專利名稱:顯微熱成像方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種顯微熱成像的方法與裝置,尤其涉及一種基于非制冷焦平面探測(cè)器的顯微熱成像的方法與裝置。
背景技術(shù):
熱成像技術(shù)目前在工業(yè)檢測(cè)、醫(yī)學(xué)診斷和科學(xué)研究領(lǐng)域已獲得廣泛的應(yīng)用,成為有效的熱診斷工具。但目前大多數(shù)熱成像系統(tǒng)為望遠(yuǎn)工作模式,并不適宜在一些需要顯微分析和檢測(cè)場(chǎng)合的應(yīng)用,難以有效地工作,影響了對(duì)事物的認(rèn)識(shí)和故障的分析。例如,在微電子集成芯片及其電路的設(shè)計(jì)、可靠性分析以及缺陷檢測(cè)中,可以利用顯微熱成像技術(shù)進(jìn)行非接觸測(cè)量診斷;在生物醫(yī)學(xué)診斷中,顯微熱成像技術(shù)可以對(duì)癌細(xì)胞的診斷與生長(zhǎng)分析提供手段。
為了滿足上述領(lǐng)域的需求,國(guó)外90年代開始推出顯微熱成像系統(tǒng),由于熱顯微鏡屬于放大成像,要求探測(cè)器具有較高的熱靈敏度,因此,其核心部件均基于制冷型紅外探測(cè)器。由于制冷型紅外探測(cè)器價(jià)格昂貴,使顯微熱成像技術(shù)的應(yīng)用受到了很大的限制。
目前國(guó)內(nèi)對(duì)顯微鏡熱成像技術(shù)及其應(yīng)用的研究還很薄弱,尚無(wú)熱成像顯微鏡產(chǎn)品出現(xiàn),只有進(jìn)口制冷型熱成像顯微鏡的使用報(bào)道。例如,電子5所1996年引進(jìn)美國(guó)的EDO/BARNES公司的顯微紅外熱像儀InfraScope采用液氮制冷的InSb焦平面探測(cè)器,配置10×,5×,1×,1/5×的紅外物鏡,最高空間分辨力可達(dá)5μm。由于采用制冷技術(shù),系統(tǒng)不僅成本昂貴,而且體積重量大,使這一技術(shù)在國(guó)內(nèi)的推廣應(yīng)用受到極大的限制。
由于非制冷焦平面探測(cè)器具有較高性價(jià)比、無(wú)需制冷、功耗低、體積小、重量輕等特性,特別是近年來(lái)隨著熱成像技術(shù)的發(fā)展,非制冷焦平面探測(cè)器成本大大降低,促進(jìn)了在各種領(lǐng)域的應(yīng)用。但目前尚未見到基于非制冷焦平面探測(cè)器顯微熱成像的專門報(bào)道或產(chǎn)品。
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)目前制冷型探測(cè)器價(jià)高、非制冷探測(cè)器靈敏度較低,實(shí)際應(yīng)用缺乏顯微熱分析手段的局面,本發(fā)明提供了一種新的顯微熱成像方法,可用于微電子芯片及其電路設(shè)計(jì)和故障檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)顯微熱成像分析等,為集成芯片的工業(yè)檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)診斷和科學(xué)研究提供了微細(xì)熱分析和檢測(cè)技術(shù)手段。該發(fā)明與國(guó)外顯微熱成像方法相比,由于采用了非制冷焦平面探測(cè)器組件作為熱成像裝置,所以其體積小,重量輕,價(jià)格大大降低,有利于熱顯微鏡的推廣應(yīng)用。針對(duì)非制冷焦平面探測(cè)器組件成像,該發(fā)明提出了基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻校正技術(shù),明顯減小了非制冷焦平面探測(cè)器的非均勻性固定圖案噪聲對(duì)系統(tǒng)成像質(zhì)量的影響,提高了顯微熱成像質(zhì)量。
