專利名稱：基板清洗裝置及具有基板清洗裝置的基板供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板清洗裝置及具有基板清洗裝置的基板供給裝置。
背景技術(shù)：
作為清洗印刷線路板表面的裝置，提案有以下專利文獻(xiàn)1記載的清洗機(jī)器。
該清洗機(jī)器具有搬運(yùn)帶，其搭載基板的邊緣部分，搬運(yùn)基板；吸附輥，其一邊旋轉(zhuǎn)一邊加壓接觸由搬運(yùn)帶搬運(yùn)的基板；粘附輥，其一邊旋轉(zhuǎn)一邊加壓接觸吸附輥；使吸附輥向從接觸基板的位置離開的位置移動的裝置。
在該清洗機(jī)器中，由搬運(yùn)帶搬運(yùn)的基板在其表面加壓接觸吸附輥。吸附輥由硅橡膠類樹脂形成，利用潤濕性來吸附基板表面的雜質(zhì)及塵埃，由此清洗基板。吸附輥由于其表面上不具有粘附材料等，故可防止粘附材料從輥附著于基板上這樣的問題。吸附于吸附輥上的雜質(zhì)等通過使吸附輥進(jìn)一步加壓接觸粘附輥而從吸附輥向粘附輥轉(zhuǎn)印。因此，吸附輥可在長時(shí)間維持清洗效果。
在該清洗機(jī)器中，基板將邊緣部分保持于搬運(yùn)帶上，僅清洗搬運(yùn)帶的相反側(cè)一面。因此，即使在對已搭載有電子零件的基板背面進(jìn)行清洗的情況下，也可以將電子零件配置于下面、將背面配置于上面而載置于搬運(yùn)帶上，由此來進(jìn)行清洗處理。另外，在放入不利用清洗機(jī)器進(jìn)行處理或不能進(jìn)行處理的基板的情況下，吸附輥向從接觸基板的位置離開的位置移動。由此，由于該清洗機(jī)器可對應(yīng)各種形式的基板，故可組裝到印刷線路板的生產(chǎn)線中。這樣，通過將清洗機(jī)器聯(lián)機(jī)化，可在清洗基板后，馬上轉(zhuǎn)移到印刷工序，因此，可再次防止在基板上附著雜質(zhì)等，可進(jìn)一步提高清洗效果。
但是，存在有如下情況，即，在印刷線路板的表面附著有各種雜質(zhì)及塵埃等，同時(shí)印刷線路板表面的一部分或整體帶靜電。在印刷線路板的表面帶靜電的情況下，上述雜質(zhì)及塵埃等更強(qiáng)固地附著于印刷線路板上，即使通過吸附輥來清洗基板表面，也有可能不能完全去除雜質(zhì)及塵埃等。
專利文獻(xiàn)1特開2002-353598號公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問題而研發(fā)的，其目的在于提供一種基板清洗裝置，即使基板表面一部分或整體帶靜電，也能夠容易地清洗附著于基板表面的各種雜質(zhì)及塵埃等。其另一目的是提供一種具有基板清洗裝置的基板供給裝置。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明提供基板清洗裝置，具有移動自如地支承基板的框架和相對該框架旋轉(zhuǎn)自如地安裝的輥刷，由所述輥刷擦拭清洗所述基板的表面，其特征在于，所述輥刷是導(dǎo)電性刷。
另外，理想的是，在與支承于所述框架上并移動的所述基板面對的位置上，設(shè)有噴出帶電的流體的噴嘴。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，通過使用導(dǎo)電性刷，可容易地清洗基板。另外，由于通過面朝基板噴出帶電了的流體，對基板進(jìn)行除電，故可容易地通過輥刷清洗基板。
另外，在本發(fā)明的基板清洗裝置中，理想的是，將所述噴嘴相對于所述輥刷配置于所述基板的搬運(yùn)方向上游測或下游側(cè)的任一側(cè)或兩側(cè)。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，可得到與上述相同的效果。
