專利名稱：剝離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對貼附在基板上的加強(qiáng)片進(jìn)行剝離的剝離裝置。
背景技術(shù)：
近年來，顯示面板、太陽電池、薄膜二次電池等電子設(shè)備的薄型化、輕量化不斷發(fā)展，所述電子設(shè)備中使用的玻璃基板的薄板化不斷發(fā)展。由于薄板化而玻璃基板的強(qiáng)度下降時，玻璃基板的處理性下降，因此難以在玻璃基板上形成電子設(shè)備用部件(例如薄膜晶體管或濾色器)。相對于此，在專利文獻(xiàn)1中公開有在玻璃基板上可剝離地貼附有加強(qiáng)片的層疊體。在玻璃基板上的與加強(qiáng)片側(cè)的相反的一側(cè)的面上形成了電子設(shè)備用部件之后，通過將貼附在玻璃基板上的加強(qiáng)片剝離，而能夠補(bǔ)充玻璃基板的強(qiáng)度的下降。另外，在專利文獻(xiàn)1中記載有為了將貼附在玻璃基板上的加強(qiáng)片剝離而使剃刀的刃等插入玻璃基板與加強(qiáng)片之間來進(jìn)行初始剝離的方法。通過進(jìn)行初始剝離，而能夠容易進(jìn)行之后的剝離。另一方面，在專利文獻(xiàn)2中提出有一種對貼附在吸附部件上的玻璃基板進(jìn)行剝離的剝離裝置，在玻璃基板上安裝板狀的撓性部件，并使固定在撓性部件上的多個桿以每一個桿為單位沿桿的軸方向伸縮，從而使玻璃基板從兩端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形而進(jìn)行剝
ο另外，在專利文獻(xiàn)3中記載有一種對貼附在樹脂基板上的加強(qiáng)片進(jìn)行剝離的剝離裝置，使旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)并使旋轉(zhuǎn)體的曲面依次與加強(qiáng)片的上表面接觸，從接觸的部分開始，使加強(qiáng)片依次發(fā)生彎曲變形而進(jìn)行剝離。專利文獻(xiàn)1 國際公開第08/007622號小冊子專利文獻(xiàn)2 日本特開2000-84844號公報專利文獻(xiàn)3 日本特開2004-142878號公報在專利文獻(xiàn)1中，未對初始剝離后的剝離方法進(jìn)行具體說明。因此，考慮使用專利文獻(xiàn)2所記載的剝離裝置的方法作為初始剝離后的剝離方法。例如，在加強(qiáng)片上安裝板狀的撓性部件，使固定在撓性部件上的多個桿以每一個桿為單位沿軸方向伸縮，使加強(qiáng)片從一端側(cè)開始(即，從進(jìn)行了初始剝離的位置開始)依次發(fā)生彎曲變形而進(jìn)行剝離。然而，在專利文獻(xiàn)2所記載的剝離裝置中，各桿無法沿軸正交方向移動，因此存在妨礙加強(qiáng)片的彎曲變形的情況。加強(qiáng)片的彎曲變形較小時，加強(qiáng)片與基板大致平行地剝離， 因此用于剝離的力增大，剝離變得困難。因此，在加強(qiáng)片含有樹脂層且該樹脂層與基板密接的情況下，剝離時樹脂層有可能凝集破壞而附著在基板上。另一方面，在專利文獻(xiàn)3中，由于通過旋轉(zhuǎn)體的曲面形狀來決定加強(qiáng)片的彎曲變形的程度，因此難以應(yīng)對剝離對象的變更
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述課題而作出，其目的在于提供一種能夠容易地將貼附在基板上的加強(qiáng)片剝離且能夠容易地應(yīng)對剝離對象的變更的剝離裝置。為了解決上述目的，本發(fā)明涉及一種剝離裝置，將貼附在基板上的加強(qiáng)片剝離，具備對包含所述基板及所述加強(qiáng)片的層疊體的一個主面進(jìn)行支承的支承單元；安裝在所述層疊體的另一個主面上的板狀的撓性部件；固定在所述撓性部件上的與所述層疊體側(cè)相反的一側(cè)的面上的多個墊；分別與所述多個墊連結(jié)的多個桿；用于使所述多個桿以每一個桿為單位沿軸方向移動的多個驅(qū)動裝置；及對所述多個桿的位置以每一個桿為單位進(jìn)行控制的控制裝置，所述多個墊經(jīng)由多個接頭中的任一個與所述多個桿中的任一個連結(jié)，并能夠以所述被連結(jié)的桿的中心線與所述加強(qiáng)片上的所述基板側(cè)的面或所述基板上的所述加強(qiáng)片側(cè)的面的交點附近為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動，通過所述支承單元支承所述層疊體的一個主面，并通過所述控制裝置控制所述多個桿的位置，以使所述層疊體的另一個主面從一端側(cè)開始依次彎曲變形。而且，本發(fā)明涉及一種剝離裝置，將貼附在基板上的加強(qiáng)片剝離，具備安裝在包含所述基板及所述加強(qiáng)片的層疊體的兩個主面上的板狀的撓性部件；固定在所述撓性部件上的與所述層疊體側(cè)相反的一側(cè)的面上的多個墊；分別與所述多個墊連結(jié)的多個桿；用于使所述多個桿以每一個桿為單位沿桿的軸方向移動的多個驅(qū)動裝置；對所述多個桿的位置以每一個桿為單位進(jìn)行控制的控制裝置，所述多個墊經(jīng)由多個接頭中的任一個與所述多個桿中的任一個連結(jié)，并能夠以所述被連結(jié)的桿的中心線與所述加強(qiáng)片上的所述基板側(cè)的面或所述基板上的所述加強(qiáng)片側(cè)的面的交點附近為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動，通過所述控制裝置控制所述多個桿的位置以使所述層疊體的一個主面從一端側(cè)開始依次彎曲變形，并通過所述控制裝置控制所述多個桿的位置以使另一個主面從一端側(cè)開始依次彎曲變形。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種可容易地將貼附在基板上的加強(qiáng)片剝離且可容易地應(yīng)對剝離對象的變更的剝離裝置。


圖1是表示第一實施方式的剝離裝置的局部剖面?zhèn)纫晥D。圖2是表示圖1的剝離裝置的動作的局部剖面?zhèn)纫晥D。圖3是表示加強(qiáng)片120的一例的側(cè)視圖。圖4是表示圖3的變形例的側(cè)視圖。圖5是表示層疊體100的一例的側(cè)視圖。圖6是表示剝離刃20的一例的側(cè)視圖。圖7 (a)及圖7 (b)是表示撓性部件30的一例的整體圖。