本發(fā)明所解決的技術(shù)問題是采用非制冷焦平面探測(cè)器組件完成物體紅外輻射圖像的顯微放大成像以及由于探測(cè)器靈敏度偏差而帶來(lái)圖像非均勻性問題。非均勻性定義為紅外焦平面探測(cè)器陣列在接收同一均勻輻照度時(shí),由于各探測(cè)單元之間響應(yīng)不一致,在輸出圖像中形成網(wǎng)格、曲線斑紋、亮度失衡等固定圖案噪聲,又稱固定模式噪聲,其會(huì)對(duì)觀察者觀察圖像產(chǎn)生強(qiáng)烈的視覺干擾。
為了解決上述問題,本發(fā)明設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了特有的顯微熱成像系統(tǒng)和基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻校正技術(shù),有效地獲取了物體的顯微熱圖像,并明顯減小了非均勻性固定圖案噪聲對(duì)系統(tǒng)成像質(zhì)量的影響,使基于非制冷焦平面探測(cè)器組件的熱顯微鏡達(dá)到實(shí)用化水平,可滿足微電子集成電路芯片及其電路設(shè)計(jì)、醫(yī)學(xué)診斷和科學(xué)研究領(lǐng)域?qū)︼@微熱分析的應(yīng)用需求。
根據(jù)上述目的,本發(fā)明提供的顯微熱成像方法包括步驟(1)通過紅外顯微物鏡將物體的輻射圖像成像在非制冷焦平面探測(cè)器組件上;(2)非制冷焦平面探測(cè)器組件將輻射圖像轉(zhuǎn)換為電子圖像,并按標(biāo)準(zhǔn)視頻輸出;(3)通過圖像采集卡將標(biāo)準(zhǔn)視頻熱圖像轉(zhuǎn)化為數(shù)字圖像,并存于計(jì)算機(jī)中;(4)利用基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻校正方法對(duì)數(shù)字圖像進(jìn)行非均勻校正,減小由于探測(cè)器靈敏度偏差造成的圖像固定圖案噪聲;具體是分別進(jìn)行橫向和縱向處理,以橫向處理為例的處理過程如下(a)求出每行的像素的均值和方差,對(duì)線列兩端的探測(cè)元?jiǎng)t取其相鄰探測(cè)元的平均值;(b)定義每個(gè)通道用于校正的鄰域均值和鄰域方差;(c)不斷重復(fù)通道均衡算法,循環(huán)校正,直至產(chǎn)生最優(yōu)的輸出。
(5)對(duì)校正后的圖像進(jìn)行顯微熱圖像顯示、分析、存儲(chǔ)和其它處理。
本發(fā)明還提供了一種與上述方法相應(yīng)的顯微熱成像裝置,包括紅外顯微物鏡、非制冷焦平面探測(cè)器組件、圖像采集卡、顯微熱圖像處理系統(tǒng)、熱顯微鏡支架及電源,其中紅外顯微物鏡用于將物體紅外輻射圖像放大成像在非制冷焦平面探測(cè)器上;非制冷焦平面探測(cè)器組件用于將紅外顯微物鏡成的輻射圖像轉(zhuǎn)換為電子圖像,并按標(biāo)準(zhǔn)視頻輸出;圖像采集卡用于將非制冷探測(cè)器組件輸出的熱圖像視頻信號(hào)轉(zhuǎn)化為數(shù)字圖像;非均勻校正處理模塊通過軟件在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻校正算法,實(shí)現(xiàn)顯微熱圖像固定圖案噪聲的消除;
顯微熱圖像處理系統(tǒng)完成熱圖像的顯示、分析、存儲(chǔ)和其它處理;熱顯微鏡支架及電源用于集成顯微熱成像裝置,并提供工作電源。
如圖2所示,該系統(tǒng)的圖像采集和處理過程是物體發(fā)出的紅外輻射圖像通過紅外顯微物鏡成像于非制冷焦平面探測(cè)器組件上,通過探測(cè)器組件將輻射圖像轉(zhuǎn)換為電子圖像,并按標(biāo)準(zhǔn)視頻輸出;經(jīng)由圖像采集卡將標(biāo)準(zhǔn)視頻熱圖像信號(hào)采集到計(jì)算機(jī)中,形成數(shù)字圖像;通過非均勻校正處理模塊對(duì)圖像數(shù)字進(jìn)行非均勻校正處理,并可進(jìn)一步由顯微熱圖像處理系統(tǒng)進(jìn)行后續(xù)的顯示、分析、存儲(chǔ)和處理。