另外，在本發(fā)明的基板清洗裝置中，理想的是，所述框架由主體部和箱型的清洗部構(gòu)成，其中，所述主體部具有搬運(yùn)所述基板的搬運(yùn)導(dǎo)軌，所述清洗部安裝于所述主體部的上部，在內(nèi)部具有所述輥刷，所述清洗部相對于所述主體部可在上下方向上自如移動。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于清洗部可相對于主體部在上下方向上自如移動，故可與基板厚度匹配來調(diào)整搬運(yùn)導(dǎo)軌和輥刷的間隔，由此，可以適度地匹配輥刷相對基板的按壓量。
另外，在本發(fā)明的基板清洗裝置中，理想的是，所述框架由主體部和箱型的清洗部構(gòu)成，其中，所述主體部具有搬運(yùn)所述基板的搬運(yùn)導(dǎo)軌，所述清洗部安裝于所述主體部的上部，在內(nèi)部具有所述輥刷，在所述清洗部設(shè)置用于清洗所述輥刷的集塵排出用噴嘴，在所述框架上具有將所述清洗部和所述輥刷之間流通的氣流遮斷的遮斷部件，所述遮斷部件與所述搬運(yùn)導(dǎo)軌聯(lián)動，沿所述輥刷的長度方向自如移動。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在清洗部設(shè)有集塵排出用噴嘴，故可從集塵排出用噴嘴吸引所述清洗部內(nèi)的空氣，去除附著于所述輥刷上的污物。
另外，在框架上具有與搬運(yùn)導(dǎo)軌聯(lián)動且移動自如的遮斷部件，該搬運(yùn)部件與基板的大小對應(yīng)并在清洗部內(nèi)定位。另一方面，輥刷與基板的大小對應(yīng)，被分成接觸基板的接觸部和非接觸部，僅在接觸部上附著污物。遮斷氣流的遮斷部件由于配置在該輥刷的接觸部和非接觸部的分界處，故可使由集塵排出用噴嘴的吸引產(chǎn)生的氣流僅在輥刷的接觸部流通，防止氣流向非接觸部的流通。由此，可提高由集塵排出用噴嘴的吸引而得到的輥刷的清洗效率。
其次，本發(fā)明提供的基板供給裝置具有收納基板的收納臺、使該收納臺升降的升降裝置、搬運(yùn)所述基板的搬運(yùn)裝置，另外，還安裝有所述的任一方案所述的基板清洗裝置。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于可將基板向基板清洗裝置搬運(yùn)，且通過面朝搬運(yùn)的基板噴出帶電了的流體而對基板進(jìn)行除電，故可利用輥刷容易地清洗基板，可將清洗了的基板向后工序裝置供給。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的基板清洗裝置，通過使用導(dǎo)電性刷，即使基板表面一部分或整體帶靜電，也可以容易地清洗附著于基板表面的各種雜質(zhì)及塵埃等。
另外，即使基板表面帶靜電，也可以通過面朝基板噴出帶電了的流體來除去該靜電，由此，可更有效地進(jìn)行采用輥刷的基板清洗。


圖1是表示本發(fā)明的基板清洗裝置及基板供給裝置之一例的正面圖；圖2是圖1所示的基板清洗裝置的立體圖；圖3是圖1所示的基板清洗裝置的主要部分放大圖；圖4是圖1所示的基板清洗裝置的分解立體圖；圖5是表示基板清洗裝置的又一例的立體圖；圖6是圖5所示的基板清洗裝置的正面圖；圖7是圖5所示的基板清洗裝置的側(cè)面圖；圖8是表示基板清洗裝置的另一例的立體圖；圖9是表示基板清洗裝置其它例的正面圖；
圖10是表示圖9所示的基板清洗裝置的主要部分的側(cè)面圖。
符號說明1基板供給裝置2升降裝置3搬運(yùn)裝置4收納臺5、51、101、201基板清洗裝置13、63、163、263搬運(yùn)導(dǎo)軌17、67、267輥刷29、79、179、279框架29a、79a、179a、279a主體部29b、79b、179b、279b清洗部280集塵排出用噴嘴290遮斷部件A清洗單元P印刷線路板具體實(shí)施方式
