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硅片多線切割斷線檢測裝置的制作方法

文檔序號:1856817閱讀:401來源:國知局
專利名稱:硅片多線切割斷線檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于硅片切割技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及用于硅片多線切割的斷線檢測裝置。
背景技術(shù)
硅片是半導體和光伏領(lǐng)域的主要生產(chǎn)材料。多線切割設備是用于切割硅片的設備,其是通過密集金屬線的高速往復運動,將硅塊材料一次同時切割成數(shù)百或數(shù)千片薄片。 在整個切割過程中,金屬線從放線輥到收線輥通過多個導線輥的引導,在相對設置的一對加工輥上形成一張水平線網(wǎng),而待切割硅塊通過工作臺的下降實現(xiàn)從上到下的進給。在切割的過程中,斷線現(xiàn)象一直是線切割加工中的一個嚴重問題。斷線使加工停頓并不得不從頭開始,從而浪費大量工時,而且破壞了加工面的完整性。由于作為切割面的線網(wǎng)是由一根金屬線在兩個加工輥之間有序排布,形成一個切割平面,當切割斷線發(fā)生后, 斷線位置的線網(wǎng)無法按序繼續(xù)行駛,如果不能及時停機,加工輥將仍處于運轉(zhuǎn)狀態(tài),這樣將由于慣性導致在斷線位置線網(wǎng)開裂并向后抽空,直至停機。因切割過程中線網(wǎng)抽空后無法進行重新排布,所以抽空處的硅塊無法繼續(xù)切割,造成硅塊原料的嚴重浪費。因此必須設置斷線檢測設備,以便在斷線發(fā)生后及時停機,避免或減少抽空的發(fā)生。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中設置在多線切割設備上的斷線檢測裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖。圖 2為圖1的俯視圖。圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的斷線檢測裝置與多線切割設備的連接結(jié)構(gòu)示意圖。 如圖1至圖3所示,現(xiàn)有的斷線檢測裝置主要包括分別與放線輥1和收線輥2連接并隨放線輥1和收線輥2旋轉(zhuǎn)的兩個轉(zhuǎn)軸3,轉(zhuǎn)軸3的外側(cè)設置與轉(zhuǎn)軸3相接觸并且相對應的由支架4支撐的兩個電刷5,支架4的下端由支架支撐軸6支撐,支架支撐軸6上設置有使支架 4與支架支撐軸6絕緣的絕緣套7。電刷5分別通過導線8與斷線檢測控制器9連接,斷線檢測控制器9同時與多線切割設備的機架(圖中未示出)連接,能檢測機架與金屬線導通時發(fā)生的信號。當多線切割設備的金屬線10出現(xiàn)斷線情況,斷了的金屬線10會接觸多線切割設備,使斷線檢測控制器9能夠感知,向多線切割設備發(fā)出信號,從而控制停機,達到保護生產(chǎn)的目的。作為多重保護,斷線檢測控制器9在接收多線切割設備金屬線接地信號的同時, 斷線檢測控制器9也通過放線輥1 一側(cè)的轉(zhuǎn)軸3和電刷5,收線輥2 —側(cè)的轉(zhuǎn)軸3及電刷 5,自行發(fā)送接收一定數(shù)目的信號。正常情況下,斷線檢測控制器9發(fā)送的信號數(shù)目和接收的信號數(shù)目相匹配。由于現(xiàn)有技術(shù)中一個轉(zhuǎn)軸3上的兩個電刷5位于轉(zhuǎn)軸3的同一橫截面上,且轉(zhuǎn)軸3與電刷5均采用銅材料制成,因此電刷5與轉(zhuǎn)軸3之間磨損嚴重,接觸條件變差,可能會有信號數(shù)目的丟失,造成信號數(shù)目不匹配,進而誤報警停機,同時磨耗掉的銅屑聚集在支架4下面的支架支撐軸6內(nèi),使支架4與支架支撐軸6導通,使斷線檢測控制器9 錯誤地接收到金屬線10已接觸到機架的信息(實際金屬線10未斷),斷線檢測控制器9向多線切割設備發(fā)出信號使其停機。因此給正常生產(chǎn)帶來影響。
