專利名稱：蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電路板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于電路板蝕刻工藝的蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法。
背景技術(shù)：
隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展，電路板集成度越來越高，電路板的導(dǎo)電線路制作得越來越精細(xì)，這要求同一電路板的導(dǎo)電線路的尺寸公差盡可能小，即蝕刻制程中的蝕刻效果
需盡可能保持一致。蝕刻生產(chǎn)線的自動化程度較高，成本較低，在電路板生產(chǎn)中得以廣泛使用。該工藝采用水平滾輪帶動電路基板，利用設(shè)有多個噴嘴的直線形噴管式蝕刻裝置向電路基板噴灑蝕刻液。然而，使用該蝕刻裝置對電路基板蝕刻時，由于每個噴管設(shè)置噴嘴個數(shù)和長度的一致，會使蝕刻液自電路基板的邊緣區(qū)流出板外，從而電路板邊緣區(qū)域蝕刻液更新速率較快， 而在電路基板中央?yún)^(qū)域積留，形成水池，產(chǎn)生水池效應(yīng)。該水池效應(yīng)會使電路基板中央?yún)^(qū)域的蝕刻液更新較慢，積留的蝕刻液膜會降低對線路的咬蝕量，容易發(fā)生線路蝕刻不足，而電路基板邊緣區(qū)部分的蝕刻液流動速度快，更新較快，容易發(fā)生線路過蝕。即，該水池效應(yīng)會導(dǎo)致電路基板蝕刻不均勻，尤其容易導(dǎo)致最終制得的電路板的線路寬度不均，且中央?yún)^(qū)域的導(dǎo)電線路連線。為獲得足夠線寬，不得不對電路板邊緣區(qū)的線路預(yù)留多余線寬，大大降低了電路板的線路密度。因此，有必要提供一種可提升電路板蝕刻均勻性的蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法。

發(fā)明內(nèi)容
以下以實施例為例說明一種可提高蝕刻均勻性蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法。一種蝕刻裝置，用于噴灑蝕刻液以蝕刻電路板，所述蝕刻裝置包括多根噴管、多個感測器及一個控制器。多個噴管沿垂直于電路板的傳送方向依次平行排列，每個所述噴管包括設(shè)置于其上的噴嘴和閥門，沿著電路板的傳送方向各噴管上的噴嘴的數(shù)量依次逐漸增加，各根噴管上相鄰的兩個噴嘴的間距均相等，每個所述噴管上的噴嘴均關(guān)于垂直于所述多根噴管的同一條直線對稱分布，所述閥門用于控制與其位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。多個感測器與多個噴管一一對應(yīng)，所述感測器用于感測電路板與所述感測器對應(yīng)的噴管的位置關(guān)系。所述控制器與多個感測器及多個閥門電連接，所述控制器用于根據(jù)所述感測器的感測結(jié)果控制與該感測器對應(yīng)的閥門的開啟和關(guān)閉，從而控制與所述閥門位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液?！N蝕刻電路板的方法，包括步驟提供所述的蝕刻裝置；提供電路板，所述電路板具有需進(jìn)行蝕刻的第一表面；將電路板的第一表面與多個噴管的噴嘴相對，并驅(qū)使電路板進(jìn)行移動，在垂直于電路板的移動方向，電路板具有相對的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊，所述控制器設(shè)定有所述第一側(cè)邊經(jīng)過每個所述噴管后第一側(cè)邊與每個所述噴管的距離及所述第二側(cè)邊未經(jīng)過每個所述噴管前第二側(cè)邊與每個所述噴管的距離，采用多個感測器感測其對應(yīng)的噴管與所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊的位置關(guān)系，并將感測的結(jié)果傳送至控制器，當(dāng)所述第一側(cè)邊經(jīng)過每個感測器對應(yīng)的噴管后第一側(cè)邊與所述感測器對應(yīng)的噴管距離大于所述控制器設(shè)定的第一側(cè)邊經(jīng)過所述感測器對應(yīng)的噴管后第一側(cè)邊與所述感測器對應(yīng)的噴管的距離時，控制器控制與感測器對應(yīng)的閥門的開啟，當(dāng)所述第二側(cè)邊未經(jīng)過所述感測器對應(yīng)的噴管前且第二側(cè)邊與所述感測器對應(yīng)的噴管的距離小于所述控制器設(shè)定的所述第二側(cè)邊未經(jīng)過所述感測器對應(yīng)的噴管前第二側(cè)邊與所述感測器對應(yīng)的噴管的距離時，所述控制器控制與所述感測器對應(yīng)的閥門的關(guān)閉。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)方案提供的蝕刻裝置，其包括的多根噴管上的噴嘴呈等腰三角形或等腰梯形排列，并且每個噴管設(shè)置有控制閥門，能夠進(jìn)行電路板蝕刻過程中，通過控制閥門控制噴管是否噴灑蝕刻液，進(jìn)而可以控制各噴管在電路板表面噴灑蝕刻液的區(qū)域，以達(dá)到提升電路板蝕刻均勻性。本技術(shù)方案提供的電路板蝕刻方法，在對電路板進(jìn)行蝕刻時，電路板的中間區(qū)域噴灑蝕刻液時間較長，電路板的邊緣區(qū)域噴灑蝕刻液的時間較少， 可以使得電路板的中間區(qū)域能夠與更多的新鮮蝕刻液接觸，防止了電路板中間區(qū)域的水池效應(yīng)。電路板邊緣區(qū)域噴灑蝕刻液時間較少，可以防止電路板邊緣區(qū)域產(chǎn)生過蝕，從而可以有效地提升電路板蝕刻的均勻性。