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圖8是表示墊40的配置例的俯視圖。圖9是表示第二實施方式中的剝離裝置的局部剖面?zhèn)纫晥D。圖10是表示圖9的剝離裝置的動作的局部剖面?zhèn)纫晥D。圖11(a) 11(f)是表示第二實施方式中的剝離方法的工序圖。圖12(a) 12(f)是表示第三實施方式中的剝離方法的工序圖。
具體實施例方式以下，參照附圖，對用于實施本發(fā)明的方式進(jìn)行說明。(第一實施方式)圖1是表示第一實施方式的剝離裝置的局部剖面?zhèn)纫晥D。圖2是表示圖1的剝離裝置的動作的局部剖面?zhèn)纫晥D。剝離裝置是將貼附在玻璃基板110上的加強(qiáng)片120剝離的裝置。剝離裝置對包含玻璃基板Iio及加強(qiáng)片120的層疊體100的第一主面102進(jìn)行支承并使層疊體100的第二主面104從一端側(cè)開始依次彎曲變形。如此，剝離裝置平坦地保持玻璃基板110并使加強(qiáng)片120從一端側(cè)開始依次彎曲變形而進(jìn)行剝離。在本實施方式中，剝離裝置雖然平坦地保持玻璃基板110并使加強(qiáng)片120從一端側(cè)開始依次彎曲變形而進(jìn)行剝離，但本發(fā)明并不局限于此。例如，剝離裝置也可以平坦地保持加強(qiáng)片120并使玻璃基板110從一端側(cè)開始依次彎曲變形而進(jìn)行剝離。接下來，對層疊體100進(jìn)行說明。層疊體100至少由玻璃基板110及加強(qiáng)片120構(gòu)成。如上所述，在玻璃基板110 上的與加強(qiáng)片120側(cè)相反的一側(cè)的面上形成有電子設(shè)備用部件。在此，電子設(shè)備是指顯示基板、太陽電池、薄膜二次電池等電子部件。顯示基板包含TFT-LCD或STN-LCD等液晶面板、有機(jī)EL面板、等離子顯示器面板、場致發(fā)射面板等。玻璃基板110可以為無堿玻璃基板，也可以是堿性玻璃基板，基于適用的電子設(shè)備及其制造工序而進(jìn)行適當(dāng)選擇，但由于熱收縮率小而優(yōu)選無堿玻璃基板。玻璃基板110的厚度并未特別限定，但從薄板化的觀點出發(fā)，優(yōu)選0. 3mm以下，更優(yōu)選0. 15mm以下。為0. 3mm以下時，能夠給予玻璃基板110良好的柔性。為0. 15mm以下時，能夠?qū)⒉ＡЩ?10卷繞成滾筒狀。為了抑制加熱冷卻時的翹曲或剝離，加強(qiáng)片120優(yōu)選與玻璃基板110的線膨脹系數(shù)差的絕對值較小的材料，優(yōu)選至少包含玻璃片。玻璃片可以由與玻璃基板110相同的材料形成，也可以由不同的材料形成，但優(yōu)選由相同材料形成。圖3是表示加強(qiáng)片120的一例的側(cè)視圖。在圖3所示的例子中，加強(qiáng)片120僅由玻璃片121構(gòu)成。這種情況下，能夠通過玻璃的硅醇基(Si-OH)彼此的結(jié)合力和范德瓦爾斯力等將加強(qiáng)片120與玻璃基板110以可剝離的方式貼附。圖4是表示圖3的變形例的側(cè)視圖。在圖4所示的例子中，加強(qiáng)片120由玻璃片121和形成在玻璃片121上的樹脂層 122構(gòu)成。這種情況下，能夠通過作用在樹脂層122與玻璃基板110之間的范德瓦爾斯力或樹脂層122的粘結(jié)力等將樹脂層122和玻璃基板110以可剝離的方式貼附。
從柔性或耐沖擊性的觀點出發(fā)，樹脂層122優(yōu)選至少包含丙烯酸樹脂、聚烯烴樹脂、環(huán)氧樹脂、聚氨脂樹脂及硅酮樹脂中的任一種。從耐熱性的觀點出發(fā)，樹脂層122更優(yōu)選由硅酮樹脂構(gòu)成。在圖4的例子中，加強(qiáng)片120由玻璃片121和樹脂層122構(gòu)成，但也可以在玻璃片 121上的與樹脂層122側(cè)相反的一側(cè)的面上進(jìn)而形成另一樹脂層。圖5是表示層疊體100的一例的側(cè)視圖。在圖5所示的例子中，層疊體100是依次配置有加強(qiáng)片120A、玻璃基板110A、液晶層130、玻璃基板110B、加強(qiáng)片120B而形成的結(jié)構(gòu)。該層疊體100使用于TFT-IXD，在玻璃基板IlOA上的液晶層130側(cè)的面上形成有未圖示的薄膜晶體管(TFT)，且在玻璃基板IlOB 上的液晶層130側(cè)的面上形成有未圖示的濾色器。在圖5所示的例子中，層疊體100是在兩側(cè)配置有加強(qiáng)片的結(jié)構(gòu)，但也可以是僅在單側(cè)配置有加強(qiáng)片的結(jié)構(gòu)。接下來，再次參照圖1及圖2，說明剝離裝置的詳細(xì)情況。剝離裝置包括工作臺10 (支承單元)、剝離刃20、撓性部件30、多個墊40、多個接頭50、多個桿60、多個驅(qū)動裝置70、控制裝置80等。工作臺10對層疊體100的第一主面102進(jìn)行支承，而平坦地保持玻璃基板110。在本實施方式中，工作臺10對層疊體100的第一主面102進(jìn)行支承而平坦地保持玻璃基板110，但也可以對層疊體100的第二主面104進(jìn)行支承而平坦地保持加強(qiáng)片120。工作臺10對層疊體100的第一主面102進(jìn)行真空吸附?？梢匀〈婵瘴蕉渺o電吸附，還可以可拆裝地粘結(jié)。剝離刃20用于進(jìn)行初始剝離，通過手動或適當(dāng)?shù)尿?qū)動裝置，而插入到玻璃基板 110與加強(qiáng)片120之間。例如，剝離刃20在層疊體100的角部，插入到玻璃基板110與加強(qiáng)片120之間，沿玻璃基板110與加強(qiáng)片120之間的界面移動規(guī)定量。圖6是表示剝離刃20的一例的側(cè)視圖。在剝離刃20的前端部，如圖6所示，玻璃基板110側(cè)的刃面22構(gòu)成為越向前端而越從玻璃基板110離開。由此，能夠抑制剝離刃20的插入引起的玻璃基板110的損傷。同樣地，在剝離刃20的前端部，加強(qiáng)片120側(cè)的刃面M構(gòu)成為越向前端而越從加強(qiáng)片120離開。由此，能夠抑制剝離刃20的插入引起的加強(qiáng)片120的損傷。