光檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及具備法布里-珀羅干涉濾光片的光檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]例如在專利文獻(xiàn)I中記載有現(xiàn)有的光檢測裝置。在該光檢測裝置中，受光元件被配置于支撐基板上。另外，在該光檢測裝置中，法布里-珀羅干涉濾光片通過粘結(jié)層被粘結(jié)于受光元件之上。在像這樣的光檢測元件中，為了電連接受光元件的鍵合焊墊(bonding pad)被配置于受光元件的上表面。法布里-珀羅干涉濾光片從法布里-珀羅干涉濾光片中的光的透過方向來看在受光元件的上面是從以上所述的鍵合焊墊分開來被配置的。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利申請公開2012-173347號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0007]然而，在以上所述那樣的光檢測元件中，從法布里-珀羅干涉濾光片中的光的透過方向看有必要將鍵合焊墊配置于法布里-珀羅干涉濾光片的外側(cè)。因此，恐怕會妨礙光檢測裝置的小型化。
[0008]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠小型化的光檢測裝置。
[0009]解決技術(shù)問題的手段
[0010]本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的光檢測裝置的特征在于:具備:配線基板，具有主面；光檢測器，被配置于配線基板的主面上并且與配線基板相電連接;支撐構(gòu)件，在配線基板的主面上被配置于光檢測器的周圍；法布里-珀羅干涉濾光片，具有光透過區(qū)域并且經(jīng)由支撐構(gòu)件被配置于配線基板的主面上;支撐構(gòu)件在光透過區(qū)域的周圍區(qū)域支撐法布里-珀羅干涉濾光片，支撐構(gòu)件在從光透過區(qū)域中的光的透過方向來看的情況下具有連通周圍區(qū)域的內(nèi)側(cè)和周圍區(qū)域的外側(cè)的開口部。
[0011]在該光檢測裝置中，開口部被設(shè)置于支撐構(gòu)件。為此，即使是將被電連接于光檢測器的鍵合焊墊配置于光透過區(qū)域的周圍區(qū)域的情況，能夠以經(jīng)由支撐構(gòu)件的開口部的形式設(shè)置用于電連接該鍵合焊墊和其他元件的配線。由此，就能夠確保對于光檢測器的電連接。因此，在從法布里-珀羅干涉濾光片中的光的透過方向看的情況下，沒有必要將鍵合焊墊配置于法布里-珀羅干涉濾光片的外側(cè)。因此，就能夠?qū)⒐鈾z測裝置的大小做到與法布里-珀羅干涉濾光片的大小基本相同等。因此，就能夠?qū)鈾z測裝置實(shí)行小型化。
[0012]在此，本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的光檢測裝置進(jìn)一步具備連接相對于光檢測器或者法布里-珀羅干涉濾光片被電連接的引線(wire)的一端并且相對于光檢測器或者法布里-珀羅干涉濾光片輸入或者輸出電信號的引線連接部，引線連接部的上表面也可以被配置于低于法布里-珀羅干涉濾光片的上表面的位置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，會變得容易進(jìn)行從法布里-珀羅干涉濾光片或者光檢測器到引線銷針的引線連接。
[0013]另外，引線連接部的上表面也可以被配置于低于支撐構(gòu)件的上表面的位置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，則會變得容易實(shí)行從法布里-珀羅干涉濾光片或者光檢測器到引線銷針的引線連接。
[0014]另外，也可以是，引線連接部包含被電連接于光檢測器的第I引線連接部、被電連接于法布里-珀羅干涉濾光片的第2引線連接部，第I引線連接部與法布里-珀羅干涉濾光片的距離成為最短的第I方向，相對于第2引線連接部與法布里-珀羅干涉濾光片的距離成為最短的第2方向進(jìn)行交叉。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，則能夠防止引線的配置發(fā)生復(fù)雜化，并且能夠提高引線鍵合的操作性。
[0015]在此，在本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的光檢測裝置中，被電連接于光檢測器的鍵合焊墊的至少一部分也可以被配置于周圍區(qū)域內(nèi)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠以經(jīng)由支撐構(gòu)件的開口部的形式設(shè)置用于電連接鍵合焊墊和其他元件的配線。由此，就能夠確保對于光檢測器的電連接。因此，與將鍵合焊墊配置于由支撐構(gòu)件圍起來的區(qū)域之外的情況相比較，為了配置鍵合焊墊的空間將變得不再需要。因此，就能夠?qū)鈾z測裝置實(shí)行小型化。