圖1是本技術(shù)方案第一實施例提供的蝕刻裝置的示意圖。圖2是本技術(shù)方案第二實施例提供的蝕刻裝置的示意圖。圖3是本技術(shù)方案第三實施例提供的蝕刻裝置進(jìn)行蝕刻電路板的示意圖。圖4是本技術(shù)方案第三實施例提供的各噴管在電路板表面噴灑蝕刻液的區(qū)域變化示意圖。主要元件符號說明電路板第一表面第一側(cè)邊第二側(cè)邊蝕刻裝置傳送裝置上滾輪下滾輪輸液裝置輸液管第一噴管第一噴嘴第一閥門第一管體第二噴管
10 11 12 13 100,200 101,201 1011 1012 110,210 111 120,220 121,221 122,222 123
130,230
第二噴嘴131、231
第二閥門132、232
第二管體133
第三噴管140、240
第三噴嘴141、241
第三閥門142、242
第三管體143
第四噴管150、250
第四噴嘴151、251
第四閥門152、252
第四管體153
第五噴管160、260
第五噴嘴161、261
第五閥門162、262
第五管體163
第六噴管170、270
第六噴嘴171、271
第六閥門172、272
第六管體173
第一感測器181、281
第二感測器182、282
第三感測器183、283
第四感測器184、284
第五感測器185、285
第六感測器186、286
控制器190、290
第一輸液管211
第二輸液管21具體實施例方式以下結(jié)合多個附圖及多個實施例對本技術(shù)方案提供的蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法進(jìn)行詳細(xì)說明。請參閱圖1，本技術(shù)方案第一實施例提供的蝕刻裝置100包括輸液裝置110、第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170、第一感測器181、第二感測器182、第三感測器183、第四感測器184、第五感測器185、第六感測器 186、控制器190及傳送裝置101。本實施例中，輸液裝置110包括輸液管111。輸液管111用于向第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170供應(yīng)蝕刻液。當(dāng)然， 輸液管111上可以安裝有閥門，用于控制蝕刻液是否流入輸液管111，并調(diào)節(jié)輸液管111內(nèi)蝕刻液的流速。第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170相互平行設(shè)置，并均與輸液管111相互連通。本實施例中，第一噴管120、第二噴管 130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170均垂直于輸液管111且長度相等。第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管 170的長度與待蝕刻的電路板的長度相等或者略大于待蝕刻的電路板的長度。在進(jìn)行電路板蝕刻時，輸液管111的延伸方向與電路板的傳送方向相同，電路板自第一噴管120向第六噴管170方向傳送。本實施例中，第一噴管120包括一個第一噴嘴121、一個第一閥門122和第一管體 123。第一噴嘴121設(shè)置于第一管體123的中間部分。第一閥門122安裝于第一管體123 上且位于輸液管111與第一噴嘴121之間，用于控制是否從輸液管111向第一噴管120內(nèi)供應(yīng)蝕刻液，從而控制第一噴嘴121是否噴灑蝕刻液。第二噴管130包括兩個第二噴嘴131、一個第二閥門132和第二管體133。兩個第二噴嘴131設(shè)置于第二管體133的中間部分，兩個第二噴嘴131關(guān)于第二管體133的長度方向的中心對稱設(shè)置。第二閥門132安裝于第二管體133上且位于靠近輸液管111的第二噴嘴131與輸液管111之間，用于控制是否從輸液管111向第二管體133內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制兩個第二噴嘴131是否噴灑蝕刻液。第三噴管140包括三個第三噴嘴141、一個第三閥門142和第三管體143。三個第三噴嘴141設(shè)置于第三管體143的中間部分，三個第三噴嘴141關(guān)于第三管體143的長度方向的中心對稱設(shè)置。優(yōu)選地，相鄰的兩個第三噴嘴141之間的間距與兩個第二噴嘴131 之間的間距相等。第三閥門142安裝于第三管體143上且位于靠近輸液管111的第三噴嘴 141與輸液管111之間，用于控制是否從輸液管111向第三管體143內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制三個第三噴嘴141是否噴灑蝕刻液。第四噴管150包括四個第四噴嘴151、一個第四閥門152及第四管體153。