該方法和系統(tǒng)的特點(diǎn)是由于非制冷焦平面探測(cè)器具有較高的性價(jià)比、無(wú)需制冷、功耗低、體積小、重量輕等特性,使顯微熱成像系統(tǒng)成本大大降低,同時(shí)采用基于場(chǎng)景的非均勻校正方法,明顯減小由于探測(cè)器靈敏度低造成的顯微熱圖像固定圖案噪聲,使基于非制冷焦平面組件的顯微熱成像成為現(xiàn)實(shí),可促進(jìn)顯微熱成像技術(shù)在各種領(lǐng)域的應(yīng)用,提高設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)分析和研究的技術(shù)水平,提高診斷的效率與可靠性。
圖1是顯微紅外物鏡的成像光路圖;圖2是基于非制冷焦平面探測(cè)器組件的顯微熱成像系統(tǒng)框圖;圖3是經(jīng)過非均勻校正前后的人民幣一角硬幣顯微熱圖像;圖4是LED電路板的圖片及LED電路板的顯微熱圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的核心為通過非制冷焦平面探測(cè)器組件來(lái)完成物體紅外輻射圖像到電子圖像和數(shù)字圖像的轉(zhuǎn)換,并實(shí)現(xiàn)了一種基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻性校正。
以下通過具體實(shí)施例來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。
高性能的紅外顯微物鏡使物體發(fā)出的紅外輻射圖像成像到非制冷焦平面探測(cè)器組件上。根據(jù)成像要求,采用Ge和ZnS等材料研制的2×顯微紅外物鏡,圖1是紅外物鏡成像光路圖。為了與非制冷焦平面探測(cè)器的指標(biāo)相匹配,顯微紅外物鏡應(yīng)有效地校正各種像差,提高光學(xué)傳遞函數(shù)MTF,獲得高分辨力的成像,同時(shí)在工作波段范圍具有較高的透射比。
根據(jù)顯微成像特點(diǎn)、熱輻射定律以及探測(cè)器的性能,分析顯微熱成像的信噪比,從而確定熱成像顯微鏡的總體技術(shù)指標(biāo)。建立了顯微熱成像系統(tǒng)的噪聲等效溫差(NETD)和噪聲等效輻射率差(NEED)模型。顯微熱成像系統(tǒng)的噪聲等效溫差普遍表達(dá)式為
ΔTNETD=ΔfnAdWT(TB)τ01NA′2---(1)]]>顯微熱成像系統(tǒng)的噪聲等效輻射率差表達(dá)式為ΔTNEED=ΔϵVs/Vn=ΔfnAdW0(TB)τ01NA′2---(2)]]>由于隨著顯微物鏡倍率的增加,NA′逐步減小,故顯微熱成像系統(tǒng)的NETD和NEED均隨著倍率的增加,即在大倍率條件下顯微熱成像系統(tǒng)的溫度分辨力將下降。對(duì)于非制冷焦平面探測(cè)器組件,在較大倍率的顯微熱成像時(shí),可通過幀疊加的方式來(lái)部分提高系統(tǒng)的溫度分辨力。
如圖2所示,物體發(fā)出的紅外輻射通過紅外物鏡成像到非制冷焦平面探測(cè)器上,非制冷焦平面探測(cè)器把紅外輻射圖像轉(zhuǎn)換為電子圖像,并按標(biāo)準(zhǔn)模擬視頻信號(hào)或數(shù)字視頻流輸出,圖像采集卡將標(biāo)準(zhǔn)視頻熱圖像信號(hào)采集到計(jì)算機(jī)中,形成數(shù)字圖像。
采用非制冷焦平面探測(cè)器雖然降低了成本減輕了系統(tǒng)的體積和重量,但由于非制冷焦平面探測(cè)器靈敏度較低,而顯微熱成像屬于放大成像,容易形成比較明顯的“帷幕”式非均勻性固定圖案噪聲,使圖像質(zhì)量下降,影響進(jìn)一步的處理分析。采用一般的擋片遮避成像視場(chǎng)的校正方法也難以有效消除。為此,本發(fā)明專利設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了一種基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻校正技術(shù),可明顯消除非均勻性固定圖案噪聲對(duì)系統(tǒng)成像質(zhì)量的影響,提高了顯微熱成像的質(zhì)量,從而解決了采用非制冷焦平面技術(shù)所帶來(lái)的問題。非均勻校正算法原理及過程如下處理算法的基本依據(jù)是使每個(gè)探測(cè)元的輸出與相鄰探測(cè)元的輸出相近,具有類似的一階和二階統(tǒng)計(jì)量。處理過程需要分別做橫向處理和縱向處理。以消除橫向條紋為例,對(duì)于大小為M*N的圖像,首先求出每行的像素均值μk(i)和方差σk(i),其中下標(biāo)k表示幀數(shù),ij是圖像的行列索引(i=1,2,...,M,j=1,2,...,N)。
