亞胺系膜的示意圖（截面圖）。圖6(A)和圖6(B)是用于說(shuō) 明使用圖2 (A)的層疊體并利用層疊體的處理法2制造柔性基板的方法的聚酰亞胺系膜的 示意圖（截面圖）。
[0102] 剝離預(yù)定區(qū)域部分是指其后要被剝離的區(qū)域部分，具體而言，如圖5(B)和圖6(B) 所示，是與被剝離的聚酰亞胺系膜2對(duì)應(yīng)的部分250,例如，在聚酰亞胺系膜2的表面形成電 子元件等部件（未圖示）時(shí)，是包含該部件的形成區(qū)域的部分。與無(wú)機(jī)基板1相接的聚酰 亞胺系樹(shù)脂層B(22)的部分在本方法中是指聚酰亞胺系樹(shù)脂層B(22)中的單層部分（外緣 部 220)〇
[0103] 本方法中利用切口 200進(jìn)行分割后，如圖5(B)和圖6(B)所示，將剝離預(yù)定區(qū)域部 分250剝離，得到柔性基板。剝離預(yù)定區(qū)域部分250由于僅靠聚酰亞胺系樹(shù)脂層A(21)與無(wú) 機(jī)基板1接觸，所以能夠通過(guò)分割容易剝離。作為具體的剝離方法，本方法中，可以采用用 手從端部剝下的方法；使用驅(qū)動(dòng)輥、機(jī)器人等機(jī)械裝置的方法。在本層疊體的處理法2中， 通過(guò)在層疊體100的聚酰亞胺系膜2表面預(yù)先形成電子元件等部件（未圖示）而得的聚酰 亞胺系膜2 (250)作為柔性設(shè)備有用。
[0104] 本方法中，留在無(wú)機(jī)基板的聚酰亞胺系樹(shù)脂層B(外緣部220)(參照?qǐng)D5(B)和圖 6 (B))通過(guò)后述的吸濕處理能夠從無(wú)機(jī)基板剝離除去。本方法中，優(yōu)選外緣部220通過(guò)吸濕 處理而剝離，也可以通過(guò)例如對(duì)外緣部220照射激光、紅外線光、紫外線光、閃光等進(jìn)行剝 離。另外，也可以通過(guò)浸漬于水中進(jìn)行剝離。外緣部220被剝離下來(lái)的無(wú)機(jī)基板可再利用。
[0105](吸濕處理）
[0106] 本發(fā)明中吸濕處理包含至少在高溫高濕環(huán)境下保持層疊體的吸濕處理工序。
[0107] 作為吸濕條件，沒(méi)有特別限定，優(yōu)選在相對(duì)濕度為70%以上、更優(yōu)選為80%以上 的條件下，吸濕溫度優(yōu)選為70°C以上、更優(yōu)選為80°C以上的條件下進(jìn)行吸濕處理工序。另 外，也可以利用高于l〇〇°C的加壓水蒸氣，優(yōu)選在100°C以下進(jìn)行吸濕處理工序。作為吸濕 處理時(shí)間，優(yōu)選進(jìn)行1小時(shí)以上，更優(yōu)選為3小時(shí)以上，進(jìn)一步優(yōu)選為5小時(shí)以上。只要實(shí) 現(xiàn)聚酰亞胺系膜2的剝離，吸濕處理時(shí)間的上限沒(méi)有特別限定，通常以20小時(shí)以下、優(yōu)選為 15小時(shí)以下、更優(yōu)選為12小時(shí)以下進(jìn)行吸濕處理工序。
