剝離裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的剝離裝置，具有：第一保持單元(310)，其用于保持第一板狀體(BL)；剝離開始單元(321)，其通過使第一板狀體(BL)的一端部向與第二板狀體(SB)相反的方向彎曲成柱面狀，將第二板狀體(SB)中的與第一板狀體(BL)緊貼的緊貼區(qū)域的局部轉(zhuǎn)變?yōu)榈谝话鍫铙w(BL)被剝離的剝離區(qū)域，在緊貼區(qū)域和剝離區(qū)域之間的邊界處形成一條且直線狀邊界線；第二保持單元(122)，其用于保持形成有剝離區(qū)域的第二板狀體(SB)；分離單元，其使第一保持單元(310)和第二保持單元(122)之間的間隔增大，來使第一板狀體(BL)和第二板狀體(SB)分離。
【專利說明】
剝離裝置[0001 ] 本申請是申請?zhí)枮?01410043949.X、申請日為2014年1月29日、發(fā)明名稱為“剝離 裝置以及剝離方法”的專利申請的分案申請。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及用于使相互緊貼的兩張板狀體剝離并分離的剝離裝置以及剝離方法。 【背景技術(shù)】
[0003]作為在玻璃基板、半導(dǎo)體基板等板狀體上形成規(guī)定的圖案或薄膜的技術(shù)，將擔(dān)載于其它板狀體的圖案或薄膜(下面，稱為“圖案等”)轉(zhuǎn)印至基板。在該技術(shù)中，在使兩張板狀體緊貼來將圖案等從一方轉(zhuǎn)印至另一方之后，需要在不損壞圖案等的情況下將兩張板狀體剝離。
[0004]為了該目的，例如在日本特開2008-287949號公報所記載的技術(shù)中，將粘接的兩張基板保持為水平姿勢，在對上下板分別進(jìn)行真空吸附的狀態(tài)下，使上下板分別向分離方向移動。此時，通過使局部吸附上側(cè)基板的多個吸附墊從基板的一端部側(cè)起依次上升，使剝離從基板的一端朝向另一端地進(jìn)行。而且，公開了如下結(jié)構(gòu):為了在剝離初始階段引發(fā)基板的分離，頂起一個基板的端部的結(jié)構(gòu)。另外，在日本特開2003-072123號公報中記載了如下技術(shù)，即，為了取出載置于載物臺上的板，向載物臺和板之間插入楔狀剝離爪來在兩者之間形成間隙。
[0005]這種轉(zhuǎn)印技術(shù)應(yīng)用于各種器件制造工序中。隨著圖案等材料的多樣化、圖案的微細(xì)化、基板的大型化等，需要在剝離工藝中進(jìn)行更細(xì)致的移動管理。在剝離工藝中，在兩張板狀體之間，通過使已剝離區(qū)域和未剝離區(qū)域之間的邊界線向未剝離區(qū)域側(cè)移動，最終使整體剝離。當(dāng)該邊界線的移動速度，即剝離速度發(fā)生變動時，容易因應(yīng)力集中而使圖案等損壞。尤其，在剝離工藝的初始階段，由于邊界線的形狀不穩(wěn)定，因此容易因邊界線的形狀變化而使剝離速度發(fā)生變動。
[0006]但是，在上述現(xiàn)有技術(shù)中，并未構(gòu)成能夠這樣嚴(yán)格管理剝離速度的結(jié)構(gòu)，尤其無法抑制因邊界線的局部形狀變化使剝離速度發(fā)生變動的情況。因此，從防止圖案等損壞的方面來說，上述現(xiàn)有技術(shù)還存在改進(jìn)的余地。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種技術(shù)，在用于使相互緊貼的兩張板狀體剝離來分離的剝離裝置中，即使在兩張板狀體之間擔(dān)載有圖案等的情況下， 也能夠在不損壞該圖案等的情況下，良好地使兩張板狀體剝離。
[0008]本發(fā)明的剝離裝置的一個方式為，用于將相互緊貼的第一板狀體和第二板狀體剝離，為了達(dá)到上述目的，具有:第一保持單元，其用于保持所述第一板狀體;剝離開始單元， 其通過使所述第一板狀體的一端部向與所述第二板狀體相反的方向彎曲成柱面狀，使所述第二板狀體中的與所述第一板狀體緊貼的緊貼區(qū)域的局部轉(zhuǎn)換為所述第一板狀體被剝離的剝離區(qū)域，并在所述緊貼區(qū)域和所述剝離區(qū)域之間的邊界處形成一條且直線狀的邊界線;第二保持單元，其用于保持形成有所述剝離區(qū)域的所述第二板狀體;分離單元，其使所述第一保持單元和所述第二保持單元之間的間隔增大，來使所述第一板狀體和所述第二板狀體分離。
[0009]另外，本發(fā)明的剝離方法的一個方式為，使相互緊貼的第一板狀體和第二板狀體剝離的剝離方法，為了達(dá)到上述目的，包括:邊界線形成工序，使所述第一板狀體的一端部向與所述第二板狀體相反的方向彎曲成柱面狀，將所述第二板狀體中的與所述第一板狀體緊貼的緊貼區(qū)域的局部轉(zhuǎn)換為所述第一板狀體被剝離的剝離區(qū)域，在所述緊貼區(qū)域和所述剝離區(qū)域之間的邊界處形成一條且直線狀的邊界線；剝離工序，使所述第一板狀體和所述第二板狀體向分離方向相對移動，一邊將所述邊界線維持為直線狀，一邊向所述緊貼區(qū)域側(cè)移動。
[0010]在這樣構(gòu)成的發(fā)明中，在使相互緊貼的第一板狀體和第二板狀體分離之前，通過使其中的一者的第一板狀體的一端部向與第二板狀體相反的一側(cè)彎曲，來引發(fā)剝離。此時， 通過使第一板狀體彎曲成柱面狀，使緊貼區(qū)域和剝離區(qū)域之間的邊界線形成直線狀。這樣通過使初始階段的邊界線形成直線狀，能夠在使第一板狀體和第二板狀體分離的過程中， 使直線狀邊界線向緊貼區(qū)域側(cè)移動，從而能夠抑制因邊界線的形狀變動而使剝離速度變化的情況。因此，在本發(fā)明中，能夠更嚴(yán)格地管理剝離速度來進(jìn)行剝離，例如即使在兩張板狀體之間擔(dān)載有圖案或薄膜(下面，稱為“圖案等”)的情況下，也能夠在不損壞該圖案等的情況下進(jìn)行剝離。
[0011]另外，本發(fā)明的剝離裝置的其它方式為，用于將隔著薄膜或者圖案相互緊貼的第一板狀體和第二板狀體剝離，為了達(dá)到上述目的，具有:保持單元，其具有平面尺寸大于所述第一板狀體的有效地?fù)?dān)載有所述薄膜或者圖案的有效區(qū)域的平面尺寸的保持面，以所述保持面抵接于所述第一板狀體的與所述第二板狀體緊貼的面相反一側(cè)的面的方式保持所述第一板狀體，抵接單元，將沿著所述第二板狀體從所述第二板狀體的一端部朝向另一端部的方向設(shè)為剝離進(jìn)行方向，該抵接單元呈將垂直于所述剝離進(jìn)行方向的方向作為軸向的車?yán)?，該抵接單元能夠在所述剝離進(jìn)行方向上移動，在所述一端部的所述剝離進(jìn)行方向上的下游側(cè)的抵接開始位置，該抵接單元抵接于所述第二板狀體的與所述第一板狀體緊貼的面相反一側(cè)的面，并在與所述第二板狀體之間形成抵接夾持區(qū)域，剝離單元，保持所述一端部并使所述一端部向與所述保持單元相分離的方向移動，來使所述一端部與所述第一板狀體剝離，拍攝單元，其隔著所述第一板狀體拍攝邊界線，所述邊界線為，所述第一板狀體中的與所述第二板狀體緊貼的未剝離區(qū)域和已從所述第二板狀體剝離的剝離區(qū)域之間的邊界處所形成的線，移動控制單元，其基于所述拍攝單元所拍攝的圖像檢測所述邊界線的位置，基于該檢測結(jié)果控制所述抵接單元的移動;在所述邊界線到達(dá)與所述抵接夾持區(qū)域的所述剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)端部相對應(yīng)的位置時，所述抵接單元開始從所述抵接開始位置向所述剝離進(jìn)行方向移動。
[0012]另外，本發(fā)明的剝離方法的其它方式為，使隔著薄膜或者圖案相互緊貼的第一板狀體和第二板狀體剝離，為了達(dá)到上述目的，包括:第一工序，使所述第一板狀體的與所述第二板狀體緊貼的面相反一側(cè)的面抵接于平面尺寸比所述第一板狀體的有效地?fù)?dān)載有所述薄膜或者圖案的有效區(qū)域的平面尺寸大的保持面，并保持所述第一板狀體;第二工序，將沿著所述第二板狀體從所述第二板狀體的一端部朝向另一端部的方向設(shè)為剝離進(jìn)行方向， 使將垂直于所述剝離進(jìn)行方向的方向作為軸向的輥狀抵接單元，在所述一端部的所述剝離進(jìn)行方向上的下游側(cè)的抵接開始位置，抵接于所述第二板狀體的與所述第一板狀體緊貼的面相反一側(cè)的面;第三工序，使所述第二板狀體的一端部向與所述第一板狀體分離的方向移動，使所述第二板狀體的所述一端部從所述第一板狀體剝離;第四工序，隔著所述第一板狀體拍攝邊界線，該邊界線為，所述第一板狀體中的與所述第二板狀體緊貼的未剝離區(qū)域和已從所述第二板狀體剝離的剝離區(qū)域之間的邊界處所產(chǎn)生的線；第五工序，基于所拍攝的圖像求出所述邊界線到達(dá)與所述抵接夾持區(qū)域的所述剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)端部相對應(yīng)的位置的時刻，在該時刻使所述抵接單元開始從所述抵接開始位置向所述剝離進(jìn)行方向移動。
[0013]在通過使兩張板狀體向相互分離的方向相對移動來進(jìn)行剝離的情況下，為了良好地進(jìn)行剝離，需要使處于兩者被剝離之前的緊貼狀態(tài)的未剝離區(qū)域和已經(jīng)剝離的剝離區(qū)域之間的邊界處形成的邊界線以恒定速度移動。因為當(dāng)邊界線的移動速度發(fā)生變動時，在板狀體之間擔(dān)載的圖案等上產(chǎn)生局部的集中集中的現(xiàn)象，從而損壞圖案等。在本發(fā)明中，使輥狀抵接單元抵接于第二板狀體，一邊使抵接單元向剝離進(jìn)行方向移動一邊進(jìn)行剝離。由于邊界線不會超過與抵接單元相抵接的抵接位置來移動，因此能夠通過抵接單元恰當(dāng)?shù)毓芾韯冸x的進(jìn)行。
[0014]但是，為了獲得通過這樣的抵接單元產(chǎn)生的效果，需要在剝離的初始階段使邊界線的移動和抵接單元的移動同步進(jìn)行。因為若它們之間有偏差，則邊界線停止移動，或者無法實現(xiàn)速度管理。但是，尤其在剝離的初始階段邊界線的移動速度不穩(wěn)定。[〇〇15]因此，在上述方式的發(fā)明中，隔著第一板狀體拍攝邊界線，基于結(jié)果來控制抵接單元的移動開始時刻。利用圖案等或第二板狀體與周圍環(huán)境氣體的折射率的差異，能夠隔著第一板狀體容易地觀察邊界線。因此，通過觀察實際邊界線的移動狀況來決定抵接單元的移動開始時刻，即使初始階段中的邊界線的移動速度不穩(wěn)定，也能夠根據(jù)邊界線的移動來使抵接單元開始移動。因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制抵接單元的移動和邊界線的移動之間的偏移，在不損壞形成在兩張板狀體之間的圖案等的情況下，良好地將它們剝離。
[0016]本發(fā)明的剝離裝置的一個方式為，用于使第一板狀體和第二板狀體剝離，所述第二板狀體的平面尺寸小于所述第一板狀體的平面尺寸，并且所述第二板狀體隔著薄膜或者圖案緊貼在所述第一板狀體上，具有:保持載物臺，其上表面為平面尺寸大于所述第一板狀體的形成有所述薄膜或者圖案的有效區(qū)域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板狀體的面中的與所述第二板狀體緊貼的一面相反的一側(cè)的另一面與所述保持面抵接，來保持所述第一板狀體，剝離單元，其保持所述第二板狀體，來使所述第二板狀體相對于被保持在所述保持載物臺上的所述第一板狀體，向與所述第一板狀體分離的方向移動，支撐構(gòu)件，其上端向所述保持面的上方突出，并且所述上端與所述第一板狀體的所述另一面局部抵接，從而將所述第一板狀體支撐在與所述保持面分離的狀態(tài)，以及升降單元，其使所述支撐構(gòu)件相對于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之間變更，所述上部位置是指， 所述支撐構(gòu)件的所述上端向所述保持面的上方突出的位置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置;所述支撐構(gòu)件抵接于所述第一板狀體的所述另一面中的與在所述一面?zhèn)戎信c所述第二板狀體緊貼的區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)且所述有效區(qū)域的外側(cè)抵接?！靖綀D說明】
[0017]圖1是示出本發(fā)明的剝離裝置的第一實施方式的立體圖。
[0018]圖2A、2B是示出該剝離裝置的主要部的圖。
[0019]圖3是示出該剝離裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。[〇〇2〇]圖4A、4B是示出載物臺和載置于該載物臺的層疊體之間的位置關(guān)系的圖。 [0〇21]圖5是示出剝離處理的流程圖。
[0022]圖6A至6C是示出處理各階段中的各部的位置關(guān)系的第一圖。
[0023]圖7A、7B是示出處理各階段中的各部的位置關(guān)系的第二圖。[〇〇24]圖8A至8C是示出剝離邊界線和剝離速度之間的關(guān)系的圖。
[0025]圖9是示出本發(fā)明的剝離裝置的第二實施方式的立體圖。
[0026]圖10是示出該剝離裝置的主要結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0027]圖11A、11B是示出載物臺的更詳細(xì)結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0028]圖12A、12B是示出初始剝離單元的結(jié)構(gòu)以及各部的位置關(guān)系的側(cè)視圖。
