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包括多個(gè)可調(diào)節(jié)光學(xué)器件的陣列的制作方法與工藝

文檔序號(hào):12200823閱讀:225來源:國(guó)知局
包括多個(gè)可調(diào)節(jié)光學(xué)器件的陣列的制作方法與工藝
本發(fā)明一般地涉及可調(diào)節(jié)陣列,并且特別涉及包括各具有從其輸出光學(xué)光線的多個(gè)光學(xué)器件的可調(diào)節(jié)陣列。

背景技術(shù):
對(duì)高容量光學(xué)互連有相當(dāng)大的且不斷增長(zhǎng)的興趣。在各種實(shí)施方式中,通常需要能夠具有最小40Gb/s優(yōu)選100Gb/s及以上的數(shù)據(jù)速率的互連。大部分由于在以串行格式實(shí)現(xiàn)這些數(shù)據(jù)速率中的困難,并行多信道單光纖互連實(shí)現(xiàn)(即,高數(shù)據(jù)容量系統(tǒng))正受到青睞。作為示例,并行多信道互連實(shí)現(xiàn)被隱含在100Gb/s小形狀因數(shù)(small-form-factor)的可插拔(CFP)標(biāo)準(zhǔn)、多源協(xié)議中,以產(chǎn)生用于傳輸高速數(shù)字信號(hào)的普通形狀因數(shù)。CFP標(biāo)準(zhǔn)定義了使得包括下一代高速以太網(wǎng)(100GbE)的傳輸應(yīng)用和數(shù)據(jù)速率能夠直達(dá)100Gb/s的可熱插拔光收發(fā)器形狀因數(shù)。可插拔CFP收發(fā)器能夠支持?jǐn)?shù)據(jù)通信及形成因特網(wǎng)的骨干的電信網(wǎng)絡(luò)的超高帶寬要求。CFP標(biāo)準(zhǔn)的電接口僅被一般定義。但因100Gb/s收發(fā)器而有利于具有10個(gè)10Gb/s器件的陣列的并行鏈路。許多常規(guī)并行多信道陣列實(shí)現(xiàn)利用固定波長(zhǎng)激光器或集成激光調(diào)制器的陣列,并且在IUT網(wǎng)格(例如,200GHz間隔、100GHz間隔、50GHz間隔等)內(nèi)工作在給定波長(zhǎng)波段(例如,C波段或L波段)。也就是說,陣列的每個(gè)激光器都可以工作在ITU網(wǎng)格的特定信道和對(duì)應(yīng)頻率(波長(zhǎng))。陣列中的每一個(gè)激光器的網(wǎng)格對(duì)齊是通過在與一些熱調(diào)節(jié)相結(jié)合的制造過程中建立的特定光柵間距來實(shí)現(xiàn)的。作為示例,美國(guó)專利No.5,930,278中公開了變化間隔的布拉格(Bragg)光柵在多波長(zhǎng)激光器發(fā)射部件中的使用。直接調(diào)制激光器(DML)的陣列是最簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)。例如,來自Santur公司的PD100-TX100Gb/sCFP兼容光纖收發(fā)器包括每信道以10.3125Gb/s工作的十個(gè)獨(dú)立信道。PD100-TX結(jié)合了10信道激光驅(qū)動(dòng)器電路以及10信道DML陣列和光多路復(fù)用器。但由諸如上面所描述的激光器的固定波長(zhǎng)激光器構(gòu)成的陣列提供有限的通用性。結(jié)果,給定固定波長(zhǎng)陣列的許多變體將被要求滿足各種ITU網(wǎng)格上的各種短(2km-10km)、介質(zhì)、及長(zhǎng)范圍(高于40km)實(shí)現(xiàn)的要求。陣列被用在的范圍和環(huán)境可以支配對(duì)變體的選擇。例如,對(duì)于2-10km短范圍,在使用密集WDM(波分復(fù)用)方面存在很少的優(yōu)勢(shì),因?yàn)檫@通常將比粗WDM多信道方法更昂貴。在短鏈路情況下,光纖代表成本的一小部分,因此將通過提供附加的光纖來增加附加信道(例如10、40或100Gb/s的)。典型地,CWDM配置在并行數(shù)據(jù)承載通路之間以4或8nm的間隔工作,因此合成集用盡該光纖的可用傳輸帶的基本部分,且對(duì)于附加的波長(zhǎng)復(fù)用進(jìn)一步提高光纖中的容量而言存在很少的余地。對(duì)于中間/長(zhǎng)范圍,光纖成本與安裝要重要得多并且通常多個(gè)信道(例如10、40或100Gb/s的)將被要求在光纖上傳送。這個(gè)通過使用密集WDM來實(shí)現(xiàn),其中單獨(dú)的并行數(shù)據(jù)信道之間的間隔將通常是50、100或200GHz。在50GHz間隔的情況下,在大約1525與1565nm之間的光纖的傳統(tǒng)‘C’帶能夠承載大約100個(gè)數(shù)據(jù)通道(datalane)。對(duì)于100GHz,這個(gè)大約是50。因此對(duì)于該應(yīng)用在陣列的情況下,將需要具有不同波長(zhǎng)輸出的最小大約10個(gè)不同變體用于在50GHz網(wǎng)格上工作的10個(gè)信道單元以及大約25個(gè)不同變體用于在50GHz網(wǎng)格上工作的4個(gè)信道單元,其中對(duì)于陣列的起始信道的完全靈活性需要更多變體。隨著網(wǎng)格加寬(例如到100GHz),變體的數(shù)目原則上減少,盡管許多用戶將‘交錯(cuò)’100GHz網(wǎng)格器件以使用全50GHz網(wǎng)格,從而給出相同總數(shù)的變體。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明提供關(guān)于輸出參數(shù)每一個(gè)都具有相對(duì)于彼此以預(yù)定非等效關(guān)系從其輸出光學(xué)光線的多個(gè)光學(xué)器件的可調(diào)節(jié)陣列。所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線可關(guān)于所述輸出參數(shù)調(diào)節(jié)同時(shí)基本上維持所述預(yù)定義非等效關(guān)系。這允許簡(jiǎn)化設(shè)定以及控制該可調(diào)節(jié)陣列。本發(fā)明的可調(diào)節(jié)陣列是高度通用的,并且可以被用來滿足‘設(shè)置和忘記’配置中的各種固定波長(zhǎng)互連實(shí)現(xiàn)的要求。由所述可調(diào)節(jié)陣列的可調(diào)諧性所提供的所述通用性允許必須被制造或者由用戶作為存貨保留的變體的數(shù)目上的減少。此外,所述陣列的可調(diào)節(jié)性允許陣列被用在其中的網(wǎng)絡(luò)的靈活性和可配置性。例如,該可調(diào)節(jié)陣列可以被實(shí)現(xiàn)在像路由器-路由器、云計(jì)算、服務(wù)器場(chǎng)、滿足SONET規(guī)范(例如,CFP)的并行鏈路等這樣的應(yīng)用中。除通用性之外,依照本發(fā)明的所述可調(diào)節(jié)陣列可以允許使用減少數(shù)目的觸點(diǎn)、鍵合線、和/或電流或電壓源。在一個(gè)實(shí)施例中,該可調(diào)節(jié)陣列中鍵合線的數(shù)目被減少到小于n×m的數(shù)目,其中n是光學(xué)器件的數(shù)目而m是對(duì)于單獨(dú)的光學(xué)器件所需的鍵合的數(shù)目。結(jié)果,可以最小化所述可調(diào)節(jié)陣列的尺寸。本發(fā)明還允許驅(qū)動(dòng)電流或電壓的顯著減少。例如,在十信道陣列實(shí)施例中,與‘標(biāo)準(zhǔn)’激光器的陣列的500-750mA相比,所述陣列中的總調(diào)諧電流可被減少到大約100mA。