[0016]另外，在本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的光檢測裝置中，也可以為，法布里-珀羅干涉濾光片具有鍵合焊墊，支撐構(gòu)件在從透過方向看的情況下被配置于對應(yīng)于法布里-珀羅干涉濾光片的鍵合焊墊的位置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在光檢測裝置制造時(shí)的引線鍵合工序中，法布里-珀羅干涉濾光片的鍵合焊墊被在對應(yīng)于該鍵合焊墊的位置設(shè)置的支撐構(gòu)件支撐。因此，能夠提尚引線鍵合性。
[0017]另外，在本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的光檢測裝置中，支撐構(gòu)件在從透過方向看的情況下也可以與法布里-珀羅干涉濾光片的光透過區(qū)域分開。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，因?yàn)橹螛?gòu)件與光透過區(qū)域分開，所以在制造光檢測裝置的時(shí)候，即使是在被用于粘結(jié)部的樹脂等材料從粘結(jié)部溢出的情況下，也能夠抑制該樹脂等材料滲透侵入到光透過區(qū)域。
[0018]發(fā)明效果
[0019]根據(jù)本發(fā)明就能夠提供一種能夠小型化的光檢測裝置。
【附圖說明】
[0020]圖1是實(shí)施方式所涉及的光檢測裝置的分解立體圖。
[0021 ]圖2是法布里-珀羅干涉濾光片的截面圖。
[0022]圖3是表示光檢測裝置制造工序的平面圖。
[0023]圖4是表示延續(xù)圖3的光檢測裝置制造工序的平面圖。
[0024]圖5是表示延續(xù)圖4的光檢測裝置制造工序的平面圖。
[0025]圖6是對應(yīng)于圖5(B)的側(cè)面圖。
[0026]圖7是圖5(B)中的VI1-VII線截面圖以及放大表示其一部分的示意圖。
[0027]圖8是表示延續(xù)圖5的光檢測裝置制造工序的平面圖。
[0028]圖9是表示光檢測裝置的變形例的平面圖。
[0029]圖10是表示光檢測裝置的變形例的平面。
[0030]圖11是表示第I實(shí)施方式所涉及的光檢測裝置的變形例的平面。
【具體實(shí)施方式】
[0031]以下是參照附圖并就本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。還有，在各個(gè)附圖中將相同符號標(biāo)注于相同或者相當(dāng)部分，并省略重復(fù)的說明。
[0032][第I實(shí)施方式]
[0033][光譜傳感器]
[0034]如圖1所示，光譜傳感器(光檢測裝置)1具備配線基板2、光檢測器3、多個(gè)墊片(支撐構(gòu)件)4、法布里-珀羅干涉濾光片10。配線基板2具有主面2A。在配線基板2的主面2A上設(shè)置有安裝部2a、多個(gè)電極焊墊(鍵合焊墊bongding pad)2b以及安裝部2c。在安裝部2a安裝有光檢測器3。在安裝部2c安裝有例如熱敏電阻等溫度補(bǔ)償用元件。電極焊墊2b_l由配線2d而與安裝部2a相電連接。電極焊墊2b_2(不與安裝部2a相電連接的電極焊墊2b_2)由配線2d而與安裝部2c相電連接。另外，電極焊墊2b_2(不與安裝部2a相電連接的電極焊墊2b_2)將被安裝于安裝部2c的熱敏電阻等與光譜傳感器I的外部相電連接。光檢測器3例如是紅外線檢測器。對于該紅外線檢測器來說可以列舉使用了 InGaAs等的量子型傳感器、或使用了溫差電堆(thermopile)或者福射熱測量計(jì)(bo 1meter)等的熱型傳感器。還有，在檢測紫外(UV)、可見、近紅外各個(gè)區(qū)域的情況下，作為光檢測器3能夠使用硅光電二極管等。
[0035]多個(gè)墊片4被固定于配線基板2的主面2A上。法布里-珀羅干涉濾光片10被固定于多個(gè)墊片4上。就這樣多個(gè)墊片4支撐法布里-珀羅干涉濾光片10。另外，法布里-珀羅干涉濾光片10被配置于配線基板2的主面2A上。此時(shí)，為了抑制對法布里-珀羅干涉濾光片10的熱應(yīng)變影響，多個(gè)墊片4以及法布里-珀羅干涉濾光片10優(yōu)選由粘結(jié)部來進(jìn)行固定。粘結(jié)部是由具有可撓性的樹脂材料構(gòu)成。作為構(gòu)成粘結(jié)部的樹脂材料例如可以使用硅酮類、聚氨脂類、環(huán)氧類、丙烯酸類、混合樹脂等各種樹脂材料。作為樹脂材料優(yōu)選使用彈性模量(或者楊氏模量)為0.1GPa以下的材料。再有，該樹脂材料最好是選自室溫固化或者低溫固化的樹脂。
[0036]在此，作為粘結(jié)墊片4和法布里-珀羅干涉濾光片10的粘結(jié)劑的芯片鍵合樹脂5其固化后的硬度比粘結(jié)墊片4和配線基板2的粘結(jié)劑來得軟。例如，墊片4與法布里-珀羅干涉濾光片10的固定適宜用由固化后的彈性模量為小于1MPa的硅酮類樹脂材料構(gòu)成的粘結(jié)劑來實(shí)行。另外，墊片4與配線基板2的固定適宜用由固化后的彈性模量為10MPa以上的環(huán)氧類的樹脂材料構(gòu)成的粘結(jié)劑來實(shí)行。由此，一方面墊片4與配線基板2的固定被牢固地實(shí)行，另一方面能夠抑制來自法布里-珀羅干涉濾光片10周邊構(gòu)件的熱應(yīng)變通過粘結(jié)劑被傳遞到法布里-珀羅干涉濾光片10。
[0037]另外，作為多個(gè)墊片4的材料例如能夠使用硅、