專利名稱：固體拍攝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及固體拍攝裝置，該固體拍攝裝置具備二維排列有分別包含光電二極管的多個像素的拍攝區(qū)域。
背景技術(shù)：
近年來，在牙科治療中的x射線攝影的領(lǐng)域，從先前的使用x射線感光膠片的攝影，逐漸轉(zhuǎn)移為采用不使用膠片的x射線影像增強器
(image intensifier)等的拍攝管的拍攝裝置，或者將閃爍器(scin仙ator)和CCD組合的固體拍攝裝置等的拍攝(參照專利文獻(xiàn)l)。但是，由于影像增強器為拍攝管，因而尺寸較大，存在著在拍攝區(qū)域的周邊圖像發(fā)生變形等的問題。另外，對于CCD而言，制作大面積的拍攝區(qū)域在技術(shù)上有困難，因而存在著以線掃描(line scanner)方式進(jìn)行拍攝等的制約。
作為解決這些問題點的拍攝裝置，可以列舉出CMOS-X射線平面?zhèn)鞲衅?。由于X射線平面?zhèn)鞲衅魇褂肅MOS固體拍攝裝置，該CMOS固體拍攝裝置具備二維排列有分別包含光電二極管的多個像素的拍攝區(qū)域，因而周邊部的變形不存在，易于實現(xiàn)拍攝區(qū)域的二維大面積化(例如12cmxl2cm左右)。由于與可見光不同，X射線無法通過透鏡而聚光，因而該固體拍攝裝置在應(yīng)用于牙科用途(尤其是牙科3D-CT)的情況下，當(dāng)一次攝影大面積時，需要大面積的拍攝區(qū)域。
另外，這種醫(yī)療用的固體拍攝裝置的拍攝對象例如為活體，因而所要求的分辨率較低，并且，在極力抑制X射線照射量的同時，需要提高靈敏度。因此，與其它一般的拍攝用固體拍攝裝置相比，在醫(yī)療用的固體拍攝裝置中，拍攝區(qū)域所包含的各像素的光感應(yīng)區(qū)域(響應(yīng)光入射而產(chǎn)生電荷的區(qū)域)的面積比10倍 100倍的程度還要大。
例如，在牙科3D-CT用途中，由于用于CT像的再構(gòu)成的VOXEL是正方形，因而各像素的光感應(yīng)區(qū)域的形狀必須是一邊的長度例如為
3150pm 200(am的正方形。由于各像素的光感應(yīng)區(qū)域為大面積意味著拍 攝區(qū)域所包含的像素的個數(shù)較少，因而在進(jìn)行30幀/秒的視頻碼率的驅(qū) 動的方面有利。
專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-333250號公報

發(fā)明內(nèi)容
但是，如果各像素的光感應(yīng)區(qū)域較大，則光電二極管的接合電容 值也變大，因而，噪聲也變大。對此，如果要確保必要的S/N比，則 有必要增大向固體拍攝裝置入射的X射線的量。然而，在牙科用途中， 由于X射線向人體照射，因而降低X射線量并減少對人體的X射線照 射量是絕對原則，必須抑制X射線量的增大。
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于，提供一種能 夠進(jìn)行S/N比良好的拍攝，且適用于牙科用途的固體拍攝裝置。
本發(fā)明涉及的固體拍攝裝置的特征在于，具備(1)拍攝區(qū)域， 二維排列有分別包含多個光電二極管的多個像素；(2)信號讀出部， 輸出與在拍攝區(qū)域的各像素所包含的多個光電二極管上分別產(chǎn)生的電 荷的量相應(yīng)的電壓；G)AD轉(zhuǎn)換部，輸入從信號讀出部輸出的電壓并 進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換，輸出與該輸入電壓相應(yīng)的數(shù)字值；以及(4)加法部， 對拍攝區(qū)域的各像素，按照在該像素所包含的多個光電二極管上分別 產(chǎn)生的電荷的量，計算從AD轉(zhuǎn)換部輸出的數(shù)字值的總和，并輸出作 為該總和值的數(shù)字值。而且，拍攝區(qū)域的個像素所包含的多個光電二 極管各自的光感應(yīng)區(qū)域在整體上為正方形。另外，優(yōu)選拍攝區(qū)域的各 像素所包含的多個光電二極管各自的光感應(yīng)區(qū)域具有相互相等的面 積。并且，這些面積可以具有5%以內(nèi)的誤差。