加強(qiáng)片120包含樹脂層122時且該樹脂層122與玻璃基板110密接時，樹脂層122與玻璃片121相比，耐損傷性低，因此特別有效。在圖6所示的例子中，加強(qiáng)片120側(cè)的刃面M由兩個傾斜面沈、觀構(gòu)成。刃面22 與傾斜面沈所成的角α設(shè)定為65°，刃面22與傾斜面觀所成的角β設(shè)定為12°。傾斜面沈的長度Ll設(shè)定為35 μ m,傾斜面28的長度L2設(shè)定為290 μ m。撓性部件30為板狀，是安裝在層疊體100的第二主面104上的部件。即，撓性部件30是安裝在加強(qiáng)片120上的與玻璃基板110相反的一側(cè)的面104上的部件。撓性部件 30也可以以可拆卸的方式安裝在層疊體100的第二主面104上。在本實施方式中，撓性部件30安裝在層疊體100的第二主面104上，但也可以安裝在層疊體100的第一主面102上。在不經(jīng)由撓性部件30而將后述的墊40直接安裝在層疊體100的第二主面104上的情況下，在墊40的移動開始時，在該墊40的正下方，將加強(qiáng)片120和玻璃基板110大致平行地剝離，因此用于剝離的力增大，剝離變得困難。因此，在加強(qiáng)片120包含樹脂層122 且該樹脂層122與玻璃基板110密接的情況下，在剝離時，樹脂層122有可能凝集破壞而附著于玻璃基板110。圖7是表示撓性部件30的一例的整體圖，圖7(a)是俯視圖，圖7 (b)是沿圖7(a) 的A-A，線的剖視圖。在圖7所示的例子中，撓性部件30包括安裝部32和規(guī)定部34。安裝部32是以可拆卸的方式安裝在層疊體100的第二主面104上的部位。在安裝部32上形成有槽部36，并與規(guī)定部34的貫通孔38連通。通過與貫通孔38連接的真空泵等，對槽部36內(nèi)進(jìn)行減壓， 而將層疊體100的第二主面104真空吸附在安裝部32上?？梢匀〈婵瘴蕉M(jìn)行靜電吸附，也可以可拆裝地粘結(jié)。安裝部32的材料沒有特別限定，但從密接性的觀點出發(fā)，優(yōu)選橡膠。作為橡膠，從剝離性的觀點出發(fā)，優(yōu)選硅酮橡膠。也可以取代硅酮橡膠而使用硅酮凝膠，這種情況下，將安裝在層疊體100上的安裝部32拆卸時，硅酮凝膠有可能凝集破壞而附著于層疊體100。以提高剝離性為目的，也可以對安裝部32的表面實施涂層。安裝部32的厚度Tl優(yōu)選為Imm以上，更優(yōu)選2mm以上。安裝部32的厚度Tl小于Imm時，安裝部32的變形量小，因此難以充分得到安裝部32與層疊體100的密接性。而且，安裝部32的厚度Tl優(yōu)選30mm以下。安裝部32的厚度Tl超過30mm時，安裝部32的變形量大，因此難以控制層疊體100的第二主面104的彎曲變形。規(guī)定部34是對撓性部件30的彎曲剛性進(jìn)行規(guī)定的部位。撓性部件30的每單位寬度(Imm)的彎曲剛性優(yōu)選為1000 40000N · mm7mm。換言之，撓性部件30的彎曲剛性優(yōu)選為 1000 40000N · mm2。撓性部件30的每單位寬度(Imm)的彎曲剛性小于1000N -mmVmm時，撓性部件30 柔軟，加強(qiáng)片120在剝離時會發(fā)生折彎。另一方面，撓性部件30的每單位寬度(Imm)的彎曲剛性大于40000N · mm2/mm時， 撓性部件30難以彎曲，加強(qiáng)片120的彎曲變形難以進(jìn)行。對于規(guī)定部34的材料，只要撓性部件30的每單位寬度(Imm)的彎曲剛性為 1000 40000N ^mm2Aim即可，并未特別限定，例如除了使用聚氯乙烯(PVC)樹脂、丙烯酸樹脂、聚縮醛(POM)樹脂等樹脂板之外，還可以使用金屬板。多個墊40固定在撓性部件30上的與層疊體100側(cè)相反的一側(cè)的面上。多個墊40 可以吸附固定在撓性部件30上，也可以粘結(jié)固定在撓性部件30上。圖8是表示多個墊40的配置例的上面圖。在圖8所示的例子中，將多個墊40以等間距(例如中心間距離P = 98mm)配置成棋盤格狀。墊40的尺寸設(shè)定為不妨礙撓性部件30的彎曲變形，在圖8所示的例子中將直徑設(shè)定為^mm。在本實施方式中，將多個墊40以等間距配置成棋盤格狀，但本發(fā)明并不局限于此。例如，也可以以不等間距配置，還可以配置成鋸齒狀。多個墊40經(jīng)由多個接頭50中的任一個與多個桿60中的任一個連結(jié)，并能夠以被連結(jié)的桿60的中心線X與加強(qiáng)片120上的玻璃基板110側(cè)的面的交點P附近(距交點 P士 15mm以內(nèi)，更優(yōu)選距交點P士 5mm以內(nèi))為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動。由此，如圖2所示，在墊40與桿60的連結(jié)部分上，墊40側(cè)能夠沿桿60的軸正交方向移動，能夠追隨撓性部件30的彎曲變形。作為此種接頭50，例如有圖1所示的球面接頭、連桿等。其中，優(yōu)選結(jié)構(gòu)比較簡單的球面接頭。經(jīng)由球接頭將墊40和桿60連結(jié)時，在連結(jié)部分，墊40側(cè)不能沿桿60的軸正交方向移動，因此會妨礙撓性部件30的彎曲變形，存在妨礙層疊體100的第二主面104的彎曲變形的情況。層疊體100的第二主面104的彎曲變形較小時，加強(qiáng)片120和玻璃基板110 被大致平行地剝離，因此用于剝離的力增大，難以剝離。因此，在加強(qiáng)片120包含樹脂層122 且該樹脂層122與玻璃基板110密接的情況下，在剝離時，樹脂層122有可能凝集破壞而附著于玻璃基板110。相對于此，在本實施方式中，通過接頭50能夠使各墊40追隨撓性部件30的彎曲變形，因此能夠容易地將貼附在玻璃基板110上的加強(qiáng)片120剝離。因此，在加強(qiáng)片120包含樹脂層122且該樹脂層122與玻璃基板110密接的情況下，能夠抑制剝離時的破損。在墊40與接頭50之間以稍壓縮的狀態(tài)夾裝有螺旋彈簧52。通過螺旋彈簧52的復(fù)位力，能夠消除墊40與桿60的連結(jié)部分的變動。多個驅(qū)動裝置70是用于在一個控制裝置80進(jìn)行的控制下使多個桿60以每個桿 60為單位沿接近、遠(yuǎn)離工作臺10的方向移動的裝置。