[0029]圖13是示出載物臺和載置于該載物臺的工件之間的位置關(guān)系的圖。
[0030]圖14是示出該剝離裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。[0〇31]圖15是示出剝離處理的流程圖。[〇〇32]圖16A、16B是示出處理各階段中的各部的位置關(guān)系的第一圖。[〇〇33]圖17A至17C是示出處理各階段中的各部的位置關(guān)系的第二圖。[〇〇34]圖18A至18D是示出處理各階段中的各部的位置關(guān)系的第三圖。[〇〇35] 其中，附圖標(biāo)記說明如下:[〇〇36]122:吸附墊(第二保持單元)[0〇37]310:載物臺(第一保持單元、載物臺)[〇〇38]311:(載物臺310的)水平面部(抵接面)[〇〇39]320:初始剝離部(剝離開始單元)
[0040]321:按壓構(gòu)件[〇〇41]521:輯(抵接單元)[〇〇42]523:升降機構(gòu)(分離單元)[〇〇43]2001:剝離裝置[0〇44]2030:載物臺(保持單元)[〇〇45]2031:水平載物臺部(保持單元)[〇〇46]2032:錐形載物臺部(保持單元)
[0047]2037:拍攝部(拍攝單兀)[〇〇48]2051:第一吸附單元(剝離單元)[〇〇49]2052?2054:第二吸附單元至第四吸附單元[〇〇5〇]2070:控制單元(移動控制單元)[〇〇51]2310:(水平載物臺部31的)上表面(保持面)[〇〇52]2321:(錐形載物臺部32的)水平面(保持面)
[0053]2322:(錐形載物臺部32的)錐面[〇〇54]2331:按壓構(gòu)件[〇〇55]2340:剝離輥(抵接單元)
[0056]2517、2527:吸附墊[〇〇57] BL:橡皮布(第一板狀體)[〇〇58]R24:抵接夾持區(qū)域
[0059]S10US102:設(shè)置工序[〇〇6〇] S104:邊界線形成工序
[0061]S105?S108:剝離工序[〇〇62] SB:基板(第二板狀體)【具體實施方式】[〇〇63]〈第一實施方式〉
[0064]圖1是示出本發(fā)明的剝離裝置的第一實施方式的立體圖。為了統(tǒng)一表示各圖中的方向，如圖1右下方所示那樣設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)軸。在此，XY平面表示水平面，Z軸表示鉛垂軸。更詳細(xì)地，+Z方向表示鉛垂朝上方向。此外，在下面的各圖中，為了便于理解發(fā)明，可能將各部的尺寸恰當(dāng)進(jìn)行放大縮小來表示。因此，尤其后述基板以及橡皮布的厚度和兩者之間的間隔，有時以比實際情況大的方式表示。
[0065]該剝離裝置1是用于將以主面彼此緊貼的狀態(tài)被搬入的兩張板狀體剝離的裝置。 例如用于在玻璃基板、半導(dǎo)體基板等基板的表面上形成規(guī)定的圖案的圖案形成工序的一部分中。更具體地說，在該圖案形成工序中，在暫時擔(dān)載有應(yīng)該轉(zhuǎn)印至作為被轉(zhuǎn)印體的基板的圖案的、作為擔(dān)載體的橡皮布表面上均勻地涂敷圖案形成材料(涂敷工序)，使根據(jù)圖案形狀進(jìn)行了表面加工的版與橡皮布上的涂敷層壓力接觸，從而對涂敷層進(jìn)行圖案成形(在涂覆層上形成圖案)(圖案成形工序)。然后，通過使這樣形成有圖案的橡皮布緊貼于基板上 (轉(zhuǎn)印工序)，最終將圖案從橡皮布轉(zhuǎn)印至基板。
[0066]此時，為了達(dá)到使在圖案成形工序中緊貼的版和橡皮布分離，或者使在轉(zhuǎn)印工序中緊貼的基板和橡皮布分離的目的，能夠優(yōu)選利用本裝置。當(dāng)然可以應(yīng)用于這兩個工序，也可以利用于除了這些方面之外的用途中。例如能夠利用于將擔(dān)載體所擔(dān)載的薄膜轉(zhuǎn)印至基板時的剝離工序中。
[0067]該剝離裝置1的結(jié)構(gòu)為，在框體上分別安裝有上部單元10、中央單元30以及下部單元50。在圖1中，為了表示裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)而省略框體的圖示。另外，該剝離裝置1具有后述控制單元70(圖3)。
[0068]在上部單元10中，在固定于框體上的支撐基座101的上表面上，沿著Y方向以規(guī)定的間隔排列立起設(shè)置有一對支柱102、103,在這些支柱的上部架設(shè)有梁構(gòu)件104。在支柱 102、103的+X側(cè)側(cè)面上分別安裝有沿著鉛垂方向(Z方向)延伸的導(dǎo)軌102a、103a。在導(dǎo)軌 102a、103a上分別安裝有滑塊111、112，并且滑塊111、112能夠沿著鉛垂方向自由滑動?；瑝K 11U112分別安裝在沿著Y方向延伸設(shè)置的臂支撐板113的兩端部上。
[0069]在臂支撐板113的兩端部安裝有向+X方向延伸的一對臂部114、115,能夠在這些臂部上安裝各種處理部。在本實施方式中，在+Y側(cè)的一個臂部115上安裝有作為處理部的上部吸附部120。關(guān)于上部吸附部120,在后面進(jìn)行說明。
[0070]在臂支撐板113的-X側(cè)側(cè)面上設(shè)置有板升降機構(gòu)116,該板升降機構(gòu)116與安裝在上方的梁構(gòu)件104上的馬達(dá)105的旋轉(zhuǎn)軸相連接。當(dāng)馬達(dá)105的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，該旋轉(zhuǎn)運動被設(shè)置在板升降機構(gòu)116上的例如滾珠螺桿機構(gòu)等轉(zhuǎn)換機構(gòu)轉(zhuǎn)換為上下運動。由此使臂支撐板113沿著導(dǎo)軌102a、103a在Z方向上移動。伴隨于此，安裝在臂部115上的上部吸附部120也沿著Z方向移動。[0071 ]接著，對于中央單元30的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。在中央單元30中，在固定在框體上的支撐基座301的上表面的大致中央部設(shè)置有載物臺310。后面進(jìn)行詳細(xì)說明，但是在將版和橡皮布隔著涂敷層緊貼而成的層疊體，或者基板和橡皮布隔著圖案緊貼而成的層疊體從外部搬入于該剝離裝置1中時，將該層疊體載置于載物臺310的上表面。載物臺310的平面尺寸大于載置于其上方的層疊體的平面尺寸。[〇〇72]在支撐基座301上的載物臺310的+Y側(cè)安裝有初始剝離部320,該初始剝離部320通過使載置于載物臺310的上表面的層疊體的端部向下方彎曲來開始進(jìn)行剝離。關(guān)于初始剝離部320,后面進(jìn)行詳細(xì)敘述。[〇〇73]在下部單元50中，固定在框體上的支撐基座501在中央單元30的支撐基座301的下方沿著Y方向延伸設(shè)置，在支撐基座501的上表面上安裝有導(dǎo)軌510。在導(dǎo)軌510上安裝有滑塊511，并且該滑塊511能夠自由滑動，滑塊511用于支撐按壓輥部520。因此按壓輥部520能夠沿著Y方向自由移動。[〇〇74]按壓輥部520具有:輥521，其在中央單元30的載物臺310的上方沿著X方向延伸設(shè)置;輥保持部522,其具有在載物臺310的下方沿著X方向延伸設(shè)置的橫架部以及從該橫架部的兩端突出至載物臺310的上表面的上方的立設(shè)部，用該立設(shè)部保持輥521的兩端并使該輥 521能夠自由旋轉(zhuǎn);升降機構(gòu)523(圖3 )，其在圖1中隱藏，但是該升降機構(gòu)523使該輥保持部 522沿著Z方向移動來使輥521的高度發(fā)生變化。[〇〇75]下部單元50還具有馬達(dá)502,馬達(dá)502的旋轉(zhuǎn)運動被未圖示的轉(zhuǎn)換機構(gòu)轉(zhuǎn)換為Y方向上的直線運動，從而驅(qū)動按壓輥部520。即，通過馬達(dá)502的旋轉(zhuǎn)，使按壓輥部520沿著導(dǎo)軌 510在Y方向上移動。[〇〇76]圖2A以及圖2B是示出該剝離裝置的主要部的圖。更詳細(xì)地，圖2A是示出載物臺310 的周邊結(jié)構(gòu)的配置的立體圖，圖2B是觀察載物臺310的Y-Z剖切面的局部剖視圖。圖中的虛線箭頭表示各結(jié)構(gòu)構(gòu)件的可移動方向。[〇〇77]在載物臺310上設(shè)置有多個槽。具體地說，在最內(nèi)側(cè)以包圍載物臺310的中央部分的方式設(shè)置有矩形環(huán)狀的環(huán)狀槽313。并且，以與環(huán)狀槽313的外側(cè)(±X側(cè)、±￥側(cè))的周圍相鄰的方式，設(shè)置有呈大致矩形形狀的槽314。此外，槽314也可以不連接成環(huán)狀，例如也可以是矩形四邊中的一部分獨立的結(jié)構(gòu)。[〇〇78]根據(jù)執(zhí)行的處理，恰當(dāng)?shù)叵蚋鞑鄯謩e單獨地供給正壓、負(fù)壓以及大氣壓中的某一個。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)對載置于載物臺310的物體進(jìn)行吸附以及解除該吸附，還能夠使該物體浮起。如后述那樣，在本實施方式中，環(huán)狀槽313主要發(fā)揮向大氣壓開放的大氣開放槽的功能，另外，其它槽314被供給負(fù)壓來主要發(fā)揮真空吸引槽的功能。[〇〇79]從圖2B中得知，載物臺310的上表面包括:水平面部311，其為大致水平的平面;傾斜面部312,其與水平面部311相連接，且為具有規(guī)定的傾斜角01的平面。水平面部311和傾斜面部312相接的棱線部El呈與X方向平行的直線狀。在圖中，強調(diào)了傾斜，但是傾斜角01為幾度左右，例如能夠是2度。槽314設(shè)置于水平面部311中的棱線部E1的附近。
[0080]在載物臺310的水平面部311的上方沿著X方向延伸配置有輥521，該輥521被從載物臺310下方延伸的輥保持部522保持且能夠自由旋轉(zhuǎn)。輥521能夠通過未圖示的升降機構(gòu)沿著Z方向移動，由此以與載物臺310接近或分離的方式移動。另外，通過馬達(dá)502(圖1)的旋轉(zhuǎn)，使輥521與按壓輥部520—體地沿著Y方向移動。輥521不具有驅(qū)動源而進(jìn)行自由旋轉(zhuǎn)。 [〇〇81]在載物臺310的棱線部E1的上方設(shè)置有上部吸附部120(圖1)的吸附機構(gòu)。該吸附機構(gòu)具有:頭部121，其沿著X方向延伸設(shè)置;多個吸附墊122，其分別安裝在該頭部121上，且沿著X方向排列。吸附墊122例如由橡膠等彈性材料形成，通過向各吸附墊122供給負(fù)壓，能夠吸附物體。頭部121能夠通過上部吸附部120的升降機構(gòu)123(圖1)進(jìn)行升降移動，由此，各吸附墊122—體地以與載物臺310接近或分離的方式進(jìn)行移動。此外，雖然省略圖示，但是上部吸附部120還具有位置調(diào)整機構(gòu)，該位置調(diào)整機構(gòu)通過使頭部121沿著Y方向移動來調(diào)整各吸附墊122的Y方向位置。
[0082]在載物臺310的傾斜面部312的上方配置有初始剝離部320的按壓構(gòu)件321。更具體地說，初始剝離部320具有在傾斜面部312的上方沿著X方向延伸設(shè)置的按壓構(gòu)件321，按壓構(gòu)件321被支撐臂322支撐。按壓構(gòu)件321由一張板狀體形成為大致長方體形狀，按壓構(gòu)件 321設(shè)置有錐形部，在與按壓構(gòu)件321的長度方向垂直的截面中，隨著朝向一短邊錐形部的寬度變小，并且在該錐形部的頂部形成有平坦的頂面。這樣形狀的按壓構(gòu)件321將X方向作為長度方向，另外使頂面朝下來被支撐臂322支撐。按壓構(gòu)件321的X方向上的兩端部分別延伸至載物臺310的端部的外側(cè)，因此延伸至載置于載物臺310的層疊體的X方向端部的外側(cè)。 [〇〇83]支撐臂322被一對滑塊323、324支撐，所述滑塊323、324安裝于在固定于框體的基座板325上立起設(shè)置的一對導(dǎo)軌326、327，并且所述滑塊323、324能夠自由滑動。而且，初始剝離部320具有驅(qū)動部328,該驅(qū)動部328例如具有馬達(dá)、缸體等恰當(dāng)?shù)尿?qū)動源，驅(qū)動部328的驅(qū)動力根據(jù)需要被例如滾珠螺桿機構(gòu)等轉(zhuǎn)換機構(gòu)轉(zhuǎn)換為Z方向的直線運動，并傳遞至支撐臂322。因此，當(dāng)驅(qū)動部328進(jìn)行動作時，支撐臂322沿著Z方向進(jìn)行升降移動，按壓構(gòu)件321與支撐臂322—體地進(jìn)行升降來以與載物臺310接近或分離的方式移動。此外，雖然省略圖示， 但是初始剝離部320還具有位置調(diào)整機構(gòu)，該位置調(diào)整機構(gòu)通過在基座板325上使導(dǎo)軌326、 327沿著Y方向移動來調(diào)整按壓構(gòu)件321的Y方向位置。[〇〇84]圖3是示出該剝離裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。裝置各部被控制單元70控制?？刂茊卧?0 具有:CPU(中央處理器)701，其掌管整個裝置的動作；馬達(dá)控制部702，其用于控制在各部上設(shè)置的馬達(dá)組；閥控制部703,其用于控制在各部上設(shè)置的閥組；負(fù)壓供給部704,其用于產(chǎn)生向各部供給的負(fù)壓;用戶界面(UI)部705,其接收用戶的操作輸入或者將裝置的狀態(tài)通知給用戶。