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,可調(diào)節(jié)陣列器件包括:多個(gè)光學(xué)器件,其每個(gè)具有從其輸出的光學(xué)光線并且被配置借此所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于輸出參數(shù)具有相對(duì)于彼此的預(yù)定義非等效關(guān)系,并且其中,響應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào),所述多個(gè)光學(xué)器件被進(jìn)一步配置成關(guān)于所述輸出參數(shù)來調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)基本上維持所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例,所述輸出參數(shù)是波長(zhǎng)、頻率、功率、相位或偏振中的至少一個(gè)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件中的每一個(gè)都包括至少一個(gè)調(diào)節(jié)部,其響應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)信號(hào),關(guān)于所述輸出參數(shù)來調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)基本上維持所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)另一實(shí)施例,所述可調(diào)節(jié)陣列器件進(jìn)一步包括控制器,所述控制器被耦合成并配置成將所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出到所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部。根據(jù)另一實(shí)施例,所述控制器間接地耦合所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部。根據(jù)另一實(shí)施例,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)包括起源于主信號(hào)的多個(gè)信號(hào)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部被物理上耦合到彼此并且共享所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部通過電壓、電流、溫度或機(jī)械操作中的至少一個(gè)來調(diào)整所述光學(xué)光線。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件中的每一個(gè)都包括至少一個(gè)附加的調(diào)節(jié)部,其被配置成關(guān)于所述輸出參數(shù)獨(dú)立地調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)調(diào)整所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)另一實(shí)施例,所述預(yù)定義非等效關(guān)系包括相對(duì)于彼此具有相等偏移、不相等偏移或預(yù)定義比值中的至少一個(gè)的所述多個(gè)光學(xué)器件關(guān)于所述輸出參數(shù)的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線。根據(jù)另一實(shí)施例,所述預(yù)定義非等效關(guān)系包括符合在所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于所述輸出參數(shù)的調(diào)節(jié)之前的第一組相應(yīng)值、以及在所述調(diào)節(jié)之后的第二組相應(yīng)值的所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述預(yù)定義非等效關(guān)系包括符合在所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于所述輸出參數(shù)的調(diào)節(jié)之前的ITU網(wǎng)格的第一組相應(yīng)信道、以及在所述調(diào)節(jié)之后的所述ITU網(wǎng)格的第二組相應(yīng)信道的所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的頻率。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件被進(jìn)一步配置成沿著ITU網(wǎng)格的相應(yīng)信道步進(jìn)所述多個(gè)光學(xué)器件的所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線。根據(jù)另一實(shí)施例,所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線還具有相對(duì)于彼此是相等的附加的輸出參數(shù)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件被單片集成在單個(gè)芯片上。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多光學(xué)器件包括多個(gè)可調(diào)諧激光器、調(diào)制器、光電檢測(cè)器、半導(dǎo)體光放大器、偏振控制器或相位控制器中的至少一個(gè)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述可調(diào)節(jié)陣列器件還包括被配置成將所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線組合成組合輸出的組合器。根據(jù)另一實(shí)施例,所述可調(diào)節(jié)陣列器件還包括一個(gè)或多個(gè)附加的冗余光學(xué)器件。根據(jù)本發(fā)明的另一方面,可調(diào)節(jié)陣列器件包括:多個(gè)可調(diào)諧激光器,其各具有從其輸出的光學(xué)光線并且被配置借此所述多個(gè)可調(diào)諧激光器的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于頻率具有相對(duì)于彼此的預(yù)定義非等效關(guān)系,并且其中,響應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào),所述多個(gè)可調(diào)諧激光器器件被進(jìn)一步配置成關(guān)于頻率來調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)基本上維持所述非等效預(yù)定義關(guān)系。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例,所述多個(gè)可調(diào)諧激光器中的每一個(gè)都包括對(duì)應(yīng)的前光柵調(diào)諧部,其響應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)信號(hào),調(diào)整所述光學(xué)光線同時(shí)基本上維持所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)另一實(shí)施例,所述可調(diào)節(jié)陣列器件還包括控制器,所述控制器被耦合成并配置成將所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出到所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的前光柵調(diào)諧部。