該固體拍攝裝置中，在拍攝區(qū)域二維排列有多個像素，各像素包 含有多個光電二極管。在拍攝區(qū)域的各像素所包含的多個光電二極管 上分別產(chǎn)生的電荷被輸入至信號讀出部，并從信號讀出部輸出與該電 荷量相應(yīng)的電壓。從信號讀出部輸出的電壓被輸入至AD轉(zhuǎn)換部，并 從AD轉(zhuǎn)換部輸出與該輸入電壓相應(yīng)的數(shù)字值。而且，在加法部中， 對拍攝區(qū)域的各像素，按照在該像素所包含的多個光電二極管上分別 產(chǎn)生的電荷的量，計算從AD轉(zhuǎn)換部輸出的數(shù)字值的總和，并輸出作為該總和值的數(shù)字值。
本發(fā)明的固體拍攝裝置能夠進(jìn)行S/N比良好的拍攝，也能夠適用 于牙科用途。


圖1是本實施方式涉及的固體拍攝裝置1的構(gòu)成圖。
圖2是本實施方式涉及的固體拍攝裝置1的像素Pm，n、積分電路 21n.k、以及保持電路22^各自的電路圖。
圖3是本實施方式涉及的固體拍攝裝置1的像素P，所包含的2 個光電二極管PD,、 PD2各自的光感應(yīng)區(qū)域的形狀的平面示意圖，圖3-(a)顯示橫向鄰接的長方形的光電二極管對，圖3- (b)顯示縱向鄰 接的長方形的光電二極管對，圖3- (c)顯示相互鄰接的三角形的光電 二極管對，圖3- (d)顯示相互鄰接的梯形的光電二極管對。
圖4是說明本實施方式涉及的固體拍攝裝置1的工作的時序圖， 圖4- (a)顯示各積分電路2Uk的開關(guān)SW21的時序，圖4- (b)顯示 第m行的各像素P,的開關(guān)SW,、 SW2的時序，圖4- (c)顯示各保持 電路22n,k的開關(guān)SW^的時序，圖4- (dl)顯示保持電路22u的開關(guān)
SWm的時序，圖4- (d2)顯示保持電路22,，2的開關(guān)SW222的時序，圖
4- (d3)顯示保持電路222,,的開關(guān)SW222的時序，圖4- (d4)顯示保 持電路22^的開關(guān)SW222的時序，圖4- (d5)顯示保持電路22^的開
關(guān)SW222的時序，圖4- (d6)顯示保持電路223，2的開關(guān)SW222的時序，
圖4- (e)顯示AD轉(zhuǎn)換部40的輸出的時序，圖4- (f)顯示加法部50 的輸出的時序。
符號說明
1:固體拍攝裝置；10:拍攝區(qū)域；20:信號讀出部；21:積分電 路；22:保持電路；30:緩沖電路；40: AD轉(zhuǎn)換部；50:加法部；60: 行選擇部；70:列選擇部；A:放大器；C:電容器；PD:光電二極管； SW:開關(guān)。
具體實施方式
以下，參照附圖，詳細(xì)地說明用于實施本發(fā)明的最佳方式。并且， 在附圖的說明中，對相同的要素賦予相同的符號，省略重復(fù)的說明。
圖1是本實施方式涉及的固體拍攝裝置1的構(gòu)成圖。該圖所示的
固體拍攝裝置1具備拍攝區(qū)域10、信號讀出部20、緩沖電路30、 AD 轉(zhuǎn)換部40、加法部50、行選擇部60及列選擇部70。
拍攝區(qū)域10是MxN個像素Pu pm，n二維排列為M行N列的區(qū)域。 像素P,位于第m行第n列。在此，M、 N分別是2以上的整數(shù)，m 是1以上M以下的整數(shù)，n是1以上N以下的整數(shù)。MxN個像素Pj,廣P, 分別具有相同的構(gòu)成，包含2個光電二極管PD, 、 PD2及2個開關(guān)SW,、 SW2。
各像素Pm，n所包含的開關(guān)SW,、 SW2，由從行選擇部60輸出的第