[0108] 該吸濕處理中，在上述吸濕處理工序后，優(yōu)選通過(guò)減壓進(jìn)行脫濕。因吸濕體積膨脹 的聚酰亞胺系膜通過(guò)脫濕能夠迅速收縮。通過(guò)該吸濕脫濕操作，膨脹、收縮的聚酰亞胺系膜 產(chǎn)生應(yīng)力，在與吸濕脫濕體積幾乎沒(méi)有變化的無(wú)機(jī)基板相接的聚酰亞胺系膜的界面強(qiáng)度明 顯降低。憑借該作用，能夠?qū)⒕埘啺废的じ?jiǎn)單地剝離。通過(guò)將該吸濕脫濕重復(fù)2次以 上，還能夠進(jìn)一步提高剝離性。本發(fā)明中通常進(jìn)行1~3次吸濕脫濕，能夠簡(jiǎn)單地剝離聚酰 亞胺系膜。
[0109]作為減壓條件，沒(méi)有特別限定，在減壓度優(yōu)選為lOOTorr以下、更優(yōu)選為50T〇rr以 下、進(jìn)一步優(yōu)選為lOTorr以下、溫度優(yōu)選為70°C以上、更優(yōu)選為80°C以上的條件下進(jìn)行減 壓處理。應(yīng)予說(shuō)明，減壓處理時(shí)的溫度可以與上述吸濕處理溫度相同也可以不同，優(yōu)選相 同。作為減壓處理時(shí)間，優(yōu)選以1小時(shí)以上、更優(yōu)選為3小時(shí)以上、進(jìn)一步優(yōu)選為5小時(shí)以 上進(jìn)行。只要促進(jìn)聚酰亞胺系膜2的剝離，減壓處理時(shí)間的上限沒(méi)有特別限定，通常以20 小時(shí)以下、優(yōu)選為15小時(shí)以下、更優(yōu)選為12小時(shí)以下進(jìn)行減壓處理工序。
[0110] 作為從如上所述處理過(guò)的聚酰亞胺層疊體剝離聚酰亞胺系膜的具體方法，可以采 用如上所述的用手從端部剝下的方法；使用驅(qū)動(dòng)輥、機(jī)器人等機(jī)械裝置的方法。
[0111] 此外，優(yōu)選本發(fā)明的聚酰亞胺系膜透明。作為透明性指標(biāo)的在500nm的光線透射 率優(yōu)選為70%以上，更優(yōu)選為80%以上。
[0112] 如上所述，本發(fā)明的層疊體通過(guò)例如吸濕處理這樣簡(jiǎn)單的工序就能夠從聚酰亞胺 層疊體容易地得到聚酰亞胺系膜，因此可適用于柔性設(shè)備、柔性配線板設(shè)備的制造。
[0113] 詳細(xì)而言，在本發(fā)明的層疊體的聚酰亞胺系膜的表面形成電子元件等部件后，從 無(wú)機(jī)基板剝離具備上述部件的聚酰亞胺系膜。由此，能夠容易地得到具備上述部件的聚酰 亞胺系膜作為柔性設(shè)備、柔性配線板設(shè)備。
[0114] 電子元件等部件的形成方法可以采用使用聚酰亞胺系膜作為柔性基板的電子設(shè) 備的領(lǐng)域公知的方法。氣體阻擋層的形成方法與上述的方法同樣。
[0115] 實(shí)施例
[0116] 以下，基于實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體的說(shuō)明，但本發(fā)明不僅限于這些實(shí)施例。
[0117][參考例1]
[0118]準(zhǔn)備由尤尼吉可公司制UImideAR(由3, 3'，4, 4'一聯(lián)苯四甲酸二酐和對(duì)苯二胺 得到的聚酰胺酸型的聚酰亞胺前體溶液，溶劑為NMP，固體成分濃度為18質(zhì)量％ )。利用棒 涂機(jī)將該溶液（記為聚酰亞胺溶液A- 1)以熱固化后的膜厚度成為30μm的方式涂布在 厚度0. 7mm的無(wú)堿玻璃板的表面上，在130°C干燥10分鐘而形成聚酰亞胺前體被膜。接下 來(lái)，在氮?dú)鈿饬飨?，?小時(shí)從100°C升溫至350°C后，在350°C熱處理2小時(shí)，使聚酰亞胺 前體熱固化而酰亞胺化。由此，得到具有玻璃基板和厚度30μπι的聚酰亞胺膜層的層疊體 L一 1 〇
