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一種石墨烯振膜、振膜制作方法及包括該振膜的傳聲器與流程

文檔序號:11881845閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出一種石墨烯材料傳聲器振膜及制作該振膜的方法,包括金屬鎳環(huán),以及與該金屬鎳環(huán)結(jié)合為一體的石墨烯薄膜,該振膜結(jié)構(gòu)由以下方式得到:提供金屬鎳片,在金屬鎳片上生長石墨烯薄膜,利用刻蝕的方式將金屬鎳片的中間部分去除,得到金屬鎳環(huán),金屬鎳環(huán)與石墨烯薄膜結(jié)合為一體,由此制得石墨烯振膜,進(jìn)一步提出一種包括該石墨烯材料振膜的電容傳聲器,本發(fā)明的石墨烯材料振膜結(jié)構(gòu)牢固,并使具有該石墨烯振膜的傳聲器的靈敏度、頻率響應(yīng)、瞬態(tài)響應(yīng)等電聲特性均得到較大提升。

技術(shù)研發(fā)人員:張德明
受保護(hù)的技術(shù)使用者:北京塞賓科技有限公司
文檔號碼:201610594985
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.25
技術(shù)公布日:2016.11.16

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