下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明實(shí)施例的基板清洗裝置及基板供給裝置，但本發(fā)明不限于此。
另外，圖1是表示基板供給裝置之一例的正面圖，圖2是基板清洗裝置的立體圖，圖3是基板清洗裝置的主要部分放大圖，圖4是基板清洗裝置的分解立體圖。
圖1所示的本實(shí)施例的基板供給裝置1具有升降裝置2；搬運(yùn)裝置3，其向升降裝置2供給及排出收納臺4；基板清洗裝置5，其清洗印刷線路板(下面單記為基板)；壓出缸6，其向基板清洗裝置5壓出基板P。在升降裝置2中設(shè)置圓頭螺栓7、導(dǎo)向軸8、沿導(dǎo)向軸8升降的工作臺9，在該工作臺9上載置收納臺4。搬運(yùn)裝置3構(gòu)成上下兩段，下段成為朝向升降裝置2搬運(yùn)并供給收納臺4的供給傳送帶10，上段成為從升降裝置2接收并排出收納臺4的排出傳送帶11。另外，在升降裝置2的工作臺9上設(shè)有用于使收納臺4完全移動到工作臺上規(guī)定位置的傳送帶12。
在這種結(jié)構(gòu)的基板供給裝置1中，在將由供給傳送帶10搬運(yùn)來的收納臺4載置于工作臺9上后，使工作臺9上升，使收納臺內(nèi)最上段的基板P和設(shè)于基板供給裝置1前方的基板清洗裝置5的搬運(yùn)導(dǎo)軌13的高度一致。然后，利用沿水平方向往復(fù)運(yùn)動的壓出缸6將基板P從收納臺4后端面4b側(cè)壓出到配置于基板清洗裝置5下方的搬運(yùn)導(dǎo)軌上。
其次，如圖2所示，基板清洗裝置5是清洗搬運(yùn)的基板9表面的裝置，其大致由移動自如地支承基板P的框架29和相對框架29旋轉(zhuǎn)自如地安裝的輥刷17構(gòu)成。
框架29由具有搬運(yùn)導(dǎo)軌13的主體部29a和安裝于主體部29a上部的清洗部29b構(gòu)成。
如圖2所示，在清洗部29b中內(nèi)設(shè)有清洗單元A。如圖3所示，清洗單元A通過安裝如下部件而構(gòu)成，即框體15；兩個(gè)除電裝置16，其安裝于框體15上；輥刷17，其配置于兩個(gè)除電裝置16之間并且旋轉(zhuǎn)自如地安裝于框體15上；旋轉(zhuǎn)用電機(jī)18，其旋轉(zhuǎn)驅(qū)動輥刷17；控制器19，其控制除電裝置16。
其次，在主體部29上，將對被從基板供給裝置1壓出的基板P進(jìn)行引導(dǎo)的一對搬運(yùn)導(dǎo)軌13安裝于輥刷17的下方。在向該搬運(yùn)導(dǎo)軌13引導(dǎo)的基板P通過輥刷17下方時(shí)，使搬運(yùn)導(dǎo)軌13相對于輥刷17定位，以使基板表面接觸輥刷17。
如圖4所示，除電裝置16具有流體供給部20和供給管21，在供給管21上沿供給管21的長度方向形成有大致圖示的多個(gè)噴嘴。
另外，噴嘴朝向基板P的表面?zhèn)乳_口。在流體供給部20上設(shè)有具有大致圖示的放電機(jī)構(gòu)的流路，對通過流路的空氣等流體進(jìn)行電暈放電等，可使空氣等流體帶電。另外，供給管21被安裝在面朝沿搬運(yùn)導(dǎo)軌13搬運(yùn)的基板P的位置，另外，供給管21設(shè)置在搬運(yùn)未圖示的噴嘴的基板側(cè)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，從大致圖示的多個(gè)噴嘴對搬運(yùn)途中的基板表面吹附帶電了的空氣等流體。在一側(cè)的除電裝置16的一端設(shè)有具有軸承22的軸承部23。輥刷17由從尼龍、馬毛等中選擇的材質(zhì)構(gòu)成，具有刷軸23。另外，輥刷17也可以使用導(dǎo)電性刷。導(dǎo)電性刷是在刷毛上使用了銅、碳等導(dǎo)電性材料的刷。