第i行(第i通道)的均值和方差如下μk(i)=1NΣj=1Nyk(i,j),σk(i)=1NΣj=1N(yk(i,j)-μk(i))2---(3)]]>對(duì)于第i行,判斷σk(i)是否小于5,如果小于則令σk(i)=5;第i行(第i通道)對(duì)應(yīng)的相鄰行的均值和方差μmk(i)=[μk(i-1)+μk(i+1)]/2σmk(i)=[σk(i-1)+σk(i+1)]/2(4)對(duì)于線列兩端的探測(cè)元做如下處理
μmk(1)=(μmk(1)+μmk(2)·2+μmk(3))/4,μmk(M)=(μmk(M-2)+μmk(M-1)·2+μmk(M))/4(5)σmk(1)=(σmk(1)+σmk(2)·2+σmk(3))/4,σmk(M)=(σmk(M-2)+σmk(M-1)·2+σmk(M))/4然后定義每個(gè)通道用于校正的鄰域均值μk(i)和鄰域方差σk(i)。為了避免單幀噪聲漂移太大,加入遺忘因子λ,當(dāng)0<λ<0.5時(shí),新近得到的數(shù)據(jù)在統(tǒng)計(jì)約束里占據(jù)較大的權(quán)重,算法對(duì)于系統(tǒng)的時(shí)變跟蹤能力較強(qiáng),也就是能夠較快地反映系統(tǒng)參數(shù)的變化情況。但此時(shí)算法的平滑能力差,易發(fā)生振蕩。當(dāng)0.5<λ<1時(shí),統(tǒng)計(jì)約束傾向于前期的平均值,平滑能力較強(qiáng),不易發(fā)生振蕩,但是跟蹤時(shí)變的特性變?nèi)?。?shí)際應(yīng)用中,算法了取了λ=0.5。
對(duì)于第一次校正,不進(jìn)行校正,μ‾0(i)=μm0(i)σ‾0(i)=σm0(i),]]>然后開始第二次校正μk(i)=(1-λ)·μk-1(i)+λ·μmk(i)σk(i)=(1-λ)·σk-1(i)+λ·σmk(i) (6)由于每個(gè)探測(cè)元在一行有上百個(gè)取值,其數(shù)量足夠進(jìn)行統(tǒng)計(jì)量運(yùn)算。為了保證每個(gè)探測(cè)元和其相鄰元素?fù)碛邢嗤囊浑A和二階統(tǒng)計(jì)值(μk和σk),按下面的公式產(chǎn)生校正輸出值xk(i,j)xk(i,j)=[yk(i,j)-μk(i)σk(i)]σ‾k(i)+μ‾k(i)---(7)]]>bk(i)=σ‾k(i)σk(i),ck(i)=μ‾k(i)-σ‾k(i)σk(i)·μk(i)---(8)]]>如果bk(i)>2.則令b[i]=1;c[i]=0;,即用原值代替現(xiàn)在的值,不進(jìn)行校正。
通過模擬和實(shí)際圖像試驗(yàn)可知一次校正不能有效的消除通道間的差異,因?yàn)樯鲜鐾ǖ谰獠呗詢H涉及到相鄰兩個(gè)像元的一致性問題,所以把前一次校正結(jié)果xk(i,j)作為下一次校正yk+1(i,j)的輸入數(shù)據(jù),不斷重復(fù)通道均衡算法,循環(huán)校正,直至產(chǎn)生最優(yōu)的輸出,即yk+1(i,j)=xk(i,j) (9)所以把(8),(9)代入(7),可得到非制冷焦平面探測(cè)器每個(gè)探測(cè)單元的校正輸出x^k+1(i,j)=bk+1(i)x^k(i,j)+ck+1(i)---(10)]]>假定第n次校正結(jié)果相對(duì)于最初數(shù)據(jù)y1((i,j)的增益和偏置為Bk,Ck,即x^k(i,j)=Bk(i)y1(i,j)+Ck---(11)]]>把(9),(10)不斷循環(huán)代入(11),可以得到Bk(i)=Bk-1(i)·bk(i),Ck(i)=bk(i)·Ck-1(i)+ck(i)(12)k=0,1,...,num表示校正的次數(shù),初始化條件為B0=[1,1,...,1]T,C0=