換言之，多個驅(qū)動裝置70是用于在一個控制裝置80進(jìn)行的控制下使多個桿60以每一個桿為單位沿軸方向伸縮的裝置。驅(qū)動裝置70以每個桿60為單位逐個設(shè)置。作為驅(qū)動裝置70，并未特別限定，但優(yōu)選使用汽缸或伺服電動機(jī)。多個驅(qū)動裝置70優(yōu)選分別經(jīng)由多個緩沖部件14與框架16連結(jié)。緩沖部件14的材質(zhì)并未特別限定，可列舉例如聚氨酯橡膠等。框架16能夠沿相對于工作臺10接近、離開的方向進(jìn)行相對移動。這樣，由于在各驅(qū)動裝置70與框架16之間夾設(shè)有緩沖部件14，因此能夠使各桿 60沿軸正交方向稍傾動，從而容易使各墊40追隨撓性部件30的彎曲變形?？刂蒲b置80由微型計算機(jī)等構(gòu)成，以每個桿60為單位對多個桿60相對于工作臺 10的位置進(jìn)行控制。如圖2所示，控制裝置80在平坦地支承玻璃基板110的狀態(tài)下，控制多個桿60的位置，以從進(jìn)行了初始剝離的位置(插入了剝離刃20的位置)使加強(qiáng)片120 依次彎曲變形。因此，能夠根據(jù)剝離對象(玻璃基板110或加強(qiáng)片120)的厚度或種類等而設(shè)定多個桿60的位置，從而能夠容易地應(yīng)對剝離對象的變更。如圖2所示，控制裝置80控制多個桿60的位置，以在將依次彎曲變形的加強(qiáng)片 120上的玻璃基板110側(cè)的面分為剝離區(qū)域IM和未剝離區(qū)域126的剝離前線128附近，使剝離區(qū)域124的曲率半徑成為250mm 2500mm，更優(yōu)選500mm 1000mm。在此，所謂剝離前線128附近是指距玻璃前線1 為50mm以內(nèi)的區(qū)域。在剝離前線128附近，剝離區(qū)域124的曲率半徑小于250mm時，加強(qiáng)片120有可能折彎而破損。尤其在加強(qiáng)片120包含玻璃片121時成為問題。另一方面，在剝離前線128附近，剝離區(qū)域124的曲率半徑超過2500mm時，加強(qiáng)片120與玻璃基板110大致平行地剝離，因此用于剝離的力增大，而難以剝離。因此，層疊體100與撓性部件30的吸附有可能脫落。而且，在加強(qiáng)片120包含樹脂層122且該樹脂層 122與玻璃基板110密接的情況下，在剝離時，樹脂層122有可能凝集破壞而附著于玻璃基板 110。在剝離前線128附近以外的剝離區(qū)域124中，只要加強(qiáng)片120不折彎損傷，就不限于加強(qiáng)片120的形狀，也可以為例如平板狀?？刂蒲b置80使用伺服電動機(jī)作為驅(qū)動裝置70時，如圖1、圖2所示，具備位置檢測部82和控制部84。位置檢測部82基于伺服電動機(jī)的轉(zhuǎn)速而以每個桿60為單位對多個桿60的當(dāng)前位置進(jìn)行檢測?？刂撇?4以每個伺服電動機(jī)為單位對向多個伺服電動機(jī)的供給電力進(jìn)行控制，以使通過位置檢測部82檢測出的當(dāng)前位置接近預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)位置。在此，目標(biāo)位置是根據(jù)開始控制后的時間T以每個桿60為單位進(jìn)行變化的位置，讀出并使用以每個桿60為單位預(yù)先存儲在記錄介質(zhì)中的內(nèi)容。而且，時間T通過裝入到控制裝置80 中的計時器等進(jìn)行檢測。如此，控制裝置80能夠以每個桿60為單位正確地控制多個桿60的位置，并且能夠使多個桿60的位置相互建立對應(yīng)而正確地進(jìn)行控制。其結(jié)果是，能夠?qū)⒓訌?qiáng)片120的剝離前線128的移動速度保持一定。剝離前線128的移動速度發(fā)生變動時，用于剝離的力產(chǎn)生變動，因此有時在加強(qiáng)片120上局部性地作用有過度的負(fù)荷。另外，控制裝置80使用伺服電動機(jī)作為驅(qū)動裝置70時，如圖1、圖2所示，還可以具備負(fù)荷檢測部86。負(fù)荷檢測部86以每個伺服電動機(jī)為單位對多個伺服電動機(jī)的負(fù)荷轉(zhuǎn)矩(例如向多個伺服電動機(jī)的供給電流)進(jìn)行檢測。這種情況下，控制部84基于負(fù)荷檢測部86的檢測結(jié)果而以每個桿60為單位來修正多個桿60的目標(biāo)位置，并存儲在存儲介質(zhì)中。例如，在第η次(η為1以上的自然數(shù))的控制時，若一伺服電動機(jī)的負(fù)荷轉(zhuǎn)矩超過閾值時，則將通過該一伺服電動機(jī)而移動的桿60的目標(biāo)位置的時間T修正為延遲規(guī)定時間(例如0. 06秒)，而存儲在存儲介質(zhì)中。在第η+1次的控制時，取代第η次的控制時使用的目標(biāo)位置，基于在第η次的控制后所修正、存儲的目標(biāo)位置，以每個伺服電動機(jī)為單位對向多個伺服電動機(jī)的供給電力進(jìn)行控制。由此，在第η+1次的控制時，能夠抑制過度的負(fù)荷作用于加強(qiáng)片120的情況，從而能夠抑制加強(qiáng)片120的損傷。接下來，對使用了上述剝離裝置的剝離方法進(jìn)行說明。以使加強(qiáng)片120Α成為上側(cè)的方式將圖5所示的層疊體100載置并真空吸附在工作臺10上。在該狀態(tài)下，使能夠相對于工作臺10進(jìn)行升降的框架16下降而將板狀的撓性部件30按壓到加強(qiáng)片120Α上。然后，使框架16停止，而使加強(qiáng)片120Α被撓性部件30真空吸附。在該狀態(tài)下，如圖1所示，撓性部件30成為平板狀。從圖1所示的狀態(tài)開始，將剝離刃20插入到層疊體100的加強(qiáng)片120Α與玻璃基板IlOA之間而進(jìn)行初始剝離。接下來，如圖2所示，使多個桿60以每個桿60為單位進(jìn)行移動，使撓性部件30從一端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形，并使加強(qiáng)片120Α從一端側(cè)開始(從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次發(fā)生彎曲變形而從玻璃基板IlOA進(jìn)行整面剝離。在整面剝離時，在加強(qiáng)片120Α的剝離前線附近，以使剝離區(qū)域的曲率半徑成為 250mm 2500mm，更優(yōu)選500mm IOOOmm的方式進(jìn)行剝離。由此，能夠容易地進(jìn)行剝離，并
