專利名稱：脆性工件的切割方法及切割裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在對(duì)例如液晶顯示器用玻璃等的由脆性材料構(gòu)成的脆性工件進(jìn)行切割、或?qū)Υ嘈怨ぜ?shí)施開(kāi)孔加工時(shí)所使用的脆性工件的切割方法及切割裝置。
背景技術(shù)：
目前，作為上述的脆性工件的切割方法，例如有專利文獻(xiàn)I中公開(kāi)的脆性材料的切割方法。該脆性材料的切割方法如下進(jìn)行切割，從表面?zhèn)日丈浼す?，使焦點(diǎn)與脆性材料的背面乃至其附近內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)，使脆性材料的背面產(chǎn)生裂紋，接著，對(duì)產(chǎn)生了該裂紋的部位再次照射激光進(jìn)行加熱，由此，使上述裂紋從背面成長(zhǎng)直到表面。專利文獻(xiàn)I :(日本)特開(kāi)2005 — 179154號(hào)公報(bào)上述的脆性材料的切割方法中，由于在切割時(shí)不需要用于指定切割的開(kāi)始位置而弄出傷痕或形成易于分割材料的劃線，因此，能夠縮短加工時(shí)間。但是，該脆性材料的切割方法中，由于通過(guò)激光的第二次照射使由第一次的激光照射而產(chǎn)生的裂紋沿材料厚度方向成長(zhǎng)，因此，不能否定在切割面可能會(huì)產(chǎn)生微小的裂紋或變形，并且例如在對(duì)脆性材料開(kāi)設(shè)方孔的情況下，具有可能在內(nèi)角產(chǎn)生意想不到的裂紋的問(wèn)題，解決這些問(wèn)題成為目前的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有課題而創(chuàng)立的，其目的在于，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)時(shí)間的縮短，并且得到幾乎不需要精加工的切割面，而且，在進(jìn)行具有矩形狀或星形狀等內(nèi)角的形狀的開(kāi)孔加工時(shí)，可在內(nèi)角形成無(wú)裂紋的孔的脆性材料的切割方法及切割裝置。本發(fā)明提供一種脆性工件的切割方法，對(duì)液晶顯示器用玻璃等的由脆性材料構(gòu)成的脆性工件進(jìn)行切割，對(duì)所述脆性工件的表面照射激光，使所述激光以描繪直線或曲線等所希望的切割線的方式進(jìn)行掃描，從而對(duì)該脆性工件進(jìn)行切割，接著，使以光束直徑為所述激光的光束直徑以上且輸出為所述激光的輸出以下的激光沿所述切割線掃描，使切割面再次熔化(本發(fā)明第一方面)。另外，本發(fā)明提供一種脆性工件的切割裝置，對(duì)液晶顯示器用玻璃等的由脆性材料構(gòu)成的脆性工件進(jìn)行切割，具備激光振蕩器，其發(fā)射激光；掃描機(jī)構(gòu)，其使從該激光振蕩器發(fā)射的激光的光軸及所述脆性工件相對(duì)地移動(dòng)，并使所述激光在脆性工件的表面上進(jìn)行掃描；控制部，其使所述激光振蕩器及所述掃描機(jī)構(gòu)動(dòng)作，并使所述激光在脆性工件的表面上以描繪所希望的切割線的方式進(jìn)行掃描，從而對(duì)該脆性工件進(jìn)行切割，并且，使激光沿通過(guò)該掃描而已切割的所述脆性工件的切割線再次進(jìn)行掃描，使切割面再次熔化，所述控制部將后掃描的后激光的光束直徑控制在先掃描的先激光的光束直徑以上，并且將后掃描的所述后激光的輸出控制在先掃描的所述先激光的輸出以下(本發(fā)明第二方面)。