四個第四噴嘴151設(shè)置于第四管體153的中間部分，四個第四噴嘴151關(guān)于第四噴管150的長度方向的中心對稱設(shè)置。四個第四噴嘴151等間距設(shè)置。優(yōu)選地，相鄰的兩個第四噴嘴151 間距與兩個第二噴嘴131的間距相等。第四閥門152安裝于第四管體153，并位于靠近輸液管111的第四噴嘴151與輸液管111之間，用于控制是否從輸液管111向第四管體153內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制四個第四噴嘴151是否噴灑蝕刻液。第五噴管160包括五個第五噴嘴161、一個第五閥門162及第五管體163。五個第五噴嘴161設(shè)置于第五管體163，五個第五噴嘴161關(guān)于第五噴管160的長度方向的中心對稱設(shè)置。優(yōu)選地，相鄰的兩個第五噴嘴161的間距與兩個第二噴嘴131的間距相等。第五閥門162安裝于第五管體163，第五閥門162位于靠近輸液管111的第五噴嘴161與輸液管 111之間，用于控制是否從輸液管111向第五管體163內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制五個第五噴嘴 161是否噴灑蝕刻液。第六噴管170包括六個第六噴嘴171、一個第六閥門172及第六管體173六個第六噴嘴171設(shè)置于第六管體173，六個第六噴嘴171關(guān)于第六管體173的中心對稱設(shè)置。優(yōu)選地，相鄰的兩個第六噴嘴171之間的間距與兩個第二噴嘴131的間距相等，并且位于最外側(cè)的兩個第六噴嘴171之間的間距與待蝕刻的電路板的長度相近。第六閥門172安裝于第六管體173位于靠近輸液管111的第六噴嘴171與輸液管111之間，用于控制是否從輸液管 111向第六管體173內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制六個第六噴嘴171是否噴灑蝕刻液。第一閥門122、第二閥門132、第三閥門142、第四閥門152、第五閥門162及第六閥門172可以為氣動閥門且均與控制器190電連接。第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴 141、第四噴嘴151、第五噴嘴161及第六噴嘴171均向下設(shè)置以朝向待蝕刻的電路板表面。 第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴151、第五噴嘴161及第六噴嘴171的分布區(qū)域大致為等腰三角形。噴管的個數(shù)不限于本實施例中提供的六個，在實際生產(chǎn)中， 可以根據(jù)蝕刻需要設(shè)定不同的數(shù)量。第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴 151、第五噴嘴161及第六噴嘴171的個數(shù)不限于本實施例中提供的個數(shù)，第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴151、第五噴嘴161及第六噴嘴171的個數(shù)可以根據(jù)實際的電路板產(chǎn)品的大小和形狀設(shè)置成其他個數(shù)，只要能夠保證沿著電路板的傳送方向，多個噴管的噴嘴大致為倒置的等腰三角形或者等腰梯形即可。第一噴嘴121、第二噴嘴131、 第三噴嘴141、第四噴嘴151、第五噴嘴161及第六噴嘴171在其對應(yīng)的噴管上的位置也不局限于中間，只要每個噴管上的噴嘴均關(guān)于垂直于所述多根噴管的同一條直線對稱分布即可。第一感測器181與第一噴管120相對應(yīng)，用于感測進(jìn)行蝕刻的電路板與第一噴管 120的位置關(guān)系，并將感測結(jié)果傳送至控制器190。本實施例中，第一感測器181安裝于第一噴管120上。第二感測器182與第二噴管130相對應(yīng)，用于感測進(jìn)行蝕刻的電路板與第二噴管130的位置關(guān)系，并將感測結(jié)構(gòu)傳送至控制器190。第二感測器182安裝于第二噴管130上。第三感測器183與第三噴管140相對應(yīng)，用于感測進(jìn)行蝕刻的電路板與第三噴管140的位置關(guān)系，并將感測結(jié)果傳送至控制器190。第三感測器183安裝于第三噴管140 上。第四感測器184與第四噴管150相對應(yīng)，用于檢測進(jìn)行蝕刻的電路板與第四噴管150 的位置關(guān)系，并將感測結(jié)果傳送至控制器190。第四感測器184安裝于第四噴管150上。第五感測器185與第五噴管160相對應(yīng)，用于檢測進(jìn)行蝕刻的電路板與第五噴管160的位置關(guān)系，并將感測結(jié)果傳送至控制器190。第五感測器185安裝于第五噴管160上。第六感測器186與第六噴管170相對應(yīng)，用于感測第六噴管170與進(jìn)行蝕刻的電路板的位置關(guān)系，并將感測結(jié)果傳送至控制器190。第六感測器186安裝于第六噴管170上。