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數(shù)據(jù)傳送方法和裝置的制造方法

文檔序號:8433527閱讀:389來源:國知局
數(shù)據(jù)傳送方法和裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及數(shù)據(jù)處理領(lǐng)域,具體而言,涉及一種數(shù)據(jù)傳送方法和裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法)設(shè)備中執(zhí)行復(fù)雜的工藝時,會分為多個工藝步驟。每個工藝步驟中涉及多種工藝參數(shù)及每種工藝參數(shù)的多個分段變化值,其中,每個分段變化值都包括起始值、終止值和持續(xù)時間三部分?jǐn)?shù)據(jù)。例如,某個工藝步驟中包含的多種工藝參數(shù)為工藝的溫度、壓力、電源的功率和各種氣體的流量以及上述每個工藝參數(shù)的多個分段變化值,上述工藝步驟中的工藝數(shù)據(jù)需要由上位機(jī)(工藝控制系統(tǒng))傳送至下位機(jī)(工藝執(zhí)行系統(tǒng))。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中PECVD設(shè)備中的數(shù)據(jù)傳送方法是工藝步驟中的工藝參數(shù)一個分段變化值中的一部分?jǐn)?shù)據(jù)(例如:起始值)占用上位機(jī)驅(qū)動程序中的一個變量,上位機(jī)將變量一個一個的傳送至下位機(jī)。由于每次驅(qū)動程序都是一個變量對應(yīng)一個下位機(jī)的地址逐個尋址逐個寫入,所以對于一個工藝步驟而言,需要占用較長時間來進(jìn)行工藝參數(shù)的傳遞,從而執(zhí)行工藝所需時間較長,導(dǎo)致實時性差。并且,需將要傳送的工藝參數(shù)名稱及其對應(yīng)在下位機(jī)中的地址逐一列在驅(qū)動程序的通訊驅(qū)動中,不便于工藝的保密性。
[0004]針對現(xiàn)有技術(shù)中PECVD設(shè)備中數(shù)據(jù)傳送時間較長的問題,目前尚未提出有效的解決方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的主要目的在于提供一種數(shù)據(jù)傳送方法和裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中PECVD設(shè)備中數(shù)據(jù)傳送時間較長的問題。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的一個方面,提供了一種數(shù)據(jù)傳送方法。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的數(shù)據(jù)傳送方法包括:獲取被傳送數(shù)據(jù)的總字節(jié)數(shù),其中,所述總字節(jié)數(shù)為所述被傳送數(shù)據(jù)中包含的目標(biāo)參數(shù)的總字節(jié)數(shù);根據(jù)所述總字節(jié)數(shù),建立字節(jié)型數(shù)組;根據(jù)所述目標(biāo)參數(shù),對所述字節(jié)型數(shù)組的數(shù)組元素賦值;以及定義目標(biāo)變量,將所述目標(biāo)變量發(fā)送至目的端,其中,所述目標(biāo)變量的賦值為賦值后的所述字節(jié)型數(shù)組。
[0008]進(jìn)一步地,所述被傳送數(shù)據(jù)為工藝步驟,所述目標(biāo)參數(shù)為所述工藝步驟中包含的工藝參數(shù),其中,獲取被傳送數(shù)據(jù)的總字節(jié)數(shù)包括:獲取所述工藝步驟中的所述工藝參數(shù);遍歷全部所述工藝參數(shù),獲取每個所述工藝參數(shù)包含的參數(shù)分段變化值;以及根據(jù)所述工藝參數(shù)的數(shù)據(jù)類型和每個所述工藝參數(shù)包含的所述參數(shù)分段變化值的數(shù)據(jù)類型確定所述工藝步驟的總字節(jié)數(shù)。
[0009]進(jìn)一步地,根據(jù)所述工藝參數(shù)的數(shù)據(jù)類型和每個所述工藝參數(shù)的所述參數(shù)分段變化值的數(shù)據(jù)類型確定所述工藝步驟的總字節(jié)數(shù)包括:統(tǒng)計所述工藝步驟中包含的不同數(shù)據(jù)類型的種類以及每種所述數(shù)據(jù)類型的數(shù)量;以及根據(jù)每種數(shù)據(jù)類型的數(shù)量和所述數(shù)據(jù)類型所占的字節(jié)數(shù)確定所述工藝步驟的總字節(jié)數(shù)。