優(yōu)選的構(gòu)成為，具備發(fā)射所述先激光的先激光振蕩器和發(fā)射所述后激光的后激光振蕩器，所述控制部進(jìn)行如下的控制，即、使所述先激光振蕩器及所述掃描機(jī)構(gòu)動(dòng)作，并使所述先激光在脆性工件的表面上以描繪所希望的切割線的方式進(jìn)行掃描，從而對(duì)該脆性工件進(jìn)行切割，并且，使所述后激光振蕩器及所述掃描機(jī)構(gòu)動(dòng)作，并使來(lái)自所述后激光振蕩器的后激光沿通過(guò)所述先激光的掃描而已切割的所述脆性工件的切割線進(jìn)行掃描，使切割面再次熔化(本發(fā)明第三方面)。本發(fā)明的脆性工件的切割方法及切割裝置用于例如作為脆性工件厚度為O. 1_、 IOOmmX IOOmm的液晶顯示器用玻璃的切割或方孔、圓孔等的開(kāi)孔加工。此時(shí)，激光振蕩器的激光介質(zhì)能夠使用例如CO2或Yb :玻璃纖維，為了阻止熱量輸入過(guò)多引起的裂紋的產(chǎn)生，優(yōu)選在使用CO2激光振蕩器的情況下將輸出抑制在18W左右，在使用Yb :玻璃纖維激光振蕩器的情況下將輸出抑制在30W左右。另外，作為激光輸出方式，除了能夠采用連續(xù)振蕩之外，還可以采用正態(tài)脈沖振蕩、或例如脈沖寬度為飛母托秒的Q開(kāi)關(guān)脈沖振蕩。另外，本發(fā)明的脆性工件的切割方法及切割裝置中，在切割脆性工件的情況下，從設(shè)于激光筒的氣體供給口對(duì)脆性工件的切割部分噴出作為輔助氣體的中心保護(hù)氣體并進(jìn)行切割，但該中心保護(hù)氣體優(yōu)選使用可提高切割性能的氬、氦、氮等惰性氣體。另外，本發(fā)明的脆性工件的切割方法及切割裝置中，優(yōu)選對(duì)脆性工件的切割部分噴出同樣作為輔助氣體的輔助保護(hù)氣體，該輔助保護(hù)氣體的種類、供給量、供給角度可根據(jù)切割要求和切割規(guī)格在加工現(xiàn)場(chǎng)適當(dāng)確定。這樣，當(dāng)對(duì)脆性工件的切割部分噴出輔助保護(hù)氣體并進(jìn)行切割時(shí)，脆性工件的照射激光的表面?zhèn)鹊那懈钯|(zhì)量提高。另外，本發(fā)明的脆性工件的切割方法及切割裝置中，優(yōu)選在支承脆性工件的夾具的形狀上想辦法，而且使用阻止浮渣(熔化金屬)附著在切割面的浮渣消除用的輔助氣體。具體而言，優(yōu)選在夾具上設(shè)置沿著直線或曲線等切割線的槽，同時(shí)對(duì)該槽供給浮渣消除用的輔助氣體，此時(shí)，如果脆性工件的厚度為例如約100 μ m，則優(yōu)選在切割線與夾具的槽的邊緣之間設(shè)置20 μ m左右的余隙，另外，如果脆性工件的厚度為例如約50 μ m,則優(yōu)選在切割線與夾具的槽的邊緣之間設(shè)置15 μ m左右的余隙。這樣，當(dāng)在夾具上設(shè)置沿著切割線的槽，且對(duì)該槽供給浮渣消除用的輔助氣體時(shí)， 脆性工件的背面?zhèn)鹊那懈钯|(zhì)量提高。本發(fā)明的脆性工件的切割方法及切割裝置中，在例如采用CO2作為激光振蕩器的激光介質(zhì)，且通過(guò)連續(xù)振蕩產(chǎn)生的激光開(kāi)設(shè)方孔的情況下，首先，在液晶顯示器用玻璃的表面上使18W以下的激光以所希望的方孔形狀進(jìn)行掃描而開(kāi)孔。