根據(jù)另一實(shí)施例,所述控制器間接地耦合所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的前光柵調(diào)諧部。根據(jù)另一實(shí)施例,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)包括起源于主信號(hào)的多個(gè)信號(hào)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的前光柵調(diào)諧部被物理上耦合到彼此并且共享所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件中的每一個(gè)都包括至少一個(gè)對(duì)應(yīng)的后光柵調(diào)諧部或相位調(diào)諧部,其被配置成關(guān)于頻率獨(dú)立地調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)調(diào)整所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)另一實(shí)施例,所述預(yù)定義非等效關(guān)系包括相對(duì)于彼此具有相等偏移、不相等偏移或預(yù)定義比值中的至少一個(gè)的所述多個(gè)可調(diào)諧激光器關(guān)于頻率的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線。根據(jù)另一實(shí)施例,所述預(yù)定義非等效關(guān)系包括符合在所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于所述輸出參數(shù)的調(diào)節(jié)之前的ITU網(wǎng)格的第一組相應(yīng)信道、以及在所述調(diào)節(jié)之后的所述ITU網(wǎng)格的第二組相應(yīng)信道的所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的頻率。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)可調(diào)諧激光器被進(jìn)一步配置成沿著ITU網(wǎng)格的相應(yīng)信道步進(jìn)所述多個(gè)可調(diào)諧激光器的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)可調(diào)諧激光器被單片集成在單個(gè)芯片上。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)可調(diào)諧激光器中的每一個(gè)都包括被配置使得在基本上相同的工作條件下,所述多個(gè)光學(xué)器件的光學(xué)光線關(guān)于頻率是相對(duì)于彼此相等地偏移、不相等地偏移或成比例中的至少一個(gè)的對(duì)應(yīng)的后光柵或前光柵中的至少一個(gè)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述可調(diào)節(jié)陣列器件還包括被配置成將所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線組合成組合輸出的組合器。根據(jù)另一實(shí)施例,所述可調(diào)節(jié)陣列器件還包括進(jìn)一步包括一個(gè)或多個(gè)附加的冗余可調(diào)諧激光器。根據(jù)本發(fā)明的另一方面,調(diào)整可調(diào)節(jié)陣列器件的方法,所述可調(diào)節(jié)陣列器件包括多個(gè)光學(xué)器件,所述多個(gè)光學(xué)器件各具有從其輸出的光學(xué)光線并且被配置借此所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于輸出參數(shù)具有相對(duì)于彼此的預(yù)定義非等效關(guān)系,所述方法包括:將驅(qū)動(dòng)信號(hào)提供給所述多個(gè)光學(xué)器件;并且響應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)關(guān)于所述榆出參數(shù)來調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)基本上維持所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例,所述輸出參數(shù)是波長(zhǎng)、頻率、功率、相位或偏振中的至少一個(gè)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例,調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的步驟包括調(diào)整所述多個(gè)光學(xué)器件中的每一個(gè)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部,所述多個(gè)光學(xué)器件被配置成響應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)關(guān)于所述輸出參數(shù)來調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)基本上維持所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)另一實(shí)施例,所述方法還包括用被耦合成并配置成將所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出到所述多個(gè)光學(xué)器件中的對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部的控制器來控制所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部。根據(jù)另一實(shí)施例,所述控制器間接地耦合所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部。根據(jù)另一實(shí)施例,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)包括起源于主信號(hào)的多個(gè)信號(hào)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部被物理上耦合到彼此并且共享所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例,調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的步驟包括通過電壓、電流、溫度或機(jī)械操作中的至少一個(gè)來調(diào)整所述多個(gè)光學(xué)器件中的所述對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部。