9能夠抑制剝離時的破損。將加強(qiáng)片120A剝離后，使框架16上升到規(guī)定位置，在解除了撓性部件30產(chǎn)生的真空吸附的基礎(chǔ)上拆下加強(qiáng)片120A，在解除了工作臺10產(chǎn)生的真空吸附的基礎(chǔ)上拆下層疊體100。然后，以使加強(qiáng)片120B成為上側(cè)的方式將剝離了加強(qiáng)片120A后的層疊體100載置并真空吸附在工作臺10上，之后，同樣地使加強(qiáng)片120B從一端側(cè)開始(從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次彎曲變形而從玻璃基板IlOB剝離。這樣，能夠容易地從層疊體100剝離加強(qiáng)片120A、120B，且能夠抑制剝離時的損傷。在本實施方式中，使加強(qiáng)片120從一端側(cè)開始依次彎曲變形而進(jìn)行剝離，但本發(fā)明并不局限于此。例如，也可以使加強(qiáng)片120從兩端側(cè)依次彎曲變形而進(jìn)行剝離。在本實施方式中，形成為將工作臺10固定并使框架16進(jìn)行升降的結(jié)構(gòu)，但也可以形成為使工作臺10進(jìn)行升降并將框架16固定的結(jié)構(gòu)，還可以形成為使工作臺10和框架16 這雙方進(jìn)行升降的結(jié)構(gòu)?？傊灰枪ぷ髋_10和框架16相對移動的結(jié)構(gòu)即可。(第二實施方式)圖9是表示第二實施方式中的剝離裝置的局部剖面?zhèn)纫晥D。圖10是表示圖9的剝離裝置的動作的局部剖面?zhèn)纫晥D。在上述第一實施方式中，在層疊體100的單側(cè)配置有板狀的撓性部件30、多個墊 40、多個桿60、多個驅(qū)動裝置70等。相對于此，本實施方式的剝離裝置在層疊體100的兩側(cè)配置有板狀的撓性部件 30、多個墊40、多個桿60、多個驅(qū)動裝置70等。S卩，如圖9、圖10所示，本實施方式的剝離裝置在層疊體100的一方的單側(cè)配置有板狀的撓性部件30A、多個墊40A、多個桿60A、多個驅(qū)動裝置70等，而在層疊體100的另一方的單側(cè)配置有板狀的撓性部件30B、多個墊40B、多個桿60B、多個驅(qū)動裝置70B等。撓性部件30A是安裝在層疊體100的一個主面104上的部件。另一方面，撓性部件30B是安裝在層疊體100的另一個主面102上的部件。多個墊40A固定在撓性部件30A上的與層疊體100側(cè)相反的一側(cè)的面上。另一方面，多個墊40B固定在撓性部件30B上的與層疊體100側(cè)相反的一側(cè)的面上。多個墊40A經(jīng)由多個接頭50A中的任一個與多個桿60A中的任一個連結(jié)，并能夠以被連結(jié)的桿60A的中心線X和加強(qiáng)片120上的玻璃基板110側(cè)的面的交點P附近為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動。另一方面，多個墊40B經(jīng)由多個接頭50B中的任一個與多個桿60B中的任一個連結(jié)，并能夠以被連結(jié)的桿60B中的中心線Y和玻璃基板110上的加強(qiáng)片120側(cè)的面的交點Q附近為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動。在墊40A與接頭50A之間以稍壓縮的狀態(tài)夾裝螺旋彈簧52A。通過螺旋彈簧52A 的復(fù)位力，能夠消除墊40A與桿60A的連結(jié)部分的變動。另一方面，在墊40B與接頭50B之間以稍壓縮的狀態(tài)夾裝螺旋彈簧52B。通過螺旋彈簧52B的復(fù)位力，能夠消除墊40B與桿 60B的連結(jié)部分的變動。多個驅(qū)動裝置70A是用于在一個控制裝置80的控制下使多個桿60A以每個桿60A 為單位沿軸方向伸縮的裝置。驅(qū)動裝置70A以每個桿60A為單位逐個設(shè)置。多個驅(qū)動裝置70A分別經(jīng)由多個緩沖部件14A與框架16A連結(jié)。另一方面，多個驅(qū)動裝置70B是用于在一個控制裝置80的控制下使多個桿60B以每個桿60B為單位沿軸方向伸縮的裝置。驅(qū)動裝置70B以每個桿60B為單位逐個設(shè)置。多個驅(qū)動裝置70B分別經(jīng)由多個緩沖部件14B與框架16B連結(jié)?？刂蒲b置80由微型計算機(jī)等構(gòu)成，以每個桿60A為單位控制多個桿60A的位置， 并以每個桿60B為單位控制多個桿60B的位置。如圖9及圖10所示，控制裝置80控制多個桿60A的位置以使加強(qiáng)片120從進(jìn)行了初始剝離的位置(將剝離刃20插入的位置)依次彎曲變形，并控制多個桿60B的位置以使玻璃基板110從進(jìn)行了初始剝離的位置依次彎曲變形。如此，使玻璃基板110和加強(qiáng)片120相互向相反方向彎曲變形，而進(jìn)行剝離?？梢允共ＡЩ?10和加強(qiáng)片120大致對稱地發(fā)生彎曲變形，也可以非對稱地發(fā)生彎曲變形。然而，若彎曲變形的程度大，則玻璃基板110或加強(qiáng)片120有可能折彎破損。另一方面，若彎曲變形的程度小，則玻璃基板110和加強(qiáng)片120大致平行地剝離，因此用于剝離的力增大，而難以剝離。在本實施方式中，在剝離時，使玻璃基板110及加強(qiáng)片120這雙方彼此向相反方向發(fā)生彎曲變形，因此與將任一方保持平坦而使另一方彎曲變形的情況相比，玻璃基板110 和加強(qiáng)片120難以變得大致平行。因此能夠有效地抑制破損或減少剝離力。例如，在剝離時，使玻璃基板110和加強(qiáng)片120大致對稱地彎曲變形時，與將任一方保持平坦而使另一方彎曲變形的情況相比，通過將剝離區(qū)域的曲率半徑設(shè)定為大致2 倍，而能夠?qū)冸x力維持為同等并有效地抑制破損。另外，在使玻璃基板110和加強(qiáng)片120大致對稱地彎曲變形時，與將任一方保持平坦而使另一方彎曲變形的情況相比，通過將剝離區(qū)域的曲率半徑設(shè)定為大致相同，而能夠?qū)⑵茡p抑制成同等并減少剝離力。