技術編號:8024661
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及基板清洗裝置及具有基板清洗裝置的基板供給裝置。背景技術 作為清洗印刷線路板表面的裝置,提案有以下專利文獻1記載的清洗機器。該清洗機器具有搬運帶,其搭載基板的邊緣部分,搬運基板;吸附輥,其一邊旋轉一邊加壓接觸由搬運帶搬運的基板;粘附輥,其一邊旋轉一邊加壓接觸吸附輥;使吸附輥向從接觸基板的位置離開的位置移動的裝置。在該清洗機器中,由搬運帶搬運的基板在其表面加壓接觸吸附輥。吸附輥由硅橡膠類樹脂形成,利用潤濕性來吸附基板表面的雜質及塵埃,由此清洗基板。吸附輥由于其表面上不具有粘附材料等,故可防止粘附材料從...
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