專利名稱：噴淋裝置以及藥水槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電路板生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及電路板生產(chǎn)過程中所使用的噴淋裝置。
技術(shù)背景
在印制電路板加工的過程中，因?yàn)樯a(chǎn)加工條件要求較高，所以經(jīng)常需要清 洗藥水槽內(nèi)壁的異物，以確保產(chǎn)品的良率較高，例如在進(jìn)行DES(DeVel0ping Etching Gripping，線路板制作加工)、水平電鍍線、前處理線的過程中，都需要清洗藥水槽內(nèi)壁的 異物，如圖1所示，顯影槽、蝕刻槽、去膜槽這些藥水槽都需要進(jìn)行清洗，因此對(duì)藥水槽內(nèi)壁 的清洗在印制電路板加工的過程中是較常用的一個(gè)步驟。
圖加為顯影槽、蝕刻槽、去膜槽等藥水槽中進(jìn)行藥水噴灑的噴管設(shè)置示意圖，為 清楚顯示噴管設(shè)置，圖加中并未示出電路板和電路板的傳送裝置。圖2b為藥水槽的側(cè)視 圖，在傳送裝置202的傳送作用下，電路201板進(jìn)入藥水槽由上下兩排噴管203進(jìn)行藥水的 噴灑。
目前通常對(duì)藥水槽內(nèi)壁進(jìn)行清洗的方法主要是清潔人員使用高壓水槍進(jìn)行噴洗， 通過此種清洗方法通常清洗的效果不佳，并且形成了較多死區(qū)，使用這種清洗方法也較難 將藥水槽內(nèi)壁的死區(qū)清洗干凈，同時(shí)花費(fèi)的清洗時(shí)間也較長(zhǎng)，清洗效率很低。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供一種噴淋裝置以及藥水槽，以提高對(duì)藥水槽內(nèi)壁清洗的效率。
本發(fā)明實(shí)施例提供一種噴淋裝置，包括至少一個(gè)噴淋管，其設(shè)置在藥水槽內(nèi)并且 與輸送清洗液的軟管連接，每個(gè)噴淋管上設(shè)置有至少一個(gè)噴嘴；
控制裝置，其連接所述噴淋管并用于控制所述噴淋管在清洗所述藥水槽內(nèi)壁時(shí)繞 噴淋管軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明實(shí)施例還提供一種藥水槽，包括本發(fā)明實(shí)施例提供的噴淋裝置。
本發(fā)明實(shí)施例提供一種噴淋裝置以及藥水槽，通過在藥水槽內(nèi)設(shè)置用來清洗藥水 槽內(nèi)壁的噴淋管，在需要進(jìn)行藥水槽內(nèi)壁的清洗時(shí)，只需要開啟該噴淋裝置，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)藥 水槽內(nèi)壁的清洗，并且噴淋管在清洗藥水槽內(nèi)壁時(shí)還可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而提高清洗效率，并 達(dá)到較佳的清洗效果。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)行線路板制作加工的線路示意圖加和圖2b為現(xiàn)有技術(shù)中藥水槽的結(jié)構(gòu)示意圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的噴淋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的噴嘴間距示意圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的噴嘴規(guī)格示意圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的噴嘴噴口形狀示意圖7a和圖7b為本發(fā)明實(shí)施例提供的控制裝置結(jié)構(gòu)示意圖之一；
圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的控制裝置結(jié)構(gòu)示意圖之二。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明實(shí)施例提供一種噴淋裝置以及藥水槽，在藥水槽內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)可以預(yù)定 角度旋轉(zhuǎn)的噴淋管，在進(jìn)行藥水槽內(nèi)壁的清洗時(shí)，通過噴淋管上設(shè)置的噴嘴進(jìn)行清洗液的 噴灑，由于噴淋管的旋轉(zhuǎn)，使得噴淋角度更加全面，進(jìn)而達(dá)到較佳的清洗效果，并且使用該 噴淋裝置進(jìn)行藥水槽內(nèi)壁的清洗，更加方便快捷，提高了清洗效率。
如圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的噴淋裝置，包括至少一個(gè)設(shè)置在藥水槽內(nèi)并與 輸送清洗液的軟管304連接的噴淋管301，每個(gè)噴淋管301上設(shè)置有至少一個(gè)噴嘴302 ；以 及
控制裝置303，其連接噴淋管301并用于控制噴淋管301在清洗藥水槽內(nèi)壁時(shí)繞噴 淋管301軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
噴淋管301的位置在藥水槽內(nèi)壁附近較佳，這樣可以更好的清洗藥水槽內(nèi)壁，并 且對(duì)藥水槽內(nèi)部部件的影響較小。
噴淋管301和噴嘴302的設(shè)置應(yīng)當(dāng)確保能夠?qū)⑶逑匆簢姙⒌叫枰逑吹乃幩蹆?nèi) 壁，若藥水槽較大，則應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況設(shè)置更多個(gè)噴淋管301，也可以在噴淋管301上設(shè)置 更多個(gè)噴嘴302，以保證能夠有效地清洗藥水槽。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，在包括多個(gè)噴淋管301時(shí)，還可以使得其中至少兩組的 噴淋管301能夠互相清洗，以實(shí)現(xiàn)更好的清洗效果。
在本發(fā)明各實(shí)施例中，由于通過噴淋管301輸送清洗液，再由噴嘴302進(jìn)行噴灑， 從而方便地清洗藥水槽，由于噴淋管301在清洗藥水槽內(nèi)壁時(shí)繞噴淋管301軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 所以使得藥水槽的內(nèi)壁可以較全面的得到清洗，由于所設(shè)置的噴淋管301和噴嘴302數(shù)量 使得清洗液能夠噴灑到所有需要清洗的藥水槽內(nèi)壁部位，從而提高了清洗效率。
為保證獲得較佳的清洗效果，通常噴淋管301與軟管304之間、噴淋管301與噴嘴 302之間，都進(jìn)行密封連接，軟管304還連接用于將清洗液加壓送入噴淋管301的泵，從而使 得清洗液在一定的壓力下從噴嘴302噴出，從而更有效的去除藥水槽內(nèi)壁的異物。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，還可以在軟管上設(shè)置用于控制清洗液流速的流速控制 閥，從而靈活的控制清洗液的流速，實(shí)現(xiàn)有效的清洗較難清洗的部位或者節(jié)約清洗液；也可 以在軟管上設(shè)置用于控制清洗液壓力的壓力控制閥，在清洗較難清洗的部位時(shí)，可以適當(dāng) 增加清洗液壓力，實(shí)現(xiàn)有效的清洗。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，噴淋管301的長(zhǎng)度可設(shè)置為其貼近的藥水槽內(nèi)壁長(zhǎng)度的 90% -100%，這樣即可更好的保證將清洗液噴灑到整個(gè)藥水槽內(nèi)壁。
噴淋管301可以通過定滑輪安裝在藥水槽內(nèi)，也可以通過凸輪等其它的可以使得 噴淋管301可以繞其軸線旋轉(zhuǎn)的方式安裝噴淋管301。
噴淋管301上所設(shè)置的噴嘴302越多，當(dāng)然清洗效果就越好，但是為了避免不必要 的浪費(fèi)同時(shí)又保證較好的清洗效果，噴淋管301上所設(shè)置的噴嘴302只要能夠噴灑到整個(gè) 內(nèi)壁即可，通常由于噴嘴302所噴出的液體為扇形，那么即可根據(jù)噴嘴302與藥水槽內(nèi)壁的 距離合理的設(shè)置噴嘴302間的間距。5
如圖4所示，一種較佳的實(shí)施方式為，當(dāng)噴淋管301上設(shè)置有多個(gè)噴嘴302時(shí)，噴 淋管301上的噴嘴302之間間隔a為20-50厘米，當(dāng)噴嘴302離該噴淋管301清洗的內(nèi)壁 距離較近、所噴灑液體的扇形角度又不大時(shí)，即可將噴嘴302之間間隔設(shè)置的較小，從而達(dá) 到較佳的清洗效果，當(dāng)噴嘴302離該噴淋管301清洗的內(nèi)壁距離較遠(yuǎn)，所噴灑液體的扇形角 度又較大時(shí)，即可將噴嘴302之間間隔設(shè)置的較大，從而節(jié)省裝置成本和清洗藥水槽內(nèi)壁 的清洗液。
