技術(shù)編號(hào)：8101907
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本實(shí)用新型提出的一種多腔室制絨系統(tǒng)，其包括反應(yīng)槽及滾筒。所述反應(yīng)槽中設(shè)有多對隔板并將反應(yīng)槽分隔成多個(gè)工作液腔室，每對隔板的兩板之間為溢流循環(huán)的緩沖腔室，該緩沖腔室的底部設(shè)有輸出口，該輸出口通過管路與反應(yīng)槽外的液體循環(huán)系統(tǒng)連接；所述隔板的高度低于所述反應(yīng)槽周邊的高度。本實(shí)用新型可加快反應(yīng)槽內(nèi)各區(qū)域藥液的換液速度，高效減少反應(yīng)槽內(nèi)各區(qū)域藥液濃度的差異性與溫度的差異，從而使硅片表面處理更均勻。另外，結(jié)構(gòu)簡單，安裝維護(hù)方便，生產(chǎn)效率高。專利說明一種多腔室制絨系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及鏈?zhǔn)教柲芮逑丛O(shè)備和...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。