一種大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型一種大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置屬于精密儀器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種顯微鏡配件；該照明裝置包括激光器，依次設(shè)置在激光器出射光路上的針孔，準(zhǔn)直鏡，衰減系統(tǒng)，以及分光棱鏡；激光器和針孔共同垂直光軸方向移動，繞光軸旋轉(zhuǎn)；分光棱鏡設(shè)置于物鏡和被測物之間，點(diǎn)光源系統(tǒng)發(fā)出的光束經(jīng)過準(zhǔn)直鏡變成平行光，再經(jīng)過衰減系統(tǒng)衰減后，由分光棱鏡反射到被測物表面；本實(shí)用新型照明裝置由于設(shè)置有衰減系統(tǒng)，因此能夠調(diào)整照明強(qiáng)度；由于激光器和針孔組成點(diǎn)光源系統(tǒng)，能夠在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動，因此又能夠調(diào)整照明角度；調(diào)整照明強(qiáng)度和照明角度同時(shí)調(diào)整，有利于提高成像質(zhì)量。
【專利說明】
一種大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型一種大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置屬于精密儀器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種顯微鏡配件。
【背景技術(shù)】
[0002]顯微鏡成像質(zhì)量與照明直接相關(guān)，因此，為了提高成像質(zhì)量，有必要對被測物進(jìn)行有效照明，有效照明需要合理選擇光照強(qiáng)度和角度，然而，還沒有查閱到能夠同時(shí)調(diào)整照明強(qiáng)度和角度的相關(guān)技術(shù)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決上述問題，本實(shí)用新型公開了一種大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，該裝置能夠同時(shí)具有照明強(qiáng)度和照明角度調(diào)整的功能，有利于提高成像質(zhì)量。
[0004]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，包括激光器，依次設(shè)置在激光器出射光路上的針孔，準(zhǔn)直鏡，衰減系統(tǒng)，以及分光棱鏡；
[0006]所述激光器和針孔組成點(diǎn)光源系統(tǒng)，能夠在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動；
[0007]所述分光棱鏡設(shè)置于物鏡和被測物之間，點(diǎn)光源系統(tǒng)發(fā)出的光束經(jīng)過準(zhǔn)直鏡變成平行光，再經(jīng)過衰減系統(tǒng)衰減后，由分光棱鏡反射到被測物表面。
[0008]上述大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，所述的點(diǎn)光源系統(tǒng)設(shè)置在:
[0009]二維平移臺上，所述二維平移臺在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動；
[0010]或
[0011]垂直光軸運(yùn)動的導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌能夠在垂直光軸的平面內(nèi)繞光軸轉(zhuǎn)動。
[0012]上述大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，所述的衰減系統(tǒng):
[0013]包括多個(gè)透過率各不相同的衰減片；
[0014]或
[0015]包括透過率成漸變或階梯變化的衰減環(huán)，所述衰減環(huán)繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，所述轉(zhuǎn)軸與光軸平行。
[0016]有益效果:
[0017]第一、由于激光器發(fā)出的光束最終能夠照射到被測物表面，因此能夠?qū)崿F(xiàn)對被測物進(jìn)行照明；
[0018]第二、由于設(shè)置有衰減系統(tǒng)，因此能夠調(diào)整照明強(qiáng)度；
[0019]第三、由于激光器和針孔組成點(diǎn)光源系統(tǒng)，能夠在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動，因此能夠調(diào)整照明角度；
[0020]本實(shí)用新型大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，由于能夠同時(shí)調(diào)整照明強(qiáng)度和照明角度，因此有利于提高成像質(zhì)量。
【附圖說明】
[0021]圖1是本實(shí)用新型大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖2是具體實(shí)施例二中的點(diǎn)光源系統(tǒng)運(yùn)動軌跡示意圖。
[0023I圖3是具體實(shí)施例三中的點(diǎn)光源系統(tǒng)運(yùn)動軌跡示意圖。
[0024]圖4是具體實(shí)施例五中的衰減環(huán)示意圖。
[0025]圖中:I激光器、2針孔、3準(zhǔn)直鏡、4衰減系統(tǒng)、5分光棱鏡、6物鏡、7被測物。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0027]具體實(shí)施例一
[0028]本實(shí)施例的大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。該照明裝置包括激光器I，依次設(shè)置在激光器I出射光路上的針孔2，準(zhǔn)直鏡3，衰減系統(tǒng)4，以及分光棱鏡5；