優(yōu)選地，噴嘴302的噴口所噴出的清洗液的發(fā)散角度為30-60度，當(dāng)然，可以根據(jù) 實(shí)際情況選擇所噴出的清洗液的發(fā)散角度更加合適的噴嘴302。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，噴嘴302的長(zhǎng)度可以根據(jù)藥水槽內(nèi)部的實(shí)際情況進(jìn)行設(shè) 定，噴嘴302長(zhǎng)度較大時(shí)，可以保證噴到藥水槽內(nèi)壁上的清洗液保存了一定的壓力，但是由 于藥水槽內(nèi)部空間有限，當(dāng)噴嘴302長(zhǎng)度較大時(shí)，由于藥水槽內(nèi)壁以及藥水槽內(nèi)部部件，會(huì) 限制噴淋管301進(jìn)行較大角度的旋轉(zhuǎn)，所以在選擇噴嘴302長(zhǎng)度時(shí)，應(yīng)該綜合考慮，既保證 噴灑在藥水槽內(nèi)壁上的清洗液的水壓，又保證在噴淋管301進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，噴嘴302不會(huì)碰到 藥水槽內(nèi)壁和藥水槽中的噴管等其它設(shè)備。
如圖5所示，在本發(fā)明的各實(shí)施例中，優(yōu)選地，為減少噴灑壓力的消耗，噴嘴302與 噴淋管301的連接處的直徑可與噴淋管301直徑相同，噴嘴302長(zhǎng)度L為2_15厘米較佳，通 常如果360度旋轉(zhuǎn)，則設(shè)置為藥水槽內(nèi)部空閑空間寬度的40-50 %，若只需180度旋轉(zhuǎn)，則可 設(shè)置為藥水槽內(nèi)部空閑空間寬度的90%以上?？傮w的設(shè)置原則是，當(dāng)藥水槽較小或者內(nèi)部 其它裝置較多時(shí)，就可以將噴嘴302長(zhǎng)度設(shè)置的較小，通過增大清洗液的噴灑壓力來補(bǔ)償 從噴嘴302到內(nèi)壁間損失的壓力；當(dāng)藥水槽較大或者內(nèi)部其它裝置較少時(shí)，就可以將噴嘴 302長(zhǎng)度設(shè)置的較大，從而使得噴灑到內(nèi)壁上的清洗液壓力盡量大，從而達(dá)到較好的清洗效^ ο
為保證噴嘴302所噴灑的清洗液的壓力，噴嘴302噴口為圓形時(shí)，其直徑b為1_3 厘米較佳，同樣道理，在噴淋管301內(nèi)液體壓力相同時(shí)，直徑較大的噴口噴灑的清洗液力量 較小，而直徑較小的噴口噴灑的清洗液力量較大，有助于達(dá)到較好的清洗效果，但是如果噴 嘴302噴口的直徑過小，則難以滿足大的噴淋的范圍，所以通常噴嘴302噴口直徑b為1-3 厘米時(shí)，可以達(dá)到較佳的效果，當(dāng)然本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況對(duì)噴嘴302噴口的 直徑進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。
更進(jìn)一步，如圖6所示，噴嘴302的噴口可以設(shè)置成長(zhǎng)度c為1_3厘米的扁平形 狀，由于噴淋管301在進(jìn)行清洗液的噴灑時(shí)圍繞噴淋管軸線旋轉(zhuǎn)，所以噴嘴302的噴口設(shè)置 為扁平形狀，即噴口形狀為矩形，矩形的長(zhǎng)邊優(yōu)選地與噴淋管301平行，矩形長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度為 1-3厘米較佳，這樣可以使得清洗液僅在由噴淋管301和噴嘴302限定的平面上呈扇形展 開，不向其它方向展開噴灑，既保證了清洗液能夠噴灑到整個(gè)藥水槽內(nèi)壁，同時(shí)又盡可能的 增加了清洗液的噴出壓力。
控制噴淋管301旋轉(zhuǎn)的控制裝置303可以由電機(jī)帶動(dòng)，也可以由人力操縱，噴淋管 301在控制裝置303的控制下可沿恒定方向連續(xù)旋轉(zhuǎn)或者在預(yù)定角度范圍內(nèi)往復(fù)旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明實(shí)施例提供如下兩種機(jī)械類控制裝置303