m行選擇信號Vsel (m)控制其開閉工作。各像素P,所包含的光電二 極管PD,的陽極端子接地，陰極端子經(jīng)由開關(guān)SWi而連接于配線LnJ， 當(dāng)開關(guān)SW,閉合時，向配線U，,輸出與入射光量相應(yīng)的量的電荷。另 外，各像素P,所包含的光電二極管PD2的陽極端子接地，陰極端子
經(jīng)由開關(guān)SW2而連接于配線Ln,2，當(dāng)開關(guān)SW2閉合時，向配線U,2輸
出與入射光量相應(yīng)的量的電荷。
信號讀出部20，輸出與在拍攝區(qū)域10的各像素P,所包含的2個 光電二極管PD,、 PD2上分別產(chǎn)生的電荷的量相應(yīng)的電壓，且包含2N 個積分電路21u 21n.2及2N個保持電路22,廣22n,2。 2N個積分電路 21u 2lN.2分別具有相同的構(gòu)成。并且，2N個保持電路22!，廣22N，2分別 具有相同的構(gòu)成。
各積分電路2L,k蓄積經(jīng)由配線U,k輸入的電荷，并輸出與該蓄積
電荷量相應(yīng)的電壓。各保持電路22n,k輸入并保持從積分電路2、k輸出
的電壓，并基于來自列選擇部70的指示，輸出該保持的電壓Vn,k。在 此，k是l或2。這時，信號處理部20依次輸出電壓V,.,、 V,,2、 V2,,、
V2.2、 V3J、 V3,2、…、VnJ、 Vn.2.....VRI、 Vn,2。
AD轉(zhuǎn)換部40，輸入從信號處理部20輸出并經(jīng)由緩沖電路30的
電壓Vn,k，進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換后，輸出與該輸入電壓Vn,k相應(yīng)的數(shù)字值Dn,k。 加法部50對于拍攝區(qū)域10的各像素Pm，n，根據(jù)在該像素P,所包含的
2個光電二極管PD,、 PD2上分別產(chǎn)生的電荷的量，計算從AD轉(zhuǎn)換部40輸出的數(shù)字值Dn,,、 D^的總和，并輸出作為該總和值的數(shù)字值Dn
行選擇部60輸出第m行選擇信號Vsd (m)，該第m行選擇信號 Vsel (m)控制位于拍攝區(qū)域10的第m行的N個像素Pm,廣Pm,N分別所 包含的開關(guān)SW^ SW2的開閉工作。這些M個行選擇信號Vsel (1) Vsel (M)依次成為高電平。當(dāng)?shù)趍行選擇信號Vsel (m)為高電平
時，行選擇部60將在位于第m行的N個像素Pm，廣Pm,N分別所包含的
光電二極管PD,、 PD2上產(chǎn)生的電荷經(jīng)由同像素的開關(guān)SW,、 SW2而向 配線L^、 L,，,2輸出。
列選擇部70分別對信號讀出部20所包含的2N個保持電路 22,，廣22N,2控制保持電壓的輸出，使電壓V,，,、 Vu、 V2,,、 V2,2、 V"、 V3,2、 ...、 Vn>1、 Vn,2、 ...、 VNJ、 VN,2依次從信號讀出部20輸出。
圖2是本實施方式涉及的固體拍攝裝置1的像素Pm，n、積分電路 21n，k、以及保持電路22 k各自的電路圖。并且，該圖中，以這些為代 表進(jìn)行顯示。如前所述，m是1以上M以下的整數(shù)，n是1以上N以 下的整數(shù)，k是1或2。
各積分電路21"具備放大器A2,、電容器C^、以及開關(guān)SW^。積 分電路2U，k所包含的放大器A21的輸入端子，經(jīng)由配線U，k而連接于像 素P,所包含的開關(guān)SWk。電容器(321及開關(guān)SW2i并列地設(shè)在放大器
A2,的輸入端子和輸出端子之間。該積分電路21。,k，通過開關(guān)SW^閉
合而使電容器C^放電，將從積分電路2Uk輸出的電壓初始化。另夕卜， 當(dāng)開關(guān)SW2I開啟時，積分電路2U，k將經(jīng)由配線U,k而輸入的電荷蓄積
在電容器(:21，并向保持電路22n,k輸出與該蓄積電荷量相應(yīng)的電壓。
