專利名稱：一種晶體偏角度加工的定向料臺的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種晶體偏角度加工的定向料臺，屬于晶體加工裝置領域。
背景技術：
晶體生長面往往不是我們要求加工的晶面，要想達到我們想要的理想晶面必須通過定向來解決?，F(xiàn)在的技術一般只能達到找對要求的晶向，而達不到要求晶向的精度，即難以達到對晶向精度的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供了一種晶體偏角度加工的定向料臺，可以更便捷地控制晶向的精度。為了解決上述技術問題，本發(fā)明提供了如下的技術方案
一種晶體偏角度加工的定向料臺，包括底座、調(diào)整板、移位螺釘、垂直旋轉(zhuǎn)靶、水平旋轉(zhuǎn)靶、固定轉(zhuǎn)盤螺絲。底盤上部安裝支架、止退板，支架位于底盤一端，水平旋轉(zhuǎn)靶安裝在支架上。水平旋轉(zhuǎn)靶包括調(diào)節(jié)鈕、調(diào)節(jié)螺桿和移位螺釘，調(diào)節(jié)螺桿與移位螺釘螺紋連接。止退板上安裝有調(diào)整板，止退板與調(diào)整板通過設置在遠離支架一端的轉(zhuǎn)動軸連接，調(diào)整板靠近支架一端與水平旋轉(zhuǎn)靶的移位螺釘下端轉(zhuǎn)動連接，調(diào)整板位于支架內(nèi)側(cè)的部位設有以弧形上下通槽，并通過設置槽內(nèi)的鎖緊螺釘與止退板保持緊固。調(diào)整板的通槽與轉(zhuǎn)動軸之間靠近通槽部位豎直設置有立板，立板上靠轉(zhuǎn)動軸一側(cè)設有旋轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)臺上有刻度盤，刻度盤為360度刻度盤。旋轉(zhuǎn)臺一側(cè)安裝有垂直旋轉(zhuǎn)靶，相對的另一側(cè)安裝有固定轉(zhuǎn)盤螺絲，旋轉(zhuǎn)臺連接連接架，連接架與位于遠離支架一端設置的夾緊件相對，夾緊件固定于機架。所能加工的晶體只能是碳化硅或藍寶石。厚度可以是O. Imm-IOOmm,晶體直徑可以是2吋-4吋，晶體角度可以是0°、4°或8°。本發(fā)明目的是為了能更好，更快，更直接的找到我們要求的晶體取向，并在最小程度上控制晶向的精度，從而避免了因精度不高而重復的費料加工，大大降低了成本，提升了晶體的使用率。


附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本發(fā)明的實施例一起用于解釋本發(fā)明，并不構成對本發(fā)明的限制。在附圖中
圖I是本發(fā)明一種晶體偏角度加工的定向料 臺的結(jié)構示意 圖2是本發(fā)明一種晶體偏角度加工的定向料臺的俯視示意 圖3是本發(fā)明一種晶體偏角度加工的定向料臺調(diào)整板的旋轉(zhuǎn)示意圖。
具體實施例方式以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行說明，應當理解，此處所描述的優(yōu)選實施例僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。如圖1、2所示，一種晶體偏角度加工的定向料臺，包括底座6、調(diào)整板7、垂直旋轉(zhuǎn)靶15、水平旋轉(zhuǎn)靶I、固定轉(zhuǎn)盤螺絲16。底盤6上部安裝支架2、止退板13，支架2位于底盤6 —端，水平旋轉(zhuǎn)靶I安裝在支架2上。
水平旋轉(zhuǎn)靶I包括調(diào)節(jié)鈕、調(diào)節(jié)螺桿3和移位螺釘4，調(diào)節(jié)螺桿3與移位螺釘4螺紋連接。止退板13上安裝有調(diào)整板7，止退板13與調(diào)整板7通過設置在遠離支架一端的轉(zhuǎn)動軸12連接，調(diào)整板7靠近支架一端與水平旋轉(zhuǎn)靶I的移位螺釘下端轉(zhuǎn)動連接，調(diào)整板7位于支架內(nèi)側(cè)的部位設有以弧形上下通槽，并通過設置槽內(nèi)的鎖緊螺釘5與止退板13保持緊固。調(diào)整板7的通槽與轉(zhuǎn)動軸12之間靠近通槽部位豎直設置有立板8，立板8上靠轉(zhuǎn)動軸12 —側(cè)設有旋轉(zhuǎn)臺9，旋轉(zhuǎn)臺9上有刻度盤，刻度盤為360度刻度盤。旋轉(zhuǎn)臺9 一側(cè)安裝有垂直旋轉(zhuǎn)靶15，相對的另一側(cè)安裝有固定轉(zhuǎn)盤螺絲16，旋轉(zhuǎn)臺9連接連接架10，連接架10與位于遠離支架一端設置的夾緊件14相對，用以夾緊晶體