一種控制裝置303可以控制噴淋管301進(jìn)行360°的旋轉(zhuǎn)，如圖7a和圖7b所示，該 控制裝置303具體包括第一控制桿701、與噴淋管301數(shù)量相同的搖擺桿702和轉(zhuǎn)子703，第一控制桿701通過搖擺桿702連接轉(zhuǎn)子703，轉(zhuǎn)子703均在第一控制桿701的擺動(dòng)控制下 繞中心轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)子703的中心固定連接相應(yīng)的噴淋管301，噴淋管301與轉(zhuǎn)子703的旋轉(zhuǎn)面 垂直，這樣即可通過第一控制桿701的擺動(dòng)使噴淋管301進(jìn)行360°的旋轉(zhuǎn)，圖7b中示出 了第一控制桿701、搖擺桿702和轉(zhuǎn)子703的連接關(guān)系，在第一控制桿701擺動(dòng)時(shí)，轉(zhuǎn)子703 在搖擺桿702的作用下繞轉(zhuǎn)子703的中心轉(zhuǎn)動(dòng)。第一控制桿701既可以在電機(jī)的控制下擺 動(dòng)，也可以由人力控制擺動(dòng)。
使用該控制裝置303進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制時(shí)，為防止軟管304纏繞在噴淋管301上，可以 將軟管304與噴淋管301活動(dòng)連接，或者在噴淋管301進(jìn)行順時(shí)針旋轉(zhuǎn)預(yù)定的圈數(shù)后，再控 制噴淋管301逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)預(yù)定的圈數(shù)。
另一種控制裝置303可以控制噴淋管301進(jìn)行一定角度的旋轉(zhuǎn)，如圖8所示，該控 制裝置303具體包括第二控制桿801、搖擺桿802、轉(zhuǎn)子803和轉(zhuǎn)軸804，第二控制桿801與 至少一個(gè)噴淋管301垂直并接觸連接，以及通過搖擺桿802連接轉(zhuǎn)子803，轉(zhuǎn)軸804垂直于 轉(zhuǎn)子803的旋轉(zhuǎn)面并固定連接在轉(zhuǎn)子803的中心。第一控制桿801、搖擺桿802和轉(zhuǎn)子803 的連接與圖7b中所示相同，這樣即可通過轉(zhuǎn)軸804的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)子803轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而通過搖 擺桿帶動(dòng)第二控制桿801擺動(dòng)，第二控制桿801與至少一個(gè)噴淋管301垂直并接觸連接，這 樣噴淋管301即在第二控制桿801的控制下轉(zhuǎn)動(dòng)，第二控制桿801擺動(dòng)的幅度大時(shí)，噴淋管 301旋轉(zhuǎn)的角度就較大，第二控制桿801擺動(dòng)的幅度小時(shí)，噴淋管301旋轉(zhuǎn)的角度就較小，通 過搖擺桿802連接轉(zhuǎn)子803的位置即可方便的進(jìn)行調(diào)節(jié)，若搖擺桿802連接轉(zhuǎn)子803的位 置離轉(zhuǎn)子803中心較近，則第二控制桿801擺動(dòng)的幅度較小，反之，若搖擺桿802連接轉(zhuǎn)子 803的位置離轉(zhuǎn)子803圓心較遠(yuǎn)，第二控制桿801擺動(dòng)的幅度較大。當(dāng)然，轉(zhuǎn)軸804的轉(zhuǎn)動(dòng) 既可以由電機(jī)控制，也可以由人力控制。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，還可以在轉(zhuǎn)軸804上固定設(shè)置定滑輪805，將轉(zhuǎn)軸804穿 過定滑輪805的中心并固定，以便于通過定滑輪805控制轉(zhuǎn)軸804的轉(zhuǎn)動(dòng)。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，第二控制桿801與至少一個(gè)噴淋管301的接觸連接還可 以是通過齒輪嚙合的，在第二控制桿801與噴淋管301接觸處設(shè)置條形齒輪，相應(yīng)的在噴淋 管301與第二控制桿801接觸處設(shè)置圓形或弧形齒輪，設(shè)置在第二控制桿801上的齒輪與 設(shè)置在噴淋管301上的齒輪嚙合，這樣可以進(jìn)一步防止摩擦力不足以帶動(dòng)噴淋管301旋轉(zhuǎn) 的情況出現(xiàn)，進(jìn)而使得噴淋管301嚴(yán)格按照預(yù)期的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)對(duì)藥水槽內(nèi)壁的充 分清潔。