在組裝基板清洗裝置5時(shí)，將框體15的支承件24和側(cè)壁部26、27連接，將兩個(gè)除電裝置16安裝于支承件24及側(cè)壁部26上。然后，在除電裝置16的軸承22上安裝輥刷17的輥軸28的一端，由支承件25固定輥軸28的另一端。最后，將控制器19安裝在框體15上，通過將旋轉(zhuǎn)用電機(jī)18安裝在一側(cè)的除電裝置16的軸承部23上，完成清洗單元A。然后，將清洗單元A裝入清洗部29b內(nèi)，進(jìn)一步將清洗部29a安裝到具有搬運(yùn)導(dǎo)軌13的主體部29上部。這樣，組裝基板清洗裝置5。
其次，參照圖1及圖2，說明本實(shí)施例的基板清洗裝置5的基板P表面的清洗工序。被缸6壓出的基板P在設(shè)于基板清洗裝置5下方的搬運(yùn)導(dǎo)軌13上移動而被搬運(yùn)到基板清洗裝置5的下方。在搬運(yùn)的基板P上從一側(cè)的除電裝置16a沿箭頭B所示的方向吹附已帶電的空氣等流體，由此，對基板P的表面進(jìn)行除電。其次，已除電的基板P與以600rpm旋轉(zhuǎn)的輥刷17接觸著而從其下方通過。由于預(yù)先對基板表面進(jìn)行除電，故僅由輥刷17擦拭基板表面就可容易地除去附著于基板表面的塵埃等污物。然后，通過另一側(cè)的除電裝置16b再次對基板P的表面進(jìn)行除電。這樣，除電、清洗了的基板P搬運(yùn)向后工序裝置30。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施例的基板清洗裝置，通過使用導(dǎo)電性刷，可容易地清洗基板。另外，由于通過將帶電了的空氣吹向基板并利用除電裝置對基板表面進(jìn)行除電，故可將附著于基板表面的塵埃等除去對象物對基板的靜電吸附力減弱。這樣吸附力減弱了的塵埃等除去對象物可通過利用輥刷擦拭基板表面而容易地除去。由此，可質(zhì)地提高基板的清洗度。
其次，圖5～圖7表示本實(shí)施例的基板清洗裝置51的又一例。
該圖5～圖7所示的基板清洗裝置51和圖1～圖4所示的基板清洗裝置1的不同點(diǎn)在于，在基板清洗裝置51中省略除電裝置，同時(shí)，在導(dǎo)電性刷的上方設(shè)置集塵排出噴嘴，并且進(jìn)一步縮短搬運(yùn)導(dǎo)軌。
如圖5～圖7所示，基板清洗裝置51大致由移動自如地支承基板P的框架79和相對框架79旋轉(zhuǎn)自如地安裝的輥刷67構(gòu)成。輥刷67是在刷毛上使用銅、碳等導(dǎo)電性材料構(gòu)成的導(dǎo)電性刷。
框架79由具有搬運(yùn)導(dǎo)軌63的主體部79a、安裝于主體部79a上的清洗部79b構(gòu)成。
如圖5～圖7所示，清洗部79b是在下側(cè)設(shè)有開口部79c的罩狀(箱型)的部件，在上側(cè)安裝有集塵排出用噴嘴80。在該集塵排出用噴嘴80的前端安裝有未圖示的吸塵機(jī)。另外，在該清洗部79b上安裝有旋轉(zhuǎn)自如地支承于清洗部79b上的輥刷67、內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動輥刷67的電機(jī)的電機(jī)殼體68。輥刷67安裝于集塵排出用噴嘴80的正下方。
主體部79a是由一片79a1及另一片79a2構(gòu)成的大致L字狀的工件，一片79a1通過螺栓與基板供給裝置1接合，另一片79a2與清洗部79b接合。這樣，主體部79a將基板供給裝置1和清洗部79b連接。
另外，在主體部79a上安裝有對被從基板供給裝置1壓出的基板P進(jìn)行引導(dǎo)的一對搬運(yùn)導(dǎo)軌63。在被該搬運(yùn)導(dǎo)軌63引導(dǎo)的基板P通過輥刷67的下方時(shí)，搬運(yùn)導(dǎo)軌63相對輥刷67進(jìn)行定位，以使基板表面接觸輥刷67。