T,矩陣大小都是為M×1。
對(duì)照?qǐng)D2,一個(gè)完整的基于非制冷焦平面探測(cè)器組件的顯微熱成像過程如下物體發(fā)出的紅外輻射通過紅外顯微物鏡成像到非制冷焦平面探測(cè)器組件上,完成輻射圖像到電子圖像的轉(zhuǎn)換;利用圖像采集卡對(duì)圖像進(jìn)行采集,實(shí)現(xiàn)電子圖像到數(shù)字圖像的轉(zhuǎn)換,并存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中;利用基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻性校正模塊實(shí)時(shí)完成顯微熱成像的數(shù)字圖像非均勻校正;利用顯微熱成像采集與處理軟件系統(tǒng)完成熱圖像的處理分析,處理系統(tǒng)包括圖像/圖像視頻流的采集/顯示/儲(chǔ)存、圖像分析、數(shù)據(jù)分析等幾個(gè)部分。處理圖像可在顯示器上顯示,也可從打印機(jī)輸出打印。所有的操作通過操作鍵盤和鼠標(biāo)進(jìn)行,熱顯微鏡輸出圖像同時(shí)可傳輸?shù)揭曨l監(jiān)視器上顯示。
為了完成非均勻校正及圖像采集與實(shí)時(shí)處理系統(tǒng),提高系統(tǒng)的可操作性,本發(fā)明基于Windows操作平臺(tái),利用VC++開發(fā)了基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻性校正模塊,完成顯微熱圖像的非均勻校正;同時(shí)開發(fā)了顯微熱成像采集與處理軟件系統(tǒng)完成熱圖像的處理分析,處理系統(tǒng)包括圖像/圖像視頻流的采集/顯示/儲(chǔ)存、圖像分析、數(shù)據(jù)分析等幾個(gè)部分。
通過本發(fā)明采集的人民幣一角硬幣熱圖和經(jīng)過非均勻校正后的熱圖像如圖3所示。由圖3可見,校正前圖像存在明顯的豎值條紋,影響了系統(tǒng)成像質(zhì)量,給后續(xù)圖像處理和分析帶來(lái)了困難。而經(jīng)過非均勻校正消除了由于固有的非均勻性帶來(lái)的噪聲條紋,圖像質(zhì)量得到明顯提高。
通過本發(fā)明所采集并經(jīng)過非均勻校正的LED電路板顯微熱圖像如圖4的c)圖的所示。其中a)圖是LED電路板的圖片,為了對(duì)比LED電路板的大小,b)圖給出了LED電路板與人民幣一角硬幣的對(duì)照?qǐng)D。由c)圖可見,在可見光圖像中無(wú)法看到的中央部位的雙s形狀圖案在顯微熱圖像中卻可以清楚地看到,而且圖像消除了固有的非均勻性帶來(lái)的噪聲條紋。由此可見本發(fā)明專利的有效性,可以進(jìn)一步應(yīng)用于需要顯微熱圖像分析的領(lǐng)域。
綜上所述,本發(fā)明提供了一種基于非制冷焦平面探測(cè)器組件的顯微熱成像方法與裝置。應(yīng)用于微電子和光電子器件及其應(yīng)用領(lǐng)域,可提高集成電路芯片及其可靠性設(shè)計(jì)水平,保證微電子和光電子器件及其產(chǎn)品的性能和質(zhì)量;應(yīng)用于醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,可為醫(yī)學(xué)診斷、癌癥檢測(cè)等提供新的技術(shù)手段;應(yīng)用于科學(xué)研究領(lǐng)域,可為科技人員提供新的分析工具;應(yīng)用于公安刑偵領(lǐng)域,可為可疑物證、痕跡的偵別提供新的技術(shù)手段。
權(quán)利要求
