專利名稱：基板傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種基板傳送裝置，特別是關(guān)于一種適用于大尺寸玻璃基板的基板傳送裝置。
背景技術(shù)：
于液晶顯示器的制造過程中，其玻璃基板于基板置放處到制程機臺之間需透過傳送系統(tǒng)運送，如圖1a所示的習(xí)知支撐架叉(fork)及機械手臂(robot)系統(tǒng)。近年來，由于為降低液晶顯示器的生產(chǎn)成本，玻璃基板的尺寸必須大型化，以做最有效的經(jīng)濟切割，故目前五代廠玻璃基板的尺寸已經(jīng)大于2公尺以上。再者，為了配合此大型的玻璃基板，玻璃基板進入制程機臺的方式亦產(chǎn)生改變。傳統(tǒng)方式的玻璃基板大多是以水平方式進入機臺，然而，為了減少機臺空間，大型化的玻璃基板多趨于以直立的傾斜方式進入機臺。如此一來，習(xí)知使用支撐架叉或機械手臂的方式將面臨許多技術(shù)上的困難，詳陳如下(1)無法檢測玻璃基板的邊緣缺陷如圖1b所示，由于支撐架叉100的面積較小，無法涵蓋大型化的玻璃基板200邊緣，故無法有效檢測玻璃基板的裂紋缺陷210。而且，此種缺陷通常特別容易出現(xiàn)于玻璃基板的邊緣，若將這種具有缺陷的玻璃基板送入制程機臺，一旦造成破片，大量的玻璃碎片將造成機臺停機，延誤生產(chǎn)，嚴重者更會造成機臺無法修復(fù)的損壞。
(2)對于傾斜式裝貨機(loader)玻璃基板送入困難，易造成破片由于習(xí)用的支撐架叉對玻璃基板并無定位及姿勢校正等功能，因此通常于機臺的裝貨機上必須設(shè)置輔助校正機構(gòu)，這個問題在小尺寸基板及水平式裝貨機時容易解決，但對于大型玻璃基板而言，原本某處的小尺寸偏差，累積至另一處將變成大尺寸偏差。另一方面，對于傾斜式機臺的裝貨機，由于其入口處空間狹小，即使有機臺校正機構(gòu)，其效果亦非常有限，極易造成破片。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是在于提供一種基板傳送裝置，能確實檢測基板的缺陷及校正基板的位置，避免造成基板破片，并可以傾斜方式運送基板，節(jié)省傳輸基板所需空間。
為了達到上述目的，本發(fā)明提供一種基板傳送裝置，可配合傳送一基板，其特征在于包括一基座；一具有一支撐軸及一轉(zhuǎn)軸座的轉(zhuǎn)軸單元，該支撐軸的一端樞接于該轉(zhuǎn)軸座上，且該轉(zhuǎn)軸座固設(shè)于該基座上，用以支撐并控制該支撐軸的轉(zhuǎn)動；以及一基板承載單元，固設(shè)于該支撐軸的另一端，而被該支撐軸所支撐，該基板承載單元包含一與該支撐軸連接的承載底座、數(shù)個位于該承載底座表面的支撐元件、一位于該支撐元件的一側(cè)的承載頂座、以及至少一夾置于該承載頂座與該承載底座間的可伸縮元件；該承載頂座表面具有數(shù)個真空吸嘴，用以吸附與檢測該基板；該可伸縮元件可調(diào)整該承載頂座與該承載底座的間距，以使該支撐元件位于該承載底座與該承載頂座之間，或使該支撐元件穿過該承載頂座而突出于該承載頂座表面，以支撐該基板；該轉(zhuǎn)軸座可經(jīng)由控制該支撐軸的轉(zhuǎn)動而間接控制該基板承載單元的傾斜角度。
所述的基板傳送裝置，其特征在于該基座為可移動基座。
所述的基板傳送裝置，其特征在于該支撐元件為支腳(pin)。
所述的基板傳送裝置，其特征在于該支撐元件為滾輪(roller)，以支撐或傳送該基板。
所述的基板傳送裝置，其特征在于還包含至少一以浮動方式裝設(shè)于該承載頂座內(nèi)部的支撐元件。
