技術編號：1842282
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于一種基板傳送裝置，特別是關于一種適用于大尺寸玻璃基板的基板傳送裝置。背景技術于液晶顯示器的制造過程中，其玻璃基板于基板置放處到制程機臺之間需透過傳送系統(tǒng)運送，如圖1a所示的習知支撐架叉(fork)及機械手臂(robot)系統(tǒng)。近年來，由于為降低液晶顯示器的生產(chǎn)成本，玻璃基板的尺寸必須大型化，以做最有效的經(jīng)濟切割，故目前五代廠玻璃基板的尺寸已經(jīng)大于2公尺以上。再者，為了配合此大型的玻璃基板，玻璃基板進入制程機臺的方式亦產(chǎn)生改變。傳統(tǒng)方式的玻璃基板...
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