接著，以輸出為與該切割時(shí)相同的18W以下的輸出且光束直徑為該切割時(shí)以上的光束直徑的激光沿方孔的邊緣掃描進(jìn)行再次熔化。這樣，本發(fā)明的脆性工件的切割方法及切割裝置中，由于沿通過(guò)第一次激光的掃描而形成的方孔的邊緣使激光再次掃描，對(duì)方孔的邊緣進(jìn)行再次熔化，因此，即使在第一次激光掃描的加工時(shí)在方孔的邊緣(特別是內(nèi)角)產(chǎn)生微小的裂紋或變形，這些裂紋或變形可以通過(guò)第二次激光掃描的再次熔化而消除，因此，幾乎不需要精加工，可在內(nèi)角形成無(wú)裂紋的方孔。本發(fā)明的脆性工件的切割方法及脆性工件的切割裝置中，由于沿通過(guò)第一次激光的掃描而形成的切割面使激光再次掃描，對(duì)該切割面進(jìn)行再次熔化，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)時(shí)間的縮短，并且得到幾乎不需要精加工的切割面(加工面)，并且在進(jìn)行具有矩形狀或星形狀等內(nèi)角的形狀的開(kāi)孔加工時(shí)，帶來(lái)可在內(nèi)角形成無(wú)裂紋的孔的非常優(yōu)異的效果。另外，本發(fā)明的脆性工件的切割裝置中，其構(gòu)成具備發(fā)射先激光的先激光振蕩器及發(fā)射后激光的后激光振湯器，因此，可以使來(lái)自后激光振湯器的后激光追隨先激光進(jìn)打掃描，其結(jié)果帶來(lái)可實(shí)現(xiàn)更進(jìn)一步縮短作業(yè)時(shí)間的非常優(yōu)異的效果。


圖I是本發(fā)明一實(shí)施例的脆性工件的切割裝置的整體立體說(shuō)明圖；圖2是圖I所示的脆性工件的切割裝置的正面說(shuō)明圖；圖3是圖I所示的脆性工件的切割裝置的側(cè)面說(shuō)明圖；圖4是表示在圖I的脆性工件的切割裝置的加工工作臺(tái)上安裝工件的要領(lǐng)的立體說(shuō)明圖；圖5是表示在圖4的加工工作臺(tái)上安裝工件的狀態(tài)的立體說(shuō)明圖；圖6是圖I所示的脆性工件的切割裝置進(jìn)行的工件切割要領(lǐng)說(shuō)明圖；圖7是利用圖I所示的脆性工件的切割裝置切割工件時(shí)的輔助氣體的供給要領(lǐng)說(shuō)明圖；圖8是利用圖I所示的脆性工件的切割裝置切割的工件的剖面圖像；圖9是利用同圖I所示的脆性工件的切割裝置實(shí)施開(kāi)方孔加工的工件的平面10是利用同圖I所示的脆性工件的切割裝置實(shí)施開(kāi)圓孔加工的工件的平面圖像。符號(hào)說(shuō)明I脆性工件的切割裝置ACO2激光振蕩器10加工工作臺(tái)(夾具；掃描機(jī)構(gòu))IIX方向?qū)蚣?掃描機(jī)構(gòu))12Y方向?qū)蚣?掃描機(jī)構(gòu))31激光控制器(控制部)32加工工作臺(tái)控制器(控制部)La、Lb 激光W液晶顯示器用玻璃(脆性工件)Wa切割線Wb切割面
具體實(shí)施例方式下面，基于附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。圖I 圖7表示本發(fā)明的脆性工件的切割裝置的一實(shí)施例，該實(shí)施例中，以將本發(fā)明的脆性工件的切割裝置用于液晶顯示器用玻璃的切割及方孔、圓孔等開(kāi)孔加工的情況為例進(jìn)行列舉說(shuō)明。如圖I 圖3所示，該脆性工件的切割裝置I具備在四角具有帶支架腳輪2a的基部2，該基部2上的一端側(cè)半面成為各種設(shè)備的搭載區(qū)域A，并且，基部2上的另一端側(cè)半面成為加工區(qū)域B。在基部2上的搭載區(qū)域A設(shè)置有構(gòu)筑成臺(tái)狀的構(gòu)架3。在該構(gòu)架3上載置有發(fā)射激光的CO2激光振蕩器4，在被構(gòu)架3包圍的部位收納有電源供給箱5、6及吸引后述的輔助氣體的集煙箱7。另一方面，在基部2上的加工區(qū)域B設(shè)有內(nèi)置有聚光透鏡的沿著垂直方向激光筒