所述的基板傳送裝置，其特征在于該可伸縮元件為伸縮汽缸。
所述的基板傳送裝置，其特征在于該真空吸嘴內(nèi)部通有氮氣，以控制該真空吸嘴內(nèi)部的壓力。
所述的基板傳送裝置，其特征在于還包含數(shù)個位于該承載頂座周圍的定位元件，用以導(dǎo)正該基板的位置。
所述的基板傳送裝置，其特征在于該承載頂座上該真空吸嘴的分布范圍接近于該基板的尺寸大小，以確實檢測該基板上的缺陷。
所述的基板傳送裝置，其特征在于還包含一機械手臂，位于該承載底座的一側(cè)，用以輔助接收或送出該基板。
綜上所述，本發(fā)明的基板傳送裝置能確實檢測基板的缺陷，尤其是邊緣缺陷，且可同時校正基板的位置，避免容易破片且具有缺陷的基板，例如邊緣龜裂的基板進入制程機臺中，以防止基板于制程機臺內(nèi)破片，避免機臺遭受污染。此外，本發(fā)明的基板傳送裝置可精準地校正基板位置，并以傾斜方式安全地將大尺寸基板送入制程機臺中，以節(jié)省傳輸基板所需的空間。

圖1a是習(xí)知機械手臂的立體圖。
圖1b是習(xí)知支撐架叉承載基板的示意圖。
圖2是本發(fā)明一較佳實施例的組合立體圖。
圖3是本發(fā)明一較佳實施例的基板承載單元分解立體圖。
圖4是本發(fā)明另一較佳實施例的基板承載單元分解立體圖。
圖5是本發(fā)明又一較佳實施例的基板承載單元分解立體圖。
圖6a～6b是本發(fā)明一較佳實施例的浮動式支撐元件剖視作動圖。
具體實施方式
本發(fā)明的基板傳送裝置中，該基座可為任何傳統(tǒng)習(xí)用的支撐基座，較佳為可移動基座，以移動該基板傳送裝置整體。本發(fā)明的基板傳送裝置中，該支撐元件的種類無限制，可為任何傳統(tǒng)可安全支撐基板的支撐元件，較佳為支腳(pin)，更佳為滾輪(roller)，以同時提供支撐或傳送基板的功能。該支撐元件的位置與裝設(shè)方式無特殊限制，只要其可于該承載頂座的兩側(cè)面間移動即可，較佳地其可位于該承載底座表面，而藉由夾置于該承載頂座與該承載底座間的該可伸縮元件來調(diào)整其位置；或者其較佳亦可以浮動方式裝設(shè)于該承載頂座內(nèi)部，而藉由彈簧來控制其位置。本發(fā)明的基板傳送裝置中，該可伸縮元件較佳為伸縮汽缸。本發(fā)明的基板傳送裝置中，該真空吸嘴內(nèi)部通有惰性氣體，以控制該真空吸嘴內(nèi)部的壓力，較佳地，該真空吸嘴內(nèi)部通有氮氣。本發(fā)明的基板傳送裝置較佳還包含數(shù)個位于該承載頂座周圍的定位元件，以導(dǎo)正該基板的位置。本發(fā)明的基板傳送裝置中，該承載頂座上該真空吸嘴的分布范圍無特殊限制，較佳為接近于該基板的尺寸大小，以確實檢測該基板上，尤其是邊緣上的缺陷。本發(fā)明的基板傳送裝置中，較佳更于該承載底座的一側(cè)裝設(shè)有一任何傳統(tǒng)習(xí)用的機械手臂，以輔助接收或送出該基板。
為了能夠更好的了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉以下基板傳送裝置較佳具體實施例說明如下實施例1請參照圖2，圖2為本發(fā)明基板傳送裝置一較佳實施例的組合立體圖。本發(fā)明的基板傳送裝置包含基座10、基板承載單元20以及轉(zhuǎn)軸單元30。于本較佳實施例中，基座10可為一可移動基座，以使本發(fā)明的基板傳送裝置可任意移動至所需位置，或進而用以搬運基板。轉(zhuǎn)軸單元30具有支撐軸31及轉(zhuǎn)軸座32，支撐軸31的下端樞接于轉(zhuǎn)軸座32上，可支撐并調(diào)整基板承載單元20的傾斜方向與角度。