根據(jù)另一實(shí)施例,所述方法還包括關(guān)于所述輸出參數(shù)獨(dú)立地調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)調(diào)整所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)另一實(shí)施例,獨(dú)立地調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的步驟包括獨(dú)立地調(diào)整所述多個(gè)光學(xué)器件中的每一個(gè)的至少一個(gè)附加的調(diào)節(jié)部,所述多個(gè)光學(xué)器件被配置成關(guān)于所述輸出參數(shù)獨(dú)立地調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)調(diào)整所述預(yù)定義非等效關(guān)系。根據(jù)另一實(shí)施例,所述預(yù)定義非等效關(guān)系包括具有相對(duì)于彼此相等地偏移、不相等偏移或成比例中的至少一個(gè)的所述多個(gè)光學(xué)器件關(guān)于所述輸出參數(shù)的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線。根據(jù)另一實(shí)施例,所述預(yù)定義非等效關(guān)系包括符合在所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于所述輸出參數(shù)的調(diào)節(jié)之前的第一組相應(yīng)值、以及在所述調(diào)節(jié)之后的第二組相應(yīng)值的所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述預(yù)定義非等效關(guān)系包括符合在所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于所述輸出參數(shù)的調(diào)節(jié)之前的ITU網(wǎng)格的第一組相應(yīng)信道、以及在所述調(diào)節(jié)之后的所述ITU網(wǎng)格的第二組相應(yīng)信道的所述多個(gè)光學(xué)器件中的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的頻率。根據(jù)另一實(shí)施例,調(diào)整所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的步驟包括沿著ITU網(wǎng)格的相應(yīng)信道步進(jìn)所述多個(gè)光學(xué)器件中的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線。根據(jù)另一實(shí)施例,所述多個(gè)光學(xué)器件包括多個(gè)可調(diào)諧激光器、調(diào)制器、光電檢測(cè)器、半導(dǎo)體光放大器、偏振控制器或相位控制器中的至少一個(gè)。根據(jù)另一實(shí)施例,所述方法還包括將所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線組合成組合輸出。根據(jù)另一實(shí)施例,所述可調(diào)節(jié)陣列器件還包括一個(gè)或多個(gè)附加的冗余光學(xué)器件。本發(fā)明的前述和其他特征進(jìn)在下文中被參考附圖更詳細(xì)地描述。附圖說明圖1是包括可調(diào)諧激光器、SOA、調(diào)制器、以及偏振控制器的常規(guī)光學(xué)器件的示意圖。圖2和3是依照本發(fā)明的包括在單個(gè)芯片上單片地組成的多個(gè)光學(xué)器件的示例性可調(diào)節(jié)陣列的示意圖。圖4是依照本發(fā)明的包括在單個(gè)芯片上單片地組成的多個(gè)光學(xué)器件的示例性可調(diào)節(jié)陣列的示意圖,其中每個(gè)光學(xué)器件都包括可調(diào)諧激光器、SOA、調(diào)制器以及偏振控制器。圖5-7是圖示了依照本發(fā)明的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)(例如頻率)的示例性調(diào)節(jié)的圖。圖8和9是依照本發(fā)明的包括多個(gè)分立光學(xué)器件的示例性可調(diào)節(jié)陣列的示意圖。圖10是依照本發(fā)明的包括多個(gè)分立光學(xué)器件的示例性可調(diào)節(jié)陣列的示意圖,其中每個(gè)分立光學(xué)器件都包括可調(diào)諧激光器、SOA、調(diào)制器以及偏振控制器。具體實(shí)施方式在以下說明中,相同的部件可以被給出相同的附圖標(biāo)記,而不管它們是否被示出在不同的實(shí)施例中。為了以清楚和簡(jiǎn)明的方式示意本發(fā)明的實(shí)施例(一個(gè)或多個(gè)),圖可能未必按比例繪制并且可以以稍微示意的形式示出某些特征。相對(duì)于一個(gè)實(shí)施例所描述和/或示意的特征可被以相同的方式或以相似的方式用在在一個(gè)或多個(gè)其他實(shí)施例中和/或可被以與其他實(shí)施例的特征相結(jié)合地或以替代其他實(shí)施例的特征的方式使用。現(xiàn)詳細(xì)地參考附圖并首先參考圖1,在100處大體示出常規(guī)光學(xué)器件,其基本結(jié)構(gòu)可用在依照本發(fā)明的示例性可調(diào)節(jié)陣列器件中。光學(xué)器件100包括與半導(dǎo)體光放大器(SOA)104集成的可調(diào)諧激光器102、后SOA106、調(diào)制器108以及偏振控制器117??烧{(diào)諧激光器102被示意為數(shù)字超模分布布拉格反射器(DSDBR)激光器,諸如為在美國(guó)專利No.7,145,923中所公開的激光器。該光學(xué)器件的調(diào)制器108被示意為馬赫-增德爾(Mach-Zehnder)干涉儀調(diào)制器。DSDBR激光器102、SOA104、以及馬赫-增德爾調(diào)制器108被單片集成并形成集成激光馬赫-增德爾(ILMZ)器件。雖然將主要地在該上下文中示意并描述光學(xué)器件100,但將理解到,光學(xué)器件100的設(shè)計(jì)可以為任何其他適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)。包括可調(diào)諧激光器102、SOA104和106、調(diào)制器108以及偏振控制器117的光學(xué)器件100的特定設(shè)計(jì)在其最廣泛意義上不與本發(fā)明密切相關(guān)。作為示例,光學(xué)器件100的可調(diào)諧激光器102可以為電子可調(diào)諧激光器,諸如為三段式DBR、采樣光柵DBR激光器(SG-DBR)、超結(jié)構(gòu)光柵DBR激光器(SSG-DBR),具有采樣光柵反射器的光柵輔助同向耦合器激光器(GCSR)或Y結(jié)激光器(Y3激光器)??烧{(diào)諧激光器102還可能是機(jī)械調(diào)諧激光器,諸如為微機(jī)電可調(diào)諧垂直腔表面發(fā)射激光器(MEM-VCSEL)或外腔激光器(ECL)??烧{(diào)諧激光器102通常包括后光柵調(diào)諧部110、相位控制調(diào)諧部112、增益部114、前光柵調(diào)諧部116以及常見波導(dǎo)115。前光柵調(diào)諧部116和/或后光柵調(diào)諧部110的調(diào)節(jié)調(diào)整光輸出的頻率(波長(zhǎng))。光柵主要定義對(duì)于調(diào)諧部中的給定電流輸出什么頻率(波長(zhǎng))。相位控制調(diào)諧部112的調(diào)節(jié)對(duì)光輸出的頻率進(jìn)行微調(diào),而增益部114的調(diào)節(jié)對(duì)光輸出的增益進(jìn)行調(diào)整。為了簡(jiǎn)潔起見,將不詳細(xì)地描述波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器102的部件中的每一個(gè)的特定結(jié)構(gòu)和功能性??