(jì)量泵(11)聯(lián)接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置，其特征是:切削液罐(I)是采用透明有機(jī)玻璃材料制成的長(zhǎng)方體密閉容器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切削液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置，其特征是:與切削液罐(I)上的切削液供應(yīng)管(15)聯(lián)接的供應(yīng)泵(12)是兩臺(tái)。
【文檔編號(hào)】B28D7/02GK204149346SQ201420491619
【公開(kāi)日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2014年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月29日
【發(fā)明者】陳衛(wèi)群, 寇文杰, 楊波 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司