實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片多線切割斷線檢測裝置,該硅片多線切割斷線檢測裝置的轉(zhuǎn)軸磨損較小,減少銅屑的聚集使設備之間不會發(fā)生電導通,從而使多線切割設備在未斷線的情況下不會因收到停機信號而發(fā)生停機。為了解決上述技術(shù)問題,本實用新型采用了如下技術(shù)方案一種硅片多線切割斷線檢測裝置,包括斷線檢測控制器,所述斷線檢測控制器分別通過一對電刷與多線切割設備的放線輥和收線輥的轉(zhuǎn)軸電連接,其中,每對電刷在所述轉(zhuǎn)軸的軸向上錯開設置。作為優(yōu)選,每對電刷在所述轉(zhuǎn)軸的軸向上錯開一個電刷的厚度的距離。作為優(yōu)選,所述電刷為石墨碳刷。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果在于1、本實用新型的硅片多線切割斷線檢測裝置位于同一轉(zhuǎn)軸外側(cè)的兩個電刷在轉(zhuǎn)軸的軸向上錯開設置,減少了轉(zhuǎn)軸的磨損。2、本實用新型的硅片多線切割斷線檢測裝置中的電刷采用石墨碳刷,更進一步減少了轉(zhuǎn)軸的磨損,防止了因銅屑聚集電導通而發(fā)生誤報警停機的情況,同時石墨本身有潤滑轉(zhuǎn)軸與電刷接觸面的作用。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中設置在多線切割設備上的斷線檢測設備的局部結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1的俯視圖。圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的斷線檢測系統(tǒng)與多線切割設備的連接結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本實用新型的實施例的硅片多線切割斷線檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為圖4的俯視圖。圖6為本實用新型的實施例的硅片多線切割斷線檢測設備與多線切割設備的連接結(jié)構(gòu)示意圖。標記說明[0020]1-放線輥2-收線輥[0021]3-轉(zhuǎn)軸4-支架[0022]5-電刷6-支架支撐軸[0023]7-絕緣套8-導線[0024]9-斷線檢測控制器10-金屬線[0025]11-石墨碳刷
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細描述,但不作為對本實用新型的限定。圖4為本實用新型的實施例的硅片多線切割斷線檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為圖4的俯視圖。圖6為本實用新型的實施例的硅片多線切割斷線檢測裝置與多線切割設備的連接結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4至圖6所示,本實用新型的硅片多線切割斷線檢測裝置包括斷線檢測控制器9、斷線檢測控制器9分別通過一對電刷與多線切割設備的放線輥1和收線輥2的轉(zhuǎn)軸3電連接,每對電刷在轉(zhuǎn)軸3的軸向上錯開設置。電刷均由支架4及支架支撐軸6 支撐。每對電刷在轉(zhuǎn)軸3的軸向上錯開設置,減小了轉(zhuǎn)軸3的磨損。作為本實施例的一種優(yōu)選方案,為了確保每對電刷中的兩個電刷與轉(zhuǎn)軸的摩擦位置不重疊,每對電刷在轉(zhuǎn)軸3的軸向上錯開一個電刷的厚度的距離。作為本實施例的再一種優(yōu)選方案,所述電刷為石墨碳刷11。轉(zhuǎn)軸3采用銅材質(zhì),電刷為石墨材質(zhì),由于轉(zhuǎn)軸3與石墨碳刷11為不同的材質(zhì),使銅質(zhì)的轉(zhuǎn)軸3不易磨損,石墨碳刷11會有輕微磨損。