[0119][參考例2]
[0120] 向聚酰亞胺溶液Α- 1中加入相對(duì)于聚酰亞胺質(zhì)量為0. 006質(zhì)量％的胺系硅烷偶 聯(lián)劑（信越有機(jī)硅公司制KBE903)，進(jìn)行均勻混合而得到聚酰亞胺溶液A- 2。使其它，除 此之外，與參考例1同樣地進(jìn)行，得到具有玻璃基板和厚度30μm的聚酰亞胺膜層的層疊體 L- 2〇
[0121] [參考例3]
[0122] 向聚酰亞胺溶液A- 1中加入相對(duì)于聚酰亞胺質(zhì)量為0. 06質(zhì)量％的與參考例2 中同樣的硅烷偶聯(lián)劑，進(jìn)行均勻混合而得到聚酰亞胺溶液B- 1。使其它，除此之外，與參考 例1同樣地進(jìn)行，得到具有玻璃基板和厚度30μm的聚酰亞胺膜層的層疊體L一 3。
[0123][參考例4]
[0124] 向聚酰亞胺溶液A-1中加入相對(duì)于聚酰亞胺質(zhì)量為0. 1質(zhì)量％的與參考例2中 同樣的硅烷偶聯(lián)劑，進(jìn)行均勻混合而得到聚酰亞胺溶液B- 2。使其它，除此之外，與參考例 1同樣地進(jìn)行，得到具有玻璃基板和厚度30μm的聚酰亞胺膜層的層疊體L一 4。
[0125][參考例5]
[0126] 準(zhǔn)備由尤尼吉可公司制UImideCR(由3,3'，4, 4' 一聯(lián)苯四甲酸二酐和4, 4' 一 二氨基二苯醚得到的聚酰胺酸型的聚酰亞胺前體溶液，溶劑為NMP，固體成分濃度為18質(zhì) 量％)。利用棒涂機(jī)將該溶液（記為聚酰亞胺溶液B-3)以熱固化后的膜的厚度成為30μm 的方式涂布在厚度〇.7mm的無(wú)堿玻璃板的表面上，在130°C干燥10分鐘形成聚酰亞胺前體 被膜。接下來(lái)，在氮?dú)鈿饬飨?，?小時(shí)從100°C升溫至350°C后，在350°C熱處理2小時(shí)，使 聚酰亞胺前體熱固化而酰亞胺化。由此，得到具有玻璃基板和厚度30μm的聚酰亞胺膜層 的層疊體L一5。
[0127][參考例6]
[0128] 向聚酰亞胺溶液B- 1中加入相對(duì)于聚酰亞胺質(zhì)量為0.8質(zhì)量％的硬脂酸，進(jìn)行 均勻混合而得到聚酰亞胺溶液A- 3。使其它，除此之外，與參考例5同樣地進(jìn)行，得到具有 玻璃基板和厚度30μm的聚酰亞胺膜層的層疊體L一 6。
[0129] <密合性（吸濕處理前）的評(píng)價(jià)>
[0130] 基于JISK6854通過(guò)180°剝離試驗(yàn)測(cè)定上述層疊體L一1~L~6的玻璃基板 與聚酰亞胺系膜層的層間的粘接強(qiáng)度。另外，在層疊體的聚酰亞胺膜端部切出切口，將從 此處用手拉拽不能容易地從玻璃板剝離的情況判定為界面的密合性"良好"，將能夠容易地 剝離的情況判定為密合性"不良"。將該結(jié)果示于表1。應(yīng)予說(shuō)明，表1中，由于粘接強(qiáng)度為 0.lN/cm以下時(shí)難以確定出正確的粘接強(qiáng)度，所以記為"0. 1以下"。
[0131][表1]