接下來，對使用了上述剝離裝置的剝離方法進(jìn)行說明。圖11(a) 圖11(f)是表示第二實施方式中的剝離方法的工序圖。以使加強(qiáng)片120A成為上側(cè)的方式將圖5所示的層疊體100載置并真空吸附在撓性部件30B上。在該狀態(tài)下，使能夠相對于框架16B進(jìn)行升降的框架16A下降而將板狀的撓性部件30A按壓到加強(qiáng)片120A上。然后，使框架16A停止，而使加強(qiáng)片120A真空吸附于撓性部件30A。在該狀態(tài)下，如圖11(a)所示，撓性部件30A及撓性部件30B成為平板狀。接下來，將剝離刃20插入到層疊體100的加強(qiáng)片120A與玻璃基板IlOA之間而進(jìn)行初始剝離。然后，如圖11(b)及圖11(c)所示，使撓性部件30A從一端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形，并使加強(qiáng)片120A從一端側(cè)開始(從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次發(fā)生彎曲變形。 此時，使撓性部件30B從一端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形，并使玻璃基板IlOA從一端側(cè)開始 (從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次發(fā)生彎曲變形。如此，將加強(qiáng)片120A從玻璃基板IlOA整面剝離。將加強(qiáng)片120A剝離后，使框架16A上升到規(guī)定位置，在解除了由一方的撓性部件 30A進(jìn)行的真空吸附的基礎(chǔ)上卸下加強(qiáng)片120A。接下來，使撓性部件30A下降而按壓到玻璃基板IlOA上。然后，使玻璃基板IlOA真空吸附于撓性部件30A。在該狀態(tài)下，如圖11 (d) 所示，撓性部件30A及撓性部件30B成為平板狀。接下來，將剝離刃20插入到加強(qiáng)片120B與玻璃基板IlOB之間而進(jìn)行初始剝離。接下來，如圖11(e)及圖11(f)所示，使撓性部件30B從一端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形，并使加強(qiáng)片120B從一端側(cè)開始(從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次發(fā)生彎曲變形。此時，使撓性部件30A從一端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形，并使玻璃基板IlOB從一端側(cè)開始(從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次發(fā)生彎曲變形。如此，將加強(qiáng)片120B從玻璃基板IlOB整面剝離。如此，能夠容易地從層疊體100剝離加強(qiáng)片120A、120B，且能夠抑制剝離時的損傷。在本實施方式中，形成為將框架16B固定并使框架16A進(jìn)行升降的結(jié)構(gòu)，但也可以形成為使框架16B進(jìn)行升降并將框架16A固定的結(jié)構(gòu)，還可以形成為使框架16B和框架16A 這雙方進(jìn)行升降的結(jié)構(gòu)?？傊灰鞘箍蚣?6B和框架16A相對移動的結(jié)構(gòu)即可。(第三實施方式)在本實施方式中，使用圖9所示的剝離裝置進(jìn)行剝離，但剝離裝置的動作不同。圖12(a) 圖12(f)是表示第三實施方式中的剝離方法的工序圖。以使加強(qiáng)片120A成為上側(cè)的方式將圖5所示的層疊體100載置并真空吸附在撓性部件30B上。在該狀態(tài)下，使能夠相對于框架16B進(jìn)行升降的框架16A下降而將板狀的撓性部件30A按壓到加強(qiáng)片120A上。然后，使框架16A停止，而使加強(qiáng)片120A真空吸附于撓性部件30A。在該狀態(tài)下，如圖12(a)所示，撓性部件30A及撓性部件30B成為平板狀。接下來，將剝離刃20插入到層疊體100的加強(qiáng)片120A與玻璃基板IlOA之間而進(jìn)行初始剝離。然后，如圖12(b)及圖12(c)所示，在將玻璃基板IlOA保持為平坦的狀態(tài)下， 使撓性部件30A從一端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形，并使加強(qiáng)片120A從一端側(cè)開始(從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次發(fā)生彎曲變形而從玻璃基板IlOA整面剝離。在整面剝離時，在加強(qiáng)片120A的剝離前線附近，以使剝離區(qū)域的曲率半徑成為 250mm 2500mm，更優(yōu)選為500mm IOOOmm的方式進(jìn)行剝離。由此，能夠容易地進(jìn)行剝離， 并能夠抑制剝離時的破損。將加強(qiáng)片120A剝離后，使撓性部件30A上升到規(guī)定位置，在解除了由撓性部件30A 進(jìn)行的真空吸附的基礎(chǔ)上卸下加強(qiáng)片120A。接下來，使撓性部件30A下降而按壓到玻璃基板IlOA上。然后，使玻璃基板IlOA真空吸附于撓性部件30A。在該狀態(tài)下，如圖12 (d)所示，撓性部件30A及撓性部件30B成為平板狀。接下來，將剝離刃20插入到加強(qiáng)片120B與玻璃基板IlOB之間而進(jìn)行初始剝離。 接下來，如圖12(e)及圖12(f)所示，在將玻璃基板IlOB保持為平坦的狀態(tài)下，使撓性部件 30B從一端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形，并使加強(qiáng)片120B從一端側(cè)開始(從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次發(fā)生彎曲變形而從玻璃基板IlOB整面剝離。在整面剝離時，在加強(qiáng)片120B的剝離前線附近，以使剝離區(qū)域的曲率半徑成為 250mm 2500mm，更優(yōu)選500mm IOOOmm的方式進(jìn)行剝離。由此，能夠容易地進(jìn)行剝離，并能夠抑制剝離時的破損。如此，能夠容易地從層疊體100剝離加強(qiáng)片120A、120B，且能夠抑制剝離時的損傷。在本實施方式中，使加強(qiáng)片120A、120B從一端側(cè)開始依次彎曲變形而進(jìn)行了剝離，但本發(fā)明并不局限于此。例如，也可以使加強(qiáng)片120A、120B從兩端側(cè)依次彎曲變形而進(jìn)行剝離。