11。夾緊件14固定于機架。將需加工偏角度的晶體11固定到本發(fā)明定向料臺上，然后將料臺固定到X射線儀上。打開X射線儀，找到要求的晶向參數(shù)。 如圖3所示，通過調(diào)節(jié)水平旋轉(zhuǎn)靶I，調(diào)節(jié)螺桿3帶動移位螺釘4運動，從而移位螺釘4帶動調(diào)整板7轉(zhuǎn)動?；蛘叽怪毙D(zhuǎn)靶15來控制其偏角度精度。待校準完畢后，鎖緊刻度盤上的固定轉(zhuǎn)盤螺絲16即可，待晶體11平磨完畢后，便能得到符合要求的晶體。實施例一
將碳化硅晶體如晶向為(0001)偏X軸4°，做成(0001)，只需將碳化硅晶體固定到此定向料臺上，然后進行衍射定向。X軸向為水平面，只需調(diào)節(jié)水平方向的水平旋轉(zhuǎn)靶1，根據(jù)刻度顯示值，反方向調(diào)整4°便能找到我們要求的晶體晶向。實施例二
將碳化硅晶體如晶向為(0001)偏Y軸4°，做成(0001)，只需將碳化硅晶體固定到此定向料臺上，然后進行衍射定向。Y軸向為垂直面，只需調(diào)節(jié)垂直方向的垂直旋轉(zhuǎn)靶15，根據(jù)刻度顯示值，反方向調(diào)整4°便能找到我們要求的晶體晶向。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，盡管參照前述實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，對于本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權利要求
1.一種晶體偏角度加工的定向料臺，其特征在于包括底座、調(diào)整板、垂直旋轉(zhuǎn)靶、水平旋轉(zhuǎn)靶、固定轉(zhuǎn)盤螺絲， 底盤上部安裝支架、止退板，支架位于底盤一端，水平旋轉(zhuǎn)靶安裝在支架上， 水平旋轉(zhuǎn)靶包括調(diào)節(jié)鈕、調(diào)節(jié)螺桿和移位螺釘，調(diào)節(jié)螺桿與移位螺釘螺紋連接； 止退板上安裝有調(diào)整板，止退板與調(diào)整板通過設置在遠離支架一端的轉(zhuǎn)動軸連接，調(diào)整板靠近支架一端與水平旋轉(zhuǎn)靶的移位螺釘下端轉(zhuǎn)動連接，調(diào)整板位于支架內(nèi)側(cè)的部位設有以弧形上下通槽，并通過設置槽內(nèi)的鎖緊螺釘與止退板保持緊固； 調(diào)整板的通槽與轉(zhuǎn)動軸之間靠近通槽部位豎直設置有立板，立板上靠轉(zhuǎn)動軸一側(cè)設有旋轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)臺上有刻度盤，旋轉(zhuǎn)臺一側(cè)安裝有垂直旋轉(zhuǎn)靶，相對的另一側(cè)安裝有固定轉(zhuǎn)盤螺絲， 旋轉(zhuǎn)臺連接連接架，連接架與位于遠離支架一端設置的夾緊件相對。
2.根據(jù)權利要求I所述的一種晶體偏角度加工的定向料臺，其特征在于刻度盤為360度刻度盤。
3.根據(jù)權利要求I所述的一種晶體偏角度加工的定向料臺，其特征在于夾緊件固定于機架。
4.根據(jù)權利要求I所述的一種晶體偏角度加工的定向料臺，其特征在于所能加工的晶體厚度可以是O. Imm-IOOmm,晶體直徑可以是2吋-4吋，晶體角度可以是0°、4°或8°。
5.根據(jù)權利要求I所述的一種晶體偏角度加工的定向料臺，其特征在于所加工晶體只能是碳化硅或藍寶石。
全文摘要
本發(fā)明提供一種晶體偏角度加工的定向料臺，包括底座、調(diào)整板、垂直旋轉(zhuǎn)靶、水平旋轉(zhuǎn)靶、固定轉(zhuǎn)盤螺絲，底盤上部安裝支架、止退板，止退板上安裝有調(diào)整板，調(diào)整板中間的立板上設有旋轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)臺連接連接架，連接架與位于遠離支架一端設置的夾緊件相對。旋轉(zhuǎn)臺一側(cè)安裝有固定刻度盤的固定轉(zhuǎn)盤螺絲，另一側(cè)安裝有豎直方向的垂直旋轉(zhuǎn)靶，本發(fā)明的目的是為了能更好，更快，更直接的找到我們要求的晶體取向，并在最小程度上控制晶向的精度，從而避免了因精度不高而重復的費料加工，大大降低了成本，提升了晶體的使用率。
文檔編號B28D7/00GK102615721SQ20121009428
公開日2012年8月1日 申請日期2012年4月1日 優(yōu)先權日2012年4月1日
發(fā)明者倪代秦, 吳星, 張世杰, 李旭明, 李闖, 賈海濤, 高鵬成 申請人:北京華進創(chuàng)威電子有限公司