專利名稱：一種反應(yīng)釜清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種清洗裝置，尤其涉及一種反應(yīng)釜清洗裝置，適用于清洗喇叭 形的反應(yīng)釜。
背景技術(shù)：
反應(yīng)釜是化工、多晶硅生產(chǎn)中的一種化學(xué)反應(yīng)容器，多晶硅的生長和化學(xué)物質(zhì)的 合成中會產(chǎn)生各種依附在反應(yīng)釜內(nèi)部的物質(zhì)。在這些物質(zhì)中，可能含有有毒物質(zhì)，也可能 會含有影響下次化學(xué)反應(yīng)的物質(zhì)，因此，在反應(yīng)釜使用后，必須清洗依附在反應(yīng)釜內(nèi)壁的物 質(zhì)。目前，采用人工清洗反應(yīng)釜內(nèi)壁的物質(zhì)，具體方式是操作人員拽著水管進(jìn)入反應(yīng) 釜內(nèi)部空間，然后用水管對準(zhǔn)反應(yīng)釜內(nèi)壁，利用水管產(chǎn)生的水柱沖洗反應(yīng)釜內(nèi)壁的物質(zhì)。上述清洗方式雖然能清洗掉一部分物質(zhì)，但是，存在如下缺點(diǎn)1、反應(yīng)釜內(nèi)部常常依附有有毒物質(zhì)，因此，當(dāng)操作人員清洗反應(yīng)釜內(nèi)壁時(shí)候，有毒 物質(zhì)會影響操作人員的健康。2、人工清洗反應(yīng)釜的內(nèi)壁時(shí)候，清洗的干凈程度完全靠操作者的感官判斷，因此， 不能完全的清洗干凈反應(yīng)釜內(nèi)壁。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種反應(yīng)釜清洗裝置，該裝置不僅能自動清洗反應(yīng)釜， 而且清洗干凈。為達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是一種反應(yīng)釜清洗裝置，其包括，底座，其為一箱體結(jié)構(gòu)，包括側(cè)板、頂板，側(cè)板設(shè)置 有通孔，頂板上設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口和排污口 ；烘干系統(tǒng)，包括風(fēng)機(jī)和烘干管道，該烘干管道一端 與風(fēng)機(jī)連接，另一端穿入底座內(nèi)而與進(jìn)風(fēng)口連通；噴射清洗水壓系統(tǒng)，包括高壓水泵、與高 壓水泵連接的水管和控制閥、支撐管、旋轉(zhuǎn)噴頭；該水管一端穿入底座內(nèi)；支撐管固定在底 座頂板上，與水管連通；旋轉(zhuǎn)噴頭設(shè)置于支撐管出口端；PLC控制器，與所述風(fēng)機(jī)和高壓水 泵電性連接。進(jìn)一步，所述底座兩側(cè)板設(shè)置有供烘干管道和水管穿入的通孔。所述噴射清洗水壓系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)噴頭包括旋轉(zhuǎn)件及其上的噴頭。所述旋轉(zhuǎn)件為若干齒輪、翼片；齒輪相互嚙合，翼片設(shè)置于齒輪上。另外，所述噴射清洗水壓系統(tǒng)還包括與所述支撐管連通的側(cè)支管，該側(cè)支管上安 裝有高壓噴頭，該高壓噴頭的噴嘴對應(yīng)反應(yīng)釜內(nèi)側(cè)壁或/和視窗。又，所述高壓噴頭設(shè)有若干個(gè)，分別設(shè)置于若干連接管，各連接管連通于側(cè)支管， 噴嘴設(shè)置于連接管出口端；而且，各連接管成不同角度設(shè)置，連接管上設(shè)有球閥。所述連接管成U形。再有，本實(shí)用新型所述烘干系統(tǒng)包括位于烘干管道內(nèi)的電加熱器和過濾器，電加