轉(zhuǎn)軸座32固設(shè)于基座10上，用以支撐與控制支撐軸31的轉(zhuǎn)動，以間接控制基板承載單元20的傾斜方向與角度。基板承載單元20固設(shè)于支撐軸31的上端，而為支撐軸31所支撐。請同時參照圖3，圖3為本較佳實施例基板承載單元的分解立體圖，基板承載單元20包含與支撐軸31連接的承載底座21、數(shù)個位于承載底座21表面的支撐元件211、位于支撐元件211上側(cè)的承載頂座22、以及至少一夾置于承載頂座22與承載底座21間的可伸縮元件23。于本較佳實施例中，支撐元件211為滾輪，其可對基板作彈性支撐，并滾動而傳輸基板。此外，承載頂座22表面具有數(shù)個真空吸嘴221，用以吸附與檢測基板40。于本較佳實施例中，真空吸嘴221的分布范圍接近于基板40的尺寸大小，以確實檢測常見于基板40邊緣的龜裂缺陷。真空吸嘴221內(nèi)部通有惰性氣體，較佳為氮氣，以控制真空吸嘴221內(nèi)部的壓力，并藉其壓力變化而判斷置于其上之基板40是否有所異常。可伸縮元件23可調(diào)整承載頂座22與承載底座21之間距，以調(diào)整支撐元件211的位置，使支撐元件211位于承載底座21與承載頂座22之間，或者使支撐元件211穿過承載頂座22而突出于承載頂座22表面，而得以支撐基板40。于本較佳實施例中，可伸縮元件23為伸縮汽缸，以控制承載底座21與支撐元件211的上下移動。
于本較佳實施例中，本發(fā)明的基板傳送裝置亦包含數(shù)個位于承載頂座22周圍的定位元件50，用以導(dǎo)正基板的位置。當基板40進入本發(fā)明的基板傳送裝置時，首先以可伸縮元件23調(diào)整使支撐元件211突出于承載頂座22表面，以使支撐元件211承接基板40，并以定位元件50導(dǎo)正基板40的位置。接著，再利用可伸縮元件23使支撐元件211下降，而使基板40位于承載頂座22上，再以真空吸嘴221檢測基板40。若檢測出基板40有異常，如其邊緣有龜裂，則不進行下一步驟，以防止基板40發(fā)生碎裂，污染機臺。若基板40無任何異常，則以真空吸嘴221吸住基板40，再視下一步驟的裝貨方式，例如使基板承載單元20與其上的基板40傾斜，以進入制程機臺。于本較佳實施例中，支撐元件211為滾輪，故當欲將基板40傳入制程腔室時，其可于制程機臺外部藉由滾輪的滾動而使基板40傳輸進入制程腔室中，而不需使整個基板承載單元20與基板40一起進入制程腔室中。另外，于本較佳實施例中，本發(fā)明的基板傳送裝置亦可包含傳統(tǒng)使用的支撐架叉或機械手臂，以輔助接收或送出基板。
實施例2請參照圖4，圖4為本發(fā)明另一較佳實施例的基板承載單元的分解立體圖。本較佳實施例的架構(gòu)大致同實施例1，基板承載單元60包含與支撐軸31連接的承載底座61、數(shù)個位于承載底座61表面的支撐元件611、位于支撐元件611上側(cè)的承載頂座62、至少一夾置于承載頂座62與承載底座61間的可伸縮元件63、以及數(shù)個定位元件64，而不同之處在于本較佳實施例的支撐元件611為支腳(pin)，其可藉由可伸縮元件63的調(diào)整而穿過承載頂座62，以對基板作支撐。同樣地，承載頂座62表面具有數(shù)個真空吸嘴621，用以吸附與檢測基板。本較佳實施例的真空吸嘴621分布范圍亦接近于基板的尺寸大小，以確實檢測常見于基板邊緣的龜裂缺陷。真空吸嘴621內(nèi)部亦通有惰性氣體，較佳為氮氣，以控制真空吸嘴621內(nèi)部的壓力，并藉其壓力變化而判斷置于其上之基板是否有所異常?？缮炜s元件63可調(diào)整承載頂座62與承載底座61的間距，以調(diào)整支撐元件611的位置，使支撐元件611位于承載底座61與承載頂座62之間，或者使支撐元件611穿過承載頂座62而突出于承載頂座62表面，而得以支撐基板。本較佳實施例的可伸縮元件63亦為伸縮汽缸，以控制承載底座61與支撐元件611的上下移動，而定位元件64亦可用以導(dǎo)正基板的位置。