如圖6所示，在主體部79a上具有搬運(yùn)導(dǎo)軌63的間隔調(diào)整機(jī)構(gòu)。該寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)M具有滑動導(dǎo)軌81、81，其架設(shè)于主體部79a的另一片79a2、79a2相互之間；擋塊82，其固定于滑動導(dǎo)軌81、81上；調(diào)整滑塊83，其對滑動導(dǎo)軌81、81移動自如地安裝。在擋塊82和調(diào)整滑塊83上安裝有所述的搬運(yùn)導(dǎo)軌63、63。通過對調(diào)整滑塊83的位置進(jìn)行調(diào)整，使搬運(yùn)導(dǎo)軌63、63的間隔與基板P的寬度匹配。
在說明基板清洗裝置51的基板P的表面的清洗工序時(shí)，被缸6從基板供給裝置壓出的基板P移動過設(shè)于基板清洗裝置51下側(cè)的搬運(yùn)導(dǎo)軌63，而被搬運(yùn)到基板清洗裝置51的下方。搬運(yùn)的基板P通過以600rpm旋轉(zhuǎn)的輥刷67下方。此時(shí)，通過輥刷67擦拭基板表面，容易地除去附著于基板表面的塵埃等污物。然后，將附著于輥刷67上的污物通過接觸排出用噴嘴80吸引到未圖示的吸塵機(jī)上。這樣，從輥刷67去除污物，再次用于除去基板表面的污物。這樣，將已清洗的基板P搬運(yùn)到后工序裝置。
根據(jù)上述的基板清洗裝置51，由于通過主體部79a將基板供給裝置1和清洗部79b連接，故可使從基板供給裝置1到輥刷67間的距離變近，與此同時(shí)，可縮短搬運(yùn)導(dǎo)軌63，可謀求基板清洗裝置51的小型化。
另外，由于在罩狀的清洗部69b內(nèi)部配置有輥刷67，故通過將外部的吸塵機(jī)安裝并吸引在清洗部69b的集塵排出用噴嘴80上，可容易地清除附著于輥刷67上的污物。由此，可使輥刷67總保持整潔的狀態(tài)，可減少輥刷67的維護(hù)頻率，且使基板清洗裝置51在長時(shí)間連續(xù)工作。
其次，圖8表示本實(shí)施例的基板清洗裝置的另一例。圖8表示的基板清洗裝置101是框架的清洗部相對于主體部在上下方向移動自如的裝置。該基板清洗裝置101與上述的基板清洗裝置51相同，大致由移動自如地支承基板P的框架179和相對框架179旋轉(zhuǎn)自如地安裝的大致圖示的輥刷構(gòu)成?？蚣?79由具有搬運(yùn)導(dǎo)軌163的主體部179a和安裝于主體部179a上部的清洗部179b構(gòu)成。
清洗部179b是在下側(cè)設(shè)有開口部179c的罩狀(箱型)的部件，在上側(cè)安裝有集塵排出用噴嘴180。在該集塵排出用噴嘴180的前端安裝有未圖示的吸塵機(jī)。另外，在該清洗部179b上安裝有旋轉(zhuǎn)自如地支承于清洗部179b上的大致圖示的輥刷和內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動輥刷的電機(jī)的電機(jī)殼體168。輥刷安裝于集塵排出用噴嘴180的正下方。
主體部179a是由一片179a1及另一片179a2構(gòu)成的大致L字狀工件，一片179a1通過螺栓與基板供給裝置1接合，另一片179a2與清洗部79b連接。在另一片179a2上設(shè)有向清洗部179b側(cè)突出的突片179a3，該突片179a3介由螺栓179a4等固定部件與清洗部179b連接。這樣，清洗部179b以螺絲179a4等固定部件為軸，旋轉(zhuǎn)自如地軸支承于主體部179a上。
另外，在從另一片179a2的螺絲179a4離開的位置設(shè)有突起179a5，該突起179a5插入清洗部179上設(shè)置的長孔179b1內(nèi)。通過將突起179a5插入長孔179b1內(nèi)，限制清洗部179b的旋轉(zhuǎn)范圍。另外，長孔179b1的長度方向朝向相對于搬運(yùn)導(dǎo)軌163上的基板P的基板面大致傾斜方向或大致垂直方向。