8。該激光筒8可升降地配置于向構(gòu)架3的加工區(qū)域B的延伸部的前端，在該激光筒8的下端部設(shè)有將氬等惰性氣體作為中心保護(hù)氣體(輔助氣體)供給的氣體供給口 9。另外，在該加工區(qū)域B設(shè)有位于激光筒8的下方并以平放的狀態(tài)支承液晶顯示器用玻璃的加工工作臺(tái)(夾具)10。如圖4所示，該工作臺(tái)10形成具有底部IOa的矩形框狀。在朝向該加工工作臺(tái)10 的上方的端面的內(nèi)側(cè)的邊緣形成有承受玻璃用的臺(tái)階10b，又如圖5所示，液晶顯示器用玻璃W以平放的狀態(tài)載置于臺(tái)階IOb上，通過(guò)將周圍螺紋緊固而固定。該情況下，在加工區(qū)域B設(shè)置有固定于基部2上的X方向?qū)蚣?1和在該X方向?qū)蚣?1上滑動(dòng)的Y方向?qū)蚣?2，加工工作臺(tái)10可滑動(dòng)地配置于該Y方向?qū)蚣?2 上。即，加工工作臺(tái)10及兩個(gè)導(dǎo)向件11、12使液晶顯示器用玻璃相對(duì)于激光筒8在水平面內(nèi)(XY面內(nèi))移動(dòng)，構(gòu)成在該液晶顯不器用玻璃上掃描激光的掃描機(jī)構(gòu)。另外，在加工區(qū)域B設(shè)有對(duì)從CO2激光振蕩器4發(fā)射的激光的光束直徑等進(jìn)行調(diào)節(jié)并將其導(dǎo)向激光筒8的半透明反射鏡單元13、光束擴(kuò)展器單元14、曲面鏡15。半透明反射鏡單元13及光束擴(kuò)展器單元14固定于構(gòu)架3的向加工區(qū)域B的延伸部上，曲面鏡15配置于激光筒8的上方。該實(shí)施例中，基部2上的加工區(qū)域B被由縱框21及橫框22支承的透明面板23覆蓋，通過(guò)使位于正面及側(cè)面的透明面板23按照雙槽推拉門的要領(lǐng)左右滑動(dòng)，形成用于相對(duì)于加工工作臺(tái)10拆裝液晶顯示器用玻璃的開(kāi)口。在覆蓋加工區(qū)域B的上方的透明面板23上配置有激光控制器(控制部)31，并且， 在加工區(qū)域B側(cè)的基部2收納有加工工作臺(tái)控制器(控制部)32。這些控制器31、32分別對(duì) CO2激光振蕩器4、掃描機(jī)構(gòu)即加工工作臺(tái)10及兩個(gè)導(dǎo)向件11、12進(jìn)行如下控制。首先,如圖6所75,使CO2激光振蕩器4及掃描機(jī)構(gòu)動(dòng)作,使CO2激光振蕩器4發(fā)射的激光La在液晶顯示器用玻璃W上以描繪所希望的切割線的方式以適當(dāng)速度進(jìn)行掃描，對(duì)該液晶顯示器用玻璃W進(jìn)行切割。接著，沿通過(guò)該掃描而已切割的液晶顯示器用玻璃W的切割線Wa再次使CO2激光振蕩器4發(fā)射的激光Lb以適當(dāng)速度掃描，使切割面進(jìn)行再次熔化。此時(shí),這些控制器31、32以后掃描的后激光Lb的光束直徑成為先掃描的先激光La 的光束直徑以上的方式進(jìn)行控制，且以后掃描的后激光Lb的輸出成為先掃描的先激光La 的輸出以下的方式進(jìn)行控制。