當基板進入本較佳實施例的基板傳送裝置時，首先以可伸縮元件63調(diào)整使支撐元件611突出于承載頂座62表面，以使支撐元件611承接基板，并以定位元件64導(dǎo)正基板的位置。接著，再利用可伸縮元件63使支撐元件611下降，而使基板位于承載頂座62上，再以真空吸嘴621檢測基板。若檢測出基板有異常，如其邊緣有龜裂，則不進行下一步驟，以防止基板發(fā)生碎裂，污染機臺。若基板無任何異常，則以真空吸嘴621吸住基板，再視下一步驟的裝貨方式，例如使基板承載單元60與其上的基板傾斜，而進入制程機臺。另外，本較佳實施例的基板傳送裝置亦可包含傳統(tǒng)使用的支撐架叉或機械手臂，以輔助接收或送出基板。
實施例3
請參照圖5，圖5為本發(fā)明另一較佳實施例的基板承載單元的分解立體圖。本較佳實施例的架構(gòu)大致同實施例2，基板承載單元70包含與支撐軸31連接的承載底座71、位于承載底座71上側(cè)的承載頂座72、數(shù)個位于承載底座71表面的支撐元件711、至少一以浮動方式裝設(shè)于承載頂座72內(nèi)部的浮動式支撐元件721、至少一夾置于承載頂座72與承載底座71間的可伸縮元件73、以及數(shù)個定位元件74，而不同之處在于本較佳實施例的支撐元件711為凸桿，其可藉由可伸縮元件73的調(diào)整而上下移動，以推動浮動式支撐元件721，使為彈簧所牽制的浮動式支撐元件721伸出承載頂座72而對基板作支撐，如圖6a與圖6b所示。同樣地，承載頂座72表面具有數(shù)個真空吸嘴722，可用以吸附與檢測基板。本較佳實施例的真空吸嘴722分布范圍亦接近于基板的尺寸大小，以確實檢測常見于基板邊緣的龜裂缺陷。真空吸嘴722內(nèi)部亦通有惰性氣體，較佳為氮氣，以控制真空吸嘴722內(nèi)部的壓力，并藉其壓力變化而判斷置于其上的基板是否有所異常?？缮炜s元件73可調(diào)整承載頂座72與承載底座71的間距，以調(diào)整支撐元件711的位置，使支撐元件711不與浮動式支撐元件721接觸，或者使支撐元件711將浮動式支撐元件721頂出承載頂座72表面，而使浮動式支撐元件721得以支撐基板。本較佳實施例的可伸縮元件73亦為伸縮汽缸，以控制承載底座71與支撐元件711的上下移動，而定位元件74亦可用以導(dǎo)正基板的位置。
當基板進入本較佳實施例的基板傳送裝置時，首先以可伸縮元件73調(diào)整使支撐元件711將浮動式支撐元件721頂出承載頂座72表面，以使浮動式支撐元件721承接基板，并以定位元件74導(dǎo)正基板的位置。接著，再利用可伸縮元件73使支撐元件711下降，而使浮動式支撐元件721回到承載頂座72內(nèi)部，基板便位于承載頂座72上，再以真空吸嘴722檢測基板。若檢測出基板有異常，如其邊緣有龜裂，則不進行下一步驟，以防止基板發(fā)生碎裂，污染機臺。若基板無任何異常，則以真空吸嘴722吸住基板，再視下一步驟的裝貨方式，例如使基板承載單元70與其上的基板傾斜，而進入制程機臺。另外，本較佳實施例的基板傳送裝置亦可包含傳統(tǒng)使用的支撐架叉或機械手臂，以輔助接收或送出基板。
本發(fā)明的基板傳送裝置能確實檢測基板的缺陷，尤其是邊緣缺陷，且可同時校正基板的位置，避免容易破片且具有缺陷的基板，例如邊緣龜裂的基板進入制程機臺中，以防止基板于制程機臺內(nèi)破片，避免機臺遭受污染。此外，本發(fā)明的基板傳送裝置可精準地校正基板位置，并以傾斜方式安全地將大尺寸基板送入制程機臺中，以節(jié)省傳輸基板所需的空間。
