一種多腔室制絨系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提出的一種多腔室制絨系統(tǒng)，其包括反應(yīng)槽及滾筒。所述反應(yīng)槽中設(shè)有多對(duì)隔板并將反應(yīng)槽分隔成多個(gè)工作液腔室，每對(duì)隔板的兩板之間為溢流循環(huán)的緩沖腔室，該緩沖腔室的底部設(shè)有輸出口，該輸出口通過(guò)管路與反應(yīng)槽外的液體循環(huán)系統(tǒng)連接；所述隔板的高度低于所述反應(yīng)槽周邊的高度。本實(shí)用新型可加快反應(yīng)槽內(nèi)各區(qū)域藥液的換液速度，高效減少反應(yīng)槽內(nèi)各區(qū)域藥液濃度的差異性與溫度的差異，從而使硅片表面處理更均勻。另外，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝維護(hù)方便，生產(chǎn)效率高。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種多腔室制絨系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及鏈?zhǔn)教?yáng)能清洗設(shè)備和濕法處理設(shè)備，尤其涉及一種應(yīng)用于光伏行業(yè)中的多晶硅片的制絨清洗設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅片的生產(chǎn)中，通常使用鏈?zhǔn)教?yáng)能清洗設(shè)備對(duì)硅材進(jìn)行制絨清洗處理。當(dāng)硅片在和化學(xué)藥品發(fā)生反應(yīng)時(shí)，會(huì)造成清洗設(shè)備的反應(yīng)槽內(nèi)的藥液濃度出現(xiàn)區(qū)域性不一致，以及反應(yīng)槽內(nèi)各點(diǎn)溫度存在差異性，這將導(dǎo)致硅片表面處理的均勻性大大降低。
[0003]因此，改善反應(yīng)槽內(nèi)的藥液濃度差異，以及反應(yīng)槽內(nèi)各點(diǎn)藥液溫度差異，是業(yè)內(nèi)亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，提供一種換液速度快、反應(yīng)槽內(nèi)液體濃度及溫度差異性小的多腔室制絨系統(tǒng)。
[0005]本實(shí)用新型提出的一種多腔室制絨系統(tǒng)，其包括反應(yīng)槽及滾筒。所述反應(yīng)槽中設(shè)有多對(duì)隔板并將反應(yīng)槽分隔成多個(gè)工作液腔室，每對(duì)隔板的兩板之間為溢流循環(huán)的緩沖腔室，該緩沖腔室的底部設(shè)有輸出口，該輸出口通過(guò)管路與反應(yīng)槽外的液體循環(huán)系統(tǒng)連接；所述隔板的高度低于所述反應(yīng)槽周邊的高度。
[0006]本實(shí)用新型使用多對(duì)隔板將反應(yīng)槽腔體分隔成多個(gè)工作液腔室，當(dāng)槽體內(nèi)液面到達(dá)一定高度時(shí)，反應(yīng)槽內(nèi)上層的藥液從隔板上部流入溢流循環(huán)的緩沖腔室而快速流走，從而加快反應(yīng)槽內(nèi)各區(qū)域藥液的換液速度，高效減少反應(yīng)槽內(nèi)各區(qū)域藥液濃度的差異性與溫度的差異，從而使硅片表面處理更均勻。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝維護(hù)方便，生產(chǎn)效率高。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的橫向剖切的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0009]如圖1所示，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例提供的一種多腔室制絨系統(tǒng)，其包括一方條形的反應(yīng)槽I和設(shè)于反應(yīng)槽I內(nèi)上部的運(yùn)輸滾筒2。反應(yīng)槽I中設(shè)有多對(duì)隔板3，并將反應(yīng)槽I分隔成多個(gè)工作液腔室4，而每對(duì)隔板的兩板之間為溢流循環(huán)的緩沖腔室5，該緩沖腔室的底部設(shè)有輸出口，該輸出口通過(guò)管路6與反應(yīng)槽外的液體循環(huán)系統(tǒng)連接。隔板3的高度低于反應(yīng)槽I周邊7的高度。根據(jù)不同的要求，工作液腔室4的形狀、數(shù)量和位置可以選擇設(shè)置。
[0010]本實(shí)用新型在反應(yīng)槽體內(nèi)的一些設(shè)有將反應(yīng)槽腔體分隔的多對(duì)隔板，使反應(yīng)槽中形成多個(gè)工作液腔室。當(dāng)槽體內(nèi)液面到達(dá)一定高度時(shí)，液體從隔板上部流入各對(duì)隔板之間的溢流循環(huán)的緩沖腔室，再通過(guò)反應(yīng)槽下面的管路進(jìn)入反應(yīng)槽外的液體循環(huán)系統(tǒng)，進(jìn)行熱交換后再輸入反應(yīng)槽。這種結(jié)構(gòu)可使得各個(gè)工作液腔室內(nèi)上層的藥液同步均能快速流走，相比傳統(tǒng)的溢流裝置，本實(shí)用新型的多腔室結(jié)構(gòu)可能藥液在槽體內(nèi)隨意分散開(kāi)，從而解決了反應(yīng)槽不同區(qū)域的液體濃度不一致的問(wèn)題；又由于本實(shí)用新型每個(gè)工作液腔室的區(qū)域更小，便于較快的溢流循環(huán)，大大降低了反應(yīng)槽不同區(qū)域內(nèi)溫度的差異性。
【權(quán)利要求】
1.一種多腔室制絨系統(tǒng)，包括反應(yīng)槽(I)及滾筒(2)，其特征在于，所述反應(yīng)槽(I)中設(shè)有多對(duì)隔板(3)，并將反應(yīng)槽(I)分隔成多個(gè)工作液腔室(4)，每對(duì)隔板的兩板之間為溢流循環(huán)的緩沖腔室(5)，該緩沖腔室的底部設(shè)有輸出口，該輸出口通過(guò)管路(6)與反應(yīng)槽外的液體循環(huán)系統(tǒng)連接；所述隔板(3)的高度低于所述反應(yīng)槽(I)周邊(7)的高度。
【文檔編號(hào)】C30B33/10GK203746887SQ201420065986
【公開(kāi)日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2014年2月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月14日
【發(fā)明者】左國(guó)軍 申請(qǐng)人:常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司