專利名稱：單晶爐單入口式水冷爐蓋的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種水冷爐蓋，特別涉及一種可用于半導(dǎo)體材料 晶體生長爐的單晶爐單入口式水冷爐蓋。
背景技術(shù)：
水冷爐蓋的結(jié)構(gòu)一般包括爐蓋外壁、爐蓋內(nèi)壁、爐頸外壁、爐頸 內(nèi)壁、視口、觀察窗和若干個冷卻水入口和冷卻水出口等。由于普通 爐蓋的形狀復(fù)雜、功能附件多，必須通過數(shù)個冷卻水入口和出口來同 時導(dǎo)入冷卻水，以保證爐蓋的溫度保持在允許范圍內(nèi)。這樣就造成晶 體生長爐外接的冷卻水管道數(shù)目龐多，維護(hù)不便，并為晶體生長爐的 長期運(yùn)行帶來了安全隱患，同時還影響了產(chǎn)品的美觀性。 發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提供一種 單晶爐單入口式水冷爐蓋，具有安全、可靠、美觀的特點(diǎn)，可以提高 晶體生長爐的運(yùn)行安全性，便于生長爐的日常運(yùn)行維護(hù)。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的單晶爐單入口式水冷爐 蓋，包括爐蓋本體1,本體1的上端設(shè)置有視口 2和觀察窗3及出水 口 4，本體1上還設(shè)置有進(jìn)水管5，本體1的內(nèi)壁上設(shè)置有水槽6, 水槽6的一端與進(jìn)水管5相連通，另一端分別與視口 2和觀察窗3 相連通，末端與出水口4相連通。所述的水槽6呈螺旋狀分布在本體1的內(nèi)壁上。
所述的進(jìn)水管5和出水口 4有且只有1個。
本實(shí)用新型只釆用一個出水口 4、 一個進(jìn)水管5，結(jié)構(gòu)緊湊，美 觀，安全性高，能方便、可靠地實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料晶體生長爐爐蓋的冷 卻。


附圖是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作詳細(xì)敘述。 參照附圖，單晶爐單入口式水冷爐蓋，包括爐蓋本體1，本體1 的上端設(shè)置有視口 2和觀察窗3及出水口 4，本體1上還設(shè)置有進(jìn)水 管5，本體1的內(nèi)壁上設(shè)置有螺旋狀的水槽6，水槽6的一端與進(jìn)水 管5相連通，另一端分別與視口 2和觀察窗3相連通，末端與出水 口 4相連通。
本實(shí)用新型的工作原理為由進(jìn)水管5通入冷卻水，冷卻水通過 螺旋狀的水槽6將冷卻水連續(xù)、均勻地依次疏散到爐蓋本體1、視口 2、觀察窗3部位，最后經(jīng)出水口4流出。
權(quán)利要求1、單晶爐單入口式水冷爐蓋，包括爐蓋本體(1)，本體(1)的上端設(shè)置有視口(2)和觀察窗(3)及出水口(4)，其特征在于，本體(1)上還設(shè)置有進(jìn)水管(5)，本體(1)的內(nèi)壁上設(shè)置有水槽(6)，水槽(6)的一端與進(jìn)水管(5)相連通，另一端分別與視口(2)和觀察窗(3)相連通，末端與出水口(4)相連通。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐單入口式水冷爐蓋，其特征在 于，所述的水槽(6)呈螺旋狀分布在本體(1)的內(nèi)壁上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐單入口式水冷爐蓋，其特征在 于，所述的進(jìn)水管(5)和出水口 (4)有且只有1個。
專利摘要單晶爐單入口式水冷爐蓋，包括爐蓋本體1，本體1的上端設(shè)置有視口2和觀察窗3及出水口4，本體1上還設(shè)置有進(jìn)水管5，本體1的內(nèi)壁上設(shè)置有螺旋狀的水槽6，水槽6的一端與進(jìn)水管5相連通，另一端分別與視口2和觀察窗3相連通，末端與出水口4相連通。冷卻水由進(jìn)水管5通入，通過螺旋狀的水槽6連續(xù)、均勻地依次疏散到爐蓋本體1、視口2、觀察窗3部位，最后經(jīng)出水口4流出，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，美觀，安全性高，能方便、可靠地實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料晶體生長爐爐蓋的冷卻。
文檔編號C30B15/00GK201372320SQ20092003178
公開日2009年12月30日 申請日期2009年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月20日
發(fā)明者剛 時, 韓有河 申請人:西安創(chuàng)聯(lián)新能源設(shè)備有限公司