1.一種顯微熱成像方法,包括步驟(1)通過紅外顯微物鏡將物體的輻射圖像成像在非制冷焦平面探測(cè)器組件上;(2)非制冷焦平面探測(cè)器組件將輻射圖像轉(zhuǎn)換為電子圖像,并按標(biāo)準(zhǔn)視頻輸出;(3)通過圖像采集卡將標(biāo)準(zhǔn)視頻熱圖像轉(zhuǎn)化為數(shù)字圖像,并存于計(jì)算機(jī)中;(4)利用基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻校正方法對(duì)數(shù)字圖像進(jìn)行非均勻校正,減小由于探測(cè)器靈敏度偏差造成的圖像固定圖案噪聲;(5)對(duì)校正后的圖像進(jìn)行顯微熱圖像顯示、分析、存儲(chǔ)和其它處理。
2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步驟(1)中采用幀疊加的方式提高圖像轉(zhuǎn)換的溫度分辨力。
3.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(2)具體包括對(duì)圖像分別進(jìn)行橫向和縱向處理的過程,以橫向處理為例的處理過程如下(a)求出每行的象素的均值和方差,對(duì)陣列兩端的探測(cè)元?jiǎng)t取其相鄰探測(cè)元的平均值;(b)定義每個(gè)通道用于校正的鄰域均值和鄰域方差;(c)不斷重復(fù)通道均衡算法,循環(huán)校正,直至產(chǎn)生最優(yōu)的輸出。
4.一種顯微熱成像裝置,包括紅外顯微物鏡、圖像采集卡和顯微熱圖像處理系統(tǒng),其特征在于,還包括非制冷焦平面探測(cè)器,用于將所述紅外顯微物鏡輻射的圖像轉(zhuǎn)換為電子圖像輸出給圖像采集卡;非均勻校正處理模塊,通過軟件在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻校正算法,實(shí)現(xiàn)顯微熱圖像固定圖案噪聲的消除。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,所述紅外顯微物鏡采用2×紅外顯微物鏡和其它相同接口的紅外顯微物鏡。
6.如權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,還包括熱顯微鏡支架及電源,用于集成顯微熱成像裝置,并提供工作電源。
7.如權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,還包括視頻監(jiān)視器,用于同步顯示所述非制冷焦平面探測(cè)器輸出的顯微熱圖像。
8.如權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,還包括計(jì)算機(jī)系統(tǒng)輸入輸出和顯示裝置。
全文摘要
一種基于非制冷焦平面探測(cè)器組件的顯微熱成像方法,包括1)通過紅外顯微物鏡將物體的輻射圖像成像在非制冷焦平面探測(cè)器組件上;2)非制冷焦平面探測(cè)器組件將輻射圖像轉(zhuǎn)換為電子圖像,并按標(biāo)準(zhǔn)視頻輸出;3)圖像采集卡將標(biāo)準(zhǔn)視頻熱圖像轉(zhuǎn)化為數(shù)字圖像存儲(chǔ);4)利用基于場(chǎng)景的自適應(yīng)非均勻校正方法對(duì)數(shù)字圖像進(jìn)行非均勻校正,減小由于探測(cè)器靈敏度偏差造成的圖像固定圖案噪聲;5)對(duì)校正后的圖像進(jìn)行顯微熱圖像顯示、分析、存儲(chǔ)和其它處理。由于非制冷焦平面探測(cè)器組件具有較高的性價(jià)比、無(wú)需制冷、功耗低、體積小、重量輕等特性,使顯微熱成像系統(tǒng)成本大大降低,可促進(jìn)其在各種領(lǐng)域的應(yīng)用。
文檔編號(hào)H04N5/33GK101059459SQ20071010016
公開日2007年10月24日 申請(qǐng)日期2007年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月5日
發(fā)明者金偉其, 高美靜, 王霞, 隋靖, 董立泉, 王嶺雪, 徐超, 劉廣榮 申請(qǐng)人:北京理工大學(xué)