烧{(diào)諧激光器102的后光柵光學(xué)上被耦合到后SOA106以用于放大從后光柵輸出的光。在一個(gè)實(shí)施例中,后SOA106的輸出可以被光學(xué)上耦合到外部波長(zhǎng)鎖定器(未示出)。該波長(zhǎng)鎖定器可以與例如控制器相結(jié)合地使用,并且可以將校正系數(shù)提供給可調(diào)諧激光器102的各部分中的一個(gè)或多個(gè)以便維持輸出光的波長(zhǎng)??烧{(diào)諧激光器的前光柵光學(xué)上被耦合到SOA104以便放大被從前光柵輸出到調(diào)制器108的光,而調(diào)制器光學(xué)上被耦合到偏振控制器117以便控制光學(xué)光線的偏振。SOA104的調(diào)節(jié)調(diào)整來自可調(diào)諧激光器102的光輸出的功率級(jí)。如所示意的那樣,馬赫-曾德爾調(diào)制器包括不平衡控制電極118、RF輸入端120和124、RF接地122和126以及光功率監(jiān)控器128。調(diào)制器108被提供用于對(duì)波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器102的光輸出進(jìn)行調(diào)制并允許光學(xué)器件100執(zhí)行其預(yù)定功能。例如,用于對(duì)可調(diào)諧激光器102的輸出進(jìn)行調(diào)制的示例性調(diào)制格式包括例如40GOOK、40GQPSK(2x20G)、25G雙二進(jìn)制以及10GOOK。在一個(gè)實(shí)施例中,光學(xué)器件100(例如ILMZ)適合于在光通信中使用。馬赫-增德爾調(diào)制器在本領(lǐng)域內(nèi)是眾所周知的,并且為了簡(jiǎn)潔起見將不詳細(xì)地描述經(jīng)標(biāo)識(shí)的各部件中的每一個(gè)的特定結(jié)構(gòu)和功能性。圖1中所示意的光學(xué)器件100潛在地適于廣泛可達(dá)到的范圍和ITU網(wǎng)格間距。因此,諸如圖1中所示意的多個(gè)光學(xué)器件的使用可以給可調(diào)諧陣列提供通用性以消除使用固定波長(zhǎng)光學(xué)器件的許多變體的需要。例如,多個(gè)光學(xué)器件100可以被個(gè)別地調(diào)諧并組合以在特定ITU網(wǎng)格上(例如在相鄰100GHz、50GHz、33GHz、25GHz或12.5GHz網(wǎng)格點(diǎn)上)產(chǎn)生光輸出塊。但是諸如圖1中所示意的光學(xué)器件包括大量觸點(diǎn)。為了獨(dú)立地排列十個(gè)圖1中所示意的光學(xué)器件100將需要約220個(gè)接觸墊(每器件22個(gè)接觸墊)。由多個(gè)單獨(dú)的光學(xué)器件形成的可調(diào)節(jié)陣列也難以在高產(chǎn)出時(shí)進(jìn)行調(diào)諧、測(cè)試以及控制。例如,由于由制造工藝產(chǎn)生的波導(dǎo)幾何結(jié)構(gòu)上的細(xì)微差異以及由其制造光學(xué)器件的半導(dǎo)體層的厚度中的變化,一個(gè)光學(xué)器件的輸出頻率即使當(dāng)工作在相同的電流和溫度時(shí)也典型地不同于另一個(gè)。因此,這樣的實(shí)現(xiàn)將是具有高度復(fù)雜性的‘大錘’方法。諸如圖1中所示意的光學(xué)器件通常連同許多相似器件(在許多情況下一次1000個(gè)以上)一起制造在晶片上。單獨(dú)的光學(xué)器件100通常通過將晶片切開成條(每條包括多個(gè)器件)、對(duì)器件小面加面層以及最后將條切開成單獨(dú)的芯片來形成。本發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn),當(dāng)晶片上類似地制作的鄰近光學(xué)器件100的各部分被相同的或相似的電流或電壓驅(qū)動(dòng)時(shí),這樣的器件將實(shí)現(xiàn)具有相同的或相似的輸出參數(shù)的對(duì)應(yīng)光輸出。例如,對(duì)大量器件的光輸出的分析指示當(dāng)應(yīng)用相似的DC設(shè)定時(shí),相鄰芯片上的光學(xué)器件的至少67%是在彼此的15GHz內(nèi)。這是大部分由于光學(xué)器件的密切接近而導(dǎo)致的。此外,光輸出的變化通過與各器件一起在陣列中的集成關(guān)聯(lián)的光學(xué)器件之中的熱差異的減少而被最小化。與將光學(xué)器件集成在一起關(guān)聯(lián)的另外的優(yōu)點(diǎn)包括電互連電阻和光損失的減少,以及陣列的總體尺寸的減少。依照這些原理,以及如以下說明中所闡述的那樣,光學(xué)器件的可調(diào)節(jié)陣列可以被單片集成在單個(gè)芯片上。該可調(diào)節(jié)陣列包括多個(gè)光學(xué)器件,每個(gè)光學(xué)器件都關(guān)于輸出參數(shù)具有相對(duì)于彼此以預(yù)定義非等效關(guān)系從其輸出的光學(xué)光線。如本文中所使用的那樣,光學(xué)光線的輸出參數(shù)可以為任何可測(cè)量的參數(shù),諸如為例如波長(zhǎng)、頻率、功率、相位或偏振。并且,術(shù)語預(yù)定義非等效關(guān)系包括任何適當(dāng)?shù)姆堑刃шP(guān)系,諸如為例如相等偏移、不相等偏移、預(yù)定義比值等。例如,在其中預(yù)定義非等效關(guān)系是相等偏移的實(shí)施例中,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)可以為例如X、X+ΔY、X+2ΔY、X+3ΔY等。類似地,在其中預(yù)定義非等效關(guān)系是不相等偏移的實(shí)施例中,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)可以為例如X、X+ΔY、X+ΔY+ΔZ、XΔY+ΔZ+ΔW等。在其中預(yù)定義非等效關(guān)系是預(yù)定義比值的實(shí)施例中,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)可以為例如X、2X、3X、4X等。在下面對(duì)預(yù)定義非等效關(guān)系的調(diào)節(jié)進(jìn)行描述。當(dāng)然,設(shè)想了對(duì)應(yīng)光學(xué)光線可以至少具有在所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線之中為等效的附加輸出參數(shù)。例如,在其中預(yù)定義非等效關(guān)系和對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的頻率有關(guān)的實(shí)施例中,可以以等效功率輸出所述對(duì)應(yīng)光學(xué)光線。依照本發(fā)明,公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)(例如,電流或電壓)可以被施加給所述多個(gè)光學(xué)器件的相應(yīng)調(diào)節(jié)部中的至少一個(gè)。響應(yīng)于該公共驅(qū)動(dòng)信號(hào),每個(gè)光學(xué)器件的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部可以通過電壓、電流、溫度或機(jī)械操作中的至少一個(gè)來調(diào)整光學(xué)光線。經(jīng)由該公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)相應(yīng)調(diào)節(jié)部的調(diào)節(jié)允許關(guān)于輸出參數(shù)對(duì)相應(yīng)光學(xué)光線的調(diào)節(jié),同時(shí)基本上關(guān)于輸出參數(shù)維持預(yù)定義非等效關(guān)系。