通過以上的結(jié)構(gòu)，清洗部179b相對主體部179a在上下方向移動自如。
另外，也可以在突起179a5上設(shè)置陽螺紋部，還也可以對該陽螺紋部安裝螺母等。通過在設(shè)于突起179a5上的陽螺紋部上安裝螺母等，可將清洗部179b相對主體部179a固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> 根據(jù)圖8所示的基板清洗裝置101，由于清洗部179b相對于主體部179a在上下方向移動自如，故可與基板P的厚度匹配而調(diào)整搬運(yùn)導(dǎo)軌163和輥刷的間隔，由此，可適度地匹配輥刷對基板P的按壓量。另外，調(diào)整搬運(yùn)導(dǎo)軌163和輥刷的間隔，可通過例如松開安裝于突起179a5的陽螺紋部上的螺母等而容易地調(diào)整。
其次，圖9表示本實(shí)施例的基板清洗裝置的其它例。圖9所示的基板清洗裝置201是具有將清洗部和所述輥刷之間流通的氣流遮斷的遮斷部件的裝置。該基板清洗裝置201與上述基板清洗裝置51相同，大致由移動自如地支承基板P的框架279和相對框架279旋轉(zhuǎn)自如地安裝的輥刷267構(gòu)成?？蚣?79由具有搬運(yùn)導(dǎo)軌263的主體部279a和安裝于主體部279a上部的清洗部279b構(gòu)成。
清洗部279b是在下側(cè)設(shè)有開口部279c的罩狀(箱型)的部件，在上側(cè)安裝有集塵排出用噴嘴280。在該集塵排出用噴嘴280的前端安裝有未圖示的吸塵機(jī)。另外，在該清洗部279b上安裝有旋轉(zhuǎn)自如地支承于清洗部279b上的輥刷267和內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動輥刷267的電機(jī)的電機(jī)殼體268。輥刷267安裝于集塵排出用噴嘴280的正下方。
如圖9所示，在主體部279a上具有搬運(yùn)導(dǎo)軌263的間隔調(diào)整機(jī)構(gòu)M。該寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)M與之前的基板清洗裝置51相同，由滑動導(dǎo)軌81、81、固定于滑動導(dǎo)軌81、81上的擋塊282、可相對滑動導(dǎo)軌81、81自如移動地安裝的調(diào)整滑塊283構(gòu)成。在擋塊282和調(diào)整滑塊283上安裝有所述的搬運(yùn)導(dǎo)軌263、263。通過對調(diào)整滑塊283的位置進(jìn)行調(diào)整，使搬運(yùn)導(dǎo)軌263、263的間隔與基板P的寬度匹配。
另外，在清洗部279的內(nèi)部具有遮斷部件290。該遮斷部件290與一側(cè)的搬運(yùn)導(dǎo)軌263接合，由此，遮斷部件290與搬運(yùn)導(dǎo)軌263聯(lián)動，沿輥刷267的長度方向移動自如。
如圖9及圖10所示，遮斷部件290由設(shè)有輥刷267的通過部291a的遮斷板291、從遮斷板291沿輥刷267的長度方向突出的多個(gè)導(dǎo)向部件292構(gòu)成。導(dǎo)向部件292相對于框架279的清洗部279b的內(nèi)面滑動自如。另外，遮斷板291相對于輥刷267的長度方向大致垂直地設(shè)置。遮斷板291的設(shè)置角度也可以相對于輥刷267的長度方向傾斜。通過以上的結(jié)構(gòu)，可通過遮斷板291遮斷清洗部279b和輥刷267之間流通的氣流。