各保持電路22 k具備電容器C22及開關(guān)SW22,、 SW222。電容器C22
的一端經(jīng)由開關(guān)SW221而與積分電路21。，k的放大器A21的輸出端子連
接，并且，經(jīng)由開關(guān)SW222而與緩沖電路30連接。電容器C22的另一 端連接于接地電位。該保持電路22n,k，通過開關(guān)SW^從閉合狀態(tài)轉(zhuǎn) 變?yōu)殚_啟狀態(tài)而在該時刻將從積分電路2Uk輸出的電壓Vn,k保持在電 容器C22。然后，保持電路22n,k，當(dāng)開關(guān)SW222閉合時，向緩沖電路30
輸出保持在電容器c22的電壓vn,k。
圖3是本實施方式涉及的固體拍攝裝置1的像素P，所包含的2
7個光電二極管PD,、 PD2各自的光感應(yīng)區(qū)域的形狀的平面示意圖。如該
圖所示，各像素P,所包含的2個光電二極管PD,、 PD2各自的光感應(yīng) 區(qū)域在整體上呈正方形。正方形的鄰接的2邊可以有5%以下的誤差。 另外，優(yōu)選各像素P,所包含的2個光電二極管PD,、 PD2各自的光感 應(yīng)區(qū)域具有相互相等的面積。并且，這些面積可以有5%以內(nèi)的誤差。 各像素P,所包含的2個光電二極管PD,、 PD2各自的光感應(yīng)區(qū)域，可 以為圖3- (a)、圖3- (b)所示的長方形，也可以為圖3- (c)所示的 三角形，也可以為圖3- (d)所示的梯形。
接著，說明本實施方式涉及的固體拍攝裝置1的工作。固體拍攝 裝置1由行選擇部60和列選擇部70以及控制固體拍攝裝置1的整體 的工作的控制部控制，進(jìn)行工作。圖4是說明本實施方式涉及的固體 拍攝裝置1的工作的時序圖。
圖4- (a)顯示各積分電路21"的開關(guān)SW21的時序，圖4- (b) 顯示第m行的各像素P,的開關(guān)SW,、 SW2的時序，圖4- (c)顯示各 保持電路22,，.k的開關(guān)SW22，的時序，圖4- (dl)顯示保持電路22,，,的 開關(guān)SWm的時序，圖4- (d2)顯示保持電路22,.2的開關(guān)SWm的時 序，圖4- (d3)顯示保持電路222，,的開關(guān)SW222的時序，圖4- (d4) 顯示保持電路222，2的開關(guān)SW222的時序，圖4- (d5)顯示保持電路223J 的開關(guān)SW222的時序，圖4- (d6)顯示保持電路223，2的開關(guān)SWm的 時序，圖4- (e)顯示AD轉(zhuǎn)換部40的輸出的時序，圖4- (f)顯示加 法部50的輸出的時序。
艮口，該圖中，顯示了 (a)各積分電路21 k的開關(guān)SW"的開閉工 作，(b)第m行的各像素P,的開關(guān)SW,、 SW2的開閉工作，(c)各 保持電路22^的開關(guān)SW221的開閉工作，(dl) (d6)各保持電路22n，k 的開關(guān)8\￥222的開閉工作，(e) AD轉(zhuǎn)換部40的AD轉(zhuǎn)換工作，以及 (f)加法部50的加法工作。
當(dāng)求出與位于第m行的N個像素PmJ Pm，N各自的入射光量相關(guān)的 數(shù)字值DHDN時，首先，在2N個積分電路2h，, 2lN，2的各個中，開關(guān)
SW2,閉合一定期間，于是，電容器C2,放電，輸出電壓初始化。
隨后，在位于第m行的N個像素Pm，廣Pn^的各個中，所輸入的第 m行選擇信號Vsel (m)在一定期間內(nèi)成為高電平，開關(guān)SW,、 SW2閉合一定期間，在這些閉合的期間，到此為止響應(yīng)于光電二極管PDj、 PD2中的光入射而蓄積于接合電容部的電荷經(jīng)由開關(guān)SW,、SW2而向配 線U，,、 Ln,2輸出。這時，在各積分電路2、k中，由于開關(guān)SW2,開啟，
因而從像素Pm.n經(jīng)由配線Ln,k而輸入的電荷蓄積于電容器C21 ，并向保 持電路22n,k輸出與該蓄積電荷量相應(yīng)的電壓。