圖2和3通常示意了可調(diào)節(jié)陣列1000的各種實(shí)施例,其中公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)可以被應(yīng)用于所述多個(gè)光學(xué)器件1000a-d的所對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d。依照本發(fā)明,每個(gè)光學(xué)器件的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d通常被耦合到彼此并耦合到控制器1004??刂破?004被配置成將公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)(例如,電流或電壓)輸出到所述多個(gè)光學(xué)器件1000a-d中的對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d。如圖2中所示意的那樣,每個(gè)光學(xué)器件的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d可以被物理上耦合到彼此(并且到控制器)并且共享該公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)。在這樣的實(shí)施例中,該對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d可以在可調(diào)節(jié)陣列1000的制造過程期間經(jīng)由常見的金屬化來結(jié)合。因此,可調(diào)節(jié)陣列1000可以包括減少數(shù)量的觸點(diǎn)和/或減少數(shù)量的用來驅(qū)動(dòng)光學(xué)器件1000a-d的電流源??烧{(diào)節(jié)陣列的調(diào)諧調(diào)定(下文討論)也被簡(jiǎn)化了。如圖3中所示,相應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d可以未被物理上耦合,但相反可以通常由控制器來耦合并驅(qū)動(dòng)。這樣的耦合在本文中被稱為間接耦合(或者還可以被稱為算法耦合)。在這個(gè)實(shí)施例中,由控制器1004所提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)包括多個(gè)信號(hào),每個(gè)都被提供給相應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部。所述多個(gè)信號(hào)可以得自主信號(hào)。例如,到控制器1004的控制輸入信號(hào)可以導(dǎo)致包括單獨(dú)但有關(guān)的信號(hào)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)到相應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d的輸出。單獨(dú)但有關(guān)的信號(hào)可能是相同的或不同的。因此,本發(fā)明提供了多個(gè)光學(xué)器件的可調(diào)節(jié)陣列,所述多個(gè)光學(xué)器件每個(gè)都關(guān)于輸出參數(shù)具有相對(duì)于彼此以預(yù)定義非等效關(guān)系從其輸出的光學(xué)光線。如上面所描述的那樣,光學(xué)光線的輸出參數(shù)可以為任何可測(cè)量的參數(shù),諸如為例如波長(zhǎng)、頻率、功率、相位或偏振。此外,光學(xué)器件中的每一個(gè)都包括至少一個(gè)調(diào)節(jié)部,其響應(yīng)于公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)被配置成關(guān)于輸出參數(shù)來調(diào)整對(duì)應(yīng)光學(xué)光線,同時(shí)基本上維持預(yù)定義非等效關(guān)系。圖4示意了依照本發(fā)明的示例性可調(diào)節(jié)陣列200,其中從其輸出的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于輸出參數(shù)具有相對(duì)于彼此的預(yù)定義非等效關(guān)系。可調(diào)節(jié)陣列200包括在單個(gè)芯片上單片集成的多個(gè)類似地制作的光學(xué)器件202a-d。就對(duì)于每個(gè)器件,可調(diào)諧激光器204(例如包括后光柵調(diào)諧部210、相位控制調(diào)諧部212、增益部214、前光柵調(diào)諧部216以及公共波導(dǎo)215)與SOA206、調(diào)制器208(例如包括不平衡控制電極118、RF輸入端120和124、RF接地122和126以及光功率監(jiān)控器128)以及偏振控制器217被單片集成來說,包括在可調(diào)節(jié)陣列器件200中的每個(gè)光學(xué)器件202a-d的結(jié)構(gòu)可與圖1的光學(xué)器件100的結(jié)構(gòu)類似。如圖4的示例性實(shí)施例中所示意的那樣,光學(xué)器件202a-d中的每一個(gè)的前光柵調(diào)諧部216通常被耦合到彼此并共享公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)(即來自如上面所描述的控制器的電流或電壓源)。也就是說,每個(gè)觸點(diǎn)(和關(guān)聯(lián)的電流或電壓源)被物理上耦合到每個(gè)光學(xué)器件的前光柵調(diào)諧部。但是在另一實(shí)施例中,每個(gè)光學(xué)器件的前光柵調(diào)諧部替代地可以被以上面在圖3中所描述的方式間接地耦合(即通過控制器)。調(diào)整通常耦合的前光柵調(diào)諧部216(即,經(jīng)由公共驅(qū)動(dòng)信號(hào))調(diào)整所述多個(gè)光學(xué)器件關(guān)于頻率/波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線,同時(shí)基本上關(guān)于頻率/波長(zhǎng)維持預(yù)定義非等效關(guān)系。圖5和6將頻率用作為示例性輸出參數(shù)來示意對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于輸出參數(shù)的調(diào)節(jié)同時(shí)基本上維持預(yù)定義非等效關(guān)系。在圖5中,預(yù)定義非等效關(guān)系是相等偏移(例如X、X+ΔY、X+2ΔY、X+3ΔY)。在這里,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)(例如頻率)符合在對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于輸出參數(shù)(例如頻率)的調(diào)節(jié)之前的第一組相應(yīng)的值500a-d,以及在調(diào)節(jié)之后的第二組相應(yīng)的值502a-d。也就是說,作為對(duì)驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行的調(diào)節(jié)的結(jié)果,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)(例如頻率)被調(diào)整了量k。在圖6中,預(yù)定義非等效關(guān)系是不相等偏移(例如,X、X+ΔY、X+ΔY+ΔZ、X+ΔY+ΔZ+ΔW)。