控制裝置303還可以通過控制所述第一控制桿的擺動(dòng)速度或轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，來 控制噴淋管301的旋轉(zhuǎn)速度，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)藥水槽內(nèi)壁的有效清潔。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，控制裝置303也可以采用單片機(jī)等電子控制設(shè)備來實(shí) 現(xiàn)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)較復(fù)雜的控制功能，例如定時(shí)開啟和關(guān)閉噴淋裝置等。
由于在藥水槽中，有一些部位容易殘留污垢，并且不容易被清洗到，構(gòu)成了清洗的 死區(qū)，例如藥水槽中的噴管、傳送裝置以及藥水槽內(nèi)的角落等，為了更加有效的清洗這樣的 死區(qū)，可以由控制裝置303控制噴淋管301在噴嘴能夠清洗到死區(qū)的范圍內(nèi)更慢的旋轉(zhuǎn)，從 而使得死區(qū)的沖洗時(shí)間更長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)有效的清洗死區(qū)。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，還可以通過控制裝置303對(duì)流速控制閥的控制，使得在 噴淋管301旋轉(zhuǎn)至可以清洗到死區(qū)的角度區(qū)域時(shí)，增大清洗液的流速，實(shí)現(xiàn)對(duì)死區(qū)的有效清洗。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，還可以通過控制裝置303對(duì)壓力控制閥的控制，使得在 噴淋管301旋轉(zhuǎn)至可以清洗到死區(qū)的角度區(qū)域時(shí)，增大所噴出的清洗液的壓力，進(jìn)而實(shí)現(xiàn) 對(duì)死區(qū)的有效清洗。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，可以在藥水槽中設(shè)置傳感器，該傳感器可以定時(shí)或者實(shí) 時(shí)檢測(cè)藥水槽內(nèi)壁及其它需要清洗的部位的清潔度，并可以重點(diǎn)檢測(cè)死區(qū)的清潔度，在檢 測(cè)后，將檢測(cè)結(jié)果發(fā)送給控制裝置303 ；控制裝置303在接收到傳感器發(fā)送的檢測(cè)結(jié)果后， 可以根據(jù)檢測(cè)結(jié)果來控制噴淋管301旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)角度等參數(shù)。
控制裝置303還可以在接收到傳感器發(fā)送的檢測(cè)結(jié)果后，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果實(shí)時(shí)控制 噴淋裝置開啟和關(guān)閉，以實(shí)現(xiàn)對(duì)藥水槽的自動(dòng)清洗，對(duì)噴淋裝置開啟和關(guān)閉的控制，可以通 過調(diào)節(jié)流速控制閥實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明實(shí)施例還提供一種較佳的噴淋裝置，如圖8所示，該噴淋裝置中包括兩個(gè) 噴淋管301，分別設(shè)置在藥水槽頂部的兩個(gè)長(zhǎng)棱附近，即設(shè)置在藥水槽頂面的兩個(gè)長(zhǎng)邊附 近，這樣既節(jié)省了噴淋管301的數(shù)量，又使得藥水槽的內(nèi)壁都能夠得到?jīng)_洗，當(dāng)旋轉(zhuǎn)角度較 小時(shí)，可能沖洗不到藥水槽的頂面，但是由于藥水槽的頂面通常異物污染較少，因此可以不 進(jìn)行清洗。同時(shí)，在藥水槽頂部的兩個(gè)長(zhǎng)棱處設(shè)置噴淋管301，也進(jìn)一步便于噴淋管301的 旋轉(zhuǎn)，防止噴嘴302碰到藥水槽內(nèi)的噴管等設(shè)備，噴淋管301上的噴嘴302間的間距以及噴 嘴302的規(guī)格根據(jù)實(shí)際情況確定，并采用本發(fā)明實(shí)施例提供的通過第二控制桿801帶動(dòng)噴 淋管301旋轉(zhuǎn)的控制裝置303。
在本發(fā)明的各實(shí)施例中，噴淋裝置中的泵以及控制裝置303還可以通過程序控 制，在需要清洗時(shí)自動(dòng)噴灑清洗液，對(duì)藥水槽內(nèi)壁進(jìn)行清洗。