且石墨本身有潤滑接觸面的作用,磨損下來的石墨屑能對轉(zhuǎn)軸3與石墨碳刷U起潤滑作用,從而有利于改善該部分的工作條件。如圖6所示,斷線檢測控制器9與每對石墨碳刷11通過導線8相連,同時斷線檢測控制器9還與多線切割設備的機架連接(圖中未示出)。當金屬線10未斷時,斷線檢測控制器9檢測到機架正常的信號,當金屬線10斷開而落到機架上時,則斷線檢測控制器9 檢測到異常信號,則斷線檢測控制器9向多線切割設備發(fā)出報警停機的信號。但與此同時斷線檢測控制器9還通過放線輥1上的轉(zhuǎn)軸3和一對石墨碳刷11,收線輥2上的轉(zhuǎn)軸3和一對石墨碳刷11自行發(fā)送接收一定數(shù)目的信號,當斷線檢測控制器9發(fā)送的信號和接收的信號的數(shù)目相匹配時,斷線檢測控制器9檢測為設備工作正常狀態(tài),不會向多線切割設備發(fā)出停機報警信號。但當轉(zhuǎn)軸3與石墨碳刷11相互摩擦,造成接觸條件變差,可能會有信號數(shù)目的丟失,造成信號數(shù)目不匹配,進而誤報警停機;產(chǎn)生的銅屑或碳屑聚集使支架4與支架支撐軸6之間導通時,則斷線檢測控制器9錯誤地接收到金屬線10已接觸到機架的信息(金屬線10實際未斷),斷線檢測控制器9也會發(fā)出報警停機信號。由于本實用新型的轉(zhuǎn)軸3與石墨碳刷11之間磨損減少,不會產(chǎn)生磨屑的聚集而發(fā)生電導通的現(xiàn)象,也就不會發(fā)生誤報停機的情況。本實用新型的硅片多線切割斷線檢測裝置實際試用150小時,轉(zhuǎn)軸3無明顯磨耗, 石墨碳刷11有輕微磨耗,多線切割設備內(nèi)部無明顯導電的碳、銅屑產(chǎn)生。試用期間沒有發(fā)生因為導電屑而發(fā)生斷線報警的情況,達到了預期的目的。以上實施例僅為本實用新型的示例性實施例,不用于限制本實用新型,本實用新型的保護范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實用新型的實質(zhì)和保護范圍內(nèi),對本實用新型做出各種修改或等同替換,這種修改或等同替換也應視為落在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片多線切割斷線檢測裝置,包括斷線檢測控制器,所述斷線檢測控制器分別通過一對電刷與多線切割設備的放線輥和收線輥的轉(zhuǎn)軸電連接,其特征在于,每對電刷在所述轉(zhuǎn)軸的軸向上錯開設置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片多線切割斷線檢測裝置,其特征在于,每對電刷在所述轉(zhuǎn)軸的軸向上錯開一個電刷的厚度的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片多線切割斷線檢測裝置,其特征在于,所述電刷為石墨碳刷。
專利摘要本實用新型公開了一種硅片多線切割斷線檢測裝置,包括斷線檢測控制器,所述斷線檢測控制器分別通過一對電刷與多線切割設備的放線輥和收線輥的轉(zhuǎn)軸電連接,每對電刷在所述轉(zhuǎn)軸的軸向上錯開設置。本實用新型的硅片多線切割斷線檢測裝置位于同一轉(zhuǎn)軸外側(cè)的兩個電刷在轉(zhuǎn)軸的軸向上錯開設置,減少了旋轉(zhuǎn)軸的磨損。同時電刷采用石墨碳刷,更進一步減少了轉(zhuǎn)軸的磨損,防止了因銅屑聚集電導通而發(fā)生誤報警停機的情況,同時石墨本身有潤滑轉(zhuǎn)軸與電刷接觸面的作用。
文檔編號B28D5/04GK201979616SQ20112004200
公開日2011年9月21日 申請日期2011年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月17日
發(fā)明者王明 申請人:揚州榮德新能源科技有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司
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