上述的脆性工件的切割裝置I中，在將液晶顯示器用玻璃W切割的情況下，如圖7 簡(jiǎn)略所示，從設(shè)于激光筒8的氣體供給口 9對(duì)液晶顯示器用玻璃W的切割部分噴出作為輔助氣體的中心保護(hù)氣體CG并進(jìn)行切割。另外，上述的脆性工件的切割裝置I中，優(yōu)選對(duì)液晶顯示器用玻璃W的切割部分同樣噴出作為輔助氣體的輔助保護(hù)氣體SG，該輔助保護(hù)氣體SG的種類、供給量、供給角度根據(jù)切割要求和切割規(guī)格能夠在加工現(xiàn)場(chǎng)適當(dāng)確定。這樣，當(dāng)對(duì)液晶顯示器用玻璃W的切割部分噴出輔助保護(hù)氣體SG同時(shí)進(jìn)行切割時(shí)，液晶顯示器用玻璃W的表面?zhèn)鹊那懈钯|(zhì)量提高。另外，在上述的脆性工件的切割裝置I中，在夾具即加工工作臺(tái)10上設(shè)置沿著切割線Wa的槽10c，并且能夠向該槽IOc供給阻止浮渣(熔化金屬)附著在切割面的浮渣消除用的輔助氣體DG，此時(shí)，如果液晶顯示器用玻璃W的厚度為例如大約100 μ m,則優(yōu)選在切割線Wa與工作臺(tái)10的槽IOc的邊緣IOd之間設(shè)置20 μ m左右的余隙，另外，如果液晶顯示器用玻璃W的厚度為例如大約50 μ m,則優(yōu)選在切割線Wa與工作臺(tái)10的槽IOc的邊緣IOd之間設(shè)置15 μ m左右的余隙。這樣，如果以在工作臺(tái)10上設(shè)置沿著切割線Wa的槽IOc且對(duì)該槽IOc供給浮渣消除用的輔助氣體DG的方式形成，則液晶顯示器用玻璃W的背面?zhèn)鹊那懈钯|(zhì)量提高。另外，工作臺(tái)10的槽IOc不限定于直線狀，如果切割線為曲線，則形成為與其對(duì)應(yīng)的曲線狀。圖2中的符號(hào)35為輔助氣體調(diào)整部，符號(hào)36為動(dòng)作顯示燈。另外，符號(hào)37為冷卻單元，圖3中的符號(hào)38為氣體供給源連結(jié)部。在形成這種構(gòu)成的脆性工件的切割裝置I中，在用連續(xù)振蕩產(chǎn)生的激光切割液晶顯不器用玻璃W的情況下,首先,通過(guò)激光控制器31使CO2激光振蕩器4動(dòng)作產(chǎn)生激光,與此同時(shí)，通過(guò)加工工作臺(tái)控制器32分別使掃描機(jī)構(gòu)即工作臺(tái)10及兩個(gè)導(dǎo)向件11、12動(dòng)作。而且，如果依次通過(guò)半透明反射鏡單元13、光束擴(kuò)展器單元14及曲面鏡15并被導(dǎo)向激光筒8的激光在激光筒8中被調(diào)節(jié)成規(guī)定大小的光束直徑并照射,則如圖6所不,激光 La在加工工作臺(tái)10上的液晶顯示器用玻璃W的表面上以規(guī)定的速度按所希望的形狀掃描并進(jìn)行切割。接著，以與CO2激光振蕩器4發(fā)射的第一次的激光La相同輸出且使相同光束直徑的激光Lb沿著通過(guò)該激光La的掃描而已切割的液晶顯示器用玻璃W的切割線Wa以規(guī)定的速度再次掃描，使切割面再次熔化。這樣，該實(shí)施例的脆性工件的切割裝置I中，由于使激光Lb沿著通過(guò)第一次激光 La掃描而形成的切割線Wa再次掃描，使切割面再次熔化，因此，即使在第一次激光La的掃描進(jìn)行的切割時(shí)在切割面產(chǎn)生微小的裂紋或變形，這些裂紋或變形也能夠通過(guò)第二次激光 Lb的掃描進(jìn)行的再次熔化而消除，因此，得到幾乎不需要精加工的切割面。