與圖5中的示例性實(shí)施例類似,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)(例如頻率)符合在對(duì)應(yīng)光學(xué)光線關(guān)于輸出參數(shù)(例如頻率)的調(diào)節(jié)之前的第一組相應(yīng)的值600a-d,以及在調(diào)節(jié)之后的第二組相應(yīng)的值600a-d。再者,作為對(duì)驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行調(diào)節(jié)的結(jié)果,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)(例如頻率)被調(diào)整了量k。在其中輸出參數(shù)是頻率的諸如圖5和6中所示意的那些等實(shí)施例中,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)學(xué)線的頻率可以符合在對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的調(diào)節(jié)之前的ITU網(wǎng)格的第一組相應(yīng)的信道,以及在調(diào)節(jié)之后的ITU網(wǎng)格的第二組相應(yīng)的信道。也就是說,所述多個(gè)光學(xué)器件的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線可以沿著ITU網(wǎng)格的相應(yīng)信道步進(jìn)。依照本發(fā)明的可調(diào)節(jié)陣列可以被用于符合各種ITU網(wǎng)格(例如,200GHz間距、100GHz間距、50GHz間距等)。并且激光器中的每一個(gè)都是可調(diào)節(jié)的使得光學(xué)光線的相應(yīng)波長(zhǎng)可以被配置成符合沿著ITU網(wǎng)格(例如位于ITU網(wǎng)格上的在C帶、L帶等中)位于任何地方的信道(相鄰的或非相鄰的)。例如,在其中可調(diào)節(jié)陣列輸出被100GHz分隔并且以25Gb/s雙二進(jìn)制調(diào)制的4個(gè)信道的實(shí)施例中,這4個(gè)信道能夠是例如100GHzITU網(wǎng)格的信道1、2、3、4;信道23、24、25、26;或信道45、46、47、48。作為另一示例,在其中可調(diào)節(jié)陣列輸出被100GHz分隔并且以10Gb/sOOK調(diào)制的10個(gè)信道的實(shí)施例中,這10個(gè)信道可以是ITU網(wǎng)格上的10個(gè)信道的任何組合(例如,信道1-10、13-22等)??梢砸远喾N方式實(shí)現(xiàn)從所述多個(gè)光學(xué)器件輸出的對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的預(yù)定義非等效關(guān)系。繼續(xù)參考圖2和3,所述多個(gè)光學(xué)器件1000中的每一個(gè)都可以包括至少一個(gè)附加的調(diào)整部1006a-d。每個(gè)光學(xué)器件的至少一個(gè)附加的調(diào)整部1006a-d還被配置成關(guān)于輸出參數(shù)(例如響應(yīng)于由控制器所提供的獨(dú)立驅(qū)動(dòng)信號(hào))來調(diào)整對(duì)應(yīng)光學(xué)光線。與至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d類似,每個(gè)光學(xué)器件的至少一個(gè)附加的調(diào)整部1006a-d可以通過電壓、電流、溫度或機(jī)械操作中的至少一個(gè)來調(diào)整光學(xué)光線。然而,所述至少一個(gè)附加的調(diào)整部被配置成關(guān)于輸出參數(shù)而獨(dú)立地調(diào)整對(duì)應(yīng)光學(xué)光線同時(shí)調(diào)整預(yù)定義非等效關(guān)系。也就是說,特定光學(xué)器件的附加的調(diào)整部可以獨(dú)立于其他光學(xué)器件來調(diào)整該特定光學(xué)器件的光學(xué)光線的輸出參數(shù)。例如,參考圖4,預(yù)定義非等效關(guān)系可以通過光學(xué)器件202a-d中的每一個(gè)的后光柵調(diào)諧部210或相位控制調(diào)諧部212的獨(dú)立調(diào)節(jié)而被調(diào)整。光學(xué)器件中的每一個(gè)的至少一個(gè)附加的調(diào)整部可以被用來例如設(shè)置和/或微調(diào)預(yù)定義非等效關(guān)系。例如,圖7示意了將頻率用作示例性輸出參數(shù)的實(shí)施例,其中所述多個(gè)光學(xué)器件的光學(xué)光線符合一組相應(yīng)的值700a-d,并且相等偏移(例如X、X+ΔY、X+2ΔY、X+3ΔY)預(yù)定義非等效關(guān)系是期望的。在這里,所述多個(gè)光學(xué)器件中的一個(gè)的至少一個(gè)附加調(diào)整部被用來獨(dú)立地將對(duì)應(yīng)光學(xué)光線的輸出參數(shù)(例如頻率)從第一值700b按照差量j調(diào)整到的第二值702b以便實(shí)現(xiàn)相等偏移。在其中輸出參數(shù)是頻率的實(shí)施例中,至少一個(gè)附加的調(diào)整部1006a-d可以獨(dú)立地調(diào)整對(duì)應(yīng)光學(xué)光線以符合ITU網(wǎng)格的一組相應(yīng)的信道。因此,在至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d處通常驅(qū)動(dòng)首先可以被用作粗調(diào)節(jié)器以關(guān)于輸出參數(shù)來調(diào)整光學(xué)光線,而在至少一個(gè)附加的調(diào)節(jié)部1006a-d處個(gè)別地驅(qū)動(dòng)隨后可以被用來更精細(xì)地調(diào)節(jié)每個(gè)單獨(dú)的光學(xué)光線。在另一實(shí)施例中,陣列的光學(xué)器件可以在制造期間被配置成告知激光器輸出參數(shù)中的差異并且因此告知預(yù)定義非等效關(guān)系。例如,在圖4中所示意的實(shí)施例中,所述多個(gè)光學(xué)器件202a-d的后光柵(以及前光柵)可以被設(shè)計(jì)和制作(例如使用變化間距的布拉格光柵)使得陣列的每個(gè)相應(yīng)的光學(xué)器件的波長(zhǎng)被逐漸地錯(cuò)開給定量(例如100GHz)。例如,光學(xué)器件相應(yīng)地可以包括與在美國(guó)專利5,930,278中所公開的間距類似的變化間距的布拉格光柵。在一個(gè)實(shí)施例中,陣列可以實(shí)現(xiàn)已經(jīng)被錯(cuò)開期望的量(例如,由諸如100GHz的ITU網(wǎng)格所規(guī)定的量)的波長(zhǎng)輸出。當(dāng)然,光學(xué)器件中的每一個(gè)的至少一個(gè)附加的調(diào)整部可以被與這個(gè)錯(cuò)開設(shè)計(jì)和制作相結(jié)合地用來設(shè)置和/或微調(diào)預(yù)定義非等效關(guān)系。在又一實(shí)施例中,控制器可以告知和/或調(diào)整從所述多個(gè)光學(xué)器件輸出的光學(xué)光線的預(yù)定義非等效關(guān)系。如上文關(guān)于圖3.所描述的那樣,相應(yīng)的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d可以通常由控制器1004來耦合并驅(qū)動(dòng)(即間接地耦合)。在這個(gè)實(shí)施例中,預(yù)定義非等效關(guān)系可以被包括驅(qū)動(dòng)信號(hào)的多個(gè)信號(hào)告知。