在本實施方式中，形成為將框架16B固定并使框架16A進(jìn)行升降的結(jié)構(gòu)，但也可以形成為使框架16B進(jìn)行升降并將框架16A固定的結(jié)構(gòu)，還可以形成為使框架16B和框架16A 這雙方進(jìn)行升降的結(jié)構(gòu)?？傊?，只要是使框架16B和框架16A相對移動的結(jié)構(gòu)即可。以上，對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不局限于上述的實施方式，而在不脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)，能夠?qū)ι鲜龅膶嵤┓绞教砑痈鞣N變形及置換。例如，在上述的實施方式中，使用剝離刃20進(jìn)行了初始剝離，但本發(fā)明并不局限于此。例如，也可以噴吹壓縮空氣或液體而進(jìn)行初始剝離。另外，在上述的實施方式中，剝離裝置是將貼附在玻璃基板110上的加強(qiáng)片120剝離的裝置，但本發(fā)明并不局限于此。例如，剝離裝置也可以是將貼附在硅片或金屬基板、塑料基板等基板上的加強(qiáng)片剝離的裝置。作為金屬基板的材料，并未特別限定，例如可列舉有不銹鋼、銅等。作為塑料基板的材料，并未特別限定，作為透明樹脂，例如可列舉聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚砜樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯樹脂、聚丙烯酸樹脂、聚硅氧烷樹脂、透明含氟樹脂等，作為不透明樹脂，列舉有聚酰亞胺樹脂、含氟樹脂、聚酰胺樹脂、芳族聚酰胺樹脂、聚醚酮樹脂、聚醚醚酮樹脂、各種液晶聚合物樹脂等。其中，從耐熱性的觀點出發(fā)，優(yōu)選聚酰亞胺樹脂、含氟樹脂、聚酰胺樹脂、芳族聚酰胺樹脂、聚醚砜樹脂、聚醚酮樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯樹脂、各種液晶聚合物樹脂等。所述材料中， 5%加熱重量損失的溫度為300°C以上，因此能夠在基板上形成薄膜晶體管(TFT)等。更優(yōu)選5%加熱重量損失的溫度為350°C以上。這種情況下，在耐熱性方面，上述的玻璃基板全部適用。作為在耐熱性觀點上更優(yōu)選的塑料基板，例示有聚酰亞胺樹脂、含氟樹脂、聚酰胺樹脂、芳族聚酰胺樹脂、聚醚砜樹脂、聚醚酮樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯樹脂、各種液晶聚合物樹脂等。另外，基板也可以是將玻璃基板、硅片、金屬板、塑料基板等相同材質(zhì)或不同材質(zhì)層疊后的層疊基板。例如，也可以是玻璃基板與塑料基板的層疊體、按照塑料基板、玻璃、塑料基板的順序?qū)盈B后的層疊體、兩張以上的玻璃基板彼此或?qū)蓮堃陨系乃芰匣灞舜说?br> 層疊體等。另外，在上述的實施方式中，加強(qiáng)片120僅由玻璃片121構(gòu)成、或由玻璃片121和形成在玻璃片121上的樹脂層122構(gòu)成，但本發(fā)明并不局限于此。例如，也可以取代玻璃片 121，而使用硅片或金屬片、塑料片。作為金屬片的材料，并未特別限定，列舉有例如不銹鋼、 銅等。另一方面，作為塑料片的材料，并未特別限定，例示有例如聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚酰亞胺樹脂、含氟樹脂、聚酰胺樹脂、芳族聚酰胺樹脂、聚醚砜樹脂、聚醚酮樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯樹脂、聚丙烯酸樹脂、各種液晶聚合物樹脂、 聚硅氧烷樹脂等。其中，從耐熱性的觀點出發(fā)，優(yōu)選聚酰亞胺樹脂、含氟樹脂、聚酰胺樹脂、 芳族聚酰胺樹脂、聚醚砜樹脂、聚醚酮樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯樹脂、各種液晶聚合物樹脂等。所述材料中，為5%加熱重量損失的溫度為300°C以上，因此能夠在基板上形成薄膜晶體管(TFT)等。更優(yōu)選5%加熱重量損失的溫度為350°C以上。實施例以下，通過實施例具體說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不受以下的實施例限定。[實施例1]
(加強(qiáng)片的制造)對縱長350mm、橫寬300mm、厚度0. 4mm的玻璃片(旭硝子公司制、AN100)進(jìn)行堿清洗，以純水進(jìn)行了超聲波清洗后，接觸80°C的IPA蒸氣10分鐘，進(jìn)行干燥。通過旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)在干燥后的玻璃片上涂敷加成反應(yīng)型的液狀硅酮(信越硅酮公司制、KNS-320A) 100質(zhì)量份與鉬系催化劑(信越硅酮公司制、CAT-PL-56) 2質(zhì)量份的混合物(涂敷量30g/m2)。接下來，在180°C下在大氣中進(jìn)行10分鐘的加熱硬化，而制作了由玻璃片和硅酮樹脂層構(gòu)成的加強(qiáng)片。(玻璃基板與加強(qiáng)片的貼附)對縱長350mm、橫寬300mm、厚度0. 3mm的玻璃基板(旭硝子公司制、AN100)進(jìn)行堿清洗，在純水清洗后，接觸80°C的IPA蒸氣10分鐘，進(jìn)行干燥。通過沖壓裝置將干燥后的玻璃基板和加強(qiáng)片在真空中進(jìn)行貼附，而使玻璃基板與硅酮樹脂層密接。(層疊體的制造)準(zhǔn)備兩組如此粘合的玻璃基板/加強(qiáng)片，通過雙面膠帶將玻璃基板彼此粘合而制造了層疊體。該層疊體是依次配置有加強(qiáng)片、玻璃基板、雙面膠帶(粘結(jié)劑層)、玻璃基板、 加強(qiáng)片而成的結(jié)構(gòu)。粘結(jié)劑層取代圖5所示的液晶層130。(剝離試驗)使用圖1、圖2所示的剝離裝置對上述層疊體進(jìn)行了剝離。具體來說，將層疊體的第一主面真空吸附在工作臺10上，并在層疊體的第二主面上真空吸附撓性部件30。接下來，將剝離刃20插入到層疊體的第二主面?zhèn)鹊募訌?qiáng)片與玻璃基板之間而進(jìn)行初始剝離，使多個桿60按桿60移動而使撓性部件30從一端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形， 并使加強(qiáng)片從一端側(cè)開始(從進(jìn)行了初始剝離的位置)依次彎曲變形而從玻璃基板整面剝
