孔H2和頂部的步驟。
[0118]在某些實(shí)施方式中，氧化鋅納米顆粒130溶解在乙醇中并被沉積到第二基底10的溝槽111、頂部和第二穿透孔H2中。
[0119]參照?qǐng)D13和14，執(zhí)行使用水熱合成，在沉積有氧化鋅納米顆粒130的第二基底210中生長(zhǎng)氧化鋅納米線131的步驟。
[0120]在某些實(shí)施方式中，通過(guò)將第二基底110放入由硝酸鋅、HMTA(六亞甲基四胺)和PEI (聚乙烯亞胺)組成的水溶液133，然后使用通過(guò)以預(yù)定時(shí)間施加預(yù)定壓力和熱量而生成的水熱反應(yīng)，水熱合成使氧化鋅納米顆粒130生成氧化鋅納米線131。
[0121]參照?qǐng)D15，執(zhí)行將如上所述制備的相位延遲部件100與固定膜5上的結(jié)合襯墊17接合的步驟。
[0122]在某些實(shí)施方式中，結(jié)合襯墊17可以由金屬制成，且接合可以通過(guò)共晶結(jié)合實(shí)現(xiàn)。
[0123]圖16至19是顯示根據(jù)本發(fā)明的又一示例性實(shí)施方式的制備麥克風(fēng)的相位延遲部件的方法的圖。
[0124]參照?qǐng)D16，在圖6和7的方法的基礎(chǔ)上，執(zhí)行以聚合物140涂覆第二基底110的溝槽111、頂部和第二穿透孔H2的步驟。
[0125]在某些實(shí)施方式中，可以通過(guò)旋涂和噴涂中的任何一種方式進(jìn)行聚合物140的涂覆。
[0126]在某些實(shí)施方式中，聚合物140可以包括PE、PMMA、EMMAm PEEK、LCP、PDMS、Tefxel、酚醛樹脂和環(huán)氧樹脂，但不限于此，且可以使任何聚合物類的材料。
[0127]參照?qǐng)D17，執(zhí)行通過(guò)使第二基底110的溝槽111與第二穿透孔H2之間的PR (光致抗蝕劑)143圖案化，蝕刻聚合物140未以PR 143涂覆的部分的步驟。
[0128]在某些實(shí)施方式中，可以在第二基底110的溝槽111頂部形成的聚合物140上形成 PR 143。
[0129]參照?qǐng)D18，執(zhí)行除去PR 143的步驟。
[0130]參照?qǐng)D19，執(zhí)行將如前所述制備的相位延遲部件100與固定膜5頂部的結(jié)合襯墊17接合的步驟。
[0131]在某些實(shí)施方式中，結(jié)合襯墊17是聚合物類結(jié)合材料，并且將相位延遲部件100接合至固定膜5。
[0132]因此，與僅具有穿透孔相比，通過(guò)使用CNT 121、氧化鋅納米線131或者聚合物140，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的相位延遲部件100能夠進(jìn)一步延遲進(jìn)入麥克風(fēng)的聲音的相位。
[0133]盡管描述了本發(fā)明實(shí)用的示例性實(shí)施方式，但應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不限于公開的實(shí)施方式，而是相反，本發(fā)明意在包括由所附權(quán)利要求的主旨和范圍內(nèi)涵蓋的各種變型和等同設(shè)置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種制造麥克風(fēng)的方法，包括以下步驟: 制備具有第一和第二相對(duì)表面的第一基底，然后在所述第一基底的第一相對(duì)表面上形成具有氧化物膜和多個(gè)槽的振動(dòng)膜； 在所述振動(dòng)膜之上形成各自具有第一和第二相對(duì)表面的犧牲層和固定膜，然后形成貫通所述固定膜的多個(gè)進(jìn)氣孔； 放置要與所述固定膜連接的第一襯墊、要與所述振動(dòng)膜連接的第二襯墊、以及用于與相位延遲部件接合的結(jié)合襯墊； 通過(guò)蝕刻所述第一基底的第二相對(duì)表面形成第一穿透孔，并通過(guò)部分蝕刻所述氧化物層和所述犧牲層在所述固定膜與所述振動(dòng)膜之間形成空氣層；以及將相位延遲部件接合到所述結(jié)合襯墊上， 其中所述相位延遲部件通過(guò)以下步驟形成: 制備具有第一和第二相對(duì)表面的第二基底，然后通過(guò)蝕刻所述第二基底的第二相對(duì)表面形成溝槽； 形成多個(gè)貫穿所述第二基底的溝槽和第一相對(duì)表面的第二穿透孔； 將催化劑沉積在所述第二基底的第一相對(duì)表面和第二穿透孔；以及 用所述催化劑合成CNT (碳納米管)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述形成進(jìn)氣孔的步驟包括: 在所述犧牲層的第一相對(duì)表面上形成多個(gè)第一凹坑和在所述固定膜的第一相對(duì)表面上形成多個(gè)第二凹坑；以及 在所述固定膜的第二相對(duì)表面上形成多個(gè)突起， 其中所述突起納入所述犧牲層的第一凹坑中。