控制器190與第一感測器181、第二感測器182、第三感測器183、第四感測器184、 第五感測器185及第六感測器186均電連接，控制器190設(shè)定有每個噴管與電路板相對位置關(guān)系的設(shè)定值，用于根據(jù)第一感測器181、第二感測器182、第三感測器183、第四感測器 184、第五感測器185及第六感測器186感測結(jié)果與所述設(shè)定值之間的關(guān)系來對應(yīng)控制第一閥門122、第二閥門132、第三閥門142、第四閥門152、第五閥門162及第六閥門172的開啟和關(guān)閉，從而控制第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴151、第五噴嘴161 及第六噴嘴171是否噴灑蝕刻液。具體為，控制器190根據(jù)第一感測器181的感測結(jié)果，控制第一閥門122開啟或關(guān)閉?？刂破?90根據(jù)第二感測器182的感測結(jié)果，控制第二閥門 132的開啟或關(guān)閉。控制器190根據(jù)第三感測器183的感測結(jié)果，控制第三閥門142的開啟或關(guān)閉?？刂破?90根據(jù)第四感測器184的感測結(jié)果，控制第四閥門152的開啟或關(guān)閉。 控制器190根據(jù)第五感測器185的感測結(jié)果，控制第五閥門162的開啟或關(guān)閉?？刂破?90 根據(jù)第六感測器186的感測結(jié)果，控制第六閥門172的開啟或關(guān)閉。
傳送裝置101用于承載進(jìn)行蝕刻的電路板并帶動電路板在其中移動，從而使得電路板依次通過第一噴管120至第六噴管170。本實施例中，傳送裝置101為平行于第一噴管 120延伸方向設(shè)置的多組滾輪，多組滾輪相互平行且位于第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160及第六噴管170下方。每組滾輪包括上滾輪1011和下滾輪1012，上滾輪1011和下滾輪1012相對設(shè)置，上滾輪1011和下滾輪1012之間的間距略小于待傳送的電路板的厚度。多組滾輪中的上滾輪1011所在的平面與第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160及第六噴管170所在平面平行，多組滾輪中的下滾輪1012所在的平面與多組滾輪中的上滾輪1012所在平面平行。通過驅(qū)動， 上滾輪1011和下滾輪1012產(chǎn)生相反方向的轉(zhuǎn)動，使得夾于上滾輪1011和下滾輪1012之間的電路板在上滾輪1011和下滾輪1012摩擦力的作用下移動，并從一組滾輪移動至相鄰的下一組滾輪，從而使得電路板依次通過第一噴管120至第六噴管170。請參見圖2，本技術(shù)方案第二實施例提供的蝕刻裝置200。蝕刻裝置200的結(jié)構(gòu)與本技術(shù)方案第一實施例提供的蝕刻裝置100的結(jié)構(gòu)相近。蝕刻裝置200也包括輸液裝置210、第一噴管220、第二噴管230、第三噴管M0、第四噴管250、第五噴管沈0、第六噴管 270、第一感測器觀1、第二感測器觀2、第三感測器觀3、第四感測器觀4、第五感測器觀5、第六感測器觀6、控制器290及傳送裝置201。其中，第一感測器觀1、第二感測器觀2、第三感測器觀3、第四感測器觀4、第五感測器觀5、第六感測器觀6、控制器290及傳送裝置201與第一實施例的蝕刻裝置100中的第一感測器181、第二感測器182、第三感測器183、第四感測器184、第五感測器185、第六感測器186、控制器190及傳送裝置101結(jié)構(gòu)、設(shè)置方式及作用基本相同。本實施例中，輸液裝置210包括相互平行設(shè)置的第一輸液管211和第二輸液管 212。第一輸液管211和第二輸液管212的延伸方向平行于電路板的傳送方向。第一輸液管211和第二輸液管212的間距略大于待蝕刻的電路板的長度。第一輸液管211和第二輸液管212均用于向第一噴管220、第二噴管230、第三噴管M0、第四噴管250、第五噴管260 及第六噴管270供應(yīng)蝕刻液。第一噴管220、第二噴管230、第三噴管M0、第四噴管250、第五噴管260及第六噴管270的排列方式與第一實施例中蝕刻裝置100的第一噴管120、第二噴管130、第三噴管 140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170設(shè)置方式相近，一個第一噴嘴221、兩個第二噴嘴231、三個第三噴嘴Ml、四個第四噴嘴251、五個第五噴嘴261及六個第六噴嘴271 的設(shè)置方式也與第一實施例中的第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴151、 第五噴嘴161及第六噴嘴171的設(shè)置方式對應(yīng)相似。不同之處在于，本實施例中，第一噴管 220、第二噴管230、第三噴管M0、第四噴管250、第五噴管260及第六噴管270均連通于第一輸液管211和第二輸液管212之間。第一噴管220的一端、第二噴管230的一端、第三噴管MO的一端、第四噴管250的一端、第五噴管沈0的一端、第六噴管270的一端均與第一輸液管211相連通。第一噴管220的另一端、第二噴管230的另一端、第三噴管240的另一端、第四噴管250的另一端、第五噴管260的另一端及第六噴管270的另一端均與第二輸液管212相連通。在第一噴管220的兩端均設(shè)置有一個第一閥門222，兩個第一閥門222位于第一噴嘴221的兩側(cè)，分別用于控制第一輸液管211和第二輸液管212是否向第一噴管 220供應(yīng)蝕刻液。