3熱器與PLC控制器電氣連接。所述底座的頂板四角還設(shè)置有定位銷。所述噴射清洗水壓系統(tǒng)還包括在與高壓水泵連接的水管管路上設(shè)置的蓄能器、壓 力調(diào)整器，壓力調(diào)整器與蓄能器之間設(shè)置的安全閥以及通過管路分別與壓力調(diào)整器連接的 氣動開關(guān)球閥和壓力變送器，氣動開關(guān)球閥和壓力變送器分別與PLC控制器電氣連接。本實(shí)用新型的的有益效果是1、本實(shí)用新型通過PLC控制器控制噴射清洗水壓系統(tǒng)的高壓泵產(chǎn)生高壓水，該高 壓水經(jīng)過噴射系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)噴頭形成水刀，清洗反應(yīng)釜內(nèi)壁，實(shí)現(xiàn)自動清洗，而且，由于通過 高壓泵產(chǎn)生水刀，因此，清洗較現(xiàn)有方法更加干凈。2、清洗后通過烘干系統(tǒng)的電加熱器利用熱空氣烘干反應(yīng)釜內(nèi)壁，可以提高烘干速度。3、烘干系統(tǒng)中過濾器可以對空氣進(jìn)行過濾，確保清洗后的反應(yīng)釜不被污染。
圖1是本實(shí)用新型反應(yīng)釜清洗裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型底座的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)噴頭的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型PLC控制示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征。如圖1 圖4所示，本實(shí)用新型反應(yīng)釜清洗裝置包括底座1、烘干系統(tǒng)2、噴射清洗 水壓系統(tǒng)3、PLC控制器4。如圖2所示，底座1，其為一箱體結(jié)構(gòu)，包括側(cè)板11、頂板12，底座1的頂板12上 設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口 121、進(jìn)水口 122和排污口 123。底座1的側(cè)板11包括內(nèi)側(cè)板111和外側(cè)板 112，內(nèi)側(cè)板111和外側(cè)板112呈圓環(huán)形，形成底座1的內(nèi)圈和外圈；內(nèi)側(cè)板111和外側(cè)板 112上開設(shè)有相應(yīng)的通孔。排污口 123上連接有排污管道124。如圖1所示，烘干系統(tǒng)2，包括風(fēng)機(jī)21和烘干管道22，該烘干管道22與風(fēng)機(jī)21連 接，并從底座1側(cè)板11的通孔穿入底座1，與進(jìn)風(fēng)口 121連通。參見圖1、圖3，噴射清洗水壓系統(tǒng)3，包括高壓水泵31、與高壓水泵31連接的水管 32、支撐管33、旋轉(zhuǎn)噴頭34 ；設(shè)置于水管32管路上的蓄能器35、壓力調(diào)整器36，壓力調(diào)整器 36與蓄能器35之間設(shè)置的安全閥37，以及通過管路分別與壓力調(diào)整器36連接的氣動開關(guān) 球閥38和壓力變送器39 ；氣動開關(guān)球閥38和壓力變送器39分別與PLC控制器4電氣連 接。該水管32從底座1側(cè)板11的通孔穿入底座1內(nèi)；支撐管33固定在底座1頂板12上， 與水管32連通；旋轉(zhuǎn)噴頭34設(shè)置于支撐管33出口端。支撐管33與水管32和旋轉(zhuǎn)噴頭34可以采用如下兩種方式連通第一種方式是，在頂板12上開設(shè)進(jìn)水口 122，支撐管33 —端與旋轉(zhuǎn)噴頭34連通， 另一端穿過進(jìn)水口 122后與水管32連通，為了保證密封性，可以在支撐管33上套設(shè)密封 墊，支撐管33與進(jìn)水口 122間由密封墊密封。[0034]第二種方式是，將水管32與進(jìn)水口 122連通，然后，支撐管33 —端與旋轉(zhuǎn)噴頭34 連通，另一端固定在頂板12上，并通過進(jìn)水口 122與水管32連通。本實(shí)施例中，所述噴射清洗水壓系統(tǒng)3的旋轉(zhuǎn)噴頭34包括旋轉(zhuǎn)件341及其上的噴 頭342，該旋轉(zhuǎn)件341為若干齒輪、翼片；齒輪相互嚙合，翼片設(shè)置于齒輪上。如圖1所示，本實(shí)用新型在工作時(shí)候，反應(yīng)釜7通過行車或者龍門吊吊裝至底座1 上，旋轉(zhuǎn)噴頭34位于反應(yīng)釜7內(nèi)部。