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中: 通過(guò)用金屬的共晶結(jié)合執(zhí)行所述第一襯墊、所述第二襯墊或所述結(jié)合襯墊的放置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述催化劑包括鐵(Fe)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述合成CNT的步驟包括用CVD(化學(xué)氣相沉積)設(shè)備將氨氣(NH3)和乙炔氣(C2H2)在700°C的溫度下注入石英管。6.一種制造麥克風(fēng)的方法，包括以下步驟: 制備具有第一和第二相對(duì)表面的第一基底，然后在所述第一基底的第一相對(duì)表面上形成具有氧化物膜和多個(gè)槽的振動(dòng)膜； 在所述振動(dòng)膜之上形成各自具有第一和第二相對(duì)表面的犧牲層和固定膜，然后形成貫穿所述固定膜的多個(gè)進(jìn)氣孔； 放置要與所述固定膜連接的第一襯墊、要與所述振動(dòng)膜連接的第二襯墊、和用于與相位延遲部件接合的結(jié)合襯墊； 通過(guò)蝕刻所述第一基底的第二相對(duì)表面形成第一穿透孔，并通過(guò)部分蝕刻所述氧化物膜和所述犧牲層在所述固定膜與所述振動(dòng)膜之間形成空氣層；以及將相位延遲部件接合到所述結(jié)合襯墊上； 其中所述相位延遲部件通過(guò)以下步驟形成: 制備具有第一和第二相對(duì)表面的第二基底，然后通過(guò)蝕刻所述第二基底的第二相對(duì)表面形成溝槽； 形成貫穿所述第二基底的溝槽和第一相對(duì)表面的多個(gè)第二穿透孔； 將氧化鋅納米顆粒沉積在所述第二基底的溝槽、頂部和第二穿透孔中；以及 用水熱合成在沉積有氧化鋅納米顆粒的所述第二基底中生長(zhǎng)氧化鋅納米線。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中在所述沉積氧化鋅納米顆粒的步驟中，所述氧化鋅納米顆粒溶解在乙醇中。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中在所述水熱合成中，使用由硝酸鋅、HMTA(六亞甲基四胺)和PEI (聚乙烯亞胺)組成的水溶液。9.一種制備定向MEMS麥克風(fēng)的方法，包括以下步驟: 制備具有第一和第二相對(duì)表面的第一基底，然后在所述第一基底的第一相對(duì)表面上形成具有氧化物膜和多個(gè)槽的振動(dòng)膜； 在所述振動(dòng)膜之上形成各自具有第一和第二相對(duì)表面的犧牲層和固定膜，然后形成貫穿所述固定膜的進(jìn)氣孔； 放置要與所述固定膜連接的第一襯墊、要與所述振動(dòng)膜連接的第二襯墊、和用于與相位延遲部件接合的結(jié)合襯墊； 通過(guò)蝕刻所述第一基底的第二相對(duì)表面形成第一穿透孔，并通過(guò)部分蝕刻所述氧化物膜和所述犧牲層在所述固定膜與所述振動(dòng)膜之間形成空氣層；以及將相位延遲部件接合到所述結(jié)合襯墊上， 其中所述相位延遲部件通過(guò)以下步驟形成: 制備具有第一和第二相對(duì)表面的第二基底，然后通過(guò)蝕刻所述第二基底的第二相對(duì)表面形成溝槽； 形成貫穿所述第二基底的溝槽和第一相對(duì)表面的多個(gè)第二穿透孔； 以聚合物涂覆所述第二基底的溝槽、第一相對(duì)表面和第二穿透孔； 以光致抗蝕劑(PR)涂覆部分聚合物； 通過(guò)使所述溝槽與所述第二穿透孔之間的PR圖案化，蝕刻沒(méi)有用PR涂覆的部分的聚合物；以及 在已將所述聚合物蝕刻后除去PR。