第二噴管230的兩端均設(shè)置有一個第二閥門232，兩個第二噴嘴231均位于兩個第二閥門232之間。第三噴管240的兩端均設(shè)置有一個第三閥門M2，三個第三噴嘴 241位于兩個第三閥門242之間。第四噴管250的兩端均設(shè)置有一個第四閥門252，四個第四噴嘴251位于兩個第四閥門252之間。第五噴管260的兩端均設(shè)置有一個第五閥門沈2， 五個第五噴嘴261位于兩個第五閥門262之間。第六噴管270的兩端均設(shè)置有一個第六閥門272，六個第六噴嘴271位于兩個第六閥門272之間。第一感測器沘1、第二感測器沘2、第三感測器沘3、第四感測器沘4、第五感測器觀5、第六感測器286均與控制器290相電連通?？刂破?90根據(jù)第一感測器281的感測結(jié)果，控制兩個第一閥門222的開啟與關(guān)閉，從而控制第一噴嘴221是否噴灑蝕刻液；根據(jù)第二感測器282的感測結(jié)果，控制兩個第二閥門232的開啟與關(guān)閉，從而控制第二噴嘴231是否噴灑蝕刻液；根據(jù)第三感測器觀3的感測結(jié)果，控制兩個第三閥門242的開啟和關(guān)閉，從而控制第三噴嘴241是否噴灑蝕刻液；根據(jù)第四感測器284的感測結(jié)果，控制兩個第四閥門 252的開啟和關(guān)閉，從而控制第四噴嘴251是否噴灑蝕刻液；根據(jù)第五感測器觀5的感測結(jié)果，控制兩個第五閥門沈2的開啟和關(guān)閉，從而控制第五噴嘴261是否噴灑蝕刻液；并根據(jù)第六感測器觀6的感測結(jié)果，控制兩個第六閥門272的開啟和關(guān)閉，從而控制第六噴嘴271 是否噴灑蝕刻液。本實施例中，輸液裝置210包括有第一輸液管211和第二輸液管212，并且每根噴管上均設(shè)置有兩個閥門，從而在對應(yīng)噴管上的噴嘴噴灑液體時，能夠提高噴灑液體的噴射壓力，以提高對電路板蝕刻的質(zhì)量。請參閱圖3，本技術(shù)方案第三實施例提供一種蝕刻電路板的方法，下面以采用本技術(shù)方案第一實施例提供的蝕刻裝置100為例進(jìn)行說明，所述蝕刻電路板的方法包括如下步驟第一步，提供蝕刻裝置100。第二步，提供待蝕刻的電路板10。待蝕刻的電路板10大致為長方形，其長度與第一噴管120的長度大致相等。本實施例中，電路板10的長度為61厘米，寬度為53厘米。電路板10具有第一表面11，第一表面11為銅箔表面。沿著電路板10的長度方向，電路板10具有相對的第一側(cè)邊12和第二側(cè)邊13。第三步，傳送電路板10使其依次經(jīng)過第一噴管120至第六噴管170并對電路板10 進(jìn)行蝕刻。將電路板10放置于傳送裝置101靠近第一噴管120的一側(cè)，使得電路板10的第一表面11向上，與第一表面11相對的表面與傳送裝置101接觸，第一側(cè)邊12和第二側(cè)邊13 大致平行于第一噴管120，第一噴管120的長度方向的中心與電路板10的長度方向的中心相對應(yīng)。第一側(cè)邊12靠近第一噴管120，第二側(cè)邊13遠(yuǎn)離第一噴管120。通過驅(qū)動多組滾輪轉(zhuǎn)動，使得放置于多組滾輪中的電路板10以設(shè)定的速率自第一噴管120向第六噴管170 移動。本實施例中，控制器190設(shè)定有第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170與電路板10的第一側(cè)邊12和第二側(cè)邊13的距離的設(shè)定值。即電路板10的第一側(cè)邊12通過一個噴管后與這個噴管的距離和電路板10的第二側(cè)邊13未通過一個噴管前與這個噴管的距離。其中，電路板10的第一側(cè)邊12依次通過各個噴管后與各個噴管的距離的設(shè)定值自第一噴管120向第六噴管170逐漸增加，電路板10 的第二側(cè)邊13未通過各個噴管前與各個噴管的距離的設(shè)定值也自第一噴管120向第六噴管170逐漸增加。第一感測器181、第二感測器182、第三感測器183、第四感測器14、第五感測器185及第六感測器186感測第一側(cè)邊12和第二側(cè)邊13與其對應(yīng)噴管的位置關(guān)系，并且將感測信號傳送至控制器190。當(dāng)?shù)谝桓袦y器181、第二感測器182、第三感測器183、第四感測器14、第五感測器185及第六感測器186感測到電路板10的第一側(cè)邊12通過對應(yīng)噴管后與所述噴管的距離大于設(shè)定值時，控制器190控制對應(yīng)噴管的對應(yīng)閥門的開啟。例如，當(dāng)?shù)谝桓袦y器181感測到電路板10的第一側(cè)邊12通過第一噴管120后與第一噴管120 的距離大于設(shè)定值時，控制器190就會控制第一閥門122的開啟。當(dāng)?shù)谝桓袦y器181、第二感測器182、第三感測器183、第四感測器14、第五感測器185及第六感測器186感測到電路板10的第二側(cè)邊13未通過對應(yīng)噴管前與所述噴管的距離小于設(shè)定值時，控制器190控制對應(yīng)噴管的對應(yīng)閥門的關(guān)閉。例如，當(dāng)?shù)诙袦y器182感測到電路板10的第一側(cè)邊12通過第二噴管130后與第二噴管130的距離大于設(shè)定值時，控制器190就會控制第二閥門132 的關(guān)閉。