例如,圖4的所對(duì)應(yīng)的前光柵調(diào)諧部216替代地可以經(jīng)由控制器而被間接耦合,并且包括驅(qū)動(dòng)信號(hào)的相應(yīng)信號(hào)可以操作以關(guān)于頻率來告知和/或調(diào)整預(yù)定義非等效關(guān)系。雖然圖4舉例說明了本發(fā)明相對(duì)于頻率的特征,但應(yīng)理解的是,不同于前光柵調(diào)諧部或除前光柵調(diào)諧部之外的至少一個(gè)調(diào)整部可以被普通耦合并驅(qū)動(dòng),而且光學(xué)光線的輸出參數(shù)可以為任何可測(cè)量的參數(shù),諸如為例如波長(zhǎng)、頻率、功率、相位或偏振。例如,每個(gè)光學(xué)器件202a-d的所對(duì)應(yīng)的增益部214、后光柵調(diào)諧部210、相位控制調(diào)諧部212、偏振控制器217和/或SOA206中的一個(gè)或多個(gè)可以通常由公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)來驅(qū)動(dòng)和調(diào)整。這些調(diào)節(jié)部的公共耦合及其調(diào)節(jié)與前述說明中所描述的相同。在其中所對(duì)應(yīng)的增益部214、相位控制調(diào)諧部212、偏振控制器217和/或SOA206中的一個(gè)或多個(gè)通常由公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)來驅(qū)動(dòng)和調(diào)整的實(shí)施例中,每個(gè)光學(xué)器件都可以包括附加的增益部、相位控制調(diào)諧部、偏振控制器和/或SOA以用于獨(dú)立的微調(diào)。還設(shè)想了可調(diào)節(jié)陣列200的光學(xué)器件202a-d中的每一個(gè)的調(diào)制器208的一個(gè)或多個(gè)部分可以共享公共電流或電壓源。例如,公共DC偏壓可以經(jīng)由偏置T和公共的電壓源而被施加給每個(gè)調(diào)制器208的RF電極220和/或224。圖4的可調(diào)節(jié)陣列200包括四個(gè)光學(xué)器件202a-d。在一個(gè)實(shí)施例中,圖4的四器件可調(diào)節(jié)陣列200可以工作從而產(chǎn)生四個(gè)信道(相鄰的或非相鄰的),其中每個(gè)信道都具有約25Gb/s的數(shù)據(jù)速率。但是設(shè)想了任何適當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)速率可以通過光學(xué)器件202a-d來產(chǎn)生。當(dāng)然,應(yīng)注意的是,所引用的線路速率通常低于實(shí)際需要的,因?yàn)樾枰_銷來實(shí)現(xiàn)FEC(前向糾錯(cuò))。典型地對(duì)于10Gb/s信道需要約11.5Gbs,對(duì)于25Gbs需要約28Gb/s,而對(duì)于100GB/s需要約116Gb/s等。還設(shè)想了任何適當(dāng)數(shù)目的光學(xué)器件可以被包括在可調(diào)節(jié)陣列中。例如,可調(diào)節(jié)陣列200可以包括十個(gè)光學(xué)器件。在一個(gè)實(shí)施例中,十信道可調(diào)節(jié)陣列可以作為十信道陣列來工作以產(chǎn)生十個(gè)信道(相鄰的或非相鄰的)ITU信道,每個(gè)信道具有各約10Gb/s的帶寬。在一些實(shí)施例中,可調(diào)節(jié)陣列可以包括一個(gè)或多個(gè)附加的冗余光學(xué)器件。這些冗余光學(xué)器件是包括在陣列中的附加的光學(xué)器件并且通常將處于待機(jī)模式但能夠在該陣列的其他光學(xué)器件中的一個(gè)失效的情況下被使用。例如4x25Gb/s陣列芯片能夠包括一個(gè)附加的光學(xué)器件元件而10x10Gb/s陣列能夠包括一個(gè)或多個(gè)附加的光學(xué)器件以允許冗余。即使可調(diào)節(jié)陣列不是在條級(jí)以單片形式組成,也仍然有在簡(jiǎn)化控制和減少數(shù)目的電流或電壓源的使用方面有使用公共電流或電壓來裝配分立光學(xué)器件的可調(diào)節(jié)陣列的優(yōu)點(diǎn)。圖8和9一般地示意了可調(diào)節(jié)陣列1000的各種實(shí)施例,其中公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)可以被施加給所述多個(gè)分立光學(xué)器件1000a-d的至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d。與圖2和3類似,至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d可以被物理上耦合(例如,經(jīng)由線鍵合1010),或至少一個(gè)調(diào)節(jié)部1002a-d可以被間接地耦合(即經(jīng)由控制器耦合)。圖10示意了依照本發(fā)明的示例性可調(diào)節(jié)陣列器件300的一部分,其中陣列由圖1中所示意的多個(gè)分立光學(xué)器件100a-b形成。與圖4的可調(diào)節(jié)陣列器件200類似,每個(gè)光學(xué)器件100a-b的前光柵調(diào)諧部116由公共驅(qū)動(dòng)信號(hào)來驅(qū)動(dòng)。光學(xué)器件的這些部分經(jīng)由線鍵合310而被耦合。當(dāng)然前光柵調(diào)諧部116替代地可以像圖9的實(shí)施例中那樣被間接地耦合(亦即,耦合到控制器)。繼續(xù)參考圖4,光學(xué)器件202a-d的相應(yīng)輸出端可以使用組合器230耦合在一起。組合器230可以被集成在芯片上(如所示意的那樣),或者可以為單獨(dú)的外部器件(像還可能是圖10的實(shí)施例中的情況那樣)。所利用的特定組合器230可以取決于形成可調(diào)節(jié)陣列200的信道的數(shù)目。例如,在其中陣列包括四個(gè)信道的圖4中所示意的實(shí)施例中,光輸出可以使用作為組合器的4×4MMI來組合。在其中陣列包括十個(gè)信道的另一實(shí)施例中,輸出可以使用作為組合器的10信道AWG來組合。經(jīng)組合的輸出可以被光學(xué)上耦合到SOA232并且從可調(diào)節(jié)陣列200輸出。盡管已經(jīng)相對(duì)于特定實(shí)施例或多個(gè)實(shí)施例示出并描述了本發(fā)明,但明顯的是,本領(lǐng)域的其他技術(shù)人員在閱讀并理解了本說明書和附圖之后將想到等同的變更和修改。特別關(guān)于由上面描述的元件(部件、配件、器件、組合物等)所執(zhí)行的各種功能,用來描述這樣的元件的術(shù)語(包括對(duì)“裝置”的參考)是旨在對(duì)應(yīng)于(除非另外指示)執(zhí)行所描述的元件的指定功能的任何元件(即,其在功能上相當(dāng)),即使在結(jié)構(gòu)上不相當(dāng)于所公開的執(zhí)行在本文中示意的本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)示例性實(shí)施例中的功能的結(jié)構(gòu)。此外,雖然可能已經(jīng)相對(duì)于若干示意的實(shí)施例中的僅一個(gè)或多個(gè)在上面描述了本發(fā)明的特定特征,但這樣的特征可以與其他實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)其他特征組合,像可能對(duì)于任何給定或特定應(yīng)用而言所期望的以及有利的那樣。
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