然后，啟動PLC控制器4，PLC控制器4控制啟動清洗 水壓系統(tǒng)3的高壓水泵31，使得高壓水泵31對去離子水進(jìn)行加壓，加壓的去離子水經(jīng)過水 管32、支撐管33至設(shè)于支撐管33出口端的旋轉(zhuǎn)噴頭34，加壓的去離子水推動旋轉(zhuǎn)噴頭34 的旋轉(zhuǎn)件341齒輪上的翼片，翼片旋轉(zhuǎn)帶動齒輪轉(zhuǎn)動，齒輪轉(zhuǎn)動帶動齒輪上的噴頭342轉(zhuǎn) 動，噴頭342成360度旋轉(zhuǎn)，噴出的高壓去離子水清洗反應(yīng)釜7內(nèi)壁。在上述過程中，由于去離子水經(jīng)過高壓水泵31加壓，去離子水是以水刀的形式從 旋轉(zhuǎn)噴頭34噴出，因此，清洗較現(xiàn)有清洗方法更加干凈。清洗完成后，PLC控制器4啟動烘干系統(tǒng)2的風(fēng)機(jī)21，風(fēng)機(jī)21產(chǎn)生的風(fēng)經(jīng)過底座 1的頂板12上的進(jìn)風(fēng)口 122后進(jìn)入反應(yīng)釜7內(nèi)部空間，吹掃反應(yīng)釜7內(nèi)部，使得反應(yīng)釜7內(nèi) 部干燥。參見圖1、圖3，在清洗反應(yīng)釜7內(nèi)壁時(shí)，反應(yīng)釜7的視窗是很難清洗的部分，為了 解決這個(gè)問題，本實(shí)用新型所述噴射清洗水壓系統(tǒng)還包括與所述支撐管33連通的側(cè)支管 5，側(cè)支管5通過支撐座10固定；該側(cè)支管5上安裝有高壓噴頭6，所述高壓噴頭6設(shè)有若 干個(gè)，分別設(shè)置于若干連接管8、8’，各連接管8、8’連通于側(cè)支管5，噴嘴61設(shè)置于連接管 8、8’出口端；而且，各連接管8、8’成不同角度設(shè)置，連接管8、8’上設(shè)有球閥9 ；其中，所述 連接管8’成U形。由于連接管8、8’成不同角度設(shè)置，可以使噴嘴61的噴射角可以到覆蓋 整個(gè)反應(yīng)釜7視窗。這樣，經(jīng)過高壓水泵31加壓的去離子水經(jīng)過支撐管33即連通的側(cè)支管5至連接 管8、8’，由噴嘴61以水刀的形式噴射在視窗上，對視窗進(jìn)行清洗。如圖1所示，在底座1的頂板12四角上還設(shè)置有定位銷13。當(dāng)反應(yīng)釜7通過行車 或者龍門吊放置在底座1上時(shí)，定位銷13與反應(yīng)釜7的底部鎖定，方便反應(yīng)釜7的安裝定 位。如圖1所示，所述烘干管道22內(nèi)安裝有加熱器23和過濾器24，電加熱器23與PLC 控制器4電氣連接；加熱器23的對風(fēng)機(jī)21出口的風(fēng)進(jìn)行加熱，這樣，反應(yīng)釜7內(nèi)部經(jīng)過水 清洗后，經(jīng)加熱器23加熱的風(fēng)再從頂板12上的進(jìn)風(fēng)口 121進(jìn)入反應(yīng)釜7內(nèi)部，熱風(fēng)吹掃反 應(yīng)釜7內(nèi)部，可以提高烘干效率和風(fēng)干速度。而采用過濾器24后，過濾器24過濾掉風(fēng)機(jī)21 出口的風(fēng)中的雜質(zhì)，避免風(fēng)機(jī)21吹入的風(fēng)污染反應(yīng)釜7內(nèi)壁。
權(quán)利要求一種反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是包括，底座，其為一箱體結(jié)構(gòu)，包括側(cè)板、頂板，側(cè)板設(shè)置有通孔，頂板上設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口和排污口；烘干系統(tǒng)，包括風(fēng)機(jī)和烘干管道，該烘干管道一端與風(fēng)機(jī)連接，另一端穿入底座內(nèi)而與進(jìn)風(fēng)口連通；噴射清洗水壓系統(tǒng)，包括高壓水泵、與高壓水泵連接的水管和控制閥、支撐管、旋轉(zhuǎn)噴頭；該水管一端穿入底座內(nèi)；支撐管固定在底座頂板上，與水管連通；旋轉(zhuǎn)噴頭設(shè)置于支撐管出口端；PLC控制器，與所述風(fēng)機(jī)和高壓水泵電性連接。