權(quán)利要求
1.一種基板傳送裝置，配合傳送一基板，其特征在于包括一基座；一具有一支撐軸及一轉(zhuǎn)軸座的轉(zhuǎn)軸單元，該支撐軸的一端樞接于該轉(zhuǎn)軸座上，且該轉(zhuǎn)軸座固設(shè)于該基座上；以及一基板承載單元，固設(shè)于該支撐軸的另一端，該基板承載單元包含一與該支撐軸連接的承載底座、數(shù)個位于該承載底座表面的支撐元件、一位于該支撐元件的一側(cè)的承載頂座、以及至少一夾置于該承載頂座與該承載底座間的可伸縮元件；該承載頂座表面具有數(shù)個吸附該基板的真空吸嘴。
2.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于該基座為可移動基座。
3.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于該支撐元件為支腳。
4.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于該支撐元件為滾輪。
5.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于還包含至少一以浮動方式裝設(shè)于該承載頂座內(nèi)部的支撐元件。
6.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于該可伸縮元件為伸縮汽缸。
7.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于該真空吸嘴內(nèi)部通有氮氣。
8.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于還包含數(shù)個位于該承載頂座周圍的定位元件。
9.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于該承載頂座上該真空吸嘴的分布范圍接近于該基板的尺寸大小。
10.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于還包含一機械手臂，位于該承載底座的一側(cè)。
全文摘要
一種基板傳送裝置，包括一基座；一具有一支撐軸及一轉(zhuǎn)軸座的轉(zhuǎn)軸單元，該支撐軸的一端樞接于該轉(zhuǎn)軸座上，且該轉(zhuǎn)軸座固設(shè)于該基座上，用以支撐并控制該支撐軸的轉(zhuǎn)動；一基板承載單元，固設(shè)于該支撐軸的另一端，其包含一與該支撐軸連接的承載底座、數(shù)個位于該承載底座表面的支撐元件、一位于該支撐元件的一側(cè)的承載頂座、以及至少一夾置于該承載頂座與該承載底座間的可伸縮元件；該承載頂座表面具有數(shù)個真空吸嘴，用以吸附與檢測該基板；該可伸縮元件可調(diào)整該承載頂座與該承載底座的間距；該轉(zhuǎn)軸座經(jīng)由控制該支撐軸的轉(zhuǎn)動而間接控制該基板承載單元的傾斜角度。本發(fā)明能確實檢測基板的缺陷及校正基板的位置，并可以傾斜方式運送基板。
文檔編號C03B35/14GK1648086SQ20051000683
公開日2005年8月3日 申請日期2005年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月28日
發(fā)明者陳勁志, 李泰興 申請人:廣輝電子股份有限公司