[0029]所述激光器I和針孔2組成點(diǎn)光源系統(tǒng)，能夠在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動；
[0030]所述分光棱鏡5設(shè)置于物鏡6和被測物7之間，點(diǎn)光源系統(tǒng)發(fā)出的光束經(jīng)過準(zhǔn)直鏡3變成平行光，再經(jīng)過衰減系統(tǒng)4衰減后，由分光棱鏡5反射到被測物7表面。
[0031]具體實(shí)施例二
[0032]本實(shí)施例的大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，在具體實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步限定:點(diǎn)光源系統(tǒng)設(shè)置在二維平移臺上，所述二維平移臺在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動，點(diǎn)光源系統(tǒng)運(yùn)動軌跡示意圖如圖2所示。
[0033]這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了一種點(diǎn)光源系統(tǒng)能夠在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動的具體實(shí)現(xiàn)方式。
[0034]具體實(shí)施例三
[0035]本實(shí)施例的大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，在具體實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步限定:點(diǎn)光源系統(tǒng)設(shè)置在垂直光軸運(yùn)動的導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌能夠在垂直光軸的平面內(nèi)繞光軸轉(zhuǎn)動，點(diǎn)光源系統(tǒng)運(yùn)動軌跡示意圖如圖3所示。
[0036]這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了一種點(diǎn)光源系統(tǒng)能夠在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動的另一種具體實(shí)現(xiàn)方式。
[0037]具體實(shí)施例四
[0038]本實(shí)施例的大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，在具體實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步限定:衰減系統(tǒng)4包括多個(gè)透過率各不相同的衰減片。
[0039]在使用的時(shí)候，可以根據(jù)需要選擇不放置衰減片，或放置一片衰減片，或?qū)善蚨嗥p片相組合，以滿足透過率要求。
[0040]具體實(shí)施例五
[0041]本實(shí)施例的大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，在具體實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步限定:衰減系統(tǒng)4包括透過率成漸變或階梯變化的衰減環(huán)，以階梯變化的衰減環(huán)為例，如圖4所示。所述衰減環(huán)繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，所述轉(zhuǎn)軸與光軸平行。
[0042]在使用的時(shí)候，可以通過旋轉(zhuǎn)衰減環(huán)，使衰減環(huán)中具有最佳衰減效果的部分位于光軸，以滿足透過率要求。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，其特征在于，包括激光器(I)，依次設(shè)置在激光器(I)出射光路上的針孔(2)，準(zhǔn)直鏡(3)，衰減系統(tǒng)(4)，以及分光棱鏡(5); 所述激光器(I)和針孔(2)組成點(diǎn)光源系統(tǒng)，能夠在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動； 所述分光棱鏡(5)設(shè)置于物鏡(6)和被測物(7)之間，點(diǎn)光源系統(tǒng)發(fā)出的光束經(jīng)過準(zhǔn)直鏡(3)變成平行光，再經(jīng)過衰減系統(tǒng)(4)衰減后，由分光棱鏡(5)反射到被測物(7)表面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，其特征在于，所述的點(diǎn)光源系統(tǒng)設(shè)置在: 二維平移臺上，所述二維平移臺在垂直光軸的平面內(nèi)運(yùn)動； 或 垂直光軸運(yùn)動的導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌能夠在垂直光軸的平面內(nèi)繞光軸轉(zhuǎn)動。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大物距顯微系統(tǒng)多角度照明裝置，其特征在于，所述的衰減系統(tǒng)⑷: 包括多個(gè)透過率各不相同的衰減片； 或 包括透過率成漸變或階梯變化的衰減環(huán)，所述衰減環(huán)繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，所述轉(zhuǎn)軸與光軸平行。
【文檔編號】G02B21/06GK205450433SQ201620265487
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年4月1日
【發(fā)明人】趙煙橋, 敬曉曄, 曹帆
【申請人】哈爾濱理工大學(xué)