通過控制器190對各個噴管對應(yīng)閥門的開啟和關(guān)閉的控制，從而控制每個噴管在電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域。 本實施例中，電路板10的第一側(cè)邊12與第一噴管120、第二噴管130、第三噴管 140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170的距離的設(shè)定值分別為+IOcm(厘米)、 +16cm、+21cm、+24cm、+27cm、+^cm ；電路板10的第二側(cè)邊13與第一噴管120、第二噴管 130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170的距離的設(shè)定值分別為-Ocm 、-6Cm、-10Cm、-13Cm、-15Cm、-18Cm，其中“ + ”代表對應(yīng)距離是電路板10的第一側(cè)邊12通過對應(yīng)噴管后與噴管的距離，“_”代表對應(yīng)距離是電路板10的第二側(cè)邊13未通過對應(yīng)噴管前與噴管的距離。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第一噴管120下通過后，第一側(cè)邊12與第一噴管120的距離為10厘米時，第一感測器181將感測信號發(fā)至控制器190，控制器190控制第一閥門122 開啟，從而第一噴管120的第一噴嘴121向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。電路板10 在傳送裝置101中繼續(xù)移動，當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13到達(dá)第一噴管120時，控制器190 接收第一感測器181的感測信號后，控制第一閥門122關(guān)閉，從而第一噴管120的第一噴嘴 121停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第二噴管130下經(jīng)過并且第一側(cè)邊12與第二噴管130的水平距離為16厘米時，控制器190接收第二感測器182的感測信號后，控制第二閥門132開啟，從而第二噴管130的第二噴嘴131向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13還未通過第二噴管130，且第二側(cè)邊13與第二噴管130的水平距離為6厘米時，控制器190接收第二感測器182的感測信號后，控制第二閥門132關(guān)閉，從而第二噴管130的第二噴嘴131停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第三噴管140下通過并且第一側(cè)邊12與第三噴管140水平距離為 21厘米時，控制器190接收第三感測器183的感測信號后，控制第三閥門142開啟，從而第三噴管140的第三噴嘴141向電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13未經(jīng)過第三噴管140且與第三噴管140水平距離為10厘米時，控制器190接收第三感測器183的感測信號后，控制第三閥門142關(guān)閉，從而第三噴管140的第三噴嘴141停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第四噴管150下通過并且第一側(cè)邊12與第四噴管150水平距離為M厘米時，控制器190接收第四感測器184的感測信號后，控制第四閥門152開啟，從而第四噴管150的第四噴嘴151向電路板10的第一表面11 噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13未經(jīng)過第四噴管150且與第四噴管150水平距離為13厘米時，控制器190接收第四感測器184的感測信號后，控制第四閥門152關(guān)閉，從而第四噴管150的第四噴嘴151停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第五噴管160下通過并且第一側(cè)邊12與第五噴管160水平距離為27厘米時，控制器190 接收第五感測器185的感測信號后，控制第五閥門162開啟，從而第五噴管160的第五噴嘴 161向電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13未經(jīng)過第五噴管 160且與第五噴管160水平距離為15厘米時，控制器190接收第五感測器185的感測信號后，控制第五閥門162關(guān)閉，從而第五噴管160的第五噴嘴161停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第六噴管170下通過并且第一側(cè)邊12與第六噴管170的水平距離為觀厘米時，控制器190接收第六感測器186的感測信號后，控制第六閥門172 開啟，從而第六噴管170的第六噴嘴171向電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13未經(jīng)過第六與第六噴管170水平距離為18厘米時，控制器190接收第六感測器186的感測信號后，控制第六閥門172關(guān)閉，從而第六噴管170的第六噴嘴171停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。