專利名稱：一種微槽柱群散熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及散熱器，尤其涉及一種微槽柱群散熱器。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，電路的集成度越來(lái)越高，電子器件的熱流密度也隨之升高。如CPU，大功率LED等電子器件的就需要在有限的面積內(nèi)需要進(jìn)行大熱流密度的冷卻。常規(guī)的固體散熱器需要通過(guò)銅、鋁等導(dǎo)體將該有限面積內(nèi)的熱量傳導(dǎo)到具有更大面積的散熱器表面，而使用固體進(jìn)行較長(zhǎng)距離的導(dǎo)熱將帶來(lái)較大的熱阻。本發(fā)明利用微槽柱群促進(jìn)工質(zhì)液體的蒸發(fā)和沸騰，使得局部的大熱流迅速被擴(kuò)散到更大范圍的空間，避免了長(zhǎng)距離固體導(dǎo)熱帶來(lái)的熱阻。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于于解決較小接觸面積內(nèi)較大熱流密度的發(fā)熱物體的冷卻問(wèn)題的微槽柱群散熱器。微槽柱群散熱器包括工質(zhì)液體、工質(zhì)蒸汽、微槽柱、密封腔體和翅片散熱器；密封腔體底部設(shè)有多根微槽柱、工質(zhì)液體，密封腔體上部設(shè)有翅片散熱器，翅片散熱器下方設(shè)有工質(zhì)蒸汽。所述的密封腔體內(nèi)的壓力所對(duì)應(yīng)的工質(zhì)蒸汽的汽液相變溫度為-20°C 200°C。所述的微槽柱，的表面設(shè)有微槽，微槽的寬度為O. Olmm Imm,微槽的深度O. Olmm 1mm。所述的工質(zhì)液體液面高度低于微槽柱的高度。本發(fā)明有效解決了較小接觸面積內(nèi)較大熱流密度的發(fā)熱物體的冷卻問(wèn)題。


圖I (a)為微槽柱群散熱器結(jié)構(gòu)示意 圖I (b)為圖I (a)中B-B剖視 圖I (c)為圖I (a)中A-A首I]視圖。圖中，工質(zhì)液體I、工質(zhì)蒸汽2、微槽柱3、密封腔體4和翅片散熱器5。
具體實(shí)施例方式如圖I所示，微槽柱群散熱器包括工質(zhì)液體I、工質(zhì)蒸汽2、微槽柱3、密封腔體4和翅片散熱器5 ;密封腔體4底部設(shè)有多根微槽柱3、工質(zhì)液體1，密封腔體4上部設(shè)有翅片散熱器5,翅片散熱器5下方設(shè)有工質(zhì)蒸汽2。所述的密封腔體4內(nèi)的壓力所對(duì)應(yīng)的工質(zhì)蒸汽2的汽液相變溫度為-20°c 200°C。工質(zhì)液體和工質(zhì)蒸汽可以為同一種物質(zhì)，也可以為多種物質(zhì)的混合物。所述的微槽柱3，的表面設(shè)有微槽，微槽的寬度為O. Olmm 1mm，微槽的深度
O.Olmm 1mm。微槽柱的截面形狀可以為圓形、方形、十字形、米字型等多種形式。
本發(fā)明的發(fā)熱體與微槽柱群散熱器在有工質(zhì)液體存在的一個(gè)面相連接。發(fā)熱體的熱量通過(guò)腔體壁面?zhèn)鲗?dǎo)到工質(zhì)液體以及微槽柱群。工質(zhì)液體受熱發(fā)生蒸發(fā)或沸騰，形成工質(zhì)蒸汽。微槽柱群利用液體的表面張力將工質(zhì)液體拉升到柱 表面，促進(jìn)工質(zhì)液體的蒸發(fā)。工質(zhì)蒸汽將熱量帶到腔體有翅片的一面，翅片將熱量排放給空氣，使得工質(zhì)蒸汽得到冷卻重新冷凝為液體，回到受熱面。有效解決了較小接觸面積內(nèi)較大熱流密度的發(fā)熱物體的冷卻問(wèn)題。
權(quán)利要求
1.一種微槽柱群散熱器，其特征在于包括工質(zhì)液體(I)、工質(zhì)蒸汽(2)、微槽柱(3)、密封腔體(4 )和翅片散熱器(5 );密封腔體(4 )底部設(shè)有多根微槽柱(3 )、工質(zhì)液體(I)，密封腔體(4)上部設(shè)有翅片散熱器(5),翅片散熱器(5)下方設(shè)有工質(zhì)蒸汽(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種微槽柱群散熱器，其特征在于所述的密封腔體(4)內(nèi)的壓力所對(duì)應(yīng)的工質(zhì)蒸汽(2)的汽液相變溫度為-20°C 200°C。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種微槽柱群散熱器，其特征在于所述的微槽柱(3),的表面設(shè)有微槽，微槽的寬度為O. Olmm Imm,微槽的深度O. Olmm 1mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種微槽柱群散熱器，其特征在于所述的工質(zhì)液體(I)液面高度低于微槽柱(3)的高度。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種微槽柱群散熱器。它包括工質(zhì)液體、工質(zhì)蒸汽、微槽柱、密封腔體和翅片散熱器；密封腔體底部設(shè)有多根微槽柱、工質(zhì)液體，密封腔體上部設(shè)有翅片散熱器，翅片散熱器下方設(shè)有工質(zhì)蒸汽。所述的密封腔體內(nèi)的壓力所對(duì)應(yīng)的工質(zhì)蒸汽的汽液相變溫度為-20℃～200℃。所述的微槽柱，的表面設(shè)有微槽，微槽的寬度為0.01mm～1mm，微槽的深度0.01mm～1mm。所述的工質(zhì)液體液面高度低于微槽柱的高度。本發(fā)明可以解決較小接觸面積內(nèi)較大熱流密度的發(fā)熱物體的冷卻問(wèn)題。
文檔編號(hào)H05K7/20GK102931153SQ20121044327
公開(kāi)日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月8日
發(fā)明者孫大明, 沈愜, 陳雷 申請(qǐng)人:浙江大學(xué), 杭州鋒能科技有限公司