1 O加強(qiáng)片的剝離前線附近的剝離區(qū)域的曲率半徑R和剝離試驗的結(jié)果如表1所示。 加強(qiáng)片的剝離前線的平均移動速度設(shè)定為0. 4m/秒。[表1]
權(quán)利要求
1.一種剝離裝置，將貼附在基板上的加強(qiáng)片剝離，具備對包含所述基板及所述加強(qiáng)片的層疊體的一個主面進(jìn)行支承的支承單元； 安裝在所述層疊體的另一個主面上的板狀的撓性部件； 固定在所述撓性部件上的與所述層疊體側(cè)相反的一側(cè)的面上的多個墊； 分別與所述多個墊連結(jié)的多個桿；用于使所述多個桿以每一個桿為單位沿桿的軸方向移動的多個驅(qū)動裝置；及對所述多個桿的位置以每一個桿為單位進(jìn)行控制的控制裝置， 所述多個墊經(jīng)由多個接頭中的任一個與所述多個桿中的任一個連結(jié)，并能夠以所述被連結(jié)的桿的中心線與所述加強(qiáng)片上的所述基板側(cè)的面或所述基板上的所述加強(qiáng)片側(cè)的面的交點附近為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動，通過所述支承單元支承所述層疊體的一個主面，并通過所述控制裝置控制所述多個桿的位置，以使所述層疊體的另一個主面從一端側(cè)開始依次彎曲變形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離裝置，其中， 所述接頭是球面接頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的剝離裝置，其中，所述多個驅(qū)動裝置經(jīng)由多個緩沖部件中的任一個與一個框架連結(jié)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的剝離裝置，其中， 所述驅(qū)動裝置是伺服電動機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項所述的剝離裝置，其中，所述撓性部件由安裝部和規(guī)定部構(gòu)成，所述安裝部可拆卸地安裝在所述層疊體的另一個主面上，所述規(guī)定部規(guī)定所述撓性部件的彎曲剛性。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的剝離裝置，其中， 所述安裝部由橡膠構(gòu)成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項所述的剝離裝置，其中， 所述加強(qiáng)片至少包含玻璃片。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中任一項所述的剝離裝置，其中，在所述基板上的與所述加強(qiáng)片側(cè)相反的一側(cè)的面上形成有電子設(shè)備用部件。
9.一種剝離裝置，將貼附在基板上的加強(qiáng)片剝離，具備安裝在包含所述基板及所述加強(qiáng)片的層疊體的兩個主面上的板狀的撓性部件； 固定在所述撓性部件上的與所述層疊體側(cè)相反的一側(cè)的面上的多個墊； 分別與所述多個墊連結(jié)的多個桿；用于使所述多個桿以每一個桿為單位沿桿的軸方向移動的多個驅(qū)動裝置； 對所述多個桿的位置以每一個桿為單位進(jìn)行控制的控制裝置， 所述多個墊經(jīng)由多個接頭中的任一個與所述多個桿中的任一個連結(jié)，并能夠以所述被連結(jié)的桿的中心線與所述加強(qiáng)片上的所述基板側(cè)的面或所述基板上的所述加強(qiáng)片側(cè)的面的交點附近為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動，通過所述控制裝置控制所述多個桿的位置以使所述層疊體的一個主面從一端側(cè)開始依次彎曲變形，并通過所述控制裝置控制所述多個桿的位置以使另一個主面從一端側(cè)開始依次彎曲變形。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種剝離裝置，將貼附在基板上的加強(qiáng)片剝離，具備對包含所述基板及所述加強(qiáng)片的層疊體的一個主面進(jìn)行支承的支承單元；安裝在所述層疊體的另一個主面上的板狀的撓性部件；固定在所述撓性部件上的與所述層疊體側(cè)相反的一側(cè)的面上的多個墊；分別與所述多個墊連結(jié)的多個桿；用于使所述多個桿以每一個桿為單位沿軸方向移動的多個驅(qū)動裝置；對所述多個桿的位置以每一個桿為單位進(jìn)行控制的控制裝置，其中，所述多個墊經(jīng)由多個接頭中的任一個與所述多個桿中的任一個連結(jié)，并能夠以所述被連結(jié)的桿的中心線與所述加強(qiáng)片上的所述基板側(cè)的面或所述基板上的所述加強(qiáng)片側(cè)的面的交點附近為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動，通過所述支承單元對所述層疊體的一個主面進(jìn)行支承，并通過所述控制裝置控制所述多個桿的位置，以使所述層疊體的另一個主面從一端側(cè)開始依次彎曲變形。
文檔編號H01L21/683GK102202994SQ201080003114
公開日2011年9月28日 申請日期2010年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月31日
發(fā)明者伊藤泰則, 江畑研一 申請人:旭硝子株式會社