2.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述噴射清洗水壓系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)噴 頭包括旋轉(zhuǎn)件及其上的噴頭。
3.如權(quán)利要求2所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述旋轉(zhuǎn)件為若干齒輪、翼片；齒 輪相互嚙合，翼片設(shè)置于齒輪上。
4.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述噴射清洗水壓系統(tǒng)還包括與 所述支撐管連通的側(cè)支管，該側(cè)支管上安裝有高壓噴頭，該高壓噴頭的噴嘴對應(yīng)反應(yīng)釜內(nèi) 側(cè)壁或/和視窗。
5.如權(quán)利要求4所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述高壓噴頭設(shè)有若干個(gè)，分別設(shè) 置于若干連接管，各連接管連通于側(cè)支管，噴嘴設(shè)置于連接管出口端；而且，各連接管成不 同角度設(shè)置，連接管上設(shè)有球閥。
6.如權(quán)利要求5所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述連接管成U形。
7.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述烘干系統(tǒng)包括位于烘干管道 內(nèi)的電加熱器和過濾器，電加熱器與PLC控制器電氣連接。
8.如權(quán)利要求1或4所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述噴射清洗水壓系統(tǒng)還包 括在與高壓水泵連接的水管管路上設(shè)置的蓄能器、壓力調(diào)整器，壓力調(diào)整器與蓄能器之間 設(shè)置的安全閥；以及通過管路分別與壓力調(diào)整器連接的氣動開關(guān)球閥和壓力變送器，氣動 開關(guān)球閥和壓力變送器分別與PLC控制器電氣連接。
9.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述底座兩側(cè)板設(shè)置有供烘干管 道和水管穿入的通孔。
10.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)釜清洗裝置，其特征是所述底座的頂板四角還設(shè)置有供 反應(yīng)釜安裝定位的定位銷。
專利摘要一種反應(yīng)釜清洗裝置，其包括，底座，其為一箱體結(jié)構(gòu)，包括側(cè)板、頂板，側(cè)板設(shè)置有通孔，頂板上設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口和排污口；烘干系統(tǒng)，包括風(fēng)機(jī)和烘干管道，該烘干管道與風(fēng)機(jī)連接，并從底座側(cè)板的通孔穿入底座內(nèi)而與進(jìn)風(fēng)口連通；噴射清洗水壓系統(tǒng)，包括高壓水泵、與高壓水泵連接的水管和控制閥、支撐管、旋轉(zhuǎn)噴頭；該水管從底座側(cè)板的通孔穿入底座內(nèi)；支撐管固定在底座頂板上，與水管連通；旋轉(zhuǎn)噴頭設(shè)置于支撐管出口端；PLC控制器，與所述風(fēng)機(jī)和高壓水泵電性連接。本實(shí)用新型不僅能自動清洗反應(yīng)釜，而且，清洗干凈。
文檔編號B08B9/093GK201579243SQ200920211990
公開日2010年9月15日 申請日期2009年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月6日
發(fā)明者婁聰, 張文琛 申請人:上海敬邦機(jī)電設(shè)備有限公司