本發(fā)明實(shí)施例還提供一種藥水槽，該藥水槽中包括本發(fā)明實(shí)施例提供的噴淋裝 置，該噴淋裝置具體包括至少一個(gè)噴淋管301，其設(shè)置在藥水槽內(nèi)并且與輸送清洗液的軟 管304連接，每個(gè)噴淋管301上設(shè)置有至少一個(gè)噴嘴302 ；以及控制裝置303，連接噴淋管 301并用于控制噴淋管301在清洗藥水槽內(nèi)壁時(shí)繞噴淋管301軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
該藥水槽具體為線路板制作加工線路中的顯影槽、蝕刻槽或者去膜槽，當(dāng)然也可 以是線路板制作加工過程中所使用到的其它藥水槽。
本發(fā)明實(shí)施例提供一種噴淋裝置以及藥水槽，通過在藥水槽內(nèi)設(shè)置用來清洗藥水 槽內(nèi)壁的噴淋管301，在需要進(jìn)行藥水槽內(nèi)壁的清洗時(shí)，只需要開啟該噴淋裝置，即可實(shí)現(xiàn) 對(duì)藥水槽內(nèi)壁的清洗，并且噴淋管301在清洗藥水槽內(nèi)壁時(shí)還可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而提高清 洗效率，并達(dá)到較佳的清洗效果。
在本發(fā)明提供的實(shí)施例中，噴淋管的旋轉(zhuǎn)速度、噴嘴的構(gòu)造和分布、清洗液的流速 和壓力等控制參數(shù)可以綜合考慮，并根據(jù)需要相互結(jié)合，以實(shí)現(xiàn)高效清洗。
顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精 神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍 之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。8
權(quán)利要求
1.一種噴淋裝置，包括至少一個(gè)噴淋管，其設(shè)置在藥水槽內(nèi)并且與輸送清洗液的軟管連接，每個(gè)噴淋管上設(shè) 置有至少一個(gè)噴嘴；控制裝置，其連接所述噴淋管并用于控制所述噴淋管在清洗所述藥水槽內(nèi)壁時(shí)繞噴淋 管軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管和所述噴嘴具有以下特征 中的至少一種所述噴淋管的長(zhǎng)度是與其貼近的藥水槽內(nèi)壁的長(zhǎng)度的90-100% ； 所述噴嘴從所述噴淋管的一端至另一端均勻分布；所述噴嘴在所述噴淋管上在能夠清洗到死區(qū)的部位比在其它部位更密地分布；當(dāng)所述噴淋管上設(shè)置有多個(gè)噴嘴時(shí)，所述噴淋管上的噴嘴之間間隔20-50厘米；所述噴嘴的長(zhǎng)度為2-15厘米；所述噴嘴的噴口的形狀為圓形，直徑為1-3厘米；所述噴嘴的噴口的形狀為矩形，且優(yōu)選地所述矩形的長(zhǎng)為1-3厘米；所述噴嘴的噴口的發(fā)散角度為30-60度；所述噴淋管沿恒定方向連續(xù)旋轉(zhuǎn)或者在預(yù)定角度范圍內(nèi)往復(fù)旋轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的噴淋裝置，其特征在于，所述軟管還連接用于將清洗液加壓 送入噴淋管的泵。
4.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的噴淋裝置，其特征在于，在所述軟管中設(shè)置有用于 控制清洗液流速的流速控制閥、和/或用于控制清洗液壓力的壓力控制閥。
5.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的噴淋裝置，其特征在于，所述控制裝置控制所述噴淋管在所述噴嘴能夠清洗到死區(qū)的范圍更慢地旋轉(zhuǎn)，且優(yōu)選 地通過凸輪實(shí)現(xiàn)所述控制；和/或所述控制裝置控制流速控制閥在所述噴嘴能夠清洗到死區(qū)的范圍使所述清洗液以更 高流速流動(dòng)和噴出；和/或所述控制裝置控制壓力控制閥在所述噴嘴能夠清洗到死區(qū)的范圍使所述清洗液以更 高壓力流動(dòng)和噴出。
6.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管包括至少兩組， 且所述至少兩組噴淋管能夠互相清洗。
