本發(fā)明屬于傳聲器零部件領(lǐng)域，特別涉及一種石墨烯振膜、振膜制作方法及包括該振膜的傳聲器。

背景技術(shù)：

傳聲器包括電容式、動(dòng)圈式、壓電式等，其中電容式傳聲器以其較為優(yōu)秀的電聲特性得到了廣泛的應(yīng)用，而振膜作為電容式傳聲器的重要組件對傳聲器性能有重要影響?，F(xiàn)有技術(shù)中的傳聲器振膜其材料通常選用具有金屬鍍層的高分子材料、金屬等，受到材料限制，傳聲器性能有時(shí)依然無法滿足日益嚴(yán)苛的使用需要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提出一種石墨烯材料的傳聲器振膜、振膜的制作方法及包括該振膜的傳聲器，通過本發(fā)明制得的石墨烯振膜結(jié)構(gòu)牢固，工藝簡單，節(jié)約開銷，并使具有該石墨烯振膜的傳聲器的靈敏度、頻率響應(yīng)、瞬態(tài)響應(yīng)等電聲特性均得到較大提升。

提供一種石墨烯材料傳聲器振膜，包括金屬鎳環(huán)，以及與該金屬鎳環(huán)結(jié)合為一體的石墨烯薄膜，該振膜結(jié)構(gòu)由以下方式得到:提供金屬鎳片，在金屬鎳片上生長石墨烯薄膜，利用刻蝕的方式將金屬鎳片的中間部分去除，得到金屬鎳環(huán)，金屬鎳環(huán)與石墨烯薄膜結(jié)合為一體，由此制得石墨烯振膜。進(jìn)一步，振膜形狀包括圓形、方形、長方形、橢圓形、跑道形。

同時(shí)還提出了一種石墨烯材料傳聲器振膜的制作方法，制作流程包括提供一金屬鎳片，在金屬鎳片上生長石墨烯薄膜，利用刻蝕的方式將金屬鎳片的中間部分去除，得到金屬鎳環(huán)，金屬鎳環(huán)與石墨烯薄膜結(jié)合為一體，由此制得石墨烯振膜。

進(jìn)一步提出一種電容式傳聲器，包括外殼，外殼內(nèi)由上至下封裝有上述石墨烯材料傳聲器振膜、絕緣環(huán)、具有通孔的背極板，其中金屬鎳環(huán)在上，與金屬鎳環(huán)相結(jié)合的石墨烯薄膜在下，絕緣環(huán)與石墨烯薄膜外圍抵接，具有通孔的背極板與絕緣環(huán)抵接，通孔與外殼圍成的聲腔相連。進(jìn)一步，該電容式傳聲器為駐極體式或純電容式。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的石墨烯材料振膜的制作流程圖

圖2為本發(fā)明的包含石墨烯材料振膜的傳聲器的剖面圖

具體實(shí)施方式

結(jié)合附圖，對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。附圖1示出了本發(fā)明的石墨烯振膜的制作流程，即首先提供一金屬鎳片1，在金屬鎳片1上生長石墨烯薄膜2，利用刻蝕的方式將金屬鎳片1的中間部分去除，得到金屬鎳環(huán)1’，金屬鎳環(huán)1’與石墨烯薄膜2結(jié)合為一體，由此制得石墨烯振膜。

附圖2示出了本發(fā)明的包含有石墨烯振膜的電容傳聲器結(jié)構(gòu)，包括外殼5，外殼5內(nèi)由上至下封裝有本發(fā)明的石墨烯振膜、絕緣環(huán)3、具有通孔的背極板4，其中金屬鎳環(huán)1’在上，與金屬鎳環(huán)1’相結(jié)合的石墨烯薄膜2在下，絕緣環(huán)3與石墨烯薄膜2外圍抵接，具有通孔的背極板4與絕緣環(huán)3抵接，通孔與外殼5圍成的聲腔相連。也可以是金屬鎳環(huán)1’在下，與金屬鎳環(huán)1’相結(jié)合的石墨烯薄膜2在上，絕緣環(huán)3與金屬鎳環(huán)1’抵接。

進(jìn)一步，本發(fā)明的石墨烯振膜可用于駐極體電容式傳聲器(ECM)或純電容式傳聲器，振膜形狀根據(jù)需要可為圓形、方形、長方形、橢圓形、跑道形等。