請參閱圖4，設(shè)定第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170向電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域分別為Al、A2、A3、A4、 A5及A6，箭頭方向為電路板10的傳送方向。則由Al至A6，在電路板的移動方向上的長度依次減小，在垂直于電路板的移動方向上的長度依次增加，也就是說第一噴管120向第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域在電路板的移動方向上的長度大于后面第二噴管130、第三噴管 140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170向第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域在電路板的移動方向上的長度，第一噴管120向第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域在垂直于電路板的移動方向上的長度小于后面第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170向第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域在垂直于電路板的移動方向上的長度。可以理解的是，控制器190設(shè)定的電路板10的第一側(cè)邊12通過每個噴管后與所述噴管的距離的數(shù)值和電路板10的第二側(cè)邊13未通過每個噴管前與所述噴管的距離的數(shù)值并不限于本實施例中提供的數(shù)值。上述數(shù)值可以根據(jù)實際的電路板的大小和多根噴管的設(shè)置方式進(jìn)行設(shè)定。只要保證自第一噴管120向第六噴管170，電路板10的第一側(cè)邊12通過每個噴管后與所述噴管的距離的設(shè)定數(shù)值逐漸增加，電路板10的第二側(cè)邊13未通過每個噴管前與所述噴管的距離的設(shè)定數(shù)值也逐漸增加即可，以保證電路板10的中心區(qū)域與新鮮蝕刻液接觸時間較長，電路板邊緣區(qū)域與新鮮蝕刻液接觸時間較短。本技術(shù)方案提供的蝕刻裝置，其包括的多根噴管上的噴嘴呈等腰三角形或等腰梯形排列，并且每個噴管設(shè)置有控制閥門，能夠進(jìn)行電路板蝕刻過程中，通過控制閥門控制噴管是否噴灑蝕刻液，進(jìn)而可以控制各噴管在電路板表面噴灑蝕刻液的區(qū)域，以達(dá)到提升電路板蝕刻均勻性。本技術(shù)方案提供的電路板蝕刻方法，在對電路板進(jìn)行蝕刻時，電路板的中間區(qū)域噴灑蝕刻液時間較長，電路板的邊緣區(qū)域噴灑蝕刻液的時間較少，可以使得電路板的中間區(qū)域能夠與更多的新鮮蝕刻液接觸，防止了電路板中間區(qū)域的水池效應(yīng)。電路板邊緣區(qū)域噴灑蝕刻液時間較少，可以防止電路板邊緣區(qū)域產(chǎn)生過蝕，從而可以有效地提升電路板蝕刻的均勻性。
以上對本技術(shù)方案的蝕刻裝置及蝕刻方法進(jìn)行了詳細(xì)描述，但不能理解為是對本技術(shù)方案構(gòu)思的限制。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本技術(shù)方案的技術(shù)構(gòu)思做出其它各種相應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本申請權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種蝕刻裝置，用于噴灑蝕刻液以蝕刻電路板，所述蝕刻裝置包括沿垂直于電路板的傳送方向依次平行排列的多根噴管，每個所述噴管包括設(shè)置于其上的噴嘴和閥門，沿著電路板的傳送方向各噴管上的噴嘴的數(shù)量依次逐漸增加，各根噴管上相鄰的兩個噴嘴的間距均相等，每個所述噴管上的噴嘴均關(guān)于垂直于所述多根噴管的同一條直線對稱分布，所述閥門用于控制與其位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液；多個感測器，多個感測器與多個噴管一一對應(yīng)，所述感測器用于感測電路板與所述感測器對應(yīng)的噴管的位置關(guān)系；以及控制器，所述控制器與多個感測器及多個閥門電連接，用于根據(jù)所述感測器的感測結(jié)果控制與該感測器對應(yīng)的閥門的開啟和關(guān)閉，從而控制與所述閥門位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。
2.如權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，沿電路板的傳送方向，所述多根噴管的噴嘴呈等腰三角形或等腰梯形排列。
3.如權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕刻裝置還包括傳送裝置，所述傳送裝置平行于多根噴管設(shè)置，并與多個噴嘴相對，用于傳送進(jìn)行蝕刻的電路板移動。