此外，在能夠利用外部所供給的負(fù)壓的情況下，控制單元70也可以不具有負(fù)壓供給部。[〇〇85]馬達(dá)控制部702控制設(shè)置于上部單元10的馬達(dá)105、設(shè)置于上部吸附單元120的升降機構(gòu)123、設(shè)置于中央單元30的初始剝離部320的驅(qū)動部328、設(shè)置于下部單元50的馬達(dá) 502以及升降機構(gòu)523等。閥控制部703控制閥組V10、閥組V30等，所述閥組V10設(shè)置于從負(fù)壓供給部704連接至吸附墊122的配管路徑上，向吸附墊122供給規(guī)定的負(fù)壓，所述閥組V30設(shè)置于從負(fù)壓供給部704連接至在載物臺310上設(shè)置的真空吸附槽的配管路徑上，向真空吸附槽314供給規(guī)定的負(fù)壓。[〇〇86]圖4A以及圖4B是示出載物臺和載置于載物臺的層疊體之間的位置關(guān)系的圖。更具體地說，圖4A是示出載置于載物臺310的層疊體的位置的俯視圖，圖4B是示出在載物臺310 上載置有層疊體的狀態(tài)的局部側(cè)視圖。在此，將如下情況作為例子來進(jìn)行說明，即，最終應(yīng)該被轉(zhuǎn)印圖案的基板SB和暫時擔(dān)載有用于轉(zhuǎn)印至該基板SB的圖案的橡皮布BL重合而成的層疊體載置于載物臺310。但是對橡皮布BL進(jìn)行圖案成形的版和橡皮布BL的層疊體的情況， 也能夠同樣考慮。在該情況下，在下面的說明中，只要將“基板”替換為“版”即可。[〇〇87]在基板SB和橡皮布BL隔著圖案緊貼而成的層疊體中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸。因此，基板SB的整個表面與橡皮布BL相向，而橡皮布BL僅有中央部分與基板SB相向，而周緣部為不與基板SB相向的空白部分。在基板SB的表面區(qū)域中的除了周緣部的中央部分設(shè)定有有效區(qū)域AR，該有效區(qū)域AR被有效地轉(zhuǎn)印圖案來發(fā)揮器件的功能。因此， 該剝離裝置1的目的在于，在不損壞從橡皮布BL轉(zhuǎn)印至基板SB的有效區(qū)域AR的圖案的情況下，將橡皮布BL與基板SB剝離。[〇〇88]如圖4A所示，以使基板SB的整個有效區(qū)域AR位于載物臺310的水平面部311的方式，將層疊體載置于載物臺310。此時，以使環(huán)狀槽313完全包圍有效區(qū)域AR的方式預(yù)先決定環(huán)狀槽313的配置。另一方面，以包圍環(huán)狀槽313的方式設(shè)置于載物臺310的水平面部311上的槽314,設(shè)置于在橡皮布BL載置于載物臺310時被橡皮布BL堵塞的位置。[〇〇89]基板SB的+Y側(cè)端部配置于比載物臺310的棱線部E1稍向+Y側(cè)突出的位置。另一方面，橡皮布BL的+Y側(cè)端部從載物臺310的棱線部E1大幅度伸出且擴展至傾斜面部312的上方。因此，在該部分，橡皮布BL的下表面不與載物臺310抵接，從而在橡皮布BL和傾斜面部 312之間形成有間隙。
[0090]預(yù)先調(diào)整吸附墊122的Y方向位置，以使吸附墊122位于基板SB的+Y側(cè)端部的正上方且比設(shè)置于載物臺310的槽314更靠+Y側(cè)的位置。另一方面，按壓構(gòu)件321位于突出到傾斜面部312的橡皮布BL端部的上方。在基板SB和橡皮布BL的層疊體這樣載置于載物臺310的狀態(tài)下，根據(jù)CPU701的控制指令使各部進(jìn)行動作，從而使基板SB和橡皮布BL剝離。
[0091]圖5是示出剝離處理的流程圖。另外，圖6A至圖6C、圖7A以及圖7B是示出處理各階段中的各部的位置關(guān)系的圖，示意性地示出處理的進(jìn)行狀況。CPU701執(zhí)行預(yù)先存儲的處理程序來控制各部，從而進(jìn)行該剝離處理。
[0092]當(dāng)通過操作者或者外部的搬運機械手等將層疊體搬入并配置于載物臺310上的上述位置(步驟S101)時，向載物臺310的真空吸附槽314供給負(fù)壓，從而通過載物臺310吸附保持層疊體(步驟S102)。接著，裝置各部配置于用于執(zhí)行剝離的初始位置(步驟S103)。圖6A示出各部的初始位置。如該圖所示，頭部121下降，來使各吸附墊122的下表面與基板SB的端部上表面相抵接。在該時刻，不向吸附墊122供給負(fù)壓，該吸附墊122僅僅機械性地與基板SB的上表面接觸。另外，按壓構(gòu)件321配置于橡皮布BL的端部附近且從橡皮布BL的上表面向上方分離的位置。而且，輥521在比基板SB的有效區(qū)域AR更靠+Y側(cè)且比真空吸附槽314的位置更靠-Y側(cè)的位置，與基板SB的上表面相抵接。[〇〇93]接著，在該狀態(tài)下使按壓構(gòu)件321下降(步驟S104)，一邊使按壓構(gòu)件321的下端(頂面)與橡皮布BL抵接，一邊使按壓構(gòu)件321進(jìn)一步下降。此時，如圖6B所示，橡皮布BL的+Y側(cè)端部被按壓構(gòu)件321的頂面推向下方從而朝下彎曲。在棱線部E1的-Y側(cè)即圖中左側(cè)，由于橡皮布BL的下表面被載物臺310的水平面部311吸附保持，因此限制橡皮布BL發(fā)生變形。因此， 橡皮布BL產(chǎn)生彎曲的部位限定于棱線部E1的+Y側(cè)即圖中右側(cè)。尤其，由于應(yīng)力集中于棱線部E1的附近，因此在該部分容易產(chǎn)生彎曲。[〇〇94]沿著X方向延伸設(shè)置的按壓構(gòu)件321，在X方向上均勻地按壓橡皮布BL。即，不管X方向位置如何，按壓力都恒定。因此，橡皮布BL的彎曲方式在X方向上都一致。即，橡皮布BL彎曲成具有與X方向平行的軸的柱面狀。另外，由于載物臺310的棱線部E1也沿著X方向，因此上述趨勢更顯著。[〇〇95]另一方面，基板SB由剛性比橡皮布BL剛性高的材料形成，變形與橡皮布BL的變形相比，更受限制。即，基板SB的+Y側(cè)端部不追隨橡皮布BL向下方進(jìn)行彎曲，而借助本身的剛性要返回原來的水平姿勢。因此，在要朝下進(jìn)行彎曲的橡皮布BL和要維持水平姿勢的基板 SB之間產(chǎn)生間隙，開始被局部剝離。即，按壓構(gòu)件321按壓橡皮布BL，來引發(fā)橡皮布BL和基板 SB的分離。為了防止基板SB與橡皮布BL—起向下方彎曲，需要橡皮布BL具有適當(dāng)?shù)娜嵝?，并且基板SB具有更高的剛性。另外，吸附墊122需要具有如下大小的伸縮性，S卩，能夠追隨因按壓構(gòu)件321按壓橡皮布BL而產(chǎn)生的基板SB的變形，S卩，即使在基板SB暫時彎曲的情況下，也不解除與基板SB的抵接狀態(tài)。[〇〇96]在此，將橡皮布BL和基板SB緊貼而未剝離區(qū)域稱為緊貼區(qū)域，將已經(jīng)剝離而在兩者之間產(chǎn)生有間隙的區(qū)域稱為剝離區(qū)域，而且將緊貼區(qū)域和剝離區(qū)域的邊界所形成的線稱為剝離邊界線并用附圖標(biāo)記DL表示。由于橡皮布BL彎曲成具有X方向的軸的柱面狀，因此剝離邊界線DL為沿著X方向的一條直線。[〇〇97]圖6C是從上方觀察圖6B的狀態(tài)下的基板SB和橡皮布BL的圖。標(biāo)注斜線的區(qū)域R11、 R12以及R13分別表示橡皮布BL中的與按壓構(gòu)件321相抵接的區(qū)域、橡皮布BL中的被供給至真空吸附槽314的負(fù)壓吸附的區(qū)域，以及基板SB中的與輥521相抵接的區(qū)域。如該圖所示，在開始剝離的初始階段，從橡皮布BL的中央側(cè)(圖中左側(cè))朝向+Y側(cè)，依次排列有有效區(qū)域AR 的+Y側(cè)端部、與輥521相抵接的抵接區(qū)域R13、被吸附的區(qū)域R12、剝離邊界線DL、基板SB的+Y 側(cè)端部、與按壓構(gòu)件321相抵接的抵接區(qū)域R11。[〇〇98]在輥521和基板SB相抵接的抵接區(qū)域R13以及橡皮布BL被吸附的區(qū)域R12的外側(cè) (圖中右側(cè))，對橡皮布BL進(jìn)行按壓，從而防止橡皮布BL的變形影響到有效區(qū)域AR。另外，輥 521的抵接位置處于有效區(qū)域AR的外側(cè)，從而避免來自輥521的局部按壓力施加于有效區(qū)域 AR內(nèi)的圖案上。[〇〇99]這樣，在通過按壓構(gòu)件321的壓力接觸使橡皮布BL向下方彎曲，且基板SB返回水平狀態(tài)來形成剝離邊界線DL時，返回圖5,接著向與基板SB的上表面相抵接的吸附墊122供給負(fù)壓來吸附保持基板SB，開始使吸附墊122上升(步驟S105)。與吸附墊122的上升同步地，在使輥521與基板SB上表面抵接的狀態(tài)下，使輥521向與已剝離區(qū)域相反的方向即-Y方向移動 (步驟S106)。吸附墊122的上升速度以及輥521的移動速度均為恒定速度。
[0100]如圖7A所示，當(dāng)使吸附墊122上升時，抬起吸附墊122所吸附的基板SB的端部，從而促進(jìn)從橡皮布BL上剝離基板SB的動作。即，剝離邊界線向-Y方向(圖中左方)移動。通過使輥 521與基板SB的上表面抵接，剝離邊界線的移動限定于與輥521相抵接的抵接位置。輥521沿著X方向延伸設(shè)置，因此剝離邊界線也呈沿著X方向延伸的直線狀。在本實施方式中，沿著X 方向排列設(shè)置有多個(圖2中為6個)吸附墊122,從而獲得高的吸附保持力。另外，在盡量接近基板SB的端部的位置進(jìn)行吸附，從而能夠可靠地抬起基板SB。
[0101]在該狀態(tài)下，一邊使吸附墊122上升，一邊使輥521以恒定速度向-Y方向移動，由此剝離邊界線以維持直線狀態(tài)的方式以恒定速度向-Y方向移動。即，將-Y方向作為剝離方向來進(jìn)行剝離。由于使輥521從有效區(qū)域AR外側(cè)開始移動，因此輥521通過有效區(qū)域AR上方的速度恒定，圖案受到來自輥521的按壓力，在有效區(qū)域AR內(nèi)的任何部位都均勻。[〇1〇2]這樣，繼續(xù)使吸附墊122上升以及使輥521移動，當(dāng)它們到達(dá)整個基板SB的剝離完成的結(jié)束位置(步驟S107)時，使吸附墊122和輥521停止移動，并且使輥521以及按壓構(gòu)件 321移動至規(guī)定的退避位置(步驟S108)。若在該狀態(tài)下解除吸附墊122的吸附，則能夠搬出從橡皮布BL剝離的基板SB(步驟S109)。接著若解除載物臺310的吸附，則能夠搬出橡皮布BL (步驟S110)。搬出基板SB和橡皮布BL，從而結(jié)束剝離處理。
[0103]在上述剝離處理的過程中，環(huán)狀槽313總是向大氣開放。橡皮布BL被設(shè)置于環(huán)狀槽 313的外側(cè)的真空吸附槽314真空吸附，因此即使在環(huán)狀槽313向大氣開放的狀態(tài)下，也不會失去對橡皮布BL進(jìn)行的保持。另一方面，使以包圍有效區(qū)域AR的方式設(shè)置的環(huán)狀槽313處于大氣開放狀態(tài)，從而能夠得到如下優(yōu)點。
[0104]若在載物臺310的上表面上存在例如因缺陷、附著異物等而產(chǎn)生的凹凸的情況下， 在通過真空吸附將橡皮布BL按壓于載物臺310上表面時，橡皮布BL可能也仿照載物臺的凹凸而彎曲。由此，可能使基板SB彎曲，或者使夾持在基板SB和橡皮布BL之間的圖案發(fā)生變形。無論怎樣，從良好地將圖案轉(zhuǎn)印至基板SB的目的來說，都不是希望的現(xiàn)象。在本實施方式中，在向大氣開放的環(huán)狀槽313的內(nèi)側(cè)的區(qū)域，不將橡皮布BL強力按壓于載物臺310的上表面上。因此，即使載物臺上表面上存在凹凸，也能夠避免該影響波及到基板SB、圖案。
[0105]在從上述那樣的橡皮布BL向基板SB轉(zhuǎn)印圖案時，為了將橡皮布BL所擔(dān)載的圖案以完整的形狀轉(zhuǎn)移至基板SB，要求剝離邊界線的移動速度即剝離的進(jìn)行速度(在此，稱為“剝離速度”)恒定。原因如下，即，尤其在圖案微細(xì)的情況下，或者圖案形成材料的性質(zhì)不同時， 在使剝離速度發(fā)生變化時會施加剪切力，從而可能損壞圖案。從版向橡皮布BL進(jìn)行圖案成形也同樣。
[0106]在上述剝離處理中，能夠預(yù)先使形成直線狀的剝離邊界線以恒定速度移動。至少在有效區(qū)域AR內(nèi)使剝離邊界線的移動速度恒定，從而能夠防止因剝離速度變化而使圖案損壞的情況。
[0107]圖8A至圖8C是示出剝離邊界線和剝離速度之間的關(guān)系的圖。在剝離的初始階段未引發(fā)分離而將基板SB和橡皮布BL拉開的情況下，如圖8A的第一比較例所示，一般從基板SB 的兩角部開始剝離，剝離邊界線DL最初形成在兩個部位之后形成一體，最終與輥抵接來成為直線狀。
[0108]另外，在如所述現(xiàn)有技術(shù)那樣，通過局部推出橡皮布或者插入剝離爪來引發(fā)分離的結(jié)構(gòu)中，如圖8B的第二比較例所示，在引發(fā)分離的部分局部產(chǎn)生大的剝離區(qū)域，通過使該剝離區(qū)域逐漸擴大來最終連接成剝離邊界線DL。
[0109]在這些結(jié)構(gòu)中，未對在剝離的初始階段產(chǎn)生的剝離邊界線的形狀進(jìn)行管理，使得形狀不恒定。因此即使以恒定速度使基板和橡皮布分離，不僅在局部產(chǎn)生的剝離邊界線DL 形成一體時移動速度發(fā)生不連續(xù)的變動，而且在彎曲的剝離邊界線DL變成直線狀的過程中，從局部觀察時，隨處都產(chǎn)生速度變動(由于存在因位置不同而產(chǎn)生的速度差，因此使剝離邊界線的形狀發(fā)生變化)。這能夠成為導(dǎo)致圖案損壞的原因。