[0010]進(jìn)一步地,在獲取工藝步驟的總字節(jié)數(shù)之前,所述數(shù)據(jù)傳送方法還包括:接收所述工藝參數(shù)添加指令;以及根據(jù)所述添加指令確定所述工藝步驟中包含的工藝參數(shù)以及每個所述工藝參數(shù)包含的所述參數(shù)分段變化值。
[0011]為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的另一方面,提供了一種數(shù)據(jù)傳送裝置。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的數(shù)據(jù)傳送裝置包括:獲取單元,用于獲取被傳送數(shù)據(jù)的總字節(jié)數(shù),其中,所述總字節(jié)數(shù)為所述被傳送數(shù)據(jù)中包含的目標(biāo)參數(shù)的總字節(jié)數(shù);建立單元,用于根據(jù)所述總字節(jié)數(shù),建立字節(jié)型數(shù)組;賦值單元,用于根據(jù)所述目標(biāo)參數(shù),對所述字節(jié)型數(shù)組的數(shù)組元素賦值;以及發(fā)送單元,用于定義目標(biāo)變量,將所述目標(biāo)變量發(fā)送至目的端,其中,所述目標(biāo)變量的賦值為賦值后的所述字節(jié)型數(shù)組。
[0013]進(jìn)一步地,所述被傳送數(shù)據(jù)為工藝步驟,所述目標(biāo)參數(shù)為所述工藝步驟中包含的工藝參數(shù),其中,所述獲取單元包括:第一獲取模塊,用于獲取所述工藝步驟中的所述工藝參數(shù);第二獲取模塊,用于遍歷全部所述工藝參數(shù),獲取每個所述工藝參數(shù)包含的參數(shù)分段變化值;以及確定模塊,用于根據(jù)所述工藝參數(shù)的數(shù)據(jù)類型和每個所述工藝參數(shù)包含的所述參數(shù)分段變化值的數(shù)據(jù)類型確定所述工藝步驟的總字節(jié)數(shù)。
[0014]進(jìn)一步地,所述確定模塊包括:統(tǒng)計子模塊,用于統(tǒng)計所述工藝步驟中包含的不同數(shù)據(jù)類型的種類以及每種所述數(shù)據(jù)類型的數(shù)量;以及確定子模塊,用于根據(jù)每種數(shù)據(jù)類型的數(shù)量和所述數(shù)據(jù)類型所占的字節(jié)數(shù)確定所述工藝步驟的總字節(jié)數(shù)。
[0015]進(jìn)一步地,所述數(shù)據(jù)傳送裝置還包括:接收單元,用于在獲取工藝步驟的總字節(jié)數(shù)之前,接收所述工藝參數(shù)添加指令;以及確定單元,用于根據(jù)所述添加指令確定所述工藝步驟中包含的工藝參數(shù)以及每個所述工藝參數(shù)包含的所述參數(shù)分段變化值。
[0016]進(jìn)一步地,所述被傳送數(shù)據(jù)為工藝步驟,所述目標(biāo)參數(shù)為所述工藝步驟中包含的工藝參數(shù),其中,在根據(jù)所述總字節(jié)數(shù),建立字節(jié)型數(shù)組之后,所述數(shù)據(jù)傳送裝置還包括:拆解單元,用于將所述工藝參數(shù)按照預(yù)設(shè)格式進(jìn)行拆解,以得到每個所述工藝參數(shù)在所述字節(jié)型數(shù)組中的排放位置;所述賦值單元包括賦值模塊,用于根據(jù)所述工藝參數(shù),對每個所述工藝參數(shù)在所述字節(jié)型數(shù)組中的所述排放位置對應(yīng)的所述數(shù)組元素進(jìn)行賦值。
[0017]進(jìn)一步地,所述數(shù)據(jù)傳送裝置還包括:還原單元,用于在定義目標(biāo)變量,將所述目標(biāo)變量發(fā)送至目的端之后,根據(jù)所述預(yù)設(shè)格式對接收到的所述字節(jié)型數(shù)組進(jìn)行還原。
