專利名稱：一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種清洗硅片的裝置。具體涉及一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽。
背景技術(shù)：
硅片的制作要經(jīng)過切片、退火、全角、研磨、清洗、拋光、檢測等多個工藝過程，清洗是眾多工藝過程中必不可少的一環(huán)，要通過清洗去除研磨過程中產(chǎn)生的氧化層和研磨過程中留下的殘渣，為下一個工序作好充分準(zhǔn)備。 一般清洗要通過化學(xué)清洗和純水清洗等過程。隨著清洗技術(shù)的不斷改進，現(xiàn)在大體可分為干洗和濕洗兩種，但目前主要還是以濕洗為主，在濕洗中又不斷加入超聲，兆聲等清洗方式。早前出現(xiàn)的利用旋轉(zhuǎn)清洗的主要是旋轉(zhuǎn)噴淋的方式。旋轉(zhuǎn)噴淋法是指利用機械方法將硅片以較高的速度旋轉(zhuǎn)起來，在旋轉(zhuǎn)過程中通過不斷向硅片表面噴液體(高純?nèi)ルx子水或其它清洗液)而達到清除硅片目的的一種方法。該方法利用所噴液體的溶解(或化學(xué)反應(yīng))作用來溶解硅片表面的沾污，同時利用高速旋轉(zhuǎn)的離心作用，使溶有雜質(zhì)的液體及時脫離硅片表面，這樣硅片表面的液體總保持非常高的純度。同時由于所噴淋液體與硅片有較高的相對速度，所以會產(chǎn)生較大的沖擊力達到清除吸附雜質(zhì)的目的。但這種方式的問題是已經(jīng)被利用過的清洗液，在硅片上不易被脫離，清洗不徹底。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種使用方便，清洗更加徹底的用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽。 為了達到上述目的，本實用新型有如下技術(shù)方案 本實用新型的一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽，包括槽體、電機傳動組件，在槽體底部固定有滑軌，在滑軌上有兩滑塊，在滑塊上設(shè)有放置硅片的花籃，所述兩滑塊中間設(shè)有橢圓軸，該橢圓軸與電機傳動組件連接。 其中，所述滑軌由固定在槽體底板上的四條滑條組成。[0007] 其中，所述滑塊為臺階形狀。 其中，所述橢圓軸包括一圓軸，該圓軸上套有一個軟軸套管，在圓軸兩側(cè)與軟軸套管之間對稱焊接兩條焊條。 其中，所述電機傳動組件包括電動機、兩個互相嚙合的直齒圓柱齒輪，其中，一個
直齒圓柱齒輪與電動機連接，另一個直齒圓柱齒輪與穿過槽體側(cè)壁的橢圓軸連接。 其中，所述電機傳動組件包括電動機、兩個通過鏈條連接的鏈輪，其中， 一個鏈輪
與電機連接，另一個鏈輪與槽體內(nèi)的橢圓軸連接。
由于采取了以上技術(shù)方案，本實用新型的優(yōu)點在于 l本實用新型的橢圓軸的轉(zhuǎn)動能帶動硅片不停的旋轉(zhuǎn)，并在旋轉(zhuǎn)的過程中不停地上下浮動，因此，能達到徹底清洗硅片的目的。[0013] 2本實用新型使用方便，清洗效率高。
圖1為本實用新型實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1的B-B向的視圖； 圖3為圖2的俯視圖； 圖4為圖1的A-A向的剖視圖； 圖5為本實用新型實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6為圖5的C-C向的視圖； 圖7為圖5的俯視圖； 圖8為圖5的D-D向的剖視圖； 圖9為本實用新型橢圓軸工作狀態(tài)的示意圖。 圖中1、齒輪；2、滑軌；3、滑塊；4、橢圓軸；5、槽體；6、電動機；7、鏈輪；8、鏈條；9、圓軸；10、軟軸套管；11、焊條；12、硅片；13、硅片平臺；14、花籃。
具體實施方式以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。[0025] 實施例1 :參見圖1-圖4，清洗液不具有腐蝕性的旋轉(zhuǎn)槽本實用新型通過電動機6帶動齒輪l，齒輪1傳動帶動從清洗槽中穿透槽體5壁伸出的橢圓軸4旋轉(zhuǎn)，再以橢圓軸4的旋轉(zhuǎn)帶動放置在橢圓軸4兩側(cè)的滑塊2上的花籃內(nèi)的硅片轉(zhuǎn)動。 本實施例由電動機6、兩個互相嚙合的直齒圓柱齒輪1、滑軌2、滑塊3、橢圓軸4、槽體5組成，其中， 一個直齒圓柱齒輪1與電動機6連接，另一個直齒圓柱齒輪1與穿過槽體5側(cè)壁的橢圓軸4連接。其中 1)齒輪轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)通過兩個非金屬材料的互相嚙合的直齒圓柱齒輪1傳遞運動和扭力矩。 2)滑塊3結(jié)構(gòu)通過滑塊3在以四條滑條上組成的兩條滑軌2上順滑移動，調(diào)節(jié)兩滑塊3間的間距，來達到可以放置不同尺寸的硅片的目的。尺寸范圍6cm-27cm。[0029] 本實用新型的滑塊3為一階臺階狀，以穩(wěn)定放置花籃，滑塊3的間距可調(diào)，增加了硅片的清洗范圍。 3)橢圓軸4結(jié)構(gòu)在一根圓軸9上，套一個PP材料(聚丙烯)的軟軸套管10，在圓軸9兩側(cè)與軟軸套管10之間對稱焊接兩條PP(聚丙烯)焊條11。[0031] 參橢圓軸4結(jié)構(gòu)說明，參見圖9 : a.加軟軸套管IO可以避免軸在與硅片發(fā)生相對運動時，對硅片造成損壞。 b.橢圓軸4在轉(zhuǎn)動過程中，可以使硅片上下浮動，能夠更好的清洗硅片，且當(dāng)硅片