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述結(jié)合襯墊包括聚合物類結(jié)合材料。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述以聚合物涂覆的步驟包括旋涂或噴涂。12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述聚合物包括PE、PMMA,EMMAm PEEK、LCP、PDMS、Tefxel、酚醛樹脂或環(huán)氧樹脂。13.—種麥克風(fēng)，包括: 具有一個(gè)或多個(gè)第一穿透孔的第一基底； 布置在所述第一基底上并覆蓋所述第一穿透孔的振動(dòng)膜； 以預(yù)定距離布置在所述振動(dòng)膜之上并具有多個(gè)進(jìn)氣孔的固定膜；以及通過(guò)結(jié)合襯墊接合到所述固定膜上的相位延遲部件，所述相位延遲部件具有與所述一個(gè)或多個(gè)第一穿透孔連接的多個(gè)第二穿透孔，并且在所述第二穿透孔中具有相位延遲材料。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的麥克風(fēng)，其中所述相位延遲部件包括具有第一和第二相對(duì)表面的第二基底，所述第二相對(duì)表面具有與所述第二穿透孔連接的溝槽，并且其中形成CNT (碳納米管)作為相位延遲材料。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的麥克風(fēng)，其中所述CNT在所述第二基底的第一相對(duì)表面上形成并填充所示第二穿透孔。16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的麥克風(fēng)，其中所述相位延遲部件包括具有第一和第二相對(duì)表面的第二基底，所述第二相對(duì)表面具有與所述第二穿透孔連接的溝槽，并且其中形成氧化鋅納米線作為相位延遲材料。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的麥克風(fēng)，其中所述氧化鋅納米線在所述第二基底的第一相對(duì)表面上形成，填充所述第二穿透孔，并且在所述溝槽之內(nèi)形成。18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的麥克風(fēng)，其中所述相位延遲部件包括具有第一和第二相對(duì)表面的第二基底，所述第二相對(duì)表面具有與所述第二穿透孔連接的溝槽，并且其中形成聚合物作為相位延遲材料。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的麥克風(fēng)，其中所述聚合物在所述第二基底的第一相對(duì)表面上形成，填充所述第二穿透孔，并且在所述溝槽的第一部分形成。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的麥克風(fēng)，其中所述溝槽的第一部分是與所述第二基底的第一相對(duì)表面最接近的部分。
【專利摘要】本申請(qǐng)涉及一種麥克風(fēng)，包括：具有一個(gè)或多個(gè)第一穿透孔的第一基底；布置在第一基底上并覆蓋第一穿透孔的振動(dòng)膜；以預(yù)定距離布置在振動(dòng)膜之上并具有多個(gè)進(jìn)氣孔的固定膜；以及通過(guò)結(jié)合襯墊接合到固定膜上的相位延遲部件，所述相位延遲部件具有與一個(gè)或多個(gè)第一穿透孔連接的多個(gè)第二穿透孔，并在第二穿透孔中具有相位延遲材料。本申請(qǐng)還涉及制備包括相位延遲部件的麥克風(fēng)的方法。
【IPC分類】H04R19/04, H04R31/00
【公開號(hào)】CN105635921
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510716158
【發(fā)明人】俞一善
【申請(qǐng)人】現(xiàn)代自動(dòng)車株式會(huì)社
【公開日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2015年10月29日
【公告號(hào)】US20160150324