4.如權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕刻裝置還包括至少一根輸液管， 所述輸液管與所述多個噴管均相連通，用于向多個噴管供應(yīng)蝕刻液。
5.如權(quán)利要求4所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕刻裝置包括一個輸液管，每個所述噴管均設(shè)置有一個所述閥門，所述閥門設(shè)置于輸液管和與所述閥門位于同一噴管的噴嘴之間。
6.如權(quán)利要求4所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕刻裝置包括兩個輸液管，所述多個噴管均連通于兩個輸液管之間，每個所述噴管均設(shè)置有兩個閥門，所述兩個閥門分別設(shè)置于與所述兩個閥門位于同一噴管的噴嘴的兩側(cè)。
7.如權(quán)利要求1至6中任意一項所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述電路板具有垂直于其傳送方向的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊，所述控制器內(nèi)設(shè)定有所述第一側(cè)邊經(jīng)過每個所述噴管后第一側(cè)邊與每個所述噴管的距離及所述第二側(cè)邊未經(jīng)過每個所述噴管前第二側(cè)邊與每個所述噴管的距離。
8.如權(quán)利要求7所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述控制器設(shè)定的所述第一側(cè)邊沿著電路板的傳送方向依次經(jīng)過每個所述噴管后第一側(cè)邊與每個所述噴管的距離逐漸增加，所述控制器設(shè)定的第二側(cè)邊沿著電路板的傳送方向依次未經(jīng)過每個所述噴管前第二側(cè)邊與每個所述噴管的距離也逐漸增加。
9.一種蝕刻電路板的方法，包括步驟提供如權(quán)利要求1至6中任意一項所述的蝕刻裝置；提供電路板，所述電路板具有需進(jìn)行蝕刻的第一表面；將電路板的第一表面與多個噴管的噴嘴相對，并驅(qū)使電路板進(jìn)行移動，在垂直于電路板的移動方向，電路板具有相對的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊，所述控制器設(shè)定有所述第一側(cè)邊經(jīng)過每個所述噴管后第一側(cè)邊與每個所述噴管的距離及所述第二側(cè)邊未經(jīng)過每個所述噴管前第二側(cè)邊與每個所述噴管的距離，采用多個感測器感測其對應(yīng)的噴管與所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊的位置關(guān)系，并將感測的結(jié)果傳送至控制器，當(dāng)所述第一側(cè)邊經(jīng)過每個感測器對應(yīng)的噴管后第一側(cè)邊與所述感測器對應(yīng)的噴管距離大于所述控制器設(shè)定的第一側(cè)邊經(jīng)過所述感測器對應(yīng)的噴管后第一側(cè)邊與所述感測器對應(yīng)的噴管的距離時，控制器控制與感測器對應(yīng)的閥門的開啟，當(dāng)所述第二側(cè)邊未經(jīng)過所述感測器對應(yīng)的噴管前且第二側(cè)邊與所述感測器對應(yīng)的噴管的距離小于所述控制器設(shè)定的所述第二側(cè)邊未經(jīng)過所述感測器對應(yīng)的噴管前第二側(cè)邊與所述感測器對應(yīng)的噴管的距離時，所述控制器控制與所述感測器對應(yīng)的閥門的關(guān)閉。
10.如權(quán)利要求9所述的蝕刻電路板的方法，其特征在于，所述控制器設(shè)定的所述第一側(cè)邊沿著電路板的傳送方向依次經(jīng)過每個所述噴管后第一側(cè)邊與每個所述噴管的距離逐漸增加，所述控制器設(shè)定的第二側(cè)邊沿著電路板的傳送方向依次未經(jīng)過每個所述噴管前第二側(cè)邊與每個所述噴管的距離也逐漸增加。
全文摘要
一種蝕刻裝置包括多根噴管、多個感測器及一個控制器。多個噴管沿垂直于電路板的傳送方向依次平行排列，每個噴管包括設(shè)置于其上的噴嘴和閥門，沿著電路板的傳送方向各噴管上的噴嘴的數(shù)量依次逐漸增加，各根噴管上相鄰兩個噴嘴的間距均相等，每個噴管上的噴嘴均關(guān)于垂直于多根噴管的同一條直線對稱分布，閥門用于控制與其位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。多個感測器與多個噴管一一對應(yīng)，感測器用于感測電路板與感測器對應(yīng)的噴管的位置關(guān)系?？刂破髋c感測器及閥門電連接，控制器用于根據(jù)感測器的感測結(jié)果控制與感測器對應(yīng)的閥門開啟和關(guān)閉，從而控制與閥門位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。本發(fā)明還涉及一種采用上述蝕刻裝置蝕刻電路板的方法。
文檔編號H05K3/06GK102256447SQ201010178139
公開日2011年11月23日 申請日期2010年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月20日
發(fā)明者蔡宗青, 郭同堯 申請人:富葵精密組件(深圳)有限公司, 鴻勝科技股份有限公司