平臺轉(zhuǎn)到最低點時，橢圓軸4也可以通過長徑與硅片的接觸使硅片繼續(xù)轉(zhuǎn)動。 本實施例因為清洗槽中放置的為不具有腐蝕性的清水，所以可以在槽體壁上打孔
穿軸，偶有清洗液從槽中滲出時，也不會腐蝕到設(shè)備，并且可以簡化設(shè)備結(jié)構(gòu)。
實施例2 :參見圖5_圖8，清洗液具有腐蝕性的旋轉(zhuǎn)槽本實用新型通過鏈傳動帶
動置于槽內(nèi)的橢圓軸4旋轉(zhuǎn)，再以旋轉(zhuǎn)橢圓軸4帶動置于槽體5中橢圓軸兩側(cè)的滑塊3上
的花籃內(nèi)的硅片轉(zhuǎn)動。[0036] 本實施例由電動機6、兩個通過鏈條8連接的鏈輪7、滑軌2、滑塊3、橢圓軸4、槽體
5組成，其中，一個鏈輪7與電動機連接，另一個鏈輪7與槽體5內(nèi)的橢圓軸4連接。其中 1)鏈輪鏈條結(jié)構(gòu)通過非金屬材料加工成的鏈輪7鏈條8結(jié)構(gòu)傳遞動力。 2)滑塊結(jié)構(gòu)通過滑塊3在以四條滑條上組成的兩條滑軌2上順滑移動，調(diào)節(jié)兩
滑3塊間的間距，來達到可以放置不同尺寸的硅片的目的。尺寸范圍6cm-27cm。 本實用新型的滑塊3為一階臺階狀，以穩(wěn)定放置花籃，滑塊3的間距可調(diào)，增加了
硅片的清洗范圍。 3)橢圓軸結(jié)構(gòu)在一根圓軸9上，套一PP材料的軟軸套管10，在圓軸9兩側(cè)與軟軸套管10之間對稱焊接兩條PP焊條11。[0041] 參橢圓軸結(jié)構(gòu)說明，參見圖9 : a.加軟軸套管IO可以避免軸在與硅片發(fā)生相對運動時，對硅片造成損壞。[0043] b.橢圓軸4在轉(zhuǎn)動過程中，可以使硅片上下浮動，能夠更好的清洗硅片，且當(dāng)硅片平臺轉(zhuǎn)到最低點時，橢圓軸4也可以通過長徑與硅片的接觸使硅片繼續(xù)轉(zhuǎn)動。[0044] 顯然，本實用新型的上述實施例僅僅是為清楚地說明本實用新型所作的舉例，而并非是對本實用新型的實施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無法對所有的實施方式予以窮舉。凡是屬于本實用新型的技術(shù)方案所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本實用新型的保護范圍之列。
權(quán)利要求一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽，包括槽體、電機傳動組件，其特征在于在槽體底部固定有滑軌，在滑軌上有兩滑塊，在滑塊上設(shè)有放置硅片的花籃，所述兩滑塊中間設(shè)有橢圓軸，該橢圓軸與電機傳動組件連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽，其特征在于所述滑軌由固定在槽體底板上的四條滑條組成。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽，其特征在于所述滑塊為臺階形狀。
4. 如權(quán)利要求1所述的一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽，其特征在于所述橢圓軸包括一圓軸，該圓軸上套有一個軟軸套管，在圓軸兩側(cè)與軟軸套管之間對稱焊接兩條焊條。
5. 如權(quán)利要求1所述的一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽，其特征在于所述電機傳動組件包括電動機、兩個互相嚙合的直齒圓柱齒輪，其中，一個直齒圓柱齒輪與電動機連接，另一個直齒圓柱齒輪與穿過槽體側(cè)壁的橢圓軸連接。
6. 如權(quán)利要求1所述的一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽，其特征在于所述電機傳動組件包括電動機、兩個通過鏈條連接的鏈輪，其中，一個鏈輪與電機連接，另一個鏈輪與槽體內(nèi)的橢圓軸連接。
專利摘要本實用新型涉及一種清洗硅片的裝置。本實用新型公開了一種用于清洗硅片的旋轉(zhuǎn)槽，包括槽體、電機傳動組件，在槽體底部固定有滑軌，在滑軌上有兩滑塊，在滑塊上設(shè)有放置硅片的花籃，所述兩滑塊中間設(shè)有橢圓軸，該橢圓軸與電機傳動組件連接。本實用新型的橢圓軸的轉(zhuǎn)動能帶動硅片不停的旋轉(zhuǎn)，并在旋轉(zhuǎn)的過程中不停地上下浮動，因此，能達到徹底清洗硅片的目的。本實用新型使用方便，清洗效率高。
文檔編號B08B3/04GK201470637SQ200920154410
公開日2010年5月19日 申請日期2009年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月12日
發(fā)明者耿彪 申請人:耿彪