如圖7所示，在進(jìn)行上述切割時(shí)，在對(duì)液晶顯示器用玻璃W的切割線Wa噴出輔助保護(hù)氣體SG同時(shí)進(jìn)行切割時(shí)，液晶顯示器用玻璃W的表面?zhèn)鹊那懈钯|(zhì)量提高。另外，在向設(shè)于加工工作臺(tái)10的槽IOc供給浮渣消除用的輔助氣體DG同時(shí)進(jìn)行切割時(shí)，液晶顯示器用玻璃W的背面?zhèn)鹊那懈钯|(zhì)量也提高。因此，用顯微鏡觀察通過(guò)該實(shí)施例的脆性工件的切割裝置I切割厚度為O. 1mm、 IOOmmX IOOmm的液晶顯示器用玻璃時(shí)的切割面后，得到圖8所示的顯微鏡圖像。在進(jìn)行該切割時(shí)，將激光La、Lb的各輸出、掃描速度及光束直徑分別設(shè)為18W、10mm / sec及60 μ m。
根據(jù)圖8所示的顯微鏡圖像判斷在液晶顯示器用玻璃W的切割面Wb未產(chǎn)生裂紋或變形，由此，可證實(shí)在該實(shí)施例的脆性工件的切割裝置I中得到幾乎不需要精加工的切割面Wb。另外，觀察通過(guò)該實(shí)施例的脆性工件的切割裝置I對(duì)厚度為O. ImmUOOmmX IOOmm 的液晶顯示器用玻璃開(kāi)設(shè)有方孔及圓孔時(shí)的平面后，得到圖9及圖10表示的圖像。在對(duì)它們進(jìn)行加工時(shí)，也將激光La、Lb的各輸出、掃描速度及光束直徑分別設(shè)為18W、10mm / sec 及 60 μ m。根據(jù)圖9及圖10表示的圖像判斷在形成于液晶顯示器用玻璃的方孔Wc及圓孔Wd 的各邊緣(特別是方孔的內(nèi)角)均未產(chǎn)生裂紋或變形，由此，可證實(shí)在該實(shí)施例的脆性工件的切割裝置I中得到幾乎不需要精加工的方孔Wc (內(nèi)角沒(méi)有裂紋的方孔)或圓孔W。上述的實(shí)施例的脆性工件的切割裝置I中，第一次的激光La的掃描及第二次的激光Lb的掃描中,均將輸出及光束直徑分別設(shè)為18W及60 μ m,但也可以將第二次的掃描的激光Lb的輸出設(shè)為小于18W,將光束直徑設(shè)為大于60 μ m。另外，上述的實(shí)施例的脆性工件的切割裝置I中，將激光介質(zhì)設(shè)為CO2，但也可以將激光介質(zhì)設(shè)為玻璃纖維，而且，激光輸出方式也不限定于連續(xù)振蕩。另外，上述的實(shí)施例中，以脆性工件的切割裝置I具備I臺(tái)CO2激光振蕩器4的情況為例進(jìn)行列舉說(shuō)明，但作為其它的構(gòu)成，除了 CO2激光振蕩器4之外，也可以再設(shè)置I臺(tái)激光介質(zhì)與該CO2激光振蕩器4相同的激光振蕩器或激光介質(zhì)不同的激光振蕩器。這樣，在除了 CO2激光振蕩器4之外再設(shè)置I臺(tái)激光振蕩器的情況下，能夠使來(lái)自該激光振蕩器(后激光振蕩器)的后激光追隨來(lái)自CO2激光振蕩器4 (先激光振蕩器)的先激光進(jìn)行掃描，其結(jié)果可以實(shí)現(xiàn)作業(yè)時(shí)間的更進(jìn)一步的縮短。本發(fā)明的脆性工件的切割方法及切割裝置的構(gòu)成不限定于上述的實(shí)施例的構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種脆性工件的切割方法，對(duì)液晶顯示器用玻璃等的由脆性材料構(gòu)成的脆性工件進(jìn)行切割，其特征在于，對(duì)所述脆性工件的表面照射激光，使所述激光以描繪所希望的切割線的方式進(jìn)行掃描，從而對(duì)該脆性工件進(jìn)行切割，接著，使以光束直徑為所述激光的光束直徑以上且輸出為所述激光的輸出以下的激光沿所述切割線掃描，使切割面再次熔化。