[0110]在這些比較例中，也能夠通過使輥抵接于基板來最終使剝離邊界線成為直線，但是為了可靠地獲得該效果，需要在剝離進(jìn)行至基本與輥相抵接的抵接位置的時刻暫時停止剝離，然后一邊使輥移動，一邊進(jìn)行剝離。此時產(chǎn)生速度變動，因此仍然成為圖案損壞的原因。若預(yù)先使輥在有效區(qū)域的外側(cè)抵接于基板，則能夠防止有效區(qū)域內(nèi)的損壞，但是根據(jù)能夠使輥以什么樣的程度接近基板端部來決定有效區(qū)域的尺寸，可能因結(jié)構(gòu)上的限制而使有效區(qū)域變小。
[0111]相對于此，在本實施方式的剝離處理中，如圖8C所示，在剝離的初始階段形成與剝離方向相垂直的直線狀剝離邊界線DL，在處理進(jìn)行的過程中，剝離邊界線DL的形狀也不改變，剝離邊界線DL只是向剝離方向移動。因此，局部剝離速度也始終保持為恒定，因此防止圖案損壞。
[0112]用于在剝離的初始階段使剝離邊界線DL形成直線狀的本實施方式的主要結(jié)構(gòu)為， 使橡皮布BL向與基板SB分離的方向彎曲成柱面狀，并且使輥521抵接來一邊將剝離邊界線 DL保持為直線一邊使剝離邊界線DL以恒定速度移動。從該意思來說，無論初始階段的輥521 的位置如何，在本實施方式中最初就能產(chǎn)生直線狀剝離邊界線。
[0113]如上所述，在本實施方式中，在剝離的初始階段，使剝離對象物即作為層疊體的一者的橡皮布BL的一端部向與另一者的基板SB分離的方向彎曲成柱面狀，從而在兩者緊貼的緊貼區(qū)域的端部產(chǎn)生一個且直線狀的剝離邊界線DL。然后，一邊將剝離邊界線DL維持為直線狀，一邊使剝離邊界線DL以恒定速度移動來進(jìn)行剝離，從而能夠一邊防止因剝離速度變動而引起的圖案損壞一邊良好地進(jìn)行剝離。
[0114]為了使橡皮布BL變形為柱面狀，在本實施方式中，將層疊體載置于載物臺310的具有直線狀棱線部E1的水平面部311，用按壓構(gòu)件321按壓從棱線部E1突出部分的橡皮布BL。 此時，按壓構(gòu)件321在與棱線方向平行延伸的大范圍內(nèi)均勻地按壓橡皮布BL。由此，防止橡皮布BL局部彎曲的情況，穩(wěn)定可靠地產(chǎn)生柱面狀的變形。[〇115]如上面說明，在本實施方式中，在剝離處理的對象物即層疊體中，橡皮布BL相當(dāng)于本發(fā)明的“第一板狀體”，基板SB (或者版)相當(dāng)于本發(fā)明的“第二板狀體”。因此，本實施方式中的載物臺310發(fā)揮本發(fā)明的“第一保持單元”以及“載物臺”的功能，另外吸附墊122發(fā)揮本發(fā)明的“第二保持單元”的功能。另外，初始剝離部320發(fā)揮本發(fā)明的“剝離開始單元”的功能，另一方面用于使吸附墊122上升的升降機構(gòu)523發(fā)揮本發(fā)明的“分離單元”的功能。另外， 剝離邊界線DL相當(dāng)于本發(fā)明的“邊界線”。
[0116]另外，在上述實施方式中，載物臺310的水平面部311發(fā)揮本發(fā)明的“抵接面”的功能，按壓構(gòu)件321以及輥521分別發(fā)揮本發(fā)明的“按壓構(gòu)件”以及“抵接單元”的功能。
[0117]另外，在本發(fā)明的剝離處理(圖5)中，步驟S101以及S102相當(dāng)于本發(fā)明的“設(shè)置工序”，步驟S104相當(dāng)于本發(fā)明的“邊界線形成工序”。而且，步驟S105至S108相當(dāng)于本發(fā)明的 “剝離工序”。
[0118]〈第一實施方式的變形例〉
[0119]此外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行除了上述內(nèi)容之外的各種變更。例如，在上述實施方式中，基板SB和橡皮布BL重合而成的層疊體，以使橡皮布BL朝下的方式載置為水平姿勢。但是，基板以及橡皮布的姿勢并不限定于此，可以是任意的。
[0120]另外，例如，在上述實施方式中，通過平板狀的按壓構(gòu)件321按下橡皮布BL來使其彎曲，但是例如也可以利用輥狀按壓構(gòu)件來代替所述按壓構(gòu)件321。另外，載物臺310的上表面呈從水平面部311連接至傾斜面部312的錐形，但是例如也可以是具有階梯狀坡的載物臺。在該情況下，優(yōu)選在按壓構(gòu)件上設(shè)置擋止機構(gòu)，以便不使橡皮布BL過度彎曲。
[0121]另外，例如，在上述實施方式中，為了防止載物臺310的表面狀態(tài)的影響波及到基板SB、圖案，設(shè)置向大氣開放的環(huán)狀槽313。但是，環(huán)狀槽313并不是必須的，另外，也可以供給恰當(dāng)?shù)毓芾淼恼龎夯蛘哓?fù)壓。另外，槽的形狀也不限定于環(huán)狀，可以是連續(xù)或者斷續(xù)地包圍有效區(qū)域的外側(cè)的任意的形狀。
[0122]另外，對分別保持基板SB以及橡皮布BL的結(jié)構(gòu)并不限定于真空吸附。例如也可以利用機械結(jié)構(gòu)或者通過磁性來保持它們。例如對橡皮布BL而言，能夠用保持框機械地按壓橡皮布BL的外周部。另外，在上述實施方式中，僅對基板SB的一端部進(jìn)行真空吸附，但是也可以吸附整個基板，或者將吸附墊分散配置在基板的各處。
[0123]另外，例如，也可以在載物臺310的傾斜面部312設(shè)置真空吸附槽，吸附被按壓構(gòu)件 321按壓而彎曲的橡皮布BL來使其維持彎曲的姿勢。
[0124]如上所述，在本發(fā)明的剝離裝置的第一方式中，例如可以構(gòu)成為:第一保持單元具有平面狀抵接面和與抵接面相連接的其它面，抵接面和其它面之間的棱線的至少一部分為長度大于等于第一板狀體在該棱線方向上的長度的直線，使抵接面抵接于第一板狀體的與第二板狀體緊貼的面相反的一側(cè)的面，且以使第一板狀體的一端部從抵接面突出到棱線的外側(cè)的狀態(tài)保持第一板狀體，剝離開始單元在棱線的外側(cè)使第一板狀體彎曲。
[0125]在這樣的結(jié)構(gòu)中，第一板狀體中的與平面狀抵接面相抵接的區(qū)域被保持為平面狀態(tài)，因此能夠防止第一板狀體的該區(qū)域彎曲，而可靠地僅使一端部彎曲。另外，以使第一板狀體抵接于直線狀棱線的狀態(tài)，使第一板狀體彎曲，從而能夠可靠地使因彎曲而產(chǎn)生的邊界線形成為直線狀。
[0126]另外，例如可以在使相互緊貼的平面尺寸不同的兩張板狀體剝離的情況下，將它們中的平面尺寸大的板狀體設(shè)為第一板狀體，將另一個板狀體設(shè)為第二板狀體，第一保持單元以使第一板狀體的不與第二板狀體緊貼的周緣部突出至棱線的外側(cè)的方式保持第一板狀體，剝離開始單元具有按壓構(gòu)件，該按壓構(gòu)件從第二板狀體側(cè)抵接于周緣部，向與第二板狀體相反的方向按壓第一板狀體。通過用按壓構(gòu)件按壓第一板狀體的一端部，可靠地使第一板狀體發(fā)生變形，從而能夠從第二板狀體局部地剝離第一板狀體。
[0127]在該情況下，按壓構(gòu)件也可以在與棱線平行的方向上均勻地與第一板狀體相抵接。在作用于第一板狀體的按壓力不均勻的情況下，第一板狀體以形成波浪狀的方式發(fā)生變形，可能無法發(fā)生形成柱面狀的變形。這樣，形成的邊界線也彎曲而不呈直線狀。通過沿著一個方向施加均勻的按壓力，使第一板狀體彎曲成柱面狀，從而能夠可靠地使邊界線形成直線狀。若為與棱線平行的方向，則更有效。
[0128]另外，例如在使隔著第二板狀體的中央部的有效區(qū)域所擔(dān)載的圖案或者薄膜緊貼的第一板狀體和第二板狀體剝離的情況下，優(yōu)選剝離開始單元在有效區(qū)域的外側(cè)生成邊界線。在這樣的結(jié)構(gòu)中，即使在確定直線狀邊界線之前的初始階段產(chǎn)生邊界線彎曲現(xiàn)象，也防止該影響波及到有效區(qū)域。即，防止有效區(qū)域內(nèi)的圖案等損壞。
[0129]在該情況下，例如也可以具有在與第一板狀體一側(cè)相反的一側(cè)與第二板狀體相抵接的抵接單元，抵接單元在有效區(qū)域的外側(cè)且在與邊界線平行的方向上均勻地與第二板狀體相抵接。這樣，能夠防止在剝離的初始階段邊界線到達(dá)至有效區(qū)域。
[0130]此外，在該情況下，也可以隨著第一板狀體和第二板狀體之間的分離移動，使抵接單元一邊與第二板狀體抵接一邊向遠(yuǎn)離邊界線的方向移動，這樣，能夠通過抵接單元一邊限制邊界線不規(guī)則地移動一邊進(jìn)行剝離。
[0131]另外，第一保持單元例如也可以在與有效區(qū)域相向的位置的外側(cè)對第一板狀體進(jìn)行吸附保持，剝離開始單元使第一板狀體的被第一保持單元吸附保持的部分的外側(cè)部分彎曲。在這樣的結(jié)構(gòu)中，第一板狀體的發(fā)生變形的位置限定于被吸附保持的位置的外側(cè)，因此防止在與有效區(qū)域相向的位置發(fā)生變形。由此，能夠防止向圖案等施加壓力或圖案發(fā)生變形。
[0132]另外，第二保持單元例如也可以保持最接近形成邊界線的位置的第二板狀體的周緣部。這樣，使應(yīng)力集中于邊界線的附近，從而能夠可靠地使第一板狀體和第二板狀體開始分離，另外，能夠可靠地使邊界線從被第二保持單元保持的第二板狀體的周緣部朝向相反的方向移動。
[0133]另外，分離單元例如也可以使第一保持單元和第二保持單元之間的間隔以恒定速度增加。在形成直線狀邊界線之后，以恒定速度使第一保持單元和第二保持單元分離，從而在整個緊貼區(qū)域中獲得恒定的剝離速度。
[0134]另外，本發(fā)明的剝離方法例如也可以為:具有設(shè)置工序，在執(zhí)行邊界線形成工序之前，以使第一板狀體的一端部突出到載物臺的平面部的棱線的外側(cè)的狀態(tài)，使第一板狀體抵接于載物臺的平面部;在邊界線形成工序中，從與載物臺一側(cè)相反的一側(cè)向與第二板狀體相反的方向按壓一端部。
[0135]在這樣的結(jié)構(gòu)中，與上述剝離裝置同樣地，能夠使第一板狀體的一端部向與第二板狀體分離的方向發(fā)生變形，由此能夠使第一板狀體和第二板狀體局部剝離來形成剝離邊界線。
[0136]另外，使隔著第二板狀體的一側(cè)主面中央部的有效區(qū)域所擔(dān)載的圖案或者薄膜緊貼的第一板狀體和第二板狀體剝離的情況下，例如也可以在設(shè)置工序中，使第一板狀體的與有效區(qū)域相向的區(qū)域抵接于平面部，另一方面，在與有效區(qū)域相向的區(qū)域的外側(cè)，使第一板狀體抵接于平面部的棱線。由此，能夠防止在執(zhí)行剝離工序之前邊界線到達(dá)有效區(qū)域的情況，另外能夠?qū)⒌谝话鍫铙w的變形僅限定于有效區(qū)域的外側(cè)。
[0137]另外，例如也可以在剝離工序中，一邊使沿著與邊界線的方向垂直的方向延伸的抵接單元抵接于第二板狀體的與第一板狀體一側(cè)相反的一側(cè)的面，一邊使抵接單元，以與第一板狀體和第二板狀體之間的分離移動同步的方式，向與剝離區(qū)域一側(cè)相反的一側(cè)相對于第二板狀體移動。這樣，能夠一邊通過抵接單元限制邊界線不規(guī)則地移動，一邊穩(wěn)定地管理剝離。
[0138]〈第二實施方式〉
[0139]圖9是示出本發(fā)明的剝離裝置的第二實施方式的立體圖。為了統(tǒng)一表示各圖中的方向，如圖9右下方所示那樣設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)軸。在此，XY平面表示水平面，Z軸表示鉛垂軸。更詳細(xì)地，+Z方向表示鉛垂朝上方向。此外，在下面的各圖中，為了便于理解發(fā)明，可能將各部的尺寸恰當(dāng)進(jìn)行放大縮小來表示。因此，尤其后述基板以及橡皮布的厚度和兩者之間的間隔，有時以比實際情況大的方式表示。
[0140]與第一實施方式的剝離裝置1(圖1)同樣地，該剝離裝置2001是用于使以主面彼此緊貼的狀態(tài)被搬入的兩張板狀體剝離的裝置。即，在包括涂敷工序、圖案成形工序、轉(zhuǎn)印工序的圖案形成工藝中，為了達(dá)到使版和橡皮布之間或者基板和橡皮布之間分離的目的，能夠優(yōu)選利用本裝置。當(dāng)然也可以用于其它用途中。
[0141]該剝離裝置2001的結(jié)構(gòu)為，在安裝在框體上的主機架2011上分別固定有載物臺部 2003以及上部吸附部2005。在圖9中，為了示出裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)而省略圖示框體。另外，除了上述的各部之外，該剝離裝置2001還具有后述控制單元2070(圖14)。
[0142]載物臺部2003具有用于載置版或者基板與橡皮布緊貼而成的層疊體(下面，稱為 “工件”)的載物臺2030,載物臺2030具有:水平載物臺部2031，其上表面為大致水平的平面； 錐形載物臺部2032,其上表面為相對于水平面傾斜幾度(例如2度左右)的平面。在載物臺 2030的錐形載物臺部2032側(cè)即-Y側(cè)的端部附近設(shè)置有初始剝離單元2033。另外，以跨越水平載物臺部2031的方式設(shè)置有輥單元2034。
[0143]另一方面，上部吸附部2005具有:支撐機架2050，其從主機架2011立起設(shè)置，并且以覆蓋載物臺部2003的上部的方式設(shè)置;安裝在該支撐機架2050上的第一吸附單元2051、 第二吸附單元2052、第三吸附單元2053以及第四吸附單元2054。吸附單元2051?2054依次向+Y方向排列。
[0144]圖10是示出該剝離裝置的主要結(jié)構(gòu)的立體圖。更具體地說，圖10示出剝離裝置 2001的各結(jié)構(gòu)中的載物臺2030、輥單元2034以及第二吸附單元2052的結(jié)構(gòu)。載物臺2030具有:水平載物臺部2031，其上表面2310為大致水平面;錐形載物臺部2032,其上表面2320為錐面。水平載物臺部2031的上表面2310的平面尺寸稍大于要載置的工件的平面尺寸。