另外，在第m行選擇信號Vsel (m)成為高電平的期間，在各保 持電路22n,k中，開關(guān)SW221閉合一定期間，當(dāng)該開關(guān)SW^從閉合狀 態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)殚_啟狀態(tài)時，從積分電路21"輸出的電壓V"k由電容器C22 保持。
隨后，通過列選擇部70的控制，使得各保持電路22n,k的開關(guān)SW222 依次在一定期間內(nèi)閉合。于是，從信號處理部20向緩沖電路30依次 輸出電壓V,，,、 V,.2、 V2J、 V2,2、 V3,,、 V3,2、…、Vn，,、 Vn,2、…、VNJ、
VN.2。
然后，在AD轉(zhuǎn)換部40中，從信號處理部20輸出并經(jīng)由緩沖電 路30的電壓Vn,k被進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換，向加法部50輸出與該輸入電壓Vn，k 相應(yīng)的數(shù)字值Dn,k。這時，從AD轉(zhuǎn)換部40向加法部50依次輸出數(shù)字 值Du、 D12、 D2」、D2,2、 D"、 D3,2、 ...、 Dn" Dn，2、…、DN,,、 DN，2。
而且，在加法部50計算從AD轉(zhuǎn)換部40輸出的數(shù)字值Dn，,、 Dn,2 的總和，并輸出作為該總和值的數(shù)字值Dn ^D^+a,2)。這時，從加 法部50依次輸出數(shù)字值D!、 D2、 D3、 ...、 Dn、 ...、 DN。
在此，數(shù)字值D。，k是與在位于第m行第n列的像素P，的光電二
極管PDk上產(chǎn)生的電荷的量相應(yīng)的值，即，與向像素P,的光電二極 管PDk入射的入射光量相應(yīng)的值。另外，數(shù)字值Dn是與在像素P，所
包含的2個光電二極管PD,、 PD2上分別產(chǎn)生的電荷的總量相應(yīng)的值，
即與向像素p,入射的入射光量相應(yīng)的值。
如果如此地得到與位于第m行的N個像素Pm，廣P一各自的入射光 量相應(yīng)的數(shù)字值D, Dw，則接著同樣地得到與位于接下來的第(m+1) 行的N個像素Pm+u Pm+1，N的入射光量相應(yīng)的數(shù)字值D廣Dn。通過對所 有的行進(jìn)行這樣的工作，得到與分別向拍攝區(qū)域10的MxN個像素 P,，, PM,n入射的入射光量相應(yīng)的數(shù)字值，并得到拍攝數(shù)據(jù)。
如上所述，本實施方式涉及的固體拍攝裝置1中，在拍攝區(qū)域IO的各像素Pm，。內(nèi)包含2個光電二極管PD^ PD2，得到與在光電二極管
PD,、 PD2上產(chǎn)生的電荷的量相應(yīng)的電壓V^、 Vn,2以及數(shù)字值Dn;1、Dn,2，
然后，得到與向像素P^入射的入射光量相應(yīng)的數(shù)字值Dn(-D^+Dn,2)。 因此，例如在固體拍攝裝置1用于牙科用途的情況下，即使各像素P, 的光感應(yīng)區(qū)域必須為大面積，也能夠進(jìn)行S/N比良好的拍攝。
艮P，作為比較例，假定各像素包含1個光電二極管，且該光電二
極管的接合電容為C的情況。這時，從AD轉(zhuǎn)換部輸出的數(shù)字值所包 含的噪聲成分的大小被表示為"AxC"。在此，A是由積分電路所包含 的放大器決定的常數(shù)。
相對于此，本實施方式中，如果各像素包含2個光電二極管，且 各像素的整體的光感應(yīng)區(qū)域的面積與上述比較例相同，則各個光電二 極管的接合電容值為C/2。所以，從AD轉(zhuǎn)換部40輸出的數(shù)字值Dn,k 所包含的噪聲成分的大小被表示為"AxC/2"，從加法部50輸出的數(shù)字 值D。所包含的噪聲成分的大小被表示為"AxC/2a5"。如此，本實施方 式中，與向各像素P,入射的入射光量相應(yīng)的數(shù)字值Dn所包含的噪聲 成分的大小，與上述比較例相比，為1/#5倍。