2.一種脆性工件的切割裝置，對(duì)液晶顯示器用玻璃等的由脆性材料構(gòu)成的脆性工件進(jìn)行切割，其特征在于，具備激光振蕩器，其發(fā)射激光；掃描機(jī)構(gòu)，其使從該激光振蕩器發(fā)射的激光的光軸及所述脆性工件相對(duì)地移動(dòng)，并使所述激光在脆性工件的表面上進(jìn)行掃描；控制部，其使所述激光振蕩器及所述掃描機(jī)構(gòu)動(dòng)作，并使所述激光在脆性工件的表面上以描繪所希望的切割線的方式進(jìn)行掃描，從而對(duì)該脆性工件進(jìn)行切割，并且，使激光沿通過(guò)該掃描而已切割的所述脆性工件的切割線再次進(jìn)行掃描，使切割面再次熔化，所述控制部將后掃描的后激光的光束直徑控制在先掃描的先激光的光束直徑以上，并且將后掃描的所述后激光的輸出控制在先掃描的所述先激光的輸出以下。
3.如權(quán)利要求2所述的脆性工件的切割裝置，其特征在于，具備發(fā)射所述先激光的先激光振蕩器和發(fā)射所述后激光的后激光振蕩器，所述控制部進(jìn)行如下的控制，即、使所述先激光振蕩器及所述掃描機(jī)構(gòu)動(dòng)作，并使所述先激光在脆性工件的表面上以描繪所希望的切割線的方式進(jìn)行掃描，從而對(duì)該脆性工件進(jìn)行切割，并且，使所述后激光振蕩器及所述掃描機(jī)構(gòu)動(dòng)作，并使來(lái)自所述后激光振蕩器的后激光沿通過(guò)所述先激光的掃描而已切割的所述脆性工件的切割線進(jìn)行掃描，使切割面再次熔化。
全文摘要
一種脆性工件的切割方法及切割裝置，該切割裝置具備CO2激光振蕩器(4)，其發(fā)射激光(La、Lb)；掃描機(jī)構(gòu)，其使液晶顯示器用玻璃(W)移動(dòng)，使激光(La、Lb)在液晶顯示器用玻璃(W)的表面上進(jìn)行掃描；控制器(31、32)，其使CO2激光振蕩器(4)及掃描機(jī)構(gòu)動(dòng)作，使激光(La、Lb)在液晶顯示器用玻璃(W)的表面上掃描并進(jìn)行切割，且使激光(Lb)沿通過(guò)掃描而已切割的液晶顯示器用玻璃(W)的切割線(Wa)進(jìn)行再次掃描，使切割面再次熔化，控制器(31、32)將后掃描的后激光(Lb)的光束直徑控制在先掃描的先激光(La)的光束直徑以上，并將后激光(Lb)的輸出控制在先激光(La)的輸出以下。能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)時(shí)間的縮短并得到幾乎不需要精加工的切割面，在進(jìn)行具有內(nèi)角的形狀的開(kāi)孔加工時(shí)，可在內(nèi)角形成無(wú)裂紋的孔。
文檔編號(hào)C03B33/09GK102612499SQ20108005157
公開(kāi)日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2010年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月24日
發(fā)明者大脅桂, 松坂文夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi檢查計(jì)測(cè)