[0145]錐形載物臺部2032緊貼于水平載物臺部2031的-Y側(cè)端部，上表面2320具有水平面 2321和錐面2322。更具體地說，錐形載物臺部2032的上表面2320中的與水平載物臺部2031 相接的部分，為位于與水平載物臺部2031的上表面2310相同的高度(Z方向位置)的水平面2321。另一方面，在該水平面2321的-Y方向側(cè)，錐形載物臺部2032的上表面2320為錐面2322,該錐面2322具有隨著從水平載物臺部2031朝向-Y方向而向下方即-Z方向后退的下坡。因此，在整個載物臺2030中，水平載物臺部2031的上表面2310的水平面和錐形載物臺部 2032的上表面2320中的水平面2321連續(xù)且形成一體的水平面，在該水平面的-Y側(cè)端部連接有錐面2322。水平面2321和錐面2322連接的棱線部E2呈沿著X方向延伸的直線狀。
[0146]在錐形載物臺部2032的上表面2320中的水平面2321的X方向上的中央部設(shè)置有拍攝窗2323。拍攝窗2323的結(jié)構(gòu)為，在從水平面2321貫通至錐形載物臺部2032的下表面?zhèn)鹊呢炌變?nèi)嵌入透明構(gòu)件，拍攝窗2323的上表面與錐形載物臺部2032的水平面2321處于同一平面內(nèi)。此外，拍攝窗只要是能夠從下方利用光學(xué)方法觀察載置于載物臺2030的工件的結(jié)構(gòu)即可，例如也可以僅僅是貫通孔。另外，拍攝窗的開口形狀也是任意的。而且，也可以使整個錐形載物臺部2032或者整個水平面2321由具有光透過性的材料、例如玻璃或石英等構(gòu)成，在該情況下不必設(shè)置拍攝窗。
[0147]另外，在水平載物臺部2031的上表面2310上設(shè)置有格子狀槽。更具體地說，在水平載物臺部2031的上表面2310的中央部設(shè)置有格子狀槽2311，并且在水平載物臺部2031的上表面2310的周緣部，以包圍形成有該槽2311的區(qū)域的方式，設(shè)置有形成為除去矩形中的錐形載物臺部2032側(cè)的1邊的形狀的槽2312。槽2311、2312經(jīng)由控制閥與后述負(fù)壓供給部2704 (圖14)相連接，通過供給負(fù)壓，發(fā)揮用于吸附保持載置于載物臺2030的工件的吸附槽的功能。兩種槽231U2312在載物臺上不連接，另外經(jīng)由相互獨立的控制閥與負(fù)壓供給部2704相連接，因此除了使用兩種槽進(jìn)行吸附之外，還能夠僅使用一種槽來進(jìn)行吸附。
[0148]以跨越這樣構(gòu)成的載物臺2030的方式設(shè)置有輥單元2034。具體地說，在水平載物臺部2031的X方向兩端部設(shè)置有一對導(dǎo)軌2351、2352,所述導(dǎo)軌2351、2352沿著Y方向延伸， 導(dǎo)軌2351、2352固定在主機架2011上。并且，在導(dǎo)軌2351、2352上安裝有輥單元2034,并且該輥單元2034能夠自由滑動。
[0149]輥單元2034具有滑塊2341、2342，所述滑塊2341、2342分別以能夠自由滑動的方式與導(dǎo)軌2351、2352相卡合。以連接滑塊2341、2342的方式設(shè)置有下部角鋼2343,該下部角鋼 2343以跨越載物臺2030上部的方式沿著X方向延伸設(shè)置。在下部角鋼2343上通過恰當(dāng)?shù)纳禉C構(gòu)2344安裝有上部角鋼2345,并且該上部角鋼2345能夠自由升降。并且，在上部角鋼 2345上安裝有沿著X方向延伸設(shè)置的圓柱狀剝離輥2340,并且該剝離輥2340能夠自由旋轉(zhuǎn)。
[0150]當(dāng)通過升降機構(gòu)2344使上部角鋼2345向下方即-Z方向下降時，剝離輥2340的下表面與載置于載物臺2030的工件的上表面相抵接。另一方面，當(dāng)通過升降機構(gòu)2344使上部角鋼2345定位于上方即+Z方向的位置的狀態(tài)下，剝離輥2340處于從工件的上表面向上方分離的狀態(tài)。在上部角鋼2345上安裝有用于抑制剝離輥2340彎曲的支承輥2346且該支承輥2346 能夠自由旋轉(zhuǎn)，并且恰當(dāng)設(shè)置有用于防止上部角鋼2345本身彎曲的加強筋。剝離輥2340以及支承輥2346不具有驅(qū)動源，它們進(jìn)行自由旋轉(zhuǎn)。
[0151]通過安裝在主機架2011上的馬達(dá)2353,能夠使輥單元2034沿著Y方向移動。更具體地說，下部角鋼2343與用于將馬達(dá)2353的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為直線運動的、作為轉(zhuǎn)換機構(gòu)的例如滾珠螺桿機構(gòu)2354相連接。當(dāng)馬達(dá)2353旋轉(zhuǎn)時，下部角鋼2343沿著導(dǎo)軌2351、2352在Y方向上移動，由此使輥單元2034沿著Y方向移動。隨著輥單元2034的移動而進(jìn)行移動的剝離輥 2340的可移動范圍，在-Y方向上到水平載物臺部20 31的-Y側(cè)端部的附近，在+Y方向上到水平載物臺部2031的+Y側(cè)端部的外側(cè)即更靠+Y側(cè)的位置。
[0152]接著，對于第二吸附單元2052的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。此外，第一吸附單元至第四吸附單元2051?2054均具有相同的結(jié)構(gòu)，在此代表性地對于第二吸附單元2052的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。 第二吸附單元2052具有沿著X方向延伸設(shè)置且固定在支撐機架2050上的梁構(gòu)件2521，在該梁構(gòu)件2521上安裝有向鉛垂下方即-Z方向延伸的一對柱構(gòu)件2522、2523,所述柱構(gòu)件2522、 2523的X方向上的位置相互不同。在柱構(gòu)件2522、2523上通過圖中未圖示的導(dǎo)軌安裝有板構(gòu)件2524,并且該板構(gòu)件2524能夠自由升降，通過由馬達(dá)以及轉(zhuǎn)換機構(gòu)(例如滾珠螺桿機構(gòu)) 形成的升降機構(gòu)2525驅(qū)動板構(gòu)件2524以使其進(jìn)行升降。
[0153]在板構(gòu)件2524的下部安裝有沿著X方向延伸的棒狀墊支撐構(gòu)件2526,在該墊支撐構(gòu)件2526的下表面上沿著X方向以等間隔排列有多個吸附墊2527。圖10示出使第二吸附單元2052移動至實際位置的上方的狀態(tài)，但是在通過升降機構(gòu)2525使板構(gòu)件2524向下方移動時，能夠使吸附墊2527下降至極其接近水平載物臺部2031的上表面2310的位置。由此，在載物臺2030上載置有工件的狀態(tài)下，使吸附墊2527抵接于該工件的上表面。向各吸附墊2527 賦予來自后述負(fù)壓供給部2704的負(fù)壓，從而對工件的上表面進(jìn)行吸附保持
[0154]圖11A以及圖11B是示出載物臺的更詳細(xì)結(jié)構(gòu)的立體圖。如圖11A所示，載物臺2030 的水平載物臺部2031和錐形載物臺部2032分別獨立形成，并能夠分離。錐形載物臺部2032 能夠通過省略圖示的水平移動機構(gòu)，在水平方向上以與水平載物臺部2031接近或分離的方式移動。通過使錐形載物臺部2032緊貼于水平載物臺部2031的側(cè)面，使水平載物臺部2031 和錐形載物臺部2032形成一體來發(fā)揮載物臺2030的功能。
[0155]在水平載物臺部2031的上表面2310上，除了上述吸附槽2311、2312之外，還設(shè)置有形狀相互不同的開口 2313、2314。更具體地說，在水平載物臺部2031的上表面2310中的、吸附槽2311和吸附槽2312之間的平坦部分的多個部位，分散配置有呈長圓形狀的多個第一開口 2313。另外，在水平載物臺部2031的上表面2310的中央部的相互分離的4個部位，設(shè)置有大致圓形的第二開口 2314。在水平載物臺部2031的上表面2310上，第一開口 2313以及第二開口2314均不與吸附槽2311、2312連接。因此，在第二開口2314的周圍，吸附槽2311被切斷。
[0156]另一方面，在水平載物臺部2031的設(shè)置有錐形載物臺部2032的一側(cè)即-Y側(cè)的側(cè)面，沿著X方向排列配置有4組主升降機2036。主升降機2036的結(jié)構(gòu)相互相同。主升降機2036 各自具有:升降銷2361，其以沿著水平載物臺部2031的側(cè)面的方式被加工成薄板狀;升降機構(gòu)2365,其從下方支撐該升降銷2361，并且使該升降銷2361根據(jù)來自控制單元2070(圖14) 的驅(qū)動信號沿著上下方向(Z方向)升降。升降機構(gòu)2365固定在水平載物臺部2031的底面上。
[0157]圖11B示出升降銷2361的概略結(jié)構(gòu)，如該圖所示，升降銷2361的上表面2361a被加工成大致平面。在該上表面2361a的中央部設(shè)置有吸附墊2362,吸附墊2362與以貫通升降銷 2361的內(nèi)部的方式設(shè)置的負(fù)壓供給路徑2363相連通。負(fù)壓供給路徑2363經(jīng)由控制閥與后述負(fù)壓供給部2704(圖14)相連接。
[0158]在貫穿設(shè)置于水平載物臺部2031的上表面2310的多個第一開口 2313,分別設(shè)置有一組具有相同結(jié)構(gòu)的主升降機2036。即，在從第一開口 2313貫通至水平載物臺部2031的底面的貫通孔的下端分別安裝有升降機構(gòu)2365,升降銷2361插入于與各開口 2313相連通的貫通孔內(nèi)。
[0159]各主升降機2036根據(jù)來自控制單元2070的驅(qū)動信號進(jìn)行相同動作。即，各升降銷 2361能夠分別定位于下部位置和上部位置，根據(jù)來自控制單元2070的驅(qū)動信號在上部位置和下部位置之間同時進(jìn)行升降，其中，所述下部位置指，升降銷2361的上端后退至水平載物臺部2031的上表面2310的下方的位置，所述上部位置指，升降銷2361的上端突出到水平載物臺部2031的上表面2310的上方的位置。在各升降銷2361的上端突出到水平載物臺部20 31 的上表面2310的上方并被定位的上部位置，使升降銷2361的上表面2361a與載置于載物臺 2030的工件的下表面抵接，從而能夠以使工件與載物臺2030分離的狀態(tài)支撐工件。[〇16〇]另外，在水平載物臺部2031的上表面2310中的配置有吸附槽2311的中央部所貫穿設(shè)置的第二開口 2314,配置有省略圖示的子升降機。子升降機與主升降機2036同樣地，具有升降銷以及用于使該升降銷升降的升降機構(gòu)，根據(jù)來自控制單元2070的驅(qū)動信號，使升降銷突出至水平載物臺部2031的上表面2310的上方，從而能夠輔助性地支撐工件。子升降機的升降銷的上表面呈小于主升降機2036的升降銷2361的上表面2361a的圓板形狀，第二開口 2314也呈與該圓板形狀相對應(yīng)的形狀。
[0161]圖12A以及圖12B是示出初始剝離單元的結(jié)構(gòu)以及各部的位置關(guān)系的側(cè)視圖。首先，一邊參照圖9、圖12A以及圖12B，一邊說明初始剝離單元2033的結(jié)構(gòu)。如圖12A所示，初始剝離單元2033具有在錐形載物臺部2032的上方沿著X方向延伸設(shè)置的棒狀按壓構(gòu)件2331， 按壓構(gòu)件2331被支撐臂2332支撐。支撐臂2332經(jīng)由沿著鉛垂方向延伸設(shè)置的導(dǎo)軌2333安裝在柱構(gòu)件2334上，并且該支撐臂2332能夠自由升降，通過升降機構(gòu)2335的動作，使支撐臂 2332相對于柱構(gòu)件2334進(jìn)行上下移動。柱構(gòu)件2334被安裝在主機架2011上的基座部2336支撐，但是能夠通過位置調(diào)整機構(gòu)2337在規(guī)定的范圍內(nèi)調(diào)整柱構(gòu)件2334在基座部2336上的Y 方向位置。
[0162]在由水平載物臺部2031以及錐形載物臺部2032構(gòu)成的載物臺2030上，載置有作為剝離對象物的工件WK。圖案成形工序中的工件是版和橡皮布隔著圖案形成材料的薄膜緊貼而成的層疊體。另一方面，轉(zhuǎn)印工序中的工件是基板和橡皮布隔著進(jìn)行了圖案成形的圖案緊貼而成的層疊體。下面，對于在將轉(zhuǎn)印工序中的基板SB和橡皮布BL形成的層疊體作為工件WK的情況下的剝離裝置2001的剝離動作進(jìn)行說明，但是在將由版和橡皮布形成的層疊體作為工件的情況下，也能夠用同樣的方法進(jìn)行剝離。
[0163]在工件WK中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸?；錝B緊貼于橡皮布 BL的大致中央部。工件WK以使橡皮布BL朝下且使基板SB朝上的方式載置于載物臺2030。此時，如圖12A所示，工件WK中的基板SB的-Y側(cè)端部位于載物臺2030的水平面和錐面之間的邊界的上方，即位于錐形載物臺部2032的水平面2321和錐面2322之間的邊界處的棱線部E2的大致上方。更詳細(xì)地，以使基板SB的-Y側(cè)端部位于比棱線部E2稍向-Y側(cè)偏移的位置的方式， 將工件WK載置于載物臺2030。因此，在-Y方向上比基板SB外側(cè)的橡皮布BL，突出到錐形載物臺部2032的錐面2322的上方，從而在橡皮布BL的下表面和錐面2322之間產(chǎn)生間隙。橡皮布 BL的下表面和錐面2322所形成的角02為與錐形載物臺部2032的錐角相同的幾度(在本實施方式中為2度)左右。