[0018]根據(jù)發(fā)明實施例,采用獲取被傳送數(shù)據(jù)的總字節(jié)數(shù),其中,總字節(jié)數(shù)為被傳送數(shù)據(jù)中包含的目標(biāo)參數(shù)的總字節(jié)數(shù);根據(jù)總字節(jié)數(shù),建立字節(jié)型數(shù)組;根據(jù)目標(biāo)參數(shù),對字節(jié)型數(shù)組的數(shù)組元素賦值;以及定義目標(biāo)變量,將目標(biāo)變量發(fā)送至目的端,其中,目標(biāo)變量的賦值為賦值后的字節(jié)型數(shù)組。通過獲取被傳送數(shù)據(jù)的總字節(jié)數(shù),實現(xiàn)了字節(jié)型數(shù)組中數(shù)組元素數(shù)量的確定,進(jìn)而建立關(guān)于被傳送數(shù)據(jù)的字節(jié)型數(shù)組,再根據(jù)被傳送數(shù)據(jù)中的參數(shù)對數(shù)組中的數(shù)組元素進(jìn)行賦值,將賦值后的數(shù)組作為一個變量的變量賦值傳送至目的端。由于向目的端傳送數(shù)據(jù)時只占用一個變量,所以只需尋址一次,并且被傳送的數(shù)據(jù)在下位機(jī)中的地址連續(xù),所以數(shù)據(jù)傳送速度極快,解決了現(xiàn)有技術(shù)中PECVD設(shè)備中數(shù)據(jù)傳送時間較長的問題,進(jìn)而達(dá)到了縮短PECVD設(shè)備中傳送數(shù)據(jù)的時間,并且提高實時性的效果。
【附圖說明】
[0019]構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解,本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明,并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0020]圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)傳送方法的流程圖;以及
[0021]圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)傳送裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0022]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案,下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分的實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0023]需要說明的是,本發(fā)明的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對象,而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換,以便這里描述的本發(fā)明的實施例能夠以除了在這里圖示或描述的那些以外的順序?qū)嵤4送?,術(shù)語“包括”和“具有”以及他們的任何變形,意圖在于覆蓋不排他的包含,例如,包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元,而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。
[0024]實施例1
[0025]根據(jù)本發(fā)明實施例,提供了一種可以用于實施本申請裝置實施例的方法實施例,需要說明的是,在附圖的流程圖示出的步驟可以在諸如一組計算機(jī)可執(zhí)行指令的計算機(jī)系統(tǒng)中執(zhí)行,并且,雖然在流程圖中示出了邏輯順序,但是在某些情況下,可以以不同于此處的順序執(zhí)行所示出或描述的步驟。
[0026]根據(jù)本發(fā)明實施例,提供了一種數(shù)據(jù)傳送方法,其中,本發(fā)明實施例所提供的數(shù)據(jù)傳送方法應(yīng)用于PECVD設(shè)備。圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)傳送方法的流程圖,如圖1所示,該方法包括如下的步驟S102至步驟S108:
[0027]S102:獲取被傳送數(shù)據(jù)的總字節(jié)數(shù),其中,總字節(jié)數(shù)為被傳送數(shù)據(jù)中包含的目標(biāo)參數(shù)的總字節(jié)數(shù)。具體地,被傳送數(shù)據(jù)中包含的目標(biāo)參數(shù)的數(shù)量可以為一個,也可以為多個,具體根據(jù)被傳送數(shù)據(jù)確定,被傳送數(shù)據(jù)的總字節(jié)數(shù)等于該被傳送數(shù)據(jù)中的全部目標(biāo)參數(shù)的字節(jié)數(shù)之和。
[0028]在應(yīng)用PECVD設(shè)備進(jìn)行復(fù)雜的工藝時,例如:復(fù)雜的工藝為制備非晶硅薄膜電池。制備
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