另外，光檢測的動態(tài)范圍的上限，由能夠蓄積于光電二極管的接 合電容部的電荷量的上限以及讀出該電荷的積分電路的輸出電壓的飽 和電平中的較低者決定。如牙科用途的情況所示，如果光電二極管的 光感應(yīng)區(qū)域的面積較大，則能夠蓄積于光電二極管的接合電容部的電 荷量也較大，因而積分電路的輸出電壓的飽和限制了動態(tài)范圍。另外， 伴隨著近年來因低消耗電力化而導(dǎo)致的電源電壓下降，放大器的驅(qū)動 電壓也具有降低的傾向，進(jìn)而放大器的飽和電壓電平具有下降的傾向。 這種情況下，即使能夠在光電二極管的接合電容部蓄積大量的電荷， 積分電路所包含的放大器的飽和以上的電荷也是無用的。
相對于此，本實施方式中，與上述比較例相比，由于蓄積于各個 積分電路的電荷量為一半，因而對于各個像素，甚至能夠?qū)?倍的電 荷量作為信號進(jìn)行處理。因此，例如在來自AD轉(zhuǎn)換部40的輸出數(shù)字 值為12位的情況下，來自加法部50的輸出數(shù)字值擴大至13位。并且， 如上所述，由于噪聲成分的大小為1/2"倍，因而動態(tài)范圍的上限的S/N 比為2V^倍。本發(fā)明并不限于上述實施方式，可以進(jìn)行各種變形。例如，各像 素所包含的光電二極管的個數(shù)，在上述實施方式中為2個，但也可以 為3個以上。另外，本發(fā)明在對人體照射X射線的方面，并不限于牙
科治療用途，而是涉及所有的醫(yī)療用的x射線固體拍攝裝置。
權(quán)利要求
1. 一種固體拍攝裝置，其特征在于，包括拍攝區(qū)域，二維排列有分別包含多個光電二極管的多個像素；信號讀出部，輸出與在所述拍攝區(qū)域的各像素所包含的多個光電二極管上分別產(chǎn)生的電荷的量相應(yīng)的電壓；AD轉(zhuǎn)換部，輸入從所述信號讀出部所輸出的電壓并進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換，輸出與該輸入電壓相應(yīng)的數(shù)字值；以及加法部，對所述拍攝區(qū)域的各像素，按照與在該像素所包含的多個光電二極管上分別產(chǎn)生的電荷的量，計算從所述AD轉(zhuǎn)換部輸出的數(shù)字值的總和，并輸出作為該總和值的數(shù)字值，其中所述拍攝區(qū)域的各像素所包含的多個光電二極管各自的光感應(yīng)區(qū)域在整體上為正方形。
2. 如權(quán)利要求l所述的固體拍攝裝置，其特征在于， 所述拍攝區(qū)域的各像素所包含的多個光電二極管各自的光感應(yīng)區(qū)域具有相互相等的面積。
全文摘要
固體拍攝裝置(1)中，在拍攝區(qū)域(10)二維排列有多個像素，各像素(P_m，n)包含有2個光電二極管(PD₁、PD₂)。在光電二極管(PD₁、PD₂)上分別產(chǎn)生的電荷被輸入至信號讀出部(20)，并從信號讀出部(20)輸出與該電荷量相應(yīng)的電壓。從信號讀出部(20)輸出的電壓被輸入至AD轉(zhuǎn)換部(40)，并從AD轉(zhuǎn)換部(40)輸出與該輸入電壓相應(yīng)的數(shù)字值。在加法部(50)中，對拍攝區(qū)域(10)的各像素(P_m，n)，按照與在該像素所包含的2個光電二極管(PD₁、PD₂)上分別產(chǎn)生的電荷的量，計算從AD轉(zhuǎn)換部(40)輸出的數(shù)字值的總和，并輸出作為該總和值的數(shù)字值。
文檔編號H04N5/32GK101485195SQ200780025398
公開日2009年7月15日 申請日期2007年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月4日
發(fā)明者久嶋龍次, 本田真彥, 森治通, 藤田一樹 申請人:浜松光子學(xué)株式會社