[0133] 如表1所示，層疊體L- 3、L- 4、L- 5的密合性良好。與此相對(duì)，層疊體L- 1、L一 2、L一 6的密合性不良，即，剝尚性良好。
[0134] <剝離性（吸濕處理后）的評(píng)價(jià)一1 >
[0135] 將密合性良好的層疊體L一3、L一4、L一5在相對(duì)濕度95%、溫度90°C的條件下 處理10小時(shí)，使聚酰亞胺系膜吸濕。其后，在該溫度、5Torr的減壓下進(jìn)行10小時(shí)的減壓處 理，將吸濕的聚酰亞胺進(jìn)行脫濕?；贘ISK6854通過(guò)180°剝離試驗(yàn)測(cè)定得到的層疊體 的層間的粘接強(qiáng)度。另外，將從切出切口的聚酰亞胺膜端部用手拉拽能夠容易從玻璃板剝 離的情況判斷為界面的剝離性"良好"，將不容易剝離的情況判定為剝離性"不良"。將該結(jié) 果示于表2。應(yīng)予說(shuō)明，表2中，由于粘接強(qiáng)度為0.lN/cm以下時(shí)難以確定出正確的粘接強(qiáng) 度，所以記為"0. 1以下"。
[0136] [表 2]
[0137]
[0138] <剝離性（吸濕處理后）的評(píng)價(jià)一2 >
[0139] 將密合性良好的層疊體L一 3、L一 4、L一 5在相對(duì)濕度80%、溫度50°C的條件下 處理3小時(shí)，使聚酰亞胺系膜吸濕。其后，在該溫度、5Torr的減壓下進(jìn)行10小時(shí)的減壓處 理，將吸濕的聚酰亞胺進(jìn)行脫濕。基于JISK6854通過(guò)180°剝離試驗(yàn)測(cè)定得到的層疊體的 層間的粘接強(qiáng)度。另外，將從切出切口的聚酰亞胺膜端部用手拉拽能夠容易從玻璃板剝離 的情況下判定為界面的剝離性"良好"，將不容易剝離的情況判定為剝離性"不良"。將該結(jié) 果示于表3。
[0140] [表 3]
[0141]
[0142] 如表2和表3所示，吸濕處理前，密合性良好的層疊體L- 3、L- 4、L- 5通過(guò)進(jìn) 行吸濕處理，能夠成為剝離性良好的層疊體。
[0143] [實(shí)施例1]
[0144] 如圖1 (A)和圖1⑶所示，利用棒涂機(jī)將作為聚酰亞胺層A(21)形成用溶液的聚 酰亞胺溶液A- 1以熱固化后的膜的厚度成為3μπι的方式涂布在厚度0. 7mm的無(wú)堿玻璃 板1的表面上，在130°c干燥10分鐘而形成聚酰亞胺前體被膜。這里涂布面的面積約為 400Cm2(20CmX20cm)。利用棒涂機(jī)將作為聚酰亞胺層B(22)形成用溶液的聚酰亞胺溶液 B- 1以熱固化后的膜整體的厚度成為30μm的方式涂布在該被膜的表面，在130°C干燥10 分鐘而形成聚酰亞胺前體被膜。接下來(lái)，在氮?dú)鈿饬飨拢?小時(shí)從100°C升溫至360°C后， 在360°C熱處理2小時(shí)，使聚酰亞胺前體熱固化而酰亞胺化，由此使聚酰亞胺層成為層疊一 體化。這里聚酰亞胺層B(22)的涂布面的面積約為576cm2 (24cmX24cm)，在玻璃板表面的 聚酰亞胺層A(21)的外周區(qū)域210,聚酰亞胺層B(22)的外緣部220以單層以寬度（W) 2cm 與玻璃基板1直接接觸。接下來(lái)，如圖2(A)和圖2(B)所示，通過(guò)濺射法處理在得到的聚酰 亞胺層疊膜2的表面的一部