[0164]在水平載物臺部2031上設(shè)置有吸附槽2311，用于吸附保持橡皮布BL的下表面。更詳細(xì)地，吸附槽2311用于吸附與基板SB的下部接觸的橡皮布BL的下表面。另一方面，如圖 11A所示，以包圍吸附槽2311的周圍的方式設(shè)置有其它吸附槽2312,吸附構(gòu)2312用于吸附基板SB的外側(cè)的橡皮布BL的下表面。吸附槽231U2312能夠相互獨立進(jìn)行吸附或解除吸附，能夠同時使用兩種吸附槽2311、2312來強力吸附橡皮布BL。另一方面，僅使用外側(cè)的吸附槽 2312來進(jìn)行吸附，而對于有效地形成有圖案的橡皮布BL的中央部不進(jìn)行吸附，從而能夠防止因進(jìn)行吸附而使橡皮布BL彎曲而導(dǎo)致的圖案的損壞。這樣，通過獨立控制向中央部的吸附構(gòu)2311和周緣部的吸附槽2312供給的負(fù)壓，能夠根據(jù)目的來切換吸附保持橡皮布BL的方式。
[0165]這樣，在被載物臺2030吸附保持的工件WK的上方配置第一吸附單元至第四吸附單元2051?2054、輥單元2034的剝離輥2340。在圖12A中僅示出4個吸附單元中的-Y側(cè)的兩個吸附單元2051、2052。如上所述，在第二吸附單元2052的下部沿著X方向排列設(shè)置有多個吸附墊2527。更詳細(xì)地，吸附墊2527例如由橡膠、硅酮樹脂等具有柔性以及彈性的材料一體形成，具有:吸附部2527a，其下表面與工件WK的上表面(更具體地，基板SB的上表面)相抵接來吸附該工件WK;波紋管部2527b，其在上下方向(Z方向)上具有伸縮性。設(shè)置在其它吸附單元 2051、2053以及2054上的吸附墊也具有相同結(jié)構(gòu)。下面，對于設(shè)置在第一吸附單元2051上的吸附墊標(biāo)注附圖標(biāo)記2517,從而與第二吸附單元2052的吸附墊2527進(jìn)行區(qū)分。
[0166]第一吸附單元2051設(shè)置于棱線部E2的上方，第一吸附單元2051下降時吸附基板SB的-Y側(cè)端部的上表面。另一方面，最靠+Y側(cè)配置的第四吸附單元2054(圖9)設(shè)置在載置于載物臺2030的基板SB的+Y側(cè)端部的上方，第四吸附單元2054下降時，吸附基板SB的+Y側(cè)端部的上表面。第二吸附單元2052以及第三吸附單元2053恰當(dāng)?shù)胤稚⑴渲迷诘谝晃絾卧?051 與第四吸附單元2054之間，例如能夠使設(shè)置在各吸附單元2051?2054上的吸附墊2517等在 Y方向上隔開大致相等間隔。這些吸附單元2051?2054能夠彼此獨立執(zhí)行上下方向上的移動以及進(jìn)行吸附或解除吸附的動作。
[0167]剝離輥2340沿著上下方向移動來以與基板SB接近或分離的方式移動，并且通過沿著Y方向移動來沿著基板SB水平移動。在剝離輥2340下降的狀態(tài)下，一邊與基板SB的上表面抵接并進(jìn)行轉(zhuǎn)動一邊進(jìn)行水平移動。移動至最靠-Y側(cè)時的剝離輥2340的位置，為離第一吸附單元2051的吸附墊2517的+Y側(cè)最近位置。為了能夠配置在這樣的接近位置，就第一吸附單元2051的而言，與圖10所示的第二吸附單元2052的結(jié)構(gòu)相同的第一吸附單元2051，如圖9 所示那樣，以與其它第二吸附單元至第四吸附單元2052?2054的朝向相反的方式安裝在支撐機架2050上。
[0168]初始剝離單元2033調(diào)整其Y方向位置，以使按壓構(gòu)件2331位于突出至錐形載物臺部2032的上方突出的橡皮布BL的上方。然后，使支撐臂2332下降，從而使按壓構(gòu)件2331的下端下降來按壓橡皮布BL的上表面。此時，為了不使按壓構(gòu)件2331弄傷橡皮布BL，按壓構(gòu)件 2331的前端由彈性構(gòu)件形成。
[0169]如上所述，在水平載物臺部2031的-Y側(cè)側(cè)面上設(shè)置有主升降機2036。為了不使后退至下部位置的升降銷2361和錐形載物臺部2032發(fā)生干涉，錐形載物臺部2032的水平面 2321的下部被切掉。[〇17〇]另外，在設(shè)置于錐形載物臺部2032的水平面2321的拍攝窗2323的正下方位置設(shè)置有拍攝部2037,該拍攝部2037例如具有CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合器件)傳感器、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor，互補金屬氧化物半導(dǎo)體)傳感器等拍攝元件和將上方作為拍攝方向的拍攝光學(xué)系統(tǒng)。拍攝部2037固定在水平載物臺部2031、 錐形載物臺部2032以及主機架2011中的某一個上。拍攝部2037隔著拍攝窗2323從下方拍攝與該拍攝窗2323相面對的工件WK，將獲取的圖像數(shù)據(jù)發(fā)送至控制單元2070(圖14)。
[0171]此外，錐形載物臺部2032能夠通過未圖示的水平移動機構(gòu)沿著Y方向移動。如圖 12A所示，在通過水平移動機構(gòu)使錐形載物臺部2032定位于+Y側(cè)位置的狀態(tài)下，錐形載物臺部2032與水平載物臺部2031的側(cè)面相抵接而發(fā)揮一體的載物臺2030的功能。另一方面，在通過水平移動機構(gòu)使錐形載物臺部2032定位于-Y側(cè)位置的狀態(tài)下，如圖12B所示，錐形載物臺部2032與水平載物臺部2031分離而在兩者之間形成間隙，安裝在水平載物臺部2031的-Y 側(cè)側(cè)面上的主升降機2036的升降銷2361通過該間隙來進(jìn)行升降。
[0172]圖12B示出拍攝部2037固定在水平載物臺部2031或者主機架2011上的情況，拍攝部2037不會隨著錐形載物臺部2032的移動而移動。另一方面，在拍攝部2037固定在錐形載物臺部2032上的情況下，錐形載物臺部2032移動的同時拍攝部2037也沿著Y方向移動。如后述那樣，由于拍攝部2037在水平載物臺部2031和錐形載物臺部2032相結(jié)合的圖12A所示的狀態(tài)下進(jìn)行拍攝，因此可以是任何方式。
[0173]在設(shè)置于水平載物臺部2031的多個升降銷2361這樣突出至載物臺上表面2310的上方的狀態(tài)下，能夠以使工件WK與載物臺上表面2310分離的狀態(tài)支撐該工件WK。在將工件WK從外部搬入于剝離裝置2001中時，能夠通過使升降銷2361突出至上部位置來接受工件 WK。在這樣接受工件WK之后，通過使升降銷2361下降來退避至載物臺上表面2310的下方，將工件WK交至載物臺2030。另一方面，在對工件WK進(jìn)行的剝離處理結(jié)束之后，對留在載物臺 2030上的橡皮布BL，也通過升降銷2361從載物臺2030抬起，從而能夠?qū)⑾鹌げ糂L送至外部。
[0174]在這些情況下，通過向設(shè)置在各升降銷2361上的吸附墊2362供給負(fù)壓，能夠吸附保持橡皮布BL的下表面。另外，根據(jù)需要使子升降機進(jìn)行動作，從而能夠抑制工件WK或者橡皮布BL的中央部彎曲。
[0175]圖13是示出載物臺和載置于該載物臺的工件之間的位置關(guān)系的圖。在基板SB和橡皮布BL緊貼而成的工件WK中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸。因此，基板SB的整個表面與橡皮布BL相向，而橡皮布BL僅中央部分與基板SB相向，周緣部為不與基板SB相向的空白部分。在基板SB的表面區(qū)域中的除了周緣部的中央部分設(shè)定有有效區(qū)域AR，該有效區(qū)域AR被有效地轉(zhuǎn)印圖案來發(fā)揮器件的功能。因此，該剝離裝置2001的目的在于，在不損壞從橡皮布BL轉(zhuǎn)印至基板SB的有效區(qū)域AR的圖案的情況下，使橡皮布BL與基板SB剝離。
[0176]以使基板SB的整個有效區(qū)域AR位于水平載物臺部2031的上表面2310的方式，將工件WK載置于載物臺2030。另一方面，在有效區(qū)域AR的外側(cè)，基板SB的-Y側(cè)端部定位于比載物臺2030的水平面和錐面之間的邊界的棱線部E2稍向-Y側(cè)突出的位置。
[0177]圖中標(biāo)注點的區(qū)域R21表示能夠通過吸附槽2311吸附橡皮布BL的區(qū)域。能夠被吸附槽2311吸附的區(qū)域R21覆蓋整個有效區(qū)域AR。另外，區(qū)域R22表示能夠通過吸附槽2312吸附橡皮布BL的區(qū)域。吸附槽2312在有效區(qū)域AR的外側(cè)吸附橡皮布BL。因此，例如在僅通過吸附槽2312吸附橡皮布BL的方式中，避免有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案受到吸附的影響。
[0178]另外，區(qū)域R26表示主升降機2036的升降銷2361所抵接的橡皮布BL的下表面區(qū)域。 在工件WK中的基板SB和橡皮布BL重合的區(qū)域且有效區(qū)域AR的外側(cè)的區(qū)域，升降銷2361與橡皮布BL的下表面相抵接。由此，能夠防止在支撐時按壓力施加于有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案等上。 另外，利用基板SB的剛性和橡皮布BL的剛性來支撐工件WK，因此即使是大型且自重大的工件WK，也能夠可靠地進(jìn)行支撐。對于圖13所示的其它區(qū)域R23、R24、R27，在下面說明動作時進(jìn)行說明。[〇179]圖14是示出該剝離裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。裝置各部被控制單元2070控制。控制單元2070具有:CPU2701，其掌管整個裝置的動作；馬達(dá)控制部2702，其用于控制在各部上設(shè)置的馬達(dá)組；閥控制部2703,其用于控制在各部上設(shè)置的閥組；負(fù)壓供給部2704,其用于產(chǎn)生向各部供給的負(fù)壓；用戶界面(UI)部2705,其接收用戶的操作輸入或者將裝置的狀態(tài)通知給用戶。此外，在能夠利用工廠設(shè)備等外部所供給的負(fù)壓的情況下，控制單元2070也可以不具有負(fù)壓供給部。
[0180]馬達(dá)控制部2702用于驅(qū)動控制設(shè)置在載物臺部2003的馬達(dá)2353以及升降機構(gòu) 2335、2344、2365、水平移動機構(gòu)、分別設(shè)置在上部吸附部2005的各吸附單元2051?2054上的升降機構(gòu)2525等的馬達(dá)組。此外，在此作為各可動部的驅(qū)動源而代表性地記載了馬達(dá)，但是并不限定于此，也可以根據(jù)用途利用例如氣缸、電磁閥、壓電元件等各種促動器來作為驅(qū)動源。
[0181]閥控制部2703用于控制閥組V3、閥組V5等，所述閥組V3設(shè)置于從負(fù)壓供給部2704 連接到水平載物臺部2031上所設(shè)置的吸附槽231U2312以及升降銷2361上所設(shè)置的吸附墊2362的配管路徑上，用于向這些吸附槽以及吸附墊分別單獨地供給規(guī)定的負(fù)壓，所述閥組 V5設(shè)置于從負(fù)壓供給部2704連接到各吸附單元2051?2054的吸附墊2517等的配管路徑上， 用于向各吸附墊2517等供給規(guī)定的負(fù)壓。
[0182]而且，控制單元2070控制載物臺部2003上所設(shè)置的拍攝部2037來執(zhí)行所需的拍攝動作，并且接收拍攝部2037所獲取的圖像數(shù)據(jù)來進(jìn)行圖像處理。拍攝部2037隔著設(shè)置在錐形載物臺部2032上的拍攝窗2323對橡皮布BL的下表面進(jìn)行拍攝。控制單元2070基于所拍攝的圖像，控制下面說明的剝離動作。
[0183]接著，一邊參照圖15至圖18D，一邊對于如上面那樣構(gòu)成的剝離裝置2001的剝離動作進(jìn)行說明。圖15是示出剝離處理的流程圖。另外，圖16A、圖16B、圖17A至圖17C、圖18A至圖 18D是示出處理各階段中的各部的位置關(guān)系的圖，示意性地示出處理的進(jìn)行狀況。CPU2701 執(zhí)行預(yù)先存儲的處理程序來控制各部，從而進(jìn)行該剝離處理。
[0184]首先，通過操作者或者外部的搬運機械手等將工件WK裝載于載物臺2030上的上述位置(步驟S201)。則，對裝置進(jìn)行初始化來將裝置各部設(shè)定為規(guī)定的初始狀態(tài)(步驟S202)。 在初始狀態(tài)下，工件WK被吸附槽231U2312中的一種吸附槽或兩種吸附槽吸附保持，初始剝離單元2033的按壓構(gòu)件2331、輥單元2034的剝離輥2340、第一吸附單元至第四吸附單元 2051?2054的吸附墊2517等均與工件WK分離。另外，剝離輥2340位于在其可移動范圍內(nèi)最靠-Y側(cè)的位置。
[0185]在該狀態(tài)下，使第一吸附單元2051以及剝離輥2340下降來分別抵接于工件WK的上表面(步驟S203)。此時，如圖16A所示，第一吸附單元2051的吸附墊2517吸附基板SB的-Y側(cè)端部的上表面，剝離輥2340在第一吸附單元2051的+Y側(cè)相鄰位置抵接于基板SB的上表面。 此外，在圖16A中標(biāo)注于按壓構(gòu)件2331的附近的朝下箭頭，表示在下一工序中按壓構(gòu)件2331 從圖中所示的狀態(tài)向該箭頭方向移動。在下面的圖中也同樣。