在框架279的清洗部279b上具有與搬運(yùn)導(dǎo)軌263聯(lián)動且移動自如的遮斷部件290，該遮斷部件290對應(yīng)基板P的大小在清洗部279b內(nèi)定位。另一方面，如圖9所示，輥刷267對應(yīng)基板P的大小而被分成與基板P接觸的接觸部C和非接觸部N，僅在接觸部C上附著污物。由于遮斷氣流的遮斷部件290配置于該輥刷267的接觸部C和非接觸部N的分界處，故使由集塵排出用噴嘴280的吸引而產(chǎn)生的氣流僅在輥刷267的接觸部C流通，可防止氣流向非接觸部N的流通。由此，可提高集塵排出用噴嘴280的吸引帶來的輥刷267的清洗效率。
另外，本發(fā)明的技術(shù)范圍不限于上述實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)可增加各種變更。例如，在本實(shí)施例中使用了兩個(gè)除電裝置，但也可以在輥刷的上游側(cè)僅設(shè)置除電裝置。另外，在本實(shí)施例中表示了通過清洗裝置清洗印刷線路板的形態(tài)，但也可以為除印刷線路板以外的其它基板。
另外，本發(fā)明的基板清洗裝置不限于基板供給裝置，也可以安裝于印刷機(jī)、打印機(jī)、檢查機(jī)等基板安裝用機(jī)器、供給其它基板進(jìn)行各種處理的裝置的全部設(shè)備中。
權(quán)利要求
1.一種基板清洗裝置，其具有移動自如地支承基板的框架和相對該框架旋轉(zhuǎn)自如地安裝的輥刷，利用所述輥刷擦拭并清洗所述基板的表面，其特征在于，所述輥刷是導(dǎo)電性刷。
2.如權(quán)利要求1所述的基板清洗裝置，其特征在于，在與支承于所述框架上并移動的所述基板面對的位置，設(shè)有噴出帶電流體的噴嘴。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基板清洗裝置，其特征在于，將所述噴嘴相對于所述輥刷配置于所述基板的搬運(yùn)方向上游側(cè)或下游側(cè)的任一側(cè)或兩側(cè)。
4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述框架由主體部和箱型的清洗部構(gòu)成，其中，所述主體部具有搬運(yùn)所述基板的搬運(yùn)導(dǎo)軌，所述清洗部安裝于所述主體部的上部，在內(nèi)部具有所述輥刷，所述清洗部可相對于所述主體部在上下方向自如移動。
5.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述框架由主體部和箱型的清洗部構(gòu)成，其中，所述主體部具有搬運(yùn)所述基板的搬運(yùn)導(dǎo)軌，所述清洗部安裝于所述主體部的上部，在內(nèi)部具有所述輥刷，在所述清洗部設(shè)置用于清洗所述輥刷的集塵排出用噴嘴，在所述框架上具有將所述清洗部和所述輥刷之間流通的氣流遮斷的遮斷部件，所述遮斷部件與所述搬運(yùn)導(dǎo)軌聯(lián)動，沿所述輥刷的長度方向自如移動。
6.一種基板供給裝置，其特征在于，具有收納基板的收納臺、使該收納臺升降的升降裝置、搬運(yùn)所述基板的搬運(yùn)裝置，還安裝有權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的基板清洗裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板清洗裝置，即使基板表面一部分或整體帶靜電，也可以容易地清洗附著于基板表面的各種雜質(zhì)及塵埃等。本發(fā)明的基板清洗裝置具有移動自如地支承基板的框架和相對該框架旋轉(zhuǎn)自如地安裝的輥刷，利用所述輥刷擦拭并清洗所述基板的表面，所述輥刷由導(dǎo)電性刷構(gòu)成。
文檔編號H05K3/26GK1835658SQ20051012706
公開日2006年9月20日 申請日期2005年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月14日
發(fā)明者松田直喜 申請人:小松電子株式會社