7.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的噴淋裝置，其特征在于，還包括傳感器，用于定時(shí) 地或?qū)崟r(shí)地檢測(cè)藥水槽內(nèi)壁的清潔度、特別是檢測(cè)所述死區(qū)的清潔度，并將檢測(cè)結(jié)果發(fā)送 到所述控制裝置；所述控制裝置還用于根據(jù)所述檢測(cè)結(jié)果控制所述噴淋管在清洗所述藥水槽內(nèi)壁時(shí)繞 噴淋管軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
8.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的噴淋裝置，其特征在于，所述控制裝置還用于定 時(shí)控制所述噴淋裝置開啟和關(guān)閉；或者根據(jù)從傳感器發(fā)來的藥水槽內(nèi)壁的清潔度檢測(cè)結(jié)果 而實(shí)時(shí)控制所述噴淋裝置的開啟和關(guān)閉。
9.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的噴淋裝置，其特征在于，所述控制裝置包括第一控制桿、與所述噴淋管數(shù)量相同的搖擺桿和轉(zhuǎn)子，所述第一控制桿通過所述搖擺桿連接所述轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)子均在所述第一控制桿的控制下繞所述轉(zhuǎn)子 的中心轉(zhuǎn)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)子的中心固定連接相應(yīng)的噴淋管，所述噴淋管與所述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)面垂 直；或者所述控制裝置包括第二控制桿、搖擺桿、轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)軸，所述第二控制桿與所述至少一 個(gè)噴淋管垂直并接觸連接，并且所述第二控制桿通過所述搖擺桿連接所述轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)軸 垂直于所述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)面并固定連接在所述轉(zhuǎn)子的中心。
10.如權(quán)利要求9所述的噴淋裝置，其特征在于，所述第二控制桿與所述至少一個(gè)噴淋 管接觸連接具體為所述第二控制桿與所述至少一個(gè)噴淋管通過齒輪嚙合。
11.如權(quán)利要求9或10所述的噴淋裝置，其特征在于，所述控制裝置還用于控制所述第 一控制桿的擺動(dòng)速度或轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)速度。
12.一種藥水槽，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-11任一所述的噴淋裝置，所述藥水槽 優(yōu)選地為顯影槽、蝕刻槽或者去膜槽。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種噴淋裝置以及藥水槽，涉及電路板生產(chǎn)領(lǐng)域。本發(fā)明實(shí)施例提供的噴淋裝置包括至少一個(gè)設(shè)置在藥水槽內(nèi)并與輸送清洗液的軟管連接的噴淋管，每個(gè)噴淋管上設(shè)置有至少一個(gè)噴嘴，還包括連接所述噴淋管并用于控制所述噴淋管在清洗所述藥水槽內(nèi)壁時(shí)繞噴淋管軸線進(jìn)行預(yù)設(shè)角度旋轉(zhuǎn)的控制裝置。由于在藥水槽內(nèi)設(shè)置用來清洗藥水槽內(nèi)壁的噴淋裝置，在需要進(jìn)行藥水槽內(nèi)壁的清洗時(shí)，只需要開啟噴淋裝置，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)藥水槽內(nèi)壁的清洗，并且噴淋管在清洗藥水槽內(nèi)壁時(shí)還可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而提高清洗效率，并達(dá)到較佳的清洗效果。
文檔編號(hào)H05K3/00GK102036485SQ201010504138
公開日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2010年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者陳文德, 陳臣 申請(qǐng)人:北大方正集團(tuán)有限公司, 珠海方正科技多層電路板有限公司富山分公司