[0186]圖13所示的區(qū)域R23表示這時通過第一吸附單元2051吸附基板SB的區(qū)域，區(qū)域R24 表示剝離輥2340與基板SB相抵接而形成的抵接夾持區(qū)域。如圖13所示，第一吸附單元2051 吸附保持基板SB的-Y側(cè)端部，另一方面，在與通過第一吸附單元2051吸附的吸附區(qū)域R23的 +Y側(cè)相鄰的區(qū)域R24,剝離輥2340與基板SB相抵接。剝離輥2340所抵接的抵接夾持區(qū)域R24 為如下的位置，即，即是有效區(qū)域AR的外側(cè)即比有效區(qū)域AR更靠-Y側(cè)的位置，也是比載物臺 2030的棱線部E2更靠+Y側(cè)的水平面上的位置。因此，有效區(qū)域AR的內(nèi)部不被第一吸附單元 2051吸附，也不被剝離輥2340按壓。
[0187]接著，通過拍攝部2037開始進(jìn)行拍攝(步驟S204)。然后，拍攝部2037將隨時拍攝的圖像實時發(fā)送至控制單元2070,但是拍攝部2037本身也可以在這之前開始進(jìn)行動作。圖13 所示的區(qū)域R27表示錐形載物臺部2032的水平面2321中的設(shè)置有拍攝窗2323的區(qū)域。如圖 13所示，設(shè)置有拍攝窗2323的區(qū)域R27和由剝離輥2340形成的抵接夾持區(qū)域R24的局部相互重合。換而言之，通過這樣配置，預(yù)先設(shè)定拍攝窗2323的位置和剝離輥2340的初始位置。
[0188]如圖16A所示，在拍攝窗2323的正下方位置設(shè)置有拍攝部2037,拍攝部2037隔著拍攝窗2323拍攝上方。如上述那樣，拍攝窗2323與剝尚混2340和基板SB抵接的抵接夾持區(qū)域的局部相面對。如圖16B所示，在拍攝部2037拍攝橡皮布BL下表面時的拍攝視場FV，包括抵接夾持區(qū)域R24的至少一部分，優(yōu)選包括抵接夾持區(qū)域R24的-Y側(cè)的端部P24。
[0189]返回圖15,接著使初始剝離單元2033進(jìn)行動作，使按壓構(gòu)件2331下降來按壓橡皮布BL端部(步驟S205)。橡皮布BL的端部突出到錐形載物臺部2032的錐面2322的上方，在橡皮布BL的下表面和錐面2322之間存在間隙。因此，如圖17A所示，按壓構(gòu)件2331向下方按壓橡皮布BL的端部，從而使橡皮布BL的端部沿著錐面2322向下方彎曲。結(jié)果，被第一吸附單元 2051吸附保持的基板SB的-Y側(cè)端部PS和橡皮布BL之間分離，從而開始進(jìn)行剝離。按壓構(gòu)件 2331形成為沿著X方向延伸的棒狀，而且按壓構(gòu)件2331的X方向長度大于橡皮布BL的長度。 因此，如圖13所示，按壓構(gòu)件2331與橡皮布BL相抵接的抵接區(qū)域R25，以直線狀從橡皮布BL 的-X側(cè)端部延伸至+X側(cè)端部。這樣，能夠使橡皮布BL彎曲成柱面狀，能夠使基板SB和橡皮布 B L已經(jīng)剝離的剝離區(qū)域與尚未剝離的未剝離區(qū)域之間的邊界線即剝離邊界線形成為直線狀。
[0190]在這樣從基板端部PS開始剝離的狀態(tài)下，開始使第一吸附單元2051上升(步驟 S206)。由此，如圖17B所示，被第一吸附單元2051吸附保持的基板SB的端部PS與橡皮布BUS 一步分離，伴隨于此，剝離邊界線向+Y方向移動來進(jìn)行剝離。即，本實施方式中的剝離進(jìn)行方向為+Y方向。
[0191]圖17C是示意性地示出這期間的剝離邊界線的移動和拍攝部2037所拍攝的圖像之間的關(guān)系的圖。在圖17A所示的時刻T1，即通過按壓構(gòu)件2331按壓來使基板SB和橡皮布BL剛剛開始剝離之后的時刻，如圖17C所示那樣，剝離邊界線DL1位于載物臺2030的棱線部￡2的_ Y側(cè)，不一定進(jìn)入拍攝視場FV。
[0192]剝離邊界線的-Y側(cè)，即剝離進(jìn)行方向的上游側(cè)，為緊貼于橡皮布BL的上表面的基板SB已經(jīng)分離的剝離區(qū)域，在兩者之間產(chǎn)生間隙，并流入周圍環(huán)境氣體。另一方面，剝離邊界線的+Y側(cè)，即剝離進(jìn)行方向的下游側(cè)，為基板SB還緊貼于橡皮布BL的上表面的未剝離區(qū)域。在隔著橡皮布BL進(jìn)行的拍攝中，由于基板SB和周圍環(huán)境氣體間的色調(diào)以及折射率的差異，在剝離區(qū)域和未剝離區(qū)域之間存在大的灰度差，因此能夠容易光學(xué)檢測剝離邊界線。
[0193]為了達(dá)到該目的，優(yōu)選橡皮布BL為具有使入射光的至少一部分透過的光透過性的材料。在控制單元2070中，例如通過檢測圖像中灰度變化大的邊緣，能夠檢測出剝離邊界線的位置。此外，關(guān)于抵接夾持區(qū)域R24,只要能夠知道抵接夾持區(qū)域R24的位置和拍攝視場FV 之間的位置關(guān)系即可，不必一定從圖像中檢測。
[0194]然后，在圖17B所示的時刻T2,即開始提起基板端部PS而使剝離邊界線向+Y側(cè)移動的時刻，剝離邊界線DL2進(jìn)入拍攝視場FV內(nèi)。這表示剝離進(jìn)行至拍攝窗2323的正上方位置。 然后，進(jìn)一步提起基板SB來使剝離邊界線移動，最終剝離邊界線移動至通過剝離輥2340抵接的抵接夾持區(qū)域R24。
[0195]若在該時刻使剝離輥2340開始向+Y方向移動，則之后剝離邊界線一邊被剝離輥 2340限制移動，一邊進(jìn)一步向+Y方向移動。即，一邊通過剝離輥2340的移動對剝離進(jìn)行管理一邊進(jìn)行剝離。
[0196]此時，剝離邊界線進(jìn)入抵接夾持區(qū)域R24,而不會進(jìn)一步超過該抵接夾持區(qū)域R24 來向+Y側(cè)移動。因此，若在從剝離邊界線到達(dá)抵接夾持區(qū)域R24起到剝離輥2340開始移動為止的期間內(nèi)存在時間延遲，則在這期間停止進(jìn)行剝離，而在剝離輥2340開始移動的同時重新開始剝離，因此產(chǎn)生剝離速度的變動。這成為使圖案等損傷的原因。另外，強制性地提起被剝離輥2340按壓的基板SB，可能使基板SB脫離被第一吸附單元2051吸附的狀態(tài)。另一方面，若在剝離邊界線到達(dá)抵接夾持區(qū)域R24之前使剝離輥2340開始移動，則剝離輥2340無法發(fā)揮管理剝離的進(jìn)行的功能，由于進(jìn)行不規(guī)則的剝離而仍然對圖案等帶來損傷。因此，希望在剝離邊界線到達(dá)抵接夾持區(qū)域R24時剝離輥2340無遲滯地開始移動。
[0197]在本實施方式中，根據(jù)拍攝部2037所拍攝的圖像實時檢測剝離邊界線的移動狀況，基于該檢測結(jié)果來控制剝離輥2340的移動，從而能夠應(yīng)對上述要求。具體地說，對于在拍攝部2037的拍攝視場FV內(nèi)移動的剝離邊界線，預(yù)先設(shè)定用于決定剝離輥2340的移動開始時刻的基準(zhǔn)位置即判定線幾，在檢測到剝離邊界線到達(dá)該判定線JL時，使剝離輥2340開始移動(步驟S207、S208)。
[0198]作為判定線幾，例如能夠是抵接夾持區(qū)域R24的-Y側(cè)端部P24,即剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)端部的位置。這樣，能夠在與剝離邊界線到達(dá)抵接夾持區(qū)域R24的時刻大致相同的時刻，使剝離輥2340開始移動。另一方面，想到在從剝離邊界線到達(dá)判定線幾起到剝離輥 2340開始移動為止的期間內(nèi)存在時間延遲的情況，例如也可以將從抵接夾持區(qū)域R24的上游側(cè)端部P24向剝離進(jìn)行方向的上游側(cè)即-Y側(cè)位移規(guī)定量的位置設(shè)為基準(zhǔn)位置，來在該位置設(shè)定判定線幾。
[0199]作為其它方法，也可以根據(jù)所拍攝的圖像檢測出剝離邊界線在拍攝視場FV內(nèi)的移動速度，根據(jù)該檢測結(jié)果預(yù)測出剝離邊界線到達(dá)抵接夾持區(qū)域R24的時刻，在該時刻使剝離輥2340開始移動。這樣，能夠使剝離邊界線到達(dá)抵接夾持區(qū)域R24的時刻和剝離輥2340開始移動的時刻間的時間差大致為零。
[0200]此外，無論在哪種情況下，初始狀態(tài)下的抵接夾持區(qū)域R24都設(shè)定在有效區(qū)域AR 的-Y側(cè)，即向剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)的位置(圖13)，因此即使在剝離邊界線到達(dá)抵接夾持區(qū)域R24的時刻和剝離輥2340開始移動的時刻之間存在微小的時間差，也避免因此影響波及到有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案。[〇2〇1]然后，使第一吸附單元2051向上方即+Z方向以恒定速度移動，另外使剝離輥2340 向+Y方向以恒定速度移動。這樣不僅通過第一吸附單元2051上升，而且也通過剝離輥2340 開始移動，由此進(jìn)一步進(jìn)行剝離。[〇2〇2]如圖18A所示，通過使保持基板SB的端部的第一吸附單元2051上升來提起基板SB， 朝向+Y方向剝離基板SB和橡皮布BL。由于使剝離輥2340抵接，因此不會超過剝離輥2340抵接的抵接區(qū)域R24(圖13)來進(jìn)行剝離。使剝離輥2340—邊與基板SB抵接一邊以恒定速度向+ Y方向移動，從而能夠?qū)冸x的進(jìn)行速度維持恒定。即，剝離邊界線為沿著輥延伸設(shè)置方向 SPX方向的一條直線，而且以恒定速度向+Y方向移動。由此，能夠可靠地防止因剝離的進(jìn)行速度變動而使應(yīng)力集中而導(dǎo)致的圖案的損壞。[〇2〇3]然后，等待剝離輥2340經(jīng)過預(yù)先設(shè)定的切換位置(步驟S209)。該切換位置為，分別與各吸附墊2052?2054對應(yīng)地設(shè)定的位置，是該吸附墊正下方的基板SB上的位置。例如，與第二吸附單元2052相對應(yīng)的切換位置為，第二吸附單元2052正下方的基板SB的表面位置。 當(dāng)剝離輥2340經(jīng)過該位置時，如圖18B所示，使第二吸附單元2052下降，在通過第二吸附單元2052的吸附墊2527來捕捉基板SB之后，使第二吸附單元2052再次上升(步驟S210)。[〇2〇4] 如圖18B所示，由于剝離輥2340已經(jīng)經(jīng)過，因此在第二吸附單元2052的正下方位置，基板SB處于從橡皮布BL剝離而向上方浮起的狀態(tài)。一邊向由具有伸縮性的彈性構(gòu)件構(gòu)成的吸附墊2527賦予負(fù)壓，一邊使該吸附墊2527接近基板SB，從而能夠在吸附墊2527的下表面與基板SB的上表面抵接的時刻捕捉并吸附基板SB。也可以是使吸附墊2527下降至規(guī)定位置之后等待被提起的基板SB的方式。無論是哪種方式，都使吸附墊具有柔性，從而能夠防止吸附失敗。[〇2〇5]開始吸附基板SB之后，使第二吸附單元2052的移動轉(zhuǎn)為上升。由此，如圖18C所示， 剝離的進(jìn)行速度依然被剝離輥2340控制，并且為了剝離來提起基板SB的主體從第一吸附單元2051變?yōu)榈诙絾卧?052。另外，剝離后的基板SB從僅被第一吸附單元2051保持的狀態(tài)切換為被第一吸附單元2051和第二吸附單元2052保持的狀態(tài)，從而增加保持部位。此外， 在各吸附單元2051?2054上升時，維持各吸附單元2051?2054的Z方向上的相對位置，以便使剝離后的基板SB的姿勢為大致平面。[〇2〇6] 對剩下的吸附單元2053、2054也執(zhí)行同樣的處理(步驟S209?S211)，如圖18D所示，依次追加通過吸附單元保持基板SB的部位，使用于提起基板SB的主體依次切換為下游的吸附單元。當(dāng)所有吸附單元結(jié)束處理(步驟S211)時，整個基板SB與橡皮布BL分離。因此， 使剝離輥2340移動至載物臺2030的+Y側(cè)停止移動(步驟S212)。并且，使各吸附單元2051? 2054都上升至相同高度之后停止(步驟S213)。另外，使初始剝離單元2033的按壓構(gòu)件2331 與橡皮布BL分離，移動至橡皮布BL的上表面的上方且橡皮布BL的-Y側(cè)端部的-Y側(cè)的退避位置(步驟S214)。然后，解除通過吸附槽對橡皮布BL進(jìn)行的吸附保持，將分離的基板SB以及橡皮布BL向裝置外搬出(步驟S215)，從而完成剝離處理。[〇2〇7] 使各吸附單元2051?2054的高度相同的原因如下，S卩，通過將剝離后的基板SB和橡皮布BL保持平行，使由外部機械手或者操作者插入的取出用手部的訪問和將橡皮布BL以及基板SB交至該取出用手部的動作變得容易。
[0208]如上所述，在本實施方式中，使沿著與剝離的進(jìn)行方向(在此為Y方向)相垂直的X 方向延伸設(shè)置的剝離輥2340與基板SB抵接，一邊使剝離輥2340以恒定速度向剝離的進(jìn)行方向移動一邊提起基板SB。這樣，將剝離的進(jìn)行速度保持恒定，從而能夠良好地使基板SB和橡皮布BL剝離。即，能夠通過剝離輥2340控制形成在基板SB和橡皮布BL已經(jīng)剝離的剝離區(qū)域和尚未剝離的未剝離區(qū)域之間的剝離邊界線的形狀以及進(jìn)行速度。
[0209]尤其，在基板SB的開始被剝離的-Y側(cè)端部PS到形成有有效圖案等的有效區(qū)域AR之間，使剝離輥2340開始抵接，從而在剝離邊界線到達(dá)有效區(qū)域AR之前通過剝離輥2340進(jìn)行剝離管理。結(jié)果，能夠防止因剝離進(jìn)行速度變動而使有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案等損傷。[〇21〇]在建立通過剝離輥2340進(jìn)行移動管理之前的初始階段，剝離的進(jìn)行速度容易不穩(wěn)定。但是，在本實施方式中，根據(jù)拍攝部2037所拍攝的圖像掌握實際的剝離邊界線的移動狀況來決定剝離輥2340的移動開始時刻，因此能夠根據(jù)實際的剝離邊界線的移動來使剝離輥 2340移動。由此，在剝離輥2340起動前后，也使剝離邊界線順暢地移動，從而能夠可靠地防止因剝離進(jìn)行速度變動而使圖案等損傷。
[0211]另外，在本實施方式中，如圖13所示，通過用于在剝離的初始階段提起基板SB的第一吸附單元2051吸附基板SB的區(qū)域R23為形成有有效圖案的有效區(qū)域AR的外側(cè)。通過局部吸附基板SB，在該部分使基板SB局部從橡皮布BL剝離，由此雖然可能產(chǎn)生圖案發(fā)生變形或損壞等影響，但是由于吸附有效區(qū)域外，避免這樣的問題。另外，在剝離邊界線到達(dá)剝離輥 2340的正下方位置之前，剝離速度不穩(wěn)定，但是同樣使初始階段的剝離輥2340的抵接區(qū)域 R24處于有效區(qū)域外，從而還防止因剝離速度變動使圖案損壞。
[0212]另一方面，在剝離進(jìn)行的過程中新吸附基板SB的第二吸附單元至第四吸附單元2052?2054,由于與基板SB的已經(jīng)與橡皮布BL剝離的區(qū)域相抵接，因此不會因此時的吸附而弄傷轉(zhuǎn)印至基板SB的圖案。[〇213]如上面說明，在本實施方式中，作為剝離對象物的工件WK中的橡皮布BL相當(dāng)于本發(fā)明的“第一板狀體”，另一方面，基板SB相當(dāng)于本發(fā)明的“第二板狀體”。另外，基板SB的-Y 側(cè)端部相當(dāng)于本發(fā)明的“一端部”，與此相反的一側(cè)的+Y側(cè)端部相當(dāng)于本發(fā)明的“另一端部”。并且，+Y方向相當(dāng)于本發(fā)明的“剝離進(jìn)行方向”。[〇214]另外，在本實施方式中，載物臺2030發(fā)揮本發(fā)明的“保持單元”的功能，7K平載物臺部2031的上表面2310以及錐形載物臺部2032的上表面2320作為一體來發(fā)揮本發(fā)明的“保持面”的功能。尤其，水平載物臺部2031的上表面2310和錐形載物臺部2032的水平面2321作為一體來發(fā)揮本發(fā)明的“平面部”的功能，錐形載物臺部2032的錐面2322發(fā)揮本發(fā)明的“錐面部”的功能。
[0215]另外，在本實施方式中，第一吸附單元2051發(fā)揮本發(fā)明的“剝離單元”的功能。另夕卜，剝離輥2340發(fā)揮本發(fā)明的“抵接單元”的功能，圖13以及圖16A所示的開始移動之前的剝離輥2340抵接的抵接夾持區(qū)域R24的位置相當(dāng)于本發(fā)明的“抵接開始位置”。另外，在上述實施方式中，拍攝部2037發(fā)水本發(fā)明的“拍攝單元”的功能，控制單元2070發(fā)揮本發(fā)明的“移動控制單元”的功能。另外，按壓構(gòu)件2331發(fā)揮本發(fā)明的“按壓構(gòu)件”的功能。
[0216]〈第二實施方式的變形例〉
[0217]此外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行除了上述內(nèi)容之外的各種變更。例如在上述實施方式中，在錐形載物臺部2032的水平面2321的X 方向上的大致中央部，設(shè)置有一個拍攝窗2323,在拍攝窗2323的正下方位置設(shè)置有一個拍攝部2037。但是，如上所述，在建立通過剝離輥2340進(jìn)行移動管理之前，剝離邊界線的移動不規(guī)則，有時隨著位置不同而剝離邊界線的移動也不同。從這一點來說，也可以在X方向上的多個部位拍攝剝離邊界線，根據(jù)結(jié)果決定剝離輥的開始時刻。在該情況下，優(yōu)選根據(jù)移動最慢的位置的剝離邊界線來使剝離輥開始移動。這樣，至少能夠避免在剝離邊界線到達(dá)抵接夾持區(qū)域之前輥開始移動的情況。
[0218]在一般的矩形基板中，大多容易從剝離力集中作用的角部開始剝離，邊的中央剝離慢。從這一點來說，在將拍攝位置設(shè)在一個部位的情況下，設(shè)在中央部是有效的，本實施方式相當(dāng)于該情況。
[0219]另外，在上述實施方式中，通過真空吸附保持基板以及橡皮布，但是保持的方式并不限定于此。例如也可以通過靜電或者磁性吸附力來吸附保持。尤其，對于用于保持基板的有效區(qū)域外的第一吸附單元2051，可以不依賴吸附，也可以通過機械性地把持基板周緣部來進(jìn)行保持。[〇22〇]另外，在上述實施方式中，為了在搬入搬出工件WK時便于交接，將載物臺2030構(gòu)成為能夠分離的結(jié)構(gòu)，但是搬入搬出工件的方式并不限定于此，載物臺的分離結(jié)構(gòu)也不是必須的。[〇221]另外，在上述實施方式中，使橡皮布BL突出到錐形載物臺部32來進(jìn)行保持，通過按壓構(gòu)件2331使橡皮布BL彎曲來引發(fā)剝離。但是，即使不是這樣的結(jié)構(gòu)，例如僅通過第一吸附單元提起來使剝離開始的結(jié)構(gòu)中，也能夠優(yōu)選利用本發(fā)明。在該情況下，不必在載物臺上設(shè)置錐形。
[0222]如上所述，在本發(fā)明的剝離裝置的第二方式中，抵接單元例如也可以在剝離進(jìn)行方向上的有效區(qū)域的上游側(cè)的抵接開始位置，與第一板狀體相抵接。在這樣的結(jié)構(gòu)中，在邊界線到達(dá)有效區(qū)域之前，建立通過抵接單元進(jìn)行的移動管理，因此不會對有效區(qū)域內(nèi)的圖案等帶來損傷。
[0223]另外，例如也可以將與抵接夾持區(qū)域的剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)端部相對應(yīng)的位置預(yù)先設(shè)定為基準(zhǔn)位置，當(dāng)檢測到邊界線到達(dá)基準(zhǔn)位置時，使抵接單元開始移動。在這樣的結(jié)構(gòu)中，能夠在邊界線到達(dá)基準(zhǔn)位置時，無遲滯地使抵接單元開始移動。
[0224]另外，基準(zhǔn)位置例如也可以是從與抵接夾持區(qū)域的剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)端部相對應(yīng)的位置向剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)移動規(guī)定距離的位置。在這樣的結(jié)構(gòu)中，例如防止在抵接單元開始移動以及達(dá)到勻速之前需要時間的情況下抵接單元使邊界線停止移動的情況。
[0225]另外，例如也可以根據(jù)邊界線的位置檢測結(jié)果，預(yù)測邊界線到達(dá)與抵接夾持區(qū)域的剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)端部相對應(yīng)的位置的時刻，在該預(yù)測的時刻使抵接單元開始移動。在這樣的結(jié)構(gòu)中，能夠事先掌握抵接單元應(yīng)該開始移動的時刻來控制移動，從而能夠使邊界線順暢地移動。
[0226]另外，用于保持第一板狀體的保持單元例如也可以具有保持面，該保持面包括:平面部，其與第一板狀體的有效區(qū)域相抵接，錐面部，其與該平面部相連接，并且隨著遠(yuǎn)離與平面部相連接的棱線部從將平面部延長的延長平面后退;并且使第一板狀體的有效區(qū)域的剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)的周緣部，從平面部突出到錐面部側(cè)來保持該第一板狀體，另一方面，還具有按壓構(gòu)件，該按壓構(gòu)件按壓第一板狀體的周緣部來使其向與第二板狀體一側(cè)相反的一側(cè)彎曲，從而使第一板狀體與第二板狀體開始剝離，在棱線部和有效區(qū)域之間設(shè)定抵接開始位置。
[0227]在這樣的結(jié)構(gòu)中，在剝離的初始階段使第一板狀體的周緣部彎曲，從而能夠在棱線部附近形成直線狀邊界線，因此能夠提前使邊界線穩(wěn)定。并且，將這樣最初形成穩(wěn)定的邊界線的棱線部和有效區(qū)域之間的部位設(shè)為抵接開始位置，來使抵接單元抵接，從而在邊界線到達(dá)有效區(qū)域之前更可靠地建立通過抵接單元進(jìn)行的移動管理。
[0228]在該情況下，例如，也可以隔著在平面部中的與有效區(qū)域?qū)?yīng)的位置的剝離進(jìn)行方向上的上游側(cè)所設(shè)置的具有光透過性的拍攝窗進(jìn)行拍攝。在這樣的結(jié)構(gòu)中，能夠隔著保持單元從與第一板狀體相反的一側(cè)拍攝剝離邊界線。因此，拍攝單元的設(shè)置位置的自由度提尚。
[0229]另外，拍攝單元例如也可以拍攝第一板狀體的與剝離進(jìn)行方向相垂直的方向上的中央部。在剝離的初始階段，在與剝離進(jìn)行方向相垂直的方向上，剝離的進(jìn)行并不一定一致。在多數(shù)情況下，剝離力集中作用于板狀體的角部而從該附近開始進(jìn)行最初的剝離。因此，在與剝離進(jìn)行方向相垂直的方向上的端部附近觀察的剝離的進(jìn)行情況并不一定代表整體剝離的進(jìn)行狀況。通過拍攝剝離的進(jìn)行容易變慢的中央部，至少避免在邊界線到達(dá)之前抵接單元開始移動的情況。
[0230]另外，在這些發(fā)明中，優(yōu)選使開始移動之后的抵接單元以恒定速度向剝離進(jìn)行方向移動。在這樣的結(jié)構(gòu)中，使剝離以恒定速度進(jìn)行，從而能夠可靠地防止因速度變動而損傷圖案等。
【主權(quán)項】
1.一種剝離裝置，用于使第一板狀體和第二板狀體剝離，所述第二板狀體的平面尺寸 小于所述第一板狀體的平面尺寸，并且所述第二板狀體隔著薄膜或者圖案緊貼在所述第一 板狀體上，所述剝離裝置的特征在于，具有:保持載物臺，其上表面為平面尺寸大于所述第一板狀體的形成有所述薄膜或者圖案的 有效區(qū)域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板狀體的面中的與所述第二板狀體緊貼 的一面相反的一側(cè)的另一面與所述保持面抵接，來保持所述第一板狀體，剝離單元，其保持所述第二板狀體，來使所述第二板狀體相對于被保持在所述保持載 物臺上的所述第一板狀體，向與所述第一板狀體分離的方向移動，支撐構(gòu)件，其上端向所述保持面的上方突出，并且所述上端與所述第一板狀體的所述 另一面局部抵接，從而將所述第一板狀體支撐在與所述保持面分離的狀態(tài)，以及升降單元，其使所述支撐構(gòu)件相對于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位 置之間變更，所述上部位置是指，所述支撐構(gòu)件的所述上端向所述保持面的上方突出的位 置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置；所述支撐構(gòu)件抵接于所述第一板狀體的所述另一面中的與在所述一面?zhèn)戎信c所述第 二板狀體緊貼的區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)且所述有效區(qū)域的外側(cè)抵接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離裝置，其特征在于，所述保持面的平面尺寸大于所述第二 板狀體的平面尺寸，并且在所述保持面中的與載置于所述保持面的所述第一板狀體的所述 有效區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域的外側(cè)且與所述第二板狀體相對應(yīng)的區(qū)域的內(nèi)側(cè)設(shè)置有開口，在所 述支撐構(gòu)件位于所述上部位置時，所述上端通過所述開口來向所述保持面的上方突出。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的剝離裝置，其特征在于，分別設(shè)置多個所述支撐構(gòu)件以及所述 開口，所述多個支撐構(gòu)件一體地相對于所述保持面進(jìn)行升降。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剝離裝置，其特征在于，所述保持載物臺具有水平載物臺部和錐形載物臺部，所述水平載物臺部的上表面具有 所述保持面，所述錐形載物臺部的上表面與所述保持面相連接，并且所述錐形載物臺部呈 朝向與所述保持面分離的方向形成下坡的錐形面，在使所述第一板狀體中的所述有效區(qū)域 的外側(cè)的周緣部向所述錐形面的上方突出的狀態(tài)下，保持所述第一板狀體；還具有按壓構(gòu)件，該按壓構(gòu)件將向所述錐形面的上方突出的所述第一板狀體的所述周 緣部按壓來使之向下方彎曲，來使所述第一板狀體和所述第二板狀體之間開始剝離；所述水平載物臺部和所述錐形載物臺部能夠在水平方向上進(jìn)行分離，至少一個所述支 撐構(gòu)件從因分離而產(chǎn)生的所述水平載物臺部和所述錐形載物臺部之間的間隙，相對于所述 保持面進(jìn)行升降。
【文檔編號】B32B38/10GK105966049SQ201610261205
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2014年1月29日
【發(fā)明人】川越理史, 正司和大, 芝藤彌生, 增市干